CN113478383B - 定位装置及研磨辅助系统 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种定位装置及研磨辅助系统，定位装置包括间隔设置的第一夹持件和第二夹持件，第一夹持件与第二夹持件相对的面上均设有夹持槽，夹持槽之间形成用于夹持基板的夹持空间，夹持空间沿夹持槽的延伸方向具有第一开口和第二开口；当基板位于夹持空间且处于未锁紧状态时，基板平行于夹持槽延伸方向的第一侧边和第二侧边分别抵靠夹持槽，基板垂直于夹持槽延伸方向的第三侧边与第一开口齐平；以及调距组件，用于沿所述夹持槽的延伸方向调整所述基板在所述夹持空间中的位置。本申请的定位装置实现了基板待研磨凸点中心的精确、方便定位，为准确获取基板凸点中心断面奠定了基础。

Description

定位装置及研磨辅助系统

技术领域

本申请一般涉及半导体封装技术领域，具体涉及一种定位装置及研磨辅助系统。

背景技术

微电子封装中互联凸点承担着电气连接、热耗散和机械连接等重要作用，元器件凸点与基板凸点之间的互联失效是导致芯片失效的主要因素之一，其中，基板凸点的可靠性直接影响互联性能，决定着电子产品使用寿命。

基板凸点的中心断面常被用来评价基板凸点的可靠性，通过测量凸点中心断面的宽度、凸点中心断面与阻焊开口之间的距离和阻焊开口大小等数据，以及观察凸点中心断面是否存在空洞或气孔，可以对基板凸点的设计合理性进行评估，进而实现对基板可靠性的评价。因此，通过精准研磨获得凸点中心断面对评估基板凸点设计合理性至关重要。

现有技术中主要是通过光学显微镜目视方法确定凸点的中心位置，存在误差大、难以精准定位、操作繁琐的缺点，导致所得断面数据与真实值存在偏差；且研磨过程中基板凸点的水平方向不易控制，容易产生水平方向的偏离，使得无法精准获得凸点中心断面。

发明内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，本申请期望提供一种定位装置及研磨辅助系统，以期精准、方便地获取基板凸点的中心断面。

作为本申请的第一方面，本申请提供一种定位装置，用于定位基板上待研磨凸点的中心。

作为优选，所述定位装置包括：

间隔设置的第一夹持件和第二夹持件，所述第一夹持件与所述第二夹持件相对的面上均设有夹持槽，所述夹持槽之间形成用于夹持基板的夹持空间，所述夹持空间沿所述夹持槽的延伸方向具有第一开口和第二开口，且所述第一夹持件和第二夹持件上均设有用于锁紧所述基板的锁紧孔；当所述基板位于所述夹持空间且处于未锁紧状态时，所述基板平行于所述夹持槽延伸方向的第一侧边和第二侧边分别抵靠所述夹持槽，所述基板垂直于所述夹持槽延伸方向的第三侧边与所述第一开口齐平；以及

调距组件，用于沿所述夹持槽的延伸方向调整所述基板在所述夹持空间中的位置。

作为优选，所述调距组件包括螺杆和螺接在所述螺杆上的套筒，所述螺杆的一端设有旋钮，另一端设有用于抵接所述基板与第三侧边相对的侧边的推板；

通过旋转所述旋钮使得所述螺杆前进，并带动所述推板推动所述基板沿所述夹持槽的延伸方向移动。

作为优选，所述推板活动地设置于所述夹持空间内，能够沿所述夹持槽移动。

作为优选，所述定位装置还包括间隔设置的第一固定座和第二固定座，所述第一夹持件可拆卸地连接于所述第一固定座，所述第二夹持件可拆卸地连接于所述第二固定座，所述第一固定座和第二固定座可移动，用于调整所述夹持槽之间的距离。

