CN113474588A - 具有密封口的通用管桩柱塞 - Google Patents

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Abstract

一种流体基板，包括：歧管，其包括圆形开口；管桩柱塞，其在该圆形开口处与歧管耦接，其中，防旋转特征防止管桩柱塞相对于歧管旋转。

Description

具有密封口的通用管桩柱塞
技术领域
本申请涉及流体输送系统，更特别地涉及用于半导体加工和石油化工工业中的极端流速和/或高温表面安装流体输送系统。
背景技术
流体输送系统用于许多现代工业工艺中，用于调节和操纵流体流动以提供将所需物质受控进入所述工艺中。从业者已经开发了一类完整的流体输送系统，其具有可拆卸地附接至包含流体通道导管的流动基板的流体处理部件。这种流动基板的布置建立了流动顺序，通过该流动顺序，流体处理部件能提供期望的流体调节和控制。这种流动基板和可拆卸式流体处理部件之间的接合部是标准化的，几乎没有变化。这种流体输送系统设计通常被描述为模块化或表面安装系统。表面安装流体输送系统的代表性应用包括用在半导体制造设备中使用的气体面板和用在石化精炼中的采样系统。用于执行制造半导体的工艺步骤的许多类型的制造设备统称为工具。本申请的实施例总体上涉及用于半导体加工的流体输送系统，并具体涉及特别适用于极端流速和/或高温应用中(其中工艺流体将被加热至高于环境温度)的表面安装流体输送系统。本申请的各方面适用于表面安装流体输送系统设计，无论是局部性质还是分布在半导体加工工具周围。
工业上的工艺流体输送系统具有流体通路导管，该导管由根据其机械特性和与所输送的流体潜在的化学相互作用的考虑而选择的材料进行制造。不锈钢通常被选择用于耐腐蚀性和坚固性，但是在更关注成本和制造的便利性的一些情况下，铝或黄铜可能是适合的。在流体可能受到离子污染而将排除使用金属的应用中，流体通路也可以由聚合物材料构成。将流体处理部件密封地接合至流动基板流体通路导管的方法通常在特定的表面安装系统设计中是标准化的，以使不同部件类型的数量最小化。大多数接合方法使用介于流体部件和它所附接的流动基板之间的可变形垫圈。垫圈可以是简单的弹性体O形环或专门的金属密封环，例如美国专利No.5,803,507和美国专利No.6,357,760中所见的那样。在半导体制造设备中提供高纯度流体的受控输送自半导体电子工业开始以来一直受到关注，而主要使用金属密封件的流体输送系统的构造是一个早期发展。一个合适的波纹管密封阀的早期示例见于美国专利No.3,278,156，而广泛使用的用于连接流体导管的
Figure BDA0003116741430000021
配件见于美国专利No.3,521,910，以及一个典型的早期隔膜密封阀见于例如美国专利No.5,730,423。最近的光伏太阳能电池制造中的商业兴趣，其纯度要求没有制造最新的微处理器器件所需的那么严格，可能会使流体输送系统回到使用弹性体密封件。
一组流体处理部件被组装成用于处理单一流体种类的序列，此序列常被称为气棒。由几个气棒组成设备子系统，旨在向特定的半导体处理腔室输送工艺流体，其通常被称为气体面板。在1990年代，一些发明者通过创建气棒来解决气体面板可维护性和尺寸的问题，其中一般的流体流动通路由无源金属结构组成，包含工艺流体在其中移动的导管，阀门和类似的有源(和无源)流体处理部件可拆卸地附接到其上。无源流体流动通路元件有各种称呼：歧管、基板、块等，即使在单个发明人的工作中也有一些不一致的用法。本申请选择使用术语流动基板或歧管来指含有一个或多个无源流体流动通路的各种流体输送系统元件，该流体流动通路上可能安装有其它流体处理装置。
