CN113484540B - 直线驱动装置及直线驱动装置系统误差的校正方法 - Google Patents

直线驱动装置及直线驱动装置系统误差的校正方法 Download PDF

Info

Publication number
CN113484540B
CN113484540B CN202110714156.6A CN202110714156A CN113484540B CN 113484540 B CN113484540 B CN 113484540B CN 202110714156 A CN202110714156 A CN 202110714156A CN 113484540 B CN113484540 B CN 113484540B
Authority
CN
China
Prior art keywords
force sensor
fixed
assembly
linear driving
driving device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202110714156.6A
Other languages
English (en)
Other versions
CN113484540A (zh
Inventor
陈庆盈
杨桂林
王冲冲
戴俊杰
张驰
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ningbo Institute of Material Technology and Engineering of CAS
Original Assignee
Ningbo Institute of Material Technology and Engineering of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ningbo Institute of Material Technology and Engineering of CAS filed Critical Ningbo Institute of Material Technology and Engineering of CAS
Priority to CN202110714156.6A priority Critical patent/CN113484540B/zh
Publication of CN113484540A publication Critical patent/CN113484540A/zh
Priority to PCT/CN2021/125669 priority patent/WO2022267278A1/zh
Priority to US18/542,609 priority patent/US20240136966A1/en
Application granted granted Critical
Publication of CN113484540B publication Critical patent/CN113484540B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/09—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L5/00—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
    • G01L5/0061—Force sensors associated with industrial machines or actuators
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/12—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by alteration of electrical resistance
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/125—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by capacitive pick-up
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K11/00—Structural association of dynamo-electric machines with electric components or with devices for shielding, monitoring or protection
    • H02K11/20—Structural association of dynamo-electric machines with electric components or with devices for shielding, monitoring or protection for measuring, monitoring, testing, protecting or switching
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
    • H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
    • H02P23/00—Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by a control method other than vector control
    • H02P23/14—Estimation or adaptation of motor parameters, e.g. rotor time constant, flux, speed, current or voltage
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
    • H02P23/00—Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by a control method other than vector control
    • H02P23/20—Controlling the acceleration or deceleration
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
    • H02P25/00—Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by the kind of AC motor or by structural details
    • H02P25/02—Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by the kind of AC motor or by structural details characterised by the kind of motor
    • H02P25/06—Linear motors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)

Abstract

本发明涉及一种直线驱动装置及直线驱动装置系统误差的校正方法，该直线驱动装置包括定组件、动组件、第一力传感器和第二力传感器。动组件可活动地连接于定组件的一端，且动组件能够沿靠近或远离定组件的方向移动。第一力传感器设于定组件远离动组件的一端，以用于检测由定组件朝向动组件作用于第一力传感器的作用力。第二力传感器设于动组件远离定组件的一端，以用于检测由动组件朝向定组件作用于第二力传感器的作用力。本发明提供的直线驱动装置消除了直线驱动装置在动态响应过程中存在的误差，从而有利于直线驱动装置运动过程的精确控制。