作为优选，所述第一固定座和第二固定座上均设有开口向上的放置槽，所述第一夹持件和第二夹持件设置于所述放置槽中。

作为优选，所述定位装置还包括底座，所述底座的上表面设有延伸方向垂直于所述夹持槽的延伸方向的直线导槽，所述第一固定座和第二固定座的下表面具有相匹配的导块。

作为优选，所述直线导槽的两端具有用于调整所述第一固定座与第二固定座之间距离，并限制所述第一固定座和第二固定座沿直线导槽向远离彼此的方向移动的限位件，所述限位件的端部抵靠所述导块，使得所述夹持槽之间的距离成为设定值。

作为本申请的第二方面，本申请提供一种研磨辅助系统，用于辅助研磨设备，准确获取基板凸点的中心断面。

作为优选，所述研磨辅助系统包括第一方面所述的定位装置。

作为优选，所述研磨辅助系统还包括用于测量所述基板在所述夹持空间中位置的测距装置。

作为优选，所述研磨辅助系统还包括用于检测所述基板在研磨过程中是否处于水平状态的水平指示装置，所述水平指示装置包括两个对称的水平臂，两个所述水平臂中的一者连接于所述第一夹持件，另一者连接于所述第二夹持件；且两个所述水平臂相对于所述夹持空间的垂直中心线对称分布。

本申请的有益效果：

本申请的定位装置实现了基板待研磨凸点中心的精确、方便定位，为准确获取基板凸点中心断面奠定了基础；

本申请的研磨辅助系统不仅能够实现待研磨凸点中心的精确、方便定位，而且在研磨过程中能实时监测基板是否发生水平方向的倾斜，实现了基板凸点中心断面的精准研磨。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为基板及基板凸点的机构示意图；

图2为基板第三侧边与基板凸点中心之间距离L的示意图；

图3本申请一种实施方式的定位装置的结构示意图；

图4为第一夹持件和第二夹持件的结构示意图；

图5为第一固定座和第二固定座的结构示意图；

图6为底座的结构示意图；

图7为本申请一种实施方式的研磨辅助系统的结构示意图；

图8为第一夹持件和第二夹持件连接水平指示装置的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与发明相关的部分。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度、“厚度”、“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

需要说明的是，在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。

需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中，基板凸点中心断面是指凸点直径最大处的横截面，即凸点面积最大的横截面。

如图1所示，基板1上通常设有多个凸点(也可称之为凸块)，多个凸点在基板的一面或两面平行于基板的宽度方向形成为多行，特别地位于基板用于连接元器件(例如芯片)的C4区域(方框所示的区域)，当需要对凸点的设计合理性进行评估时，通常是对感兴趣的一排凸点进行研磨，以获取这一排凸点的中心断面，其中，准确定位待研磨凸点的中心是精准获取中心断面的基础。在本申请，定位待研磨凸点的中心可以是指获取某一个凸点的顶部中心或某一个凸点的水平中心线，也可以是指获取某一排凸点的水平中心线，优选是指获取某一排凸点的水平中心线(如虚线所示)。

具体地，所述基板1具有本领域的常规结构，如图1所示，所述基板1为矩形板状结构，其具有相对设置的第一侧边11和第二侧边12，以及位于所述第一侧边11和第二侧边12之间且间隔设置的第三侧边13和第四侧边14，其中，第一侧边11和第二侧边12之间的距离等于基板的宽度，第三侧边13和第四侧边14之间的距离等于基板的长度；待研磨凸点为平行于基板宽度方向的一排凸点，其中，如图2所示，待研磨凸点的中心与第三侧边13的距离为L，定位待研磨凸点中心即确定位于一条直线上的一排凸点的水平中心线。

根据本申请的第一方面，请参照图3至图6，示出了本申请一种优选的实施方式的定位装置，包括第一夹持件21、第二夹持件22和调距组件4，第一夹持件21和第二夹持件22间隔设置，所述第一夹持件21与所述第二夹持件22相对的面上均设有夹持槽，所述夹持槽之间形成用于夹持基板1的夹持空间3，所述夹持空间3沿所述夹持槽的延伸方向具有第一开口31和第二开口32，且所述第一夹持件21和第二夹持件22上均设有用于锁紧所述基板1的锁紧孔23；

