CN113463059B - 一种真空镀膜设备用预热机构及预热系统 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种真空镀膜设备用预热机构，包括依次连接的热回收组件、蓄热组件和预热组件；所述热回收组件包括套接在真空镀膜机本体上的散热水套和连接所述散热水套的热回收水泵，所述热回收水泵的进水口通过进水管与散热水套连接，所述热回收水泵的出水口通过出水管与所述蓄热组件连接。本发明的有益之处在于：能够对真空镀膜机运转过程中产生的热量进行回收利用，使其能够用于待镀膜产品的预热，提高资源的利用率，降低热量的浪费；另外，还能通过蓄热组件对热量进行储蓄，进一步减少热量的损失，提高热量的利用效率。
Description
技术领域
本发明涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种真空镀膜设备用预热机构及预热系统。
背景技术
真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料，使其蒸发并凝结于镀件表面而形成薄膜的一种方法，真空镀膜机在工作的时候会产生大量的热量，需要及时有效的进行冷却，以确保其正常工作。一般真空镀膜机散热较多采用自然冷却，效果较差，冷却不及时，很容易导致真空镀膜机因为温度过高而损坏。为了加快散热，现有技术中也存在水冷散热的结构，如CN201820942137.2公开的一种真空镀膜机腔体冷却装置，能够提高对真空镀膜机的散热效果，但是这种方式会将真空镀膜机产生的热量浪费，资源利用率低。
发明内容
为了克服现有技术中的至少部分缺陷，本发明实施例提供了一种真空镀膜设备用预热机构及预热系统，能够将真空镀膜机镀膜过程中产生的热量进行回收，并将其用于待镀膜的笔记本壳体的预热，降低能源消耗。
本发明提供的技术方案如下：一种真空镀膜设备用预热机构，包括依次连接的热回收组件、蓄热组件和预热组件；
所述热回收组件包括套接在真空镀膜机本体上的散热水套和连接所述散热水套的热回收水泵，所述热回收水泵的进水口通过进水管与散热水套连接，所述热回收水泵的出水口通过出水管与所述蓄热组件连接；
所述蓄热组件包括蓄热水箱、第一换热盘管和预置在所述蓄热水箱中的蓄热液体，所述第一换热盘管的进液口连接在所述出水管上，所述第一换热盘管的出水口连接在所述进水管上，所述蓄热水箱的出水口通过管道连接有第二换热盘管；
所述预热组件包括预热腔、预热气体输入泵、预热气体输出泵、调压阀和加热喷头，所述预热气体输入泵的出气口连接在所述预热腔上，所述预热气体输出泵的进气口与所述预热腔连接，所述预热气体输出泵的出气口依次连接所述调压阀和所述加热喷头，所述加热喷头朝向待预热的笔记本壳体，所述第二换热盘管设置在所述预热腔中，所述第二换热盘管的出水口连接有循环泵，所述循环泵的出水口与所述蓄热水箱连接。
进一步地，所述预热腔中设置有用于辅助补热的加热设备，所述加热设备连接在所述预热腔的底部。
进一步地，所述预热腔内设置有用于检测所述预热腔中预热气体的温度传感器，所述温度传感器与所述加热设备信号连接。
进一步地，所述预热组件还包括分流管和喷气管，若干个所述喷气管连接在所述分流管上，所述分流管连接在所述调压阀上，所述加热喷头连接在所述喷气管上。
进一步地，所述预热组件还包括移动座和连接在所述移动座上的支撑架，所述加热喷头可转动的连接在所述支撑架上，所述喷气管为柔性耐热管道。
进一步地，所述支撑架上连接有转动组件，所述转动组件包括连接板和转动轴，所述转动轴可转动的连接在所述连接板上，所连接板上还连接有驱动所述转动轴转动的驱动电机，所述连接板连接在所述支撑架的侧面，所述转动轴上连接有安装套，所述加热喷头连接在所述安装套内。
本发明还涉及一种预热系统，用于上述真空镀膜设备用预热机构，其特征在于，还包括主控系统和驱动系统，所述主控系统与所述驱动系统信号连接，所述驱动系统包括移动控制单元、转动控制单元和加热控制单元，其中：
所述移动控制单元与移动座信号连接，用于在对待预热的笔记本壳体进行预热时，将加热喷头移动到预定位置；
所述转动控制单元与所述驱动电机信号连接，用于控制驱动电机转动；
所述加热控制单元与所述加热设备信号连接，温度传感器通过加热控制单元与加热设备信号连接，用于在预热腔中的预热气体的温度不足时，启动所述加热设备，对预热腔内的预热气体进行加热。