Description

直线驱动装置及直线驱动装置系统误差的校正方法
技术领域
本发明涉及驱动装置领域，特别是涉及一种直线驱动装置及直线驱动装置系统误差的校正方法。
背景技术
直线驱动装置在精密机床、纺织机械以及包装机械等领域具有广泛应用。但是，由于直线驱动装置在驱动过程中存在阻滞力，且阻滞力容易造成直线驱动装置的动态响应过程存在误差，进而难以精确控制直线驱动装置的运动过程。
发明内容
有鉴于此，有必要提供一种直线驱动装置及直线驱动装置系统误差的校正方法，能够校正直线驱动装置在动态响应过程中存在的误差。
本发明提供一种直线驱动装置，该直线驱动装置包括定组件、动组件、第一力传感器和第二力传感器。动组件可活动地连接于定组件的一端，且动组件能够沿靠近或远离定组件的方向移动。第一力传感器设于定组件远离动组件的一端，以用于检测由定组件朝向动组件作用于第一力传感器的作用力。第二力传感器设于动组件远离定组件的一端，以用于检测由动组件朝向定组件作用于第二力传感器的作用力。
于本发明的一实施例中，定组件包括电机定子，动组件包括电机动子，电机动子可活动地连接于电机定子，且电机定子能够驱动电机动子移动。第一力传感器设于电机定子远离电机动子的一端，第二力传感器设于电机动子远离电机定子的一端。电机定子可以驱动电机动子沿靠近或者远离电机定子的方向做直线运动，并且电机定子和电机动子的配合精度较高且响应速度较快，从而有利于提高直线驱动装置的移动精度和响应速度。
于本发明的一实施例中，动组件还包括动平台，动平台固设于电机动子远离电机定子的一端，第二力传感器装设于动平台背离电机定子的一侧。定组件还包括定平台和支撑架，支撑架固设于电机定子远离电机动子的一端，定平台设于支撑架远离电机定子的一端，且第一力传感器夹设于定平台与支撑架之间。如此，电机动子和第二力传感器分别装设于动平台的两侧，能够降低动组件的装配难度，从而提高动组件的结构紧凑性。通过设置支撑架，电机定子和第一力传感器可分别装设于支撑架的两端，以能够降低定组件的装配难度，并提高定组件的结构紧凑性。定平台设置在固定物和第一力传感器之间，避免固定物直接挤压第一力传感器造成第一力传感器发生损坏。
于本发明的一实施例中，支撑架固设有第一滑动件，动平台固设有第二滑动件，第一滑动件与第二滑动件滑动配合。如此，动组件沿着靠近或远离定组件的方向移动时，第一滑动件和第二滑动件能够为动组件提供较好的导向作用，避免动组件的移动方向发生偏离。
于本发明的一实施例中，第一滑动件为滑块，第二滑动件为与滑块活动配合的滑轨，滑轨一端固定连接动平台，另一端穿过支撑架并朝向第一力传感器延伸，直线驱动装置还包括气囊，气囊夹设于滑轨与支撑架之间。滑轨与滑块的结构较为简单，如此，有利于简化直线驱动装置的结构，降低直线驱动装置的加工难度。而在滑轨与支撑架之间设置气囊，可使气囊对滑轨产生一定的缓冲作用，减小动组件朝向定组件移动时产生的震动，有利于直线驱动装置运行时保持稳定。
于本发明的一实施例中，还包括拉伸弹簧，拉伸弹簧一端连接动平台，另一端连接支撑架。拉伸弹簧能够朝向相对的方向拉紧定组件和动组件，如此，有利于提高直线驱动装置的系统刚度，从而使得直线驱动装置受到的负载作用力能够快速传递至第一力传感器和第二力传感器，有利于提高直线驱动装置的响应精度。
于本发明的一实施例中，支撑架装设有标尺光栅，动平台对应标尺光栅设有光栅读数头；或者，动平台装设有标尺光栅，支撑架对应标尺光栅设有光栅读数头。
于本发明的一实施例中，第一力传感器为应变式力传感器、电容式力传感器、压电式力传感器或者压阻式力传感器。应变式力传感器具有较高的灵敏度和稳定性。电容式力传感器具有高动态响应的特性，能够快速且精确地检测出力的变化。压电式力传感器结构简单且信噪比较高。压阻式力传感器的价格较低，有利于降低直线驱动装置的制造成本。