本申请的目的是提供一种用于流体输送基板的带密封口的通用管桩柱塞。由于在安装和使用期间施加到管桩的外力，焊接桩容易产生裂纹和泄漏。
在基板和歧管上机加工管和/或管桩的成本很高，因为需要去除大量材料以形成管桩。添加一个外部模块，用螺栓连接到基板或歧管的端部，将增加其成本、长度和复杂性。
与流体输送基板相关的附加信息可在美国专利NO.8,496,029中找到，该专利通过引用结合于此，如同在此完全陈述一样。
发明内容
本申请提供了一种方案，以解决当管桩被焊接到气体和流体基板时流动控制系统的设计和实施中的缺陷。
本申请使得用户能够将气体和流体基板和歧管连接到其它流体基座和歧管，连接更牢固、成本更低。
附图说明
图1A-F示出了与本申请的实施例一致的具有管桩柱塞(tube stub plug)和第一防旋转特征的示例性歧管。
图2A-F示出了与本申请的实施例一致的具有管桩柱塞和第二防旋转特征的示例性歧管。
图3A-B示出了与本申请的实施例一致的具有管桩柱塞和第三防旋转特征的示例性歧管。
图4A-B示出了与本申请的实施例一致的具有不是圆形的管桩柱塞的示例性歧管的一部分。
图5A-B示出了与本申请的实施例一致的具有管桩柱塞的示例性歧管，该管桩柱塞具有靠近歧管的管桩侧的台阶部。
图6A-B示出了与本申请的实施例一致的具有管桩柱塞的示例性歧管，该管桩柱塞具有靠近歧管的密封表面侧的台阶部。
图7A-B示出了与本申请的实施例一致的具有管桩柱塞的示例性歧管，该管桩柱塞具有靠近歧管的管桩侧的台阶部，其中管桩柱塞使用螺纹连接固定到歧管。
图8A-F示出了与本申请的实施例一致的具有歧管的示例性管桩柱塞。
具体实施方式
本申请使用具有在一端处具有桩并在另一端处具有密封的单独的柱塞。穿过基板或歧管的开口可以接纳管桩柱塞。管桩将使端口能够连接其它歧管或处理和输送气体和流体，同时还在部件安装侧提供表面安装密封。
管桩柱塞的不同材料和构造和在基板和歧管上的容置(receptacle)位置可取决于配置、应用和使用这些配置的行业。
图1A-E示出了与本申请的实施例一致的示例性歧管和管桩柱塞组件和第一防旋转特征。第一实施例可以包括具有歧管102的歧管和管桩柱塞组件100，歧管102具有管桩柱塞孔104和圆形管桩柱塞106，管桩柱塞106的一端具有管桩108并且在另一端具有密封表面110。管桩柱塞孔104可机加工穿过歧管102(参见图1B)。应注意，该布置还可应用于可与歧管102连接的基板(例如，对于本文描述的任何内容，术语“基板”可以替代为“歧管”)中的孔/管桩(在图1A-E中未示出)。
可以在管桩柱塞106的顶部上机加工防旋转止动螺纹开口112，以保持密封端口(作为歧管102的一部分)的密封表面110相对于歧管上的其它密封端口(未在图1A-B中示出)的位置，同时还保持与顶面对齐。防旋转销114(参见图1E)可插入到防旋转止动螺纹开口112中。
定位板(图1A-E中未示出)可以安装到歧管(例如，歧管102)的密封侧，以保证管桩柱塞(例如，管桩柱塞106)相对于其它密封表面(即，密封表面110和基板上的对应密封表面(未示出))的平坦度和取向(即，角度)。在构造期间，可将紧固件通过定位板中的孔插入歧管上的对应孔中，以使管桩柱塞抵靠定位板，同时在管桩柱塞固定到歧管(例如，焊接，或以某种其它方式固定)时，还将管桩柱塞和其它密封件(未示出)的角度对准在期望位置和/或取向上。