进一步地，所述加热控制单元包括设置模块和加热控制模块，所述设置模块与温度传感器信号连接，所述加热控制模块与所述设置模块信号连接，所述设置模块用于设置预热腔中预热气体温度的温度第一阈值和第二阈值，当温度传感器检测到预热腔中预热气体温度低于设定的阈值时，通过设置模块控制所述控制模块启动加热设备对预热腔中预热气体进行加热，当预热腔中预热气体的温度高于第二阈值时，通过设置模块控制所述控制模块关闭加热设备。
本发明相对于现有技术的有益效果：本发明涉及的一种真空镀膜设备用预热机构及预热系统，能够对真空镀膜机运转过程中产生的热量进行回收利用，使其能够用于待镀膜产品的预热，提高资源的利用率，降低热量的浪费；另外，还能通过蓄热组件对热量进行储蓄，进一步减少热量的损失，提高热量的利用效率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图
图1是真空镀膜设备用预热机构的整体结构示意图。
图2是转动组件的连接结构图。
图3是预热系统的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合附图以及具体实施例对本发明进行清楚完整地描述，显而易见的是，所列举的具体实施例仅仅是部分实施例，本领域的普通技术人员在没有付出创造性劳动的前提下所获得其他实施例，均属于本发明的保护范围。
本发明一较佳实施例中的一种真空镀膜设备用预热机构，包括依次连接的热回收组件1、蓄热组件2和预热组件3；
所述热回收组件1包括套接在真空镀膜机本体4上的散热水套11和连接所述散热水套11的热回收水泵12，所述热回收水泵12的进水口通过进水管与散热水套11连接，所述热回收水泵12的出水口通过出水管与所述蓄热组件2连接；
所述蓄热组件2包括蓄热水箱21、第一换热盘管22和预置在所述蓄热水箱21中的蓄热液体，所述第一换热盘管22的进液口连接在所述出水管上，所述第一换热盘管22的出水口连接在所述进水管上，所述蓄热水箱21的出水口通过管道连接有第二换热盘管5；
所述预热组件3包括预热腔31、预热气体输入泵32、预热气体输出泵33、调压阀34和加热喷头35，所述预热气体输入泵32的出气口连接在所述预热腔31上，所述预热气体输出泵33的进气口与所述预热腔31连接，所述预热气体输出泵33的出气口依次连接所述调压阀34和所述加热喷头35，所述加热喷头35朝向待预热的笔记本壳体，所述第二换热盘管5设置在所述预热腔31中，所述第二换热盘管5的出水口连接有循环泵6，所述循环泵6的出水口与所述蓄热水箱21连接。
在上述实施例中，所述预热腔31中设置有用于辅助补热的加热设备7，所述加热设备7连接在所述预热腔31的底部。在实际实施过程中，加热设备7可以选用电加热器、燃气加热设备、电磁加热设备、微波加热设备等，只要能完成对预热腔31中的预热气体进行加热即可，在这里不对其做具体限制。
在上述实施例中，所述预热腔31内设置有用于检测所述预热腔31中预热气体的温度传感器8，所述温度传感器8与所述加热设备7信号连接。
在上述实施例中，所述预热组件3还包括分流管36和喷气管37，若干个所述喷气管37连接在所述分流管36上，分流管36包括一个连接在调压阀34上的进气口和若干个连接有喷气管37的出气口，所述分流管36连接在所述调压阀34上，所述加热喷头35连接在所述喷气管37上。
在上述实施例中，所述预热组件3还包括移动座38和连接在所述移动座38上的支撑架39，所述加热喷头35可转动的连接在所述支撑架39上，所述喷气管37为柔性耐热管道。
在上述实施例中，所述支撑架39上连接有转动组件381，所述转动组件381包括连接板3811和转动轴3812，所述转动轴3812可转动的连接在所述连接板3811上，所连接板3811上还连接有驱动所述转动轴3812转动的驱动电机3813，所述连接板3811连接在所述支撑架39的侧面，所述转动轴3812上连接有安装套3814，所述加热喷头35连接在所述安装套3814内。
本发明还涉及一种预热系统，用于上述真空镀膜设备用预热机构，还包括主控系统和驱动系统，所述主控系统与所述驱动系统信号连接，所述驱动系统包括移动控制单元、转动控制单元和加热控制单元，其中：
所述移动控制单元与移动座信号连接，用于在对待预热的笔记本壳体进行预热时，将加热喷头35移动到预定位置；
所述转动控制单元与所述驱动电机信号连接，用于控制驱动电机转动；
所述加热控制单元与所述加热设备7信号连接，温度传感器8通过加热控制单元与加热设备信号连接，用于在预热腔31中的预热气体的温度不足时，启动所述加热设备7，对预热腔31内的预热气体进行加热。
在上述实施例中，所述加热控制单元包括设置模块和加热控制模块，所述设置模块与温度传感器信号连接，所述加热控制模块与所述设置模块信号连接，所述设置模块用于设置预热腔中预热气体温度的温度第一阈值和第二阈值，当温度传感器检测到预热腔31中预热气体温度低于设定的阈值时，通过设置模块控制所述控制模块启动加热设备对预热腔31中预热气体进行加热，当预热腔31中预热气体的温度高于第二阈值时，通过设置模块控制所述控制模块关闭加热设备7。
本发明中应用了具体实施例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。
Claims (6)
1.一种真空镀膜设备用预热机构，其特征在于，包括依次连接的热回收组件、蓄热组件和预热组件；
所述热回收组件包括套接在真空镀膜机本体上的散热水套和连接所述散热水套的热回收水泵，所述热回收水泵的进水口通过进水管与散热水套连接，所述热回收水泵的出水口通过出水管与所述蓄热组件连接；
所述蓄热组件包括蓄热水箱、第一换热盘管和预置在所述蓄热水箱中的蓄热液体，所述第一换热盘管的进液口连接在所述出水管上，所述第一换热盘管的出水口连接在所述进水管上，所述蓄热水箱的出水口通过管道连接有第二换热盘管；
所述预热组件包括预热腔、预热气体输入泵、预热气体输出泵、调压阀和加热喷头，所述预热气体输入泵的出气口连接在所述预热腔上，所述预热气体输出泵的进气口与所述预热腔连接，所述预热气体输出泵的出气口依次连接所述调压阀和所述加热喷头，所述加热喷头朝向待预热的笔记本壳体，所述第二换热盘管设置在所述预热腔中，所述第二换热盘管的出水口连接有循环泵，所述循环泵的出水口与所述蓄热水箱连接；
所述预热腔中设置有用于辅助补热的加热设备，所述加热设备连接在所述预热腔的底部；
所述预热腔内设置有用于检测所述预热腔中预热气体的温度传感器，所述温度传感器与所述加热设备信号连接。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备用预热机构，其特征在于，所述预热组件还包括分流管和喷气管，若干个所述喷气管连接在所述分流管上，所述分流管连接在所述调压阀上，所述加热喷头连接在所述喷气管上。
3.根据权利要求2所述的真空镀膜设备用预热机构，其特征在于，所述预热组件还包括移动座和连接在所述移动座上的支撑架，所述加热喷头可转动的连接在所述支撑架上，所述喷气管为柔性耐热管道。
4.根据权利要求3所述的真空镀膜设备用预热机构，其特征在于，所述支撑架上连接有转动组件，所述转动组件包括连接板和转动轴，所述转动轴可转动的连接在所述连接板上，所连接板上还连接有驱动所述转动轴转动的驱动电机，所述连接板连接在所述支撑架的侧面，所述转动轴上连接有安装套，所述加热喷头连接在所述安装套内。
5.一种预热系统，包括根据权利要求1-4任一项所述的真空镀膜设备用预热机构，其特征在于，还包括主控系统和驱动系统，所述主控系统与所述驱动系统信号连接，所述驱动系统包括移动控制单元、转动控制单元和加热控制单元，其中：
所述移动控制单元与移动座信号连接，用于在对待预热的笔记本壳体进行预热时，将加热喷头移动到预定位置；
所述转动控制单元与所述驱动电机信号连接，用于控制驱动电机转动；
所述加热控制单元与所述加热设备信号连接，温度传感器通过加热控制单元与加热设备信号连接，用于在预热腔中的预热气体的温度不足时，启动所述加热设备，对预热腔内的预热气体进行加热。
6.根据权利要求5所述的预热系统，其特征在于：所述加热控制单元包括设置模块和加热控制模块，所述设置模块与温度传感器信号连接，所述加热控制模块与所述设置模块信号连接，所述设置模块用于设置预热腔中预热气体温度的温度第一阈值和第二阈值，当温度传感器检测到预热腔中预热气体温度低于设定的阈值时，通过设置模块控制所述控制模块启动加热设备对预热腔中预热气体进行加热，当预热腔中预热气体的温度高于第二阈值时，通过设置模块控制所述控制模块关闭加热设备。
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Citations (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2045408A (en) * | 1979-03-28 | 1980-10-29 | Holcroft | Furnace system |
| JPH11248256A (ja) * | 1998-03-02 | 1999-09-14 | Toto Ltd | 排気熱回収器 |
| CN204509407U (zh) * | 2015-03-14 | 2015-07-29 | 魏县锦辉紧固件有限公司 | 一种淬火炉热回收装置 |
| CN205842691U (zh) * | 2016-04-22 | 2016-12-28 | 中山市凯德环保设备有限公司 | 一种可回收热量的热解金属回收炉 |
| CN206347910U (zh) * | 2016-12-27 | 2017-07-21 | 无锡工艺职业技术学院 | 一种封装材料生产线的余热回收利用装置 |
| CN108598213A (zh) * | 2018-04-17 | 2018-09-28 | 珠海格力电器股份有限公司 | 一种热量回收循环系统及其控制方法 |
| CN208059595U (zh) * | 2018-02-28 | 2018-11-06 | 苏州佳世捷机械有限公司 | 一种氮化炉的热量回收装置 |
| CN208632629U (zh) * | 2018-06-19 | 2019-03-22 | 深圳森丰真空镀膜有限公司 | 一种真空镀膜机腔体冷却装置 |
| CN110404741A (zh) * | 2019-07-08 | 2019-11-05 | 扬州安泰威合金硬面科技有限公司 | 一种用于镍基合金粉末涂层外加热固化炉 |
| CN110763010A (zh) * | 2019-10-12 | 2020-02-07 | 广州市丹爵通讯科技有限公司 | 一种加热均匀的具有热量回收功能的烧结炉 |
| CN111434909A (zh) * | 2019-01-11 | 2020-07-21 | 湖北鹰牌动力科技有限公司 | 一种船用发动机冷却系统的热量回收系统 |
| CN111911941A (zh) * | 2020-08-07 | 2020-11-10 | 华夏碧水环保科技有限公司 | 一种废气处理热能综合利用系统 |
| CN111992406A (zh) * | 2020-09-01 | 2020-11-27 | 龙游讴凡纳米材料有限公司 | 一种纳米涂层喷涂与热固化设备 |
| CN215668189U (zh) * | 2021-07-06 | 2022-01-28 | 赫得纳米科技(昆山)有限公司 | 一种真空镀膜设备用预热机构 |
-
2021
- 2021-07-06 CN CN202110761950.6A patent/CN113463059B/zh active Active
Patent Citations (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2045408A (en) * | 1979-03-28 | 1980-10-29 | Holcroft | Furnace system |
| JPH11248256A (ja) * | 1998-03-02 | 1999-09-14 | Toto Ltd | 排気熱回収器 |
| CN204509407U (zh) * | 2015-03-14 | 2015-07-29 | 魏县锦辉紧固件有限公司 | 一种淬火炉热回收装置 |
| CN205842691U (zh) * | 2016-04-22 | 2016-12-28 | 中山市凯德环保设备有限公司 | 一种可回收热量的热解金属回收炉 |
| CN206347910U (zh) * | 2016-12-27 | 2017-07-21 | 无锡工艺职业技术学院 | 一种封装材料生产线的余热回收利用装置 |
| CN208059595U (zh) * | 2018-02-28 | 2018-11-06 | 苏州佳世捷机械有限公司 | 一种氮化炉的热量回收装置 |
| CN108598213A (zh) * | 2018-04-17 | 2018-09-28 | 珠海格力电器股份有限公司 | 一种热量回收循环系统及其控制方法 |
| CN208632629U (zh) * | 2018-06-19 | 2019-03-22 | 深圳森丰真空镀膜有限公司 | 一种真空镀膜机腔体冷却装置 |
| CN111434909A (zh) * | 2019-01-11 | 2020-07-21 | 湖北鹰牌动力科技有限公司 | 一种船用发动机冷却系统的热量回收系统 |
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