当所述基板1位于所述夹持空间3且处于未锁紧状态时，所述基板1平行于所述夹持槽延伸方向的第一侧边11和第二侧边12分别抵靠所述夹持槽，所述基板1垂直于所述夹持槽延伸方向的第三侧边13与所述第一开口31齐平；

所述调距组件4用于沿所述夹持槽的延伸方向调整所述基板1在所述夹持空间3中的位置。

具体地，如图3和图4所示，所述第一夹持件21和第二夹持件22呈U型结构，第一夹持件21具有矩形夹持槽210，第二夹持件22具有矩形夹持槽220，第一夹持件21和第二夹持件22具有夹持槽的一面相对设置，在夹持槽210和夹持槽220之间形成夹持空间3，该夹持空间3的形状与基板1的形状匹配；其中，夹持槽的长度可以等于或大于或小于基板1的长度，夹持槽的高度大于基板1的厚度；当基板以其长度方向平行于夹持槽延伸方向的形式被水平地放置在所述夹持空间3后，基板1的第一侧边11抵靠夹持槽210的内壁面，第二侧边12抵靠夹持槽220的内壁面，基板的第三侧边13与夹持空间3的第一开口31齐平，此时，若夹持槽的长度等于基板的长度，基板的第四侧边14与第二开口32齐平；或夹持槽的长度大于基板的长度，基板的第四侧边14位于夹持空间3内；若夹持槽的长度小于基板的长度，基板的第四侧边14伸出第二开口32。在另一些方式中，优选夹持槽的长度大于基板1的长度。

示例性地，第一夹持件21具有第一侧壁211、第二侧壁212和底壁213，第一侧壁211和第二侧壁212竖直分布在底壁213的两侧，从而形成具有矩形夹持槽210的U型结构；锁紧孔23开设于第一侧壁211上，当基板1被设置在夹持空间3中时，基板1的下表面抵靠第二侧壁212的内壁面，锁紧件穿过锁紧孔23抵靠在基板1的上表面，将基板1固定在夹持空间3中；其中，第一侧壁211与第二侧壁212之间的距离大于基板1的厚度，基板1被固定后，基板1的上表面与第一侧壁211之间具有足够的空隙，便于对分布于基板上表面的凸点进行研磨；第二夹持件22的结构与第一夹持件类似，不在一一赘述。

具体地，在获取待研磨凸点中心与第三侧边的距离L后，也即在获取待研磨的一排凸点的水平中心线与第三侧边的距离L后，使用调距组件4在基板1的第四侧边14向基板1施加推力，基板1沿夹持槽向远离第一开口31的方向移动，使第三侧边13伸出第一开口31，其中，第三侧边13伸出第一开口31的距离等于第三侧边13与待研磨凸点中心之间的距离L，此时，待研磨的那一排感兴趣凸点的水平中心线与第一开口31齐平，实现了基板在夹持空间中相对位置的调整，也即实现了待研磨凸点中心的定位；

进一步地，在完成了待研磨凸点中心的定位后，通过与锁紧孔23相匹配的锁紧件将基板1固定在夹持空间3中，然后借助本领域常用的研磨工具对水平中心线与第一开口31齐平的那排凸点进行研磨以获取该排凸点的中心断面，通过将基板1锁紧固定在夹持空间3中能够防止基板1在研磨过程中发生移动，避免已定位好的研磨中心发生偏移，保证了研磨的准确性。其中，锁紧孔23可以为螺纹孔或销孔，锁紧件可以为螺栓或定位销，锁紧孔23的数量可以为1个、2个或多个。

可以理解的是，当多个凸点以成行成列的形式阵列于基板1上时，本申请的定位装置同样适用于定位平行于基板1长度方向的一列凸点的中心，操作过程如上。

进一步地，在本申请一些优选的实施方式中，如图3所示，所述调距组件4包括螺杆(图中未示出)和螺接在所述螺杆上的套筒41，所述螺杆的一端设有旋钮42，另一端设有用于抵接所述基板1与第三侧边13相对的侧边的推板43；

通过旋转所述旋钮42使得所述螺杆前进，并带动所述推板43推动所述基板1沿所述夹持槽的延伸方向移动。

具体地，所述调距组件4根据螺旋千分尺的原理制成，在使用时，操作人员手持所述调距组件，并旋转旋钮42，当螺杆在套筒41中旋转一周，螺杆便沿着旋转轴线方向前进一个螺距的距离，其中，一个螺距被设定成固定值，使得推板43能够推动基板1在夹持空间3中移动固定的距离，具有调距精度高的优点。

在一些优选的方式中，一个螺距被设定成等于第三侧边13与待研磨凸点中心之间的距离L；在使用时，所述推板43抵接基板1的第四侧边14，螺杆带动推板43前进，在基板1的第四侧边14施加向前的推力，从而使得基板1向远离第一开口31的方向发生移动距离等于L的移动，使得待研磨的一排凸点的水平中心线与第一开口31齐平。

在另一些方式中，一个螺距可以被设定为其他任意的固定数值，旋钮连续旋转2圈、或3圈或4圈.......后，使推板43推动基板1前进的总距离等于第三侧边13与待研磨凸点中心之间的距离L，即可以根据实际应用情况设定螺杆的前进距离，以多样化、方便地定位待研磨凸点中心。

在本实施方式中，所述调距组件4形成为单独的元件；其中，推板43的材质优选为陶瓷，其在推动基板1移动过程中不会使基板1产生物理性损伤。

进一步地，在本申请一些优选的实施方式中，所述推板43活动地设置于所述夹持空间3内，能够沿所述夹持槽移动。

具体地，所述推板43的尺寸小于所述夹持空间3的尺寸，能够沿所述夹持槽在夹持空间3内自由移动，以实现任意一排待研磨凸点的定位。推板43的形状不受限制，只要能足以抵接基板的第四侧边14即可；优选推板43为宽度等于基板1宽度的矩形板状结构，且优选基板1的长度小于夹持槽的长度，当推板43抵持在基板1的第四侧板14时，推板43位于夹持空间3内，夹持槽对推板43发挥一定的限位支撑作用，此时，推板43能够在推动基板1移动过程中向基板1施加均匀的作用力，防止基板1受力不均匀发生偏移，导致待研磨的一排凸点的水平中心线定位不准确。

进一步地，在本申请一些优选的实施方式中，如图3和图5所示，所述定位装置还包括间隔设置的第一固定座51和第二固定座52，所述第一夹持件21可拆卸地连接于所述第一固定座51，所述第二夹持件22可拆卸地连接于所述第二固定座52，所述第一固定座51和第二固定座52可移动，用于调整所述夹持槽之间的距离。

具体地，所述第一夹持件21连接于第一固定座51，所述第二夹持件22连接于第二固定座52，第一固定座51和第二固定座52可相对于彼此移动，使得第一夹持件21与第二夹持件22之间的距离被改变，从而使得夹持槽210和夹持槽220之间的距离改变，形成宽度不同的夹持空间3以适应不同宽度的基板。

其中，在第一固定座51和第二固定座52上分别具有用于固定第一夹持件21和第二夹持件22的固定孔53，通过诸如螺栓或定位销等固定件实现第一夹持件21和第二夹持件22的固定。

进一步地，在本申请一些优选的实施方式中，如图3所示，所述第一固定座51和第二固定座52上均设有开口向上的放置槽，所述第一夹持件21和第二夹持件22设置于所述放置槽中。

具体地，所述第一固定座51和第二固定座52呈U型结构，分别具有矩形放置槽，所述第一夹持件21设置于第一固定座51的放置槽510中，所述第二夹持件22设置于第二固定座52的放置槽520中，且第一夹持件21和第二夹持件22具有夹持槽的一面相对设置；

示例性地，如图5所示，第一固定座51具有第一侧板511、第二侧板512和底板513，第一侧板511和第二侧板512竖直分布在底板513的两侧形成具有矩形放置槽510的U型结构，第一固定座51以放置槽510开口朝上的形式被设置，第一夹持件21的第二侧壁212插接于第一固定座51的放置槽510中，且所述放置槽510的尺寸与第一夹持件21的第二侧壁212的尺寸相当，即放置槽510的宽度等于第二侧壁212的高度，放置槽510的高度(或深度)等于第二侧壁212的厚度，此时，第一夹持件21的第二侧壁212的外壁面抵靠第一固定座51的底板513，第一夹持件21的第二侧壁212的顶面抵靠第一固定座51的第一侧板511的内壁面，第一夹持件21的底壁213抵靠第一固定座51的第二侧板512，在第一固定座51的第二侧板512上开设有固定孔53，在第一夹持件21的底壁213上开设有与所述固定孔53相对应的安装孔214，通过诸如螺栓或定位销等固定件将第一夹持件21固定于第一固定座51，且第一夹持件21的第二侧壁212的内壁面与第一固定座51的第一侧板511的顶面处于同一水平面，使得基板被水平地设置于夹持空间3中；其中，固定孔53的数量可以为2个或多个；第二固定座52的结构以及第二夹持件22与第二固定座52的连接方式与上述类似，不再一一赘述。

进一步地，在本申请一些优选的实施方式中，如图3和图6所示，所述定位装置还包括底座6，所述底座6的上表面设有延伸方向垂直于所述夹持槽的延伸方向的直线导槽61，所述第一固定座51和第二固定座52的下表面具有相匹配的导块54。

具体地，底座6的上表面开设有水平的直线导槽61，第一固定座51和第二固定座52的导块54插接于直线导槽61中，使得第一固定座51和第二固定座52能够沿直线导槽61在底座上水平滑动，夹持槽之间的距离随之被改变；

示例性地，在底座6的上表面沿底座的长度方向开设有两个相互平行的直线导槽61，在第一固定座51和第二固定座52的下表面具有相匹配的两个导块54。

进一步地，在本申请一些优选的实施方式中，如图3和图6所示，所述直线导槽61的两端具有用于调整所述第一固定座51与第二固定座52之间距离，并限制所述第一固定座51和第二固定座51沿直线导槽61向远离彼此的方向移动的限位件7，所述限位件7的端部73抵靠所述导块54，使得所述夹持槽之间的距离成为设定值。

具体地，所述限位件7具有限位杆71及设于限位杆71一个端部的限位凸起72，在直线导槽61两端的底座上设有通孔62，所述限位杆71穿过所述通孔62，使限位杆71与限位凸起72相对的端部73进入直线导槽61，该端部73用于抵靠所述导块54，使第一固定座51和第二固定座52被限定在特定的位置；在调整第一固定座51与第二固定座52之间距离时，两个限位件7的端部73分别抵靠第一固定座51和第二固定座52的导块54，随着限位杆71不断进入直线导槽61，第一固定座51和第二固定座52在限位件7的推动下不断靠近，当夹持槽之间的距离达到设定值，限位件7停止运动，第一固定座51和第二固定座52被限制且无法沿直线导槽向远离彼此的方向移动。

在一些优选的方式中，所述限位件7为机械螺栓，所述安装孔62为相匹配的螺纹孔。

本申请的定位装置的使用方法如下：

1)将第一夹持件21固定于第一固定座51，将第二夹持件22固定于第二固定座52；

2)将第一固定座51和第二固定座52连接于底座6，并插入限位件7，限位件7的端部73抵靠在第一固定座51和第二固定座52的导块54上，限位件7向伸入直线导槽61的方向移动，推动第一固定座51和第二固定座52沿直线导槽61向靠近彼此的方向移动，当第一夹持件21的夹持槽210与第二夹持件22的夹持槽220之间的距离等于基板1的第一侧边11和第二侧边12之间的距离时，停止移动限位件7；

3)将基板1从夹持空间3的第一开口31或第二开口32平行地插入夹持空间3，并使基板1的第三侧边13与第一开口31齐平；

4)推板43抵靠基板1的第四侧边14，旋钮42旋转一周，推板43推动基板1沿夹持槽向远离第一开口31的方向前进一个螺距，使第三侧边13伸出第一开口31的距离等于第三侧边13与待研磨凸点中心之间的距离L；

5)使用锁紧件将基板1固定于夹持空间3中；

6)将固定有基板1的第一夹持件21和第二夹持件22从第一固定座51和第二固定座52上拆卸，放入研磨设备中对基板凸点进行研磨。

根据本申请的第二方面，本申请提供一种研磨辅助系统，用于辅助研磨设备，准确获取基板凸点的中心断面。

所述研磨辅助系统包括如上所述的定位装置。

进一步地，如图7所示，所述研磨辅助系统还包括用于测量测量所述基板在所述夹持空间中位置的测距装置8。

具体地，所述测距装置8为高精度测量仪，其通过测量基板1的第三侧板13与第一开口31之间的距离来确定基板在夹持空间3中的位置，在初始状态下，第三侧边13与第一开口31齐平，基板位置发生调整后，第三侧边13伸出第一开口31一定距离；此外，测距装置8还用于测量所述第三侧边13与待研磨凸点中心之间的距离L，基板1第一侧边11与第二侧边12之间的距离，两个夹持槽之间的距离以及第三侧边13伸出第一开口31的距离等，以保证凸点中心定位的准确性。

进一步地，如图8所示，所述研磨辅助系统还包括用于检测所述基板在研磨过程中是否处于水平状态的水平指示装置9，所述水平指示装置9包括两个对称的水平臂91，两个所述水平臂91中的一者连接于所述第一夹持件21，另一者连接于所述第二夹持件22。

具体地，所述水平指示装置9为U型水平仪，其具有两个对称的水平臂91，两个水平臂91中空且相互连通，水平臂91内填充有液体，通过观察两个水平臂91的液位是否处于同一水平面即可方便地判断基板在研磨过程中是否处于水平状态，有效预防在研磨过程中可能发生的偏移，保证了研磨的精度和准确性；

具体地，水平指示装置9连接于第一夹持件21和第二夹持件22的第二侧壁的外壁面上，使得两个水平臂91相对于夹持空间3的垂直中心线对称分布。水平指示装置9可通过适当的任何方式被可拆卸地连接于第一夹持件21和第二夹持件22，例如粘接或螺接等形式。在进行研磨时，操作人员面对水平指示装置，通过观察两个水平臂91中的液位，保证研磨的水平性。

本申请的研磨辅助系统的使用方法如下：

1)采用测距装置8获取基板第一侧边11和第二侧边12之间的距离(即获取基板的宽度)以及基板第三侧边13与待研磨凸点中心之间的距离L(即待研磨的一排凸点的水平中心线与基板第三侧边之间的距离)；

2)将第一夹持件21固定于第一固定座51，将第二夹持件22固定于第二固定座52；

3)将第一固定座52和第二固定座53连接于底座6，并插入限位件7，限位件7的端部73抵靠在第一固定座51和第二固定座52的导块54上，限位件7向伸入直线导槽61的方向移动，推动第一固定座51和第二固定座52沿直线导槽61向靠近彼此的方向移动，测距装置8测量第一夹持件21的夹持槽210与第二夹持件22的夹持槽220之间的距离，当两个夹持槽之间的等于基板的第一侧边11和第二侧边12之间的距离时，停止移动限位件7；

4)将基板1从夹持空间3的第一开口31或第二开口32平行地插入夹持空间3，并使基板的第三侧边13与第一开口31齐平；

5)推板43抵靠基板的第四侧边14，旋钮52旋转一周，推板43推动基板1沿夹持槽向远离第一开口31的方向前进一个螺距，使第三侧边13伸出第一开口31的距离等于第三侧边13与待研磨凸点中心之间的距离L；并使用测距装置8测量第三侧边13伸出第一开口31的距离是否等于第三侧边13与待研磨凸点中心之间的距离L，若不相等则进一步借助调距组件4调整距离，直到满足要求；

6)使用锁紧件将基板1固定于夹持空间3中；

7)将固定有基板1的第一夹持件21和第二夹持件22从第一固定座51和第二固定座52上拆卸，并将水平指示装置9连接于第一夹持件21和第二夹持件22上，然后将固定有基板1和水平指示装置9的第一夹持件21和第二夹持件22放入研磨设备中对基板凸点进行研磨。

本申请的研磨辅助系统通过定位装置方便、精确地实现了待研磨凸点中心的定位，通过高精度测距装置保障了定位的准确性，通过水平指示装置保证了研磨的水平性，使得能够高精度、高准确度、方便地获取待研磨凸点的中心断面；并且第一固定座和第二固定座可移动，使得本申请的研磨辅助系统不仅能够适用于多种尺寸的基板，而且可以满足阵列于同一基板上的某一排或某一列的凸点的研磨。

以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本申请中所涉及的发明范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离所述发明构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。

Claims (9)

1.一种定位装置，用于定位基板上待研磨凸点的中心，其特征在于，包括：

间隔设置的第一夹持件和第二夹持件，所述第一夹持件与所述第二夹持件相对的面上均设有夹持槽，所述夹持槽之间形成用于夹持基板的夹持空间，所述夹持空间沿所述夹持槽的延伸方向具有第一开口和第二开口，且所述第一夹持件和第二夹持件上均设有用于锁紧所述基板的锁紧孔；当所述基板位于所述夹持空间且处于未锁紧状态时，所述基板平行于所述夹持槽延伸方向的第一侧边和第二侧边分别抵靠所述夹持槽，所述基板垂直于所述夹持槽延伸方向的第三侧边与所述第一开口齐平；以及

调距组件，用于沿所述夹持槽的延伸方向调整所述基板在所述夹持空间中的位置；

所述调距组件包括螺杆和螺接在所述螺杆上的套筒，所述螺杆的一端设有旋钮，另一端设有用于抵接所述基板与第三侧边相对的侧边的推板；

通过旋转所述旋钮使得所述螺杆前进，并带动所述推板推动所述基板沿所述夹持槽的延伸方向移动，所述基板移动的距离等于第三侧边与待研磨凸点中心之间的距离。

2.根据权利要求1所述的定位装置，其特征在于，所述推板活动地设置于所述夹持空间内，能够沿所述夹持槽移动。

3.根据权利要求1所述的定位装置，其特征在于，还包括间隔设置的第一固定座和第二固定座，所述第一夹持件可拆卸地连接于所述第一固定座，所述第二夹持件可拆卸地连接于所述第二固定座，所述第一固定座和第二固定座可移动，用于调整所述夹持槽之间的距离。

4.根据权利要求3所述的定位装置，其特征在于，所述第一固定座和第二固定座上均设有开口向上的放置槽，所述第一夹持件和第二夹持件设置于所述放置槽中。

5.根据权利要求3所述的定位装置，其特征在于，还包括底座，所述底座的上表面设有延伸方向垂直于所述夹持槽的延伸方向的直线导槽，所述第一固定座和第二固定座的下表面具有相匹配的导块。

6.根据权利要求5所述的定位装置，其特征在于，所述直线导槽的两端具有用于调整所述第一固定座与第二固定座之间距离，并限制所述第一固定座和第二固定座沿直线导槽向远离彼此的方向移动的限位件，所述限位件的端部抵靠所述导块，使得所述夹持槽之间的距离成为设定值。

7.一种研磨辅助系统，其特征在于，包括权利要求1至6任一项所述的定位装置。

8.根据权利要求7所述的研磨辅助系统，其特征在于，还包括用于测量所述基板在所述夹持空间中位置的测距装置。

9.根据权利要求8所述的研磨辅助系统，其特征在于，还包括用于检测所述基板在研磨过程中是否处于水平状态的水平指示装置，所述水平指示装置包括两个对称的水平臂，两个所述水平臂中的一者连接于所述第一夹持件，另一者连接于所述第二夹持件，且两个所述水平臂相对于所述夹持空间的垂直中心线对称分布。

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