CN113432378A - 一种冷却系统 - Google Patents

Abstract

本申请实施例提供一种冷却系统，包括工作设备、第一冷却介质源、第二冷却介质源、第一切换组件、第二切换组件以及防错装置，工作设备具有第一入口和第一出口，第一入口通过第一切换组件分别与第一冷却介质源和第二冷却介质源选择性地连通，第一出口通过第二切换组件分别与第一冷却介质源和第二冷却介质源选择性地连通，防错装置分别与第一切换组件和第二切换组件连接以使第一切换组件和第二切换组件联动。由于第一切换组件和第二切换组件联动，第一切换组件和第二切换组件一起切换或者都不切换，能够避免第一入口和第一出口的其中之一与第一冷却介质源连通，其中另一与第二冷却介质源连通，导致第一冷却介质源和第二冷却介质源相互倒灌的问题。

Description

一种冷却系统

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，尤其涉及一种冷却系统。

背景技术

在晶圆的加工过程中，需要对晶圆进行清洗。通常将晶圆传送至清洗机台，通过清洗机台内的清洗剂对晶圆进行清洗，清洗剂中的某些化学物质对低温温度要求比较严格，需要提供冷却水对构成清洗剂的部分化学物质进行冷却，往往采用机台水冷机组作为冷却水的主要供给装置，当机台水冷机组无法提供冷却水，为了能使清洗机台继续对晶圆进行清洗，一般将厂务水冷机组作为备用冷却水源向清洗机台提供冷却水。因此，当机台水冷机组无法提供冷却水，需要对厂务水冷机组和机台水冷机组进行切换。相关技术中，对厂务水冷机组和机台水冷机组进行切换可能引起厂务水冷机组和机台水冷机组之间发生较为严重的倒灌。

发明内容

有鉴于此，本申请实施例期望提供一种冷却系统，以缓解厂务水冷机组和机台水冷机组之间发生的倒灌。

为达到上述目的，本申请实施例提供一种冷却系统，包括工作设备、第一冷却介质源、第二冷却介质源、第一切换组件、第二切换组件以及防错装置，所述工作设备具有第一入口和第一出口，所述第一入口通过所述第一切换组件分别与所述第一冷却介质源和所述第二冷却介质源选择性地连通，所述第一出口通过所述第二切换组件分别与第一冷却介质源和所述第二冷却介质源选择性地连通，所述防错装置分别与所述第一切换组件和所述第二切换组件连接以使所述第一切换组件和所述第二切换组件联动。

一实施例中，所述第一切换组件为第一阀门，所述第二切换组件为第二阀门。

一实施例中，所述第一阀门具有第一操作装置，所述第一操作装置配置为驱动所述第一阀门的阀芯动作，所述第二阀门具有第二操作装置，所述第二操作装置配置为驱动所述第二阀门的阀芯动作；所述防错装置分别与所述第一操作装置和所述第二操作装置连接以使所述第一操作装置和所述第二操作装置联动。

一实施例中，所述第一操作装置为绕第一转动中心线转动的第一手柄，所述第二操作装置为绕第二转动中心线转动的第二手柄，所述防错装置分别与所述第一手柄和所述第二手柄转动连接以使所述第一手柄和所述第二手柄联动，所述防错装置与所述第一手柄在第一位置处转动连接，所述第一位置与所述第一转动中心线之间间隔第一预设距离，所述防错装置与所述第二手柄在第二位置处转动连接，所述第二位置与所述第二转动中心线之间间隔第二预设距离。

一实施例中，所述第一位置位于第一手柄端部，所述第二位置位于所述第二手柄的端部。

一实施例中，所述防错装置为连杆，所述连杆的两端均形成有球头；所述第一手柄形成有第一球窝，所述连杆其中一端的球头位于所述第一球窝内；所述第二手柄形成有第二球窝，所述连杆另一端的球头位于所述第二球窝内。

一实施例中，所述第一阀门具有第一端口、第二端口以及第三端口，所述第一端口与所述第一冷却介质源连通，所述第二端口与所述第一入口连通，所述第三端口与所述第二冷却介质源连通，所述第二端口分别与所述第一端口和所述第三端口选择性地连通；所述第二阀门具有第四端口、第五端口以及第六端口，所述第四端口与所述第一冷却介质源连通，所述第五端口与所述第一出口连通，所述第六端口与所述第二冷却介质源连通，所述第五端口分别与所述第四端口和所述第六端口选择性地连通。