组件100的歧管(例如，歧管102)和管桩柱塞(例如，管桩柱塞106)可定位成用于添加焊缝116以增加额外强度，并进一步锁定管桩柱塞的位置和取向，并密封管桩柱塞和歧管(或基板(未示出))之间的接头(joint)，所述管桩柱塞暴露于焊接过程。焊缝可以是围绕歧管和管桩柱塞的整个接合部(在歧管的表面处)的连续焊缝(例如，参见图1D-E中的焊缝116A；图2E中的焊缝216A)或在接合部的不同位置处的一个或多个定位焊点(例如，参见图2A-D和2F中的焊点216B)。
在管桩柱塞的焊接之后，可移除歧管(或基板)的另一侧的对准固定装置。焊接工艺可以包括例如电子束、激光、手动焊接和适合于应用的其他标准工业使用的焊接工艺。该实施例的益处包括在压力施加到管时(例如，在力施加在管的一部分时)，通过使用基板和歧管的整个主体来支撑管和/或管-基板接头，从而增加管的强度。与单独安装在基板或歧管端部的主体相比，该实施例还可以导致更低的成本。
图2A-F示出了与本申请的实施例一致的示例性歧管和管桩柱塞组件和第二防旋转特征。第二实施例可以包括具有歧管202的歧管和管桩柱塞组件200，歧管202具有管桩柱塞孔204和圆形管桩柱塞206，管桩柱塞206在一端具有管桩208并且在另一端具有密封表面210。管桩柱塞孔204可机加工穿过歧管202。类似于实施例1，防旋转孔212可以钻透管桩柱塞主体以保持密封端口相对于基板和歧管上的其它密封端口的位置。固定装置(图2A-F中未示出)可用于保持密封表面与基板和歧管上的其它密封表面对齐。应当注意，这种布置也可以应用于可与歧管202连接的基板(例如，对于本文描述的任何内容，术语“基板”可以替代为“歧管”)中的孔/管桩(在图2A-F中未示出)。在该实施例中，可以在管桩柱塞206和歧管202的顶部上钻出一个或多个埋头孔218(在图2A中有两个)。管桩柱塞206可进一步通过例如管桩柱塞206和基板或歧管202之间的接头在埋头孔216内的定位焊点216而保持就位。埋头孔218可以确保焊点216的焊珠(weld bead)不在基板或歧管202表面的上方，以防止与将部件安装到歧管202的基板表面产生干扰。固定装置(即，定位板；定位夹具；图2A-F中未示出)可安装到基板和歧管(例如，歧管202)的密封侧，以确保在组装期间管桩柱塞(例如，管桩柱塞206)相对其它密封表面的平坦度和角度。焊接工艺可用于进一步将管桩柱塞与基板固定。焊缝可以是围绕歧管和管桩柱塞的整个接合部(在歧管的表面处)的连续焊缝(例如，参见图2E中的焊缝216A)或在接合部处的不同位置处的一个或多个定位焊点(例如，参见图2A-D和2F中的焊点216B)。焊接工艺可以包括例如电子束、激光、手动焊接和适于基板和歧管应用的其他标准工业使用的焊接工艺。
图2E示出了与基板耦接的管桩柱塞的第二实施例的另一版本。该实施例可具有如图2E所示的防旋转销214，并且管桩柱塞206可被焊接到歧管(例如，图2E中所示的连续焊接接头216A)。
在图2F中示出的第二实施例的另一变型可包括歧管和管桩柱塞组件200，其具有歧管202和管桩柱塞206。歧管200可包括防旋转销214，以防止管桩柱塞和歧管之间的旋转，以及管桩柱塞和歧管之间的两个定位焊点216B。取决于例如焊点的尺寸和焊点的位置，其它数量的定位焊点是可能的(1，3，4，5，6，7等)。歧管和邻近歧管的管桩部可各自具有定位焊点凹进部分，其允许添加定位焊点而不在歧管的表面上方(例如，歧管的密封表面侧)添加材料。在其它实施例(未示出)中，可在没有定位焊点凹进部分的情况下进行定位焊接，从而允许定位焊点在歧管表面和管桩部表面上方突出。
在对管桩柱塞在埋头孔218处进行定位焊接之后，组件200可从定位夹具(图2A-D中未示出)移除。该实施例的益处可包括在压力(例如，力)施加到管时通过使用基板和歧管的整个主体来增加管桩的强度；使用定位焊点降低了对更复杂的最终焊接固定装置的要求；并且比单独安装到基板或歧管的端部的主体具有更低的成本。
图3A-B示出了与本申请的实施例一致的具有管桩柱塞和第三防旋转特征的示例性歧管。第三实施例可以包括具有歧管302的歧管和管桩柱塞组件300，歧管302包括管桩柱塞开口304和管桩柱塞306，管桩柱塞306在一端具有管桩308并在另一端具有密封表面310。管桩柱塞306的形状可以是任何合适的形状，包括例如椭圆形、三角形、正方形、矩形或六边形，其具有或不具有圆角。管桩柱塞306的形状可由给定应用而确定，包括例如空间考虑。应当注意，这种布置也可以应用于基板(例如，对于本文描述的任何内容，术语“基板”可以代替为“歧管”)中可以连接到歧管302的的孔/管桩(在图3A-C中未示出)。管桩柱塞306可具有至少一个紧固件孔。图3B-C示出了具有两个紧固件孔的示例，以允许管桩柱塞306通过紧固件固定到基板或歧管主体中。
用于管桩柱塞306的开口304可机加工穿过歧管302以使其能够接纳具有至少一个螺纹孔的管桩柱塞306构造，以将两个部件彼此固定(例如，管桩柱塞306固定至歧管302)。在一些应用和栓接构造中，不需要焊接来将管桩柱塞306与歧管302固定。当需要/期望时，如本文所述的焊接工艺(例如，定位焊接或连续焊接)可用于进一步将管桩柱塞306与歧管302固定。焊接工艺可以包括例如电子束、激光、手动焊接和适于基板和歧管应用的其他标准工业使用的焊接工艺。
该实施例的益处可以包括：管桩柱塞的主体用作基板或歧管上的其他密封件的旋转对准辅助件；不需要焊接的设计；管桩柱塞的构造和形状可改变以适应在基板或歧管上可用的空间；对于需要/期望焊接以固定管桩柱塞的情况不需要焊接或对准夹具；可以更容易地更换/改变管桩柱塞以适应不同的管长度，以及比单独安装到基板或歧管的端部的主体更低的成本。
图4A-B示出了与本申请的实施例一致的具有不是圆形的管桩柱塞的示例性歧管的一部分。第四实施例可以包括具有歧管402的歧管和管桩柱塞组件400，歧管402包括管桩柱塞开口404和椭圆形管桩柱塞406，管桩柱塞406在一端具有管桩408并且在另一端具有密封表面410。管桩柱塞406的形状可以是任何合适的形状，包括例如椭圆形、三角形、正方形、矩形或六边形，其具有或不具有圆角。管桩柱塞406的形状可由给定应用而确定，包括例如空间考虑。应注意，这种布置还可应用于基板(例如，对于本文描述的任何内容，术语“基板”可以代替为“歧管”)中可连接到歧管402的孔/管桩(在图4A-B中未示出)。用于管桩柱塞406的开口可机加工穿过歧管以使其能够接纳具有至少一个螺纹孔的管桩柱塞406，以将两个部件彼此固定(例如，管桩柱塞406固定至歧管402)。螺纹孔可被机加工在管桩柱塞406主体的密封侧上，以保持密封端口410相对于歧管402上的其它密封端口的表面位置。固定装置可用于保持密封表面410与歧管上的其它密封表面对齐(例如，以保持管桩柱塞406和歧管表面之间的平坦度，以保持管桩柱塞406的特定取向等)。当需要/期望时，如本文所述的焊接工艺(例如，定位焊接或连续焊接)可用于进一步将管桩柱塞406与歧管402固定。焊接工艺可以包括例如电子束、激光、手动焊接和适于基板和歧管应用的其他标准工业使用的焊接工艺。
该实施例的益处可以包括：管桩柱塞的主体用作基板或歧管上的其它密封件的旋转对准辅助件；管桩柱塞的构造和形状可改变以适应基板和/或歧管上的空间考虑。
图5A-B示出了与本申请的实施例一致的具有管桩柱塞的示例性歧管，管桩柱塞具有用于对准管桩柱塞和歧管上的密封表面的台阶部。第五实施例可以包括具有歧管502的歧管和管桩柱塞组件500，歧管502包括管桩柱塞开口504和圆形或椭圆形管桩柱塞506，管桩柱塞506在一端具有管桩508并在另一端具有密封表面510，在管桩柱塞506的管侧上具有台阶部(例如，进一步从靠近密封表面510的歧管502的表面)。管桩柱塞506的这种构造需要管桩柱塞506从歧管502的顶部(即，密封表面510侧)插入。管桩柱塞的形状可以是任何合适的形状，包括例如椭圆形、三角形、正方形、矩形或六边形，其具有或不具有圆角。管桩柱塞506的形状可由给定应用而确定，包括例如空间考虑。圆形管桩柱塞(图5A-B中未示出；参见例如图1A-E)可被使用，如果它包括防旋转特征(例如，防旋转销、定位焊点、连续焊缝等)以将密封端口的角度/位置与歧管上的其它端口对准。应注意，这种布置还可应用于基板(例如，对于本文描述的任何内容，术语“基板”可以代替为“歧管”)中可连接到歧管502的孔/管桩(在图5A-B中未示出)。
用于管桩柱塞506的开口504可机加工穿过歧管，并且管桩柱塞506可以在管桩柱塞506的底部(管桩508)侧包括台阶部520(即，台架(shelf)；台阶等)。开口504还可包括与管桩柱塞506上的台阶相对应的台阶。台阶520可以是任何合适的构造(例如，如图5A所示的直角)，以使管桩柱塞的顶表面与基板的表面对准。其他示例包括成角度的表面(例如，楔形形状)。台阶520可以是管桩柱塞506的一部分(例如，管桩柱塞506的1/4或1/2等)，或者台阶520可以环绕管桩柱塞506的全部圆周。在将管桩柱塞焊接到歧管期间，固定装置可以用于将管桩柱塞506保持在歧管中。焊接工艺可以包括例如电子束、激光、手动焊接和适于基板和歧管应用的其他标准工业使用的焊接工艺。
该实施例的益处可以包括：管桩柱塞的主体用作基板或歧管上的其它密封件的旋转对准辅助件；所需的焊接固定装置简单；管桩柱塞的构造和形状可被改变以适应基板和/或歧管上的空间考虑；比单独安装到基板或歧管的端部的主体更低的成本。
图6A-B示出了与本申请的实施例一致的具有管桩柱塞的示例性歧管，管桩柱塞具有靠近歧管的密封表面侧的台阶部。第六实施例可以包括具有歧管602的歧管和管桩柱塞组件600，歧管602包括管桩柱塞开口604和圆形或椭圆形管桩柱塞606，管桩柱塞606在一端具有管桩并在另一端具有密封表面，管桩柱塞的管侧上具有台阶。管桩柱塞的形状可以是任何合适的形状，包括例如椭圆形、三角形、正方形、矩形或六边形，其具有或不具有圆角。桩的形状可以由给定的应用而确定，包括例如空间考虑。圆形管桩柱塞可被使用，假如其具有防旋转特征(例如，防旋转销等)，以将密封端口的角度与基板或歧管上的其它端口对准。应注意，这种布置还可应用于基板(例如，对于本文描述的任何内容，术语“基板”可以代替为“歧管”)中的可连接到歧管602的孔/管桩(在图6A-B中未示出)。
然后，用于管桩柱塞的开口604可机加工穿过基板和歧管，在管桩柱塞606的顶部(密封表面610)侧具有台阶(即，台阶；台架；台阶部)。管桩604可具有与开口604中的台阶的轮廓相匹配的相应台阶，这允许管桩柱塞606用于深度(例如，对准密封表面)和旋转对准(在圆形管桩柱塞的情况下(参见例如图1A-E)两者的对准。因为管桩柱塞606从底部(即，远离密封表面610侧的一侧)插入歧管602中，所以在焊接过程中不需要将管桩柱塞606固定到歧管，因为该台阶将密封表面610与歧管上的其它密封表面对准。焊接工艺可以包括例如电子束、激光、手动焊接和适于基板和歧管应用的其他标准工业使用的焊接工艺。
该实施例的益处可以包括：管桩柱塞的主体被用作基板或歧管上的其它密封件的旋转对准辅助件；不需要焊接固定装置来对准管桩柱塞和基板的密封表面；比单独安装到基板或歧管的端部的主体更低的成本。
图7A-B示出了根据本申请的实施例的具有管桩柱塞的示例性歧管，管桩柱塞具有靠近歧管的管桩侧的台阶部，其中管桩柱塞使用螺纹连接固定到歧管。第七实施例可以包括具有歧管702的歧管和管桩柱塞组件700，歧管702包括管桩柱塞开口704和圆形或椭圆形管桩柱塞706，管桩柱塞706在一端具有管桩708并在另一端具有密封表面710，管桩柱塞的管侧上具有台阶并在歧管702中具有对应台阶。管桩柱塞706的形状可以是任何合适的形状，包括例如椭圆形、三角形、正方形、矩形或六边形，其具有或不具有圆角。管桩柱塞706的形状可由给定应用而确定，包括例如空间考虑。圆形管桩柱塞可被使用，如果其具有防旋转特征(例如，防旋转销等)，以将密封端口的角度与基板或歧管上的其它端口对准。应注意，这种布置还可应用于基板(例如，对于本文描述的任何内容，术语“基板”可以代替为“歧管”)中的可连接到歧管702的孔/管桩(在图7A-B中未示出)。
用于管桩柱塞706的开口704可机加工穿过歧管，在管桩柱塞706的底部(管桩708)侧具有台阶架。管桩柱塞706可在管桩708侧具有螺纹部(从图7A-B中的视图隐藏)，该螺纹部分可允许螺母722将管桩柱塞706固定到歧管。由于台阶720可被设计成将管桩柱塞706的顶部密封表面与其它密封表面进行定位，螺母722将两个部件拉在一起，因此不太需要将管桩柱塞焊接到基板。在一些实施例中，仍然需要添加定位焊点或连续焊缝。
该实施例的益处可以包括：管桩柱塞的主体被用作基板或歧管上的其它密封件的旋转对准辅助件；不需要焊接；管桩柱塞的构造和形状可以改变以适应基板和/或歧管上的空间考虑；比单独安装到基板或歧管的端部的主体更低的成本。
图8A-F示出了与本申请的实施例一致的具有歧管的示例性管桩柱塞。第八实施例可以包括具有歧管802的歧管和管桩柱塞组件800，歧管802包括管桩柱塞开口804和管桩柱塞806A，管桩柱塞806A与歧管的第一表面824中的开口804耦接，其中管桩808与第一表面824以直角(即，直角管桩、侧管桩、水平管桩等)从管桩柱塞806突出。在该实施例中，管桩柱塞806A可以使用例如焊接接头816A(见图8A的截面C-C)固定到歧管。图8B示出了管桩柱塞806A和焊接接头816A的附加视图。应当注意，这种布置也可以应用于基板(例如，对于本文描述的任何内容，术语“基板”可以代替为“歧管”)中的可连接到歧管802的孔/管桩(在图8A-F中未示出)。
侧管桩的其它变型也是可能的。图8C示出了侧管桩的不同配置，其可以包括例如直角侧管桩806A，偏置水平管桩806B和直水平管桩806C。不同的实施例可允许管桩放置使管桩从歧管的顶部(即，第一表面824)、底部(即，第二表面；未在图8A-F中示出)或任何侧(即，第三表面，第四表面等；未在图8A-F中示出)或表面的任何组合突出。
管桩还可以形成为直的构造，其设计用于更靠近基板中心的底部(或顶部)竖直安装。图8D示出了用于底部安装应用(例如，从与密封表面相对的一侧插入到歧管中)的示例性底部管桩806D。图8E示出了与歧管802耦接的底部安装管桩806D的横截面视图。图8F示出具有将管桩806D固定到歧管的防旋转销814和焊接接头816A的底部安装管桩806D的附加视图。
各种管桩可解决表面安装流体输送系统中所需的许多不同的流动路径入口和出口构造的问题。基本构造将是流体流动路径内的水平或垂直入口和出口。各种管桩可用于流体流动路径内的顶部、底部或侧部入口和出口。任何合适的材料可用于管桩，包括例如不锈钢、重金属合金、聚合物等。管桩可使用任何合适的附接技术和/或紧固件(包括螺钉、螺栓、锁定/压销、焊接、粘合剂、摩擦等)与歧管/基板耦接。本文描述的不同实施例可允许各管桩构造中的任一者放置使得管桩从基板的顶部(即，第一表面)、底部(即，第二表面)或任何侧(即，第三表面、第四表面等)或表面的任何组合突出。
如本文和所并入的专利/申请中所示和所述，歧管或基板主体可以由实心材料块形成并且具有相关联的焊帽，焊帽中的每一个可以根据流动基板的预期用途由合适的材料(诸如不锈钢)形成。主要出于成本原因，而且对于保证使用非金属材料(诸如其中离子污染是关注点)的那些应用，歧管或流动衬底的主体和/或焊帽也可以由聚合物材料(例如塑料)形成(例如，模制或机加工)。其他材料(例如塑料)的使用允许流动基板特别适合于其中离子污染是关注点的化学输送应用或生物应用，和/或成本是关注的应用。
焊帽可使用粘合剂(即，胶)或类似机构(例如，工业金属粘合或非金属粘合胶以形成粘合接头)与歧管或基板主体耦接。可使用任何施加方法(例如，喷涂、胶带、分配(dispensing)、刷等)将粘合剂施加到歧管或基板主体、焊帽或两者。这种构造可用于耦接金属、塑料、复合材料和其它不利于焊接的非金属应用。粘合剂可以被选择为抵抗流过系统的材料的类型，以允许无泄漏的耦接(即，接合、连接等)。使用粘合剂将焊帽耦接到歧管或基板主体的益处包括在没有与将焊帽焊接到歧管或基板主体相关联的时间和成本的情况下产生对流过系统的材料抵抗的无泄漏耦接的能力。
应当理解，出于说明的目的而给出的前述实施例的细节不应被解释为限制本申请的范围。虽然上文已详细描述本申请的若干实施例，但所属领域的技术人员将容易了解，在实质上不脱离本申请的新颖教示及优点的情况下，可在示例性实施例中进行许多修改。因此，所有这样的修改旨在被包括在本申请的范围内，该范围被进一步限定在所转换的实用申请和所附权利要求中。此外，应认识到，许多实施例可被设想为不实现一些实施例，特别优选实施例的所有优点但不存在特定优点不应被解释为必然意味着这样的实施例在本申请的范围之外。

Claims (4)

1.一种流体基板，包括：
歧管，其包括圆形开口；
管桩柱塞，其在所述圆形开口处与所述歧管耦接，其中，防旋转特征防止所述管桩柱塞相对于所述歧管旋转。
2.根据权利要求1所述的流体基板，其中，所述防旋转特征包含在所述管桩柱塞中。
3.根据权利要求1所述的流体基板，其中，所述防旋转特征包含在所述歧管中。
4.根据权利要求1所述的流体基板，其中，所述管桩柱塞还包括圆形形状和管桩柱塞通孔，并且
所述防旋转特征包括与所述管桩柱塞通孔耦接的元件，并且耦接所述歧管和所述管桩柱塞。
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