于本发明的一实施例中，第二力传感器为应变式力传感器、电容式力传感器、压电式力传感器或者压阻式力传感器。应变式力传感器具有较高的灵敏度和稳定性。电容式力传感器具有高动态响应的特性，能够快速且精确地检测出力的变化。压电式力传感器结构简单且信噪比较高。压阻式力传感器的价格较低，有利于降低直线驱动装置的制造成本。
本发明还提供一种直线驱动装置系统误差的校正方法，用于校正以上任意一个实施例所述的直线驱动装置的系统误差，该直线驱动装置系统误差的校正方法包括以下步骤：负载作用于第二力传感器并使得动组件朝向定组件移动，且定组件抵靠在一固定物上，通过第二力传感器测出负载作用在第二力传感器的力F2，通过第一力传感器测出定组件受到固定物的反作用力F1；通过公式：F2-F1＝M*a，校正直线驱动装置的系统误差上述公式中，M是动组件和第二力传感器的总质量，a是动组件和第二力传感器的加速度。
本发明提供的直线驱动装置及直线驱动装置系统误差的校正方法，定组件抵靠于固定物，负载作用于第二力传感器并使得动组件朝向定组件移动，并且，负载作用于第二力传感器的力分解为两部分，一部分力使得第二传感器和动组件产生加速度a，另一部分力传递至定组件并通过定组件传递至固定物。负载作用在第二力传感器的力F2可通过第二力传感器直接被测出，而第一力传感器可测出定组件受到固定物的反作用力F1。通过公式：F2-F1＝M*a，其中，M是动组件和第二力传感器的总质量，即可计算得出使得第二传感器和动组件产生加速度a的力的大小。现有技术中，以负载作用在第二力传感器的力F2作为动力组件产生加速度a的力，然而，负载作用在第二力传感器的力F2与使动力组件产生加速度a实际的力并不一致，导致存在系统误差。而本申请通过设置第一力传感器检测得到F1，从而可以计算出使得第二传感器和动组件产生加速度a的实际的力的大小，从而消除了系统误差。综上可知，本发明提供的直线驱动装置消除了直线驱动装置在动态响应过程中存在的系统误差，从而有利于直线驱动装置运动过程的精确控制。
附图说明
图1为本发明一实施例的直线驱动装置的结构示意图。
附图标记：1、定组件；11、电机定子；12、定平台；13、支撑架；14、第一滑动件；15、标尺光栅；2、动组件；21、电机动子；22、动平台；23、第二滑动件；24、光栅读数头；3、第一力传感器；4、第二力传感器；5、拉伸弹簧。
具体实施方式
下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本发明一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。
需要说明的是，当组件被称为“装设于”另一个组件，它可以直接装设在另一个组件上或者也可以存在居中的组件。当一个组件被认为是“设置于”另一个组件，它可以是直接设置在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。当一个组件被认为是“固定于”另一个组件，它可以是直接固定在另一个组件上或者可能同时存在居中组件。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
请参阅图1，本发明提供一种直线驱动装置，该直线驱动装置包括定组件1、动组件2、第一力传感器3和第二力传感器4。通常在测定系统误差时，定组件1抵靠在一固定物上，固定物可以是墙体、地面或者固定支架等受到外力之后不会发生移动的物体。动组件2可活动地连接于定组件1的一端，且动组件2能够沿靠近或远离定组件1的方向移动。具体地，动组件2可在定组件1的驱动下沿靠近或远离定组件1的方向移动，或者，动组件2可在负载的作用下沿靠近或远离定组件1的方向移动。
第一力传感器3设于定组件1远离动组件2的一端，以用于检测由定组件1朝向动组件2作用于第一力传感器3的作用力，该作用力的方向为由定组件1朝向动组件2的方向，且该作用力作用于第一力传感器3并能够被第一力传感器3测得。