一实施例中，所述工作设备为清洗机台，所述清洗机台配置为对晶圆进行清洗，所述第一冷却介质源为机台水冷机组，所述第二冷却介质源为厂务水冷机组。

一实施例中，所述机台水冷机组包括容器、制冷器以及水泵，所述水泵连接在所述容器与所述第一切换组件之间，所述制冷器配置为抽取所述容器中的水进行降温处理并将降温处理后的水送回所述容器，所述水泵配置为将所述容器中进行降温处理后的水经所述第一切换组件输送至清洗机台并从所述清洗机台经所述第二切换组件输送回所述容器，所述容器与外界连通。

一实施例中，所述冷却系统还包括第三阀门和第八阀门，所述第一切换组件通过所述第三阀门与所述第二冷却介质源选择性地连通，所述第二切换组件通过所述第八阀门与所述第二冷却介质源选择性地连通。

本申请实施例的冷却系统，第一切换组件和第二切换组件联动，使得第一切换组件和第二切换组件一起切换，或者，第一切换组件和第二切换组件都不切换。当工作设备需要由第一冷却介质源提供冷却水切换到由第二冷却介质源提供冷却水，由于防错装置分别与第一切换组件和第二切换组件连接使得第一切换组件和第二切换组件联动，工作设备的第一入口通过第一切换组件切换到与第二冷却介质源连通，第一出口通过第二切换组件切换到第二冷却介质源连通。当工作设备需要由第二冷却介质源提供冷却水切换到由第一冷却介质源提供冷却水，由于防错装置分别与第一切换组件和第二切换组件连接使得第一切换组件和第二切换组件联动，工作设备的第一入口通过第一切换组件切换至第一冷却介质源连通，第一出品通过第二切换组件切换至第一冷却介质源连通。从而避免了第一入口和第一出口的其中之一与第一冷却介质源连通，第一入口和第一出口的其中另一与第二冷却介质源连通，导致第一冷却介质源和第二冷却介质源之间相互倒灌的问题。

附图说明

图1为本申请实施例的冷却系统的示意图，图中所示第一切换组件为第一阀门，第二切换组件为第二阀门；

图2为本申请实施例的防错装置、第一阀门以及第二阀门的装配图，图中第一阀门和第二阀门沿第一转动中心线的延伸方向排列；

图3为本申请实施例的防错装置、第一阀门以及第二阀门的装配图，图中第一阀门和第二阀门沿预设方向排列设置，预设方向与第一转动中心线的延伸方向垂直；

图4为图3中位置A-A处的剖视图；

图5为图3中的B向视图；

图6为本申请实施例的冷却系统的示意图，图中所示第一切换组件包括第五阀门和第六阀门，第二切换组件包括第四阀门和第七阀门；

图7为相关技术中的冷却系统的示意图。

附图标记说明：工作设备1；第一入口11；第一出口12；第一冷却介质源2；；第一切换组件41；第一操作装置411；第一球窝4111；第一本体4112；第一连接件4113；第一转动中心线412；第一端口413；第二端口414；第三端口415；第二切换组件42；第二操作装置421；第二球窝4211；第二本体4212；第二连接件4213；第二转动中心线422；第四端口423；第五端口424；第六端口425；防错装置5；球头51；第三阀门6；第八阀门7；第四阀门101；第三操作装置1011；第五阀门102；第四操作装置1021；第六阀门103；第五操作装置1031；第七阀门104；第六操作装置1041；第一预设距离D1；第二预设距离D2。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的技术特征可以相互组合，具体实施方式中的详细描述应理解为本申请宗旨的解释说明，不应视为对本申请的不当限制。

作为本申请创造性构思的一部分，在描述本申请的实施例之前，需对厂务水冷机组和机台水冷机组发生倒灌的原因进行分析，通过合理分析得到本申请实施例的技术方案。

相关技术中，请参阅图7，冷却系统包括工作设备1、第一冷却介质源2、第二冷却介质源、第四阀门101、第五阀门102、第六阀门103以及第七阀门104。第四阀门101、第五阀门102、第六阀六以及第七阀门104可以为二通阀。第四阀门101、第五阀门102、第六阀门103以及第七阀门104均为手动阀门。工作设备1具有第一入口11和第一出口12，第一入口11通过第五阀门102与第一冷却介质源2选择性地连通，第一入口11通过第六阀门103与第二冷却介质源选择性地连通，第一出口12通过第四阀门101与第一冷却介质源2选择性地连通，第一出口12通过第七阀门104与第二冷却介质源选择性地连通。工作设备1为用于清洗晶圆的清洗机台，第一冷却介质源2为机台水冷机组，第二冷却介质源为厂务水冷机组。通常情况下，冷却水主要由机台水冷机组提供，当机台水冷机组无法提供冷却水，机台水冷机组