第二力传感器4设于动组件2远离定组件1的一端，以用于检测由动组件2朝向定组件1作用于第二力传感器4的作用力，该作用力的方向为由动组件2朝向定组件1的方向，且该作用力作用于第二力传感器4并能够被第二力传感器4测得。
具体地，负载作用于第二力传感器4并使得动组件2朝向定组件1移动，并且，负载作用于第二力传感器4的力分解为两部分，一部分力使得第二传感器和动组件2产生加速度a，另一部分力传递至定组件1并通过定组件1传递至固定物。负载作用在第二力传感器4的力F2可通过第二力传感器4直接被测出，而第一力传感器3可测出定组件1受到固定物的反作用力F1。通过公式：F2-F1＝M*a，其中，M是动组件2和第二力传感器4的总质量，即可计算得出使得第二传感器和动组件2产生加速度a的力的大小。
现有技术中，以负载作用在第二力传感器4的力F2作为动力组件产生加速度a的力，然而，负载作用在第二力传感器4的力F2与使动力组件产生加速度a实际的力并不一致，导致存在系统误差。
而本申请通过设置第一力传感器3检测得到F1，从而可以计算出使得第二传感器和动组件2产生加速度a的实际的力的大小，从而消除了系统误差。
综上可知，本发明提供的直线驱动装置消除了直线驱动装置在动态响应过程中存在的系统误差，从而有利于直线驱动装置运动过程的精确控制。
在一实施例中，如图1所示，定组件1包括电机定子11，动组件2包括电机动子21，电机动子21可活动地连接于电机定子11，且电机定子11能够驱动电机动子21移动。第一力传感器3设于电机定子11远离电机动子21的一端，第二力传感器4设于电机动子21远离电机定子11的一端。电机定子11可以驱动电机动子21沿靠近或者远离电机定子11的方向做直线运动，并且电机定子11和电机动子21的配合精度较高且响应速度较快，从而有利于提高直线驱动装置的移动精度和响应速度。
进一步地，如图1所示，动组件2还包括动平台22，动平台22固设于电机动子21远离电机定子11的一端，第二力传感器4装设于动平台22背离电机定子11的一侧。如此，电机动子21和第二力传感器4分别装设于动平台22的两侧，能够降低动组件2的装配难度，从而提高动组件2的结构紧凑性。定组件1还包括定平台12和支撑架13，支撑架13固设于电机定子11远离电机动子21的一端，定平台12设于支撑架13远离电机定子11的一端，且第一力传感器3夹设于定平台12与支撑架13之间。同样地，通过设置支撑架13，电机定子11和第一力传感器3可分别装设于支撑架13的两端，以能够降低定组件1的装配难度，并提高定组件1的结构紧凑性。定平台12设置在固定物和第一力传感器3之间，避免固定物直接挤压第一力传感器3造成第一力传感器3发生损坏。
具体地，如图1所示，动平台22呈圆盘状，电机动子21和第二力传感器4均通过紧固件可拆卸连接于动平台22的两侧，如此，提高了动组件2装配的灵活性，便于直线驱动装置的拆装。支撑架13内部镂空形成镂空结构，如此，有利于降低直线驱动装置的重量，降低直线驱动装置的制造成本。并且，电机定子11和第一力传感器3均通过紧固件可拆卸连接于支撑架13的两侧，如此，提高了定组件1装配的灵活性，便于直线驱动装置的拆装。
可以理解的是，“第一力传感器3夹设于定平台12与支撑架13之间”指的是第一力传感器3设置在定平台12与支撑架13之间，且第一力传感器3的两端分别与定平台12以及支撑架13接触。从而定平台12与支撑架13不发生直接接触，且定平台12与支撑架13均不对第一力传感器3产生挤压作用，也就是第一力传感器3受力为零。在定组件1的实际装配过程中，如果定平台12与支撑架13对第一力传感器3产生了轻微的挤压作用，此时，可对第一力传感器3进行校准，使得直线驱动装置不受负载的作用时，第一力传感器3显示的受力大小为零。
在一实施例中，如图1所示，支撑架13固设有第一滑动件14，动平台22固设有第二滑动件23，第一滑动件14与第二滑动件23滑动配合。如此，动组件2沿着靠近或远离定组件1的方向移动时，第一滑动件14和第二滑动件23能够为动组件2提供较好的导向作用，避免动组件2的移动方向发生偏离。具体地，第一滑动件14为滑块，第二滑动件23为与滑块活动配合的滑轨，滑轨一端固定连接动平台22，另一端穿过支撑架13并朝向第一力传感器3延伸。直线驱动装置还包括气囊，气囊夹设于滑轨与支撑架13之间。滑轨与滑块的结构较为简单，如此，有利于简化直线驱动装置的结构，降低直线驱动装置的加工难度。而在滑轨与支撑架13之间设置气囊，可使气囊对滑轨产生一定的缓冲作用，减小动组件2朝向定组件1移动时产生的震动，有利于直线驱动装置运行时保持稳定。但不限于此，第一滑动件14还可以是滑轨，第二滑动件23为与滑轨活动配合的滑块。
进一步地，如图1所示，动平台22呈圆形板状，滑轨的数量为多个，且多个滑轨沿着动平台22的周向均匀分布。同样地，多个滑块沿着支撑架13的周向均匀分布。如此，有利于进一步增强第一滑动件14和第二滑动件23的导向作用。
在一实施例中，如图1所示，直线驱动装置还包括拉伸弹簧5，拉伸弹簧5一端连接动平台22，另一端连接支撑架13。拉伸弹簧5能够朝向相对的方向拉紧定组件1和动组件2，如此，有利于提高直线驱动装置的系统刚度，从而使得直线驱动装置受到的负载作用力能够快速传递至第一力传感器3和第二力传感器4，有利于提高直线驱动装置的响应精度。进一步地，动平台22呈圆形板状，拉伸弹簧5的数量为多根，且多根拉伸弹簧5沿着动平台22的周向均匀分布。如此，可使直线驱动装置整体受到的拉伸弹簧5的拉力更加均匀，防止直线驱动装置受力不均产生形变而影响直线驱动装置的使用。
在一实施例中，如图1所示，支撑架13装设有标尺光栅15，动平台22对应标尺光栅15设有光栅读数头24。如此，可精确测出动组件2相对定组件1移动的距离d，而根据胡克定律可知，Fk＝K*d，其中，Fk为拉伸弹簧5的弹力作用，K为拉伸弹簧5的弹性系数。从上述公式可知拉伸弹簧5的弹力变化，有利于直线驱动装置根据拉伸弹簧5的弹力变化对拉伸弹簧5进行调节。但不限于此，在另一实施例中，动平台22装设有标尺光栅15，支撑架13对应标尺光栅15设有光栅读数头24。
第一力传感器3可以是应变式力传感器、电容式力传感器、压电式力传感器或者压阻式力传感器。同样地，第二力传感器4可以是应变式力传感器、电容式力传感器、压电式力传感器或者压阻式力传感器。第一力传感器3和第二力传感器4均具有高动态响应的特性。应变式力传感器具有较高的灵敏度和稳定性。电容式力传感器具有高动态响应的特性，能够快速且精确地检测出力的变化。压电式力传感器结构简单且信噪比较高。压阻式力传感器的价格较低，有利于降低直线驱动装置的制造成本。
本发明还提供一种直线驱动装置系统误差的校正方法，用于校正以上任意一个实施例所述的直线驱动装置的系统误差。该直线驱动装置系统误差的校正方法包括以下步骤：负载作用于第二力传感器4并使得动组件2朝向定组件1移动，且定组件1抵靠在一固定物上，通过第二力传感器4测出负载作用在第二力传感器4的力F2，通过第一力传感器3测出定组件1受到固定物的反作用力F1。通常，会将F1和F2输入至处理器(一般是电脑)内，处理器通过公式：F2-F1＝M*a，得到准确的惯性力为F2-F1，从而得以校正直线驱动装置的系统误差，上述公式中，M是动组件2和第二力传感器4的总质量，a是动组件2和第二力传感器4的加速度。F2-F1的差值即为使得第二传感器和动组件2产生加速度a的实际的力的大小。
以上所述实施方式的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施方式中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
本技术领域的普通技术人员应当认识到，以上的实施方式仅是用来说明本发明，而并非用作为对本发明的限定，只要在本发明的实质精神范围内，对以上实施方式所作的适当改变和变化都落在本发明要求保护的范围内。

Claims (5)

1.一种直线驱动装置，其特征在于，包括
定组件(1)；
动组件(2)，可活动地连接于所述定组件(1)的一端，且所述动组件(2)能够沿靠近或远离所述定组件(1)的方向移动；
第一力传感器(3)，设于所述定组件(1)远离所述动组件(2)的一端，以用于检测由所述定组件(1)朝向所述动组件(2)作用于所述第一力传感器(3)的作用力；
第二力传感器(4)，设于所述动组件(2)远离所述定组件(1)的一端，以用于检测由所述动组件(2)朝向所述定组件(1)作用于所述第二力传感器(4)的作用力；
所述定组件(1)包括电机定子(11)，所述动组件(2)包括电机动子(21)，所述电机动子(21)可活动地连接于所述电机定子(11)，且所述电机定子(11)能够驱动所述电机动子(21)移动；
所述第一力传感器(3)设于所述电机定子(11)远离所述电机动子(21)的一端，第二力传感器(4)设于所述电机动子(21)远离所述电机定子(11)的一端；
所述动组件(2)还包括动平台(22)，所述动平台(22)固设于所述电机动子(21)远离所述电机定子(11)的一端，所述第二力传感器(4)装设于所述动平台(22)背离所述电机定子(11)的一侧；
所述定组件(1)还包括定平台(12)和支撑架(13)，所述支撑架(13)固设于所述电机定子(11)远离所述电机动子(21)的一端，所述定平台(12)设于所述支撑架(13)远离所述电机定子(11)的一端，且所述第一力传感器(3)夹设于所述定平台(12)与所述支撑架(13)之间；
所述支撑架(13)固设有第一滑动件(14)，所述动平台(22)固设有第二滑动件(23)，所述第一滑动件(14)与所述第二滑动件(23)滑动配合；
所述第一滑动件(14)为滑块，所述第二滑动件(23)为与所述滑块活动配合的滑轨，所述滑轨一端固定连接所述动平台(22)，另一端穿过所述支撑架(13)并朝向所述第一力传感器(3)延伸，所述直线驱动装置还包括气囊，所述气囊夹设于所述滑轨与所述支撑架(13)之间；
所述直线驱动装置还包括拉伸弹簧(5)，所述拉伸弹簧(5)一端连接所述动平台(22)，另一端连接所述支撑架(13)。
2.根据权利要求1所述的直线驱动装置，其特征在于，所述支撑架(13)装设有标尺光栅(15)，所述动平台(22)对应所述标尺光栅(15)设有光栅读数头(24)；或者，所述动平台(22)装设有标尺光栅(15)，所述支撑架(13)对应所述标尺光栅(15)设有光栅读数头(24)。
3.根据权利要求1所述的直线驱动装置，其特征在于，所述第一力传感器(3)为应变式力传感器、电容式力传感器、压电式力传感器或者压阻式力传感器。
4.根据权利要求1所述的直线驱动装置，其特征在于，所述第二力传感器(4)为应变式力传感器、电容式力传感器、压电式力传感器或者压阻式力传感器。
5.一种直线驱动装置系统误差的校正方法，用于校正如权利要求1-4任意一项所述的直线驱动装置的系统误差，其特征在于，包括以下步骤：
负载作用于所述第二力传感器(4)并使得所述动组件(2)朝向所述定组件(1)移动，且所述定组件(1)抵靠在一固定物上，通过所述第二力传感器(4)测出负载作用在所述第二力传感器(4)的力F2，通过所述第一力传感器(3)测出所述定组件(1)受到固定物的反作用力F1，
通过公式：F2-F1＝M*a，校正直线驱动装置的系统误差，上述公式中，M是所述动组件(2)和所述第二力传感器(4)的总质量，a是所述动组件(2)和所述第二力传感器(4)的加速度。
CN202110714156.6A 2021-06-25 2021-06-25 直线驱动装置及直线驱动装置系统误差的校正方法 Active CN113484540B (zh)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110714156.6A CN113484540B (zh) 2021-06-25 2021-06-25 直线驱动装置及直线驱动装置系统误差的校正方法
PCT/CN2021/125669 WO2022267278A1 (zh) 2021-06-25 2021-10-22 直线驱动装置及直线驱动装置系统误差的校正方法
US18/542,609 US20240136966A1 (en) 2021-06-25 2023-12-16 Linear drive, and method for correcting systematic error of linear drive

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110714156.6A CN113484540B (zh) 2021-06-25 2021-06-25 直线驱动装置及直线驱动装置系统误差的校正方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN113484540A CN113484540A (zh) 2021-10-08
CN113484540B true CN113484540B (zh) 2024-04-16

Family

ID=77935994

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202110714156.6A Active CN113484540B (zh) 2021-06-25 2021-06-25 直线驱动装置及直线驱动装置系统误差的校正方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US20240136966A1 (zh)
CN (1) CN113484540B (zh)
WO (1) WO2022267278A1 (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113484540B (zh) * 2021-06-25 2024-04-16 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 直线驱动装置及直线驱动装置系统误差的校正方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5250880A (en) * 1992-10-22 1993-10-05 Ford Motor Company Linear motor control system and method
JP2000077503A (ja) * 1998-08-28 2000-03-14 Nikon Corp ステージ装置及び露光装置
CN203133252U (zh) * 2013-03-25 2013-08-14 北京经纬恒润科技有限公司 一种直线步进电机测试设备
CN104678711A (zh) * 2013-11-26 2015-06-03 上海微电子装备有限公司 运动台反力抵消装置
CN110160696A (zh) * 2019-06-10 2019-08-23 珠海格力电器股份有限公司 直线电机推力测试装置及其测试方法
CN111044196A (zh) * 2019-12-30 2020-04-21 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 一种直线电机推力测量装置及测量方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101397060B1 (ko) * 2012-11-29 2014-05-21 숭실대학교산학협력단 반발력 보상장치
TWI628898B (zh) * 2016-12-29 2018-07-01 財團法人工業技術研究院 交互作用力偵測裝置
CN113484540B (zh) * 2021-06-25 2024-04-16 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 直线驱动装置及直线驱动装置系统误差的校正方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5250880A (en) * 1992-10-22 1993-10-05 Ford Motor Company Linear motor control system and method
JP2000077503A (ja) * 1998-08-28 2000-03-14 Nikon Corp ステージ装置及び露光装置
CN203133252U (zh) * 2013-03-25 2013-08-14 北京经纬恒润科技有限公司 一种直线步进电机测试设备
CN104678711A (zh) * 2013-11-26 2015-06-03 上海微电子装备有限公司 运动台反力抵消装置
CN110160696A (zh) * 2019-06-10 2019-08-23 珠海格力电器股份有限公司 直线电机推力测试装置及其测试方法
CN111044196A (zh) * 2019-12-30 2020-04-21 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 一种直线电机推力测量装置及测量方法

Also Published As

Publication number Publication date
US20240136966A1 (en) 2024-04-25
WO2022267278A1 (zh) 2022-12-29
CN113484540A (zh) 2021-10-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9205560B1 (en) System and method for failure detection of a robot actuator
US9863770B2 (en) Vibration-resistant rotation rate sensor
KR101464148B1 (ko) 측정기, 및 측정 오차 보상 방법
US20240136966A1 (en) Linear drive, and method for correcting systematic error of linear drive
US20070089536A1 (en) Strain gauge type sensor and strain gauge type sensor unit using the same
CN109129479B (zh) 一种基于扰动力补偿的刚柔耦合运动平台控制方法
CN102322944A (zh) 三分量振动校准装置
CN107356387A (zh) 一种模态试验中多传感器附加质量消除方法
JP2017096445A (ja) センサ付き転がり軸受
US9110458B2 (en) Positioning control apparatus and machine tool provided therewith
JP6322852B2 (ja) タイヤまたはタイヤ付ホイールの試験装置
CN107976274B (zh) 一种基于同步共振的压力检测装置及检测方法
US8950258B2 (en) Micromechanical angular acceleration sensor and method for measuring an angular acceleration
US5554807A (en) Belt damping
JP5623868B2 (ja) 圧電特性計測システムおよび圧電特性計測方法
CN116754107B (zh) 具有放大结构的高灵敏度谐振压力传感器及信号调理方法
US20220214238A1 (en) Devices and methods for monitoring health and performance of a mechanical system
CN111457875A (zh) 一种基于线性位移传感器的多功能检测方法及装置
CN202204593U (zh) 三分量振动校准装置
CN111044196A (zh) 一种直线电机推力测量装置及测量方法
CN106061638B (zh) 弯扳机
EP0622317B1 (en) Sheet handling device
JP4033119B2 (ja) 材料の試験方法、材料試験機
JP5769587B2 (ja) 圧電特性計測システム
Qin et al. Design and calibration of a novel piezoelectric six-axis force/torque sensor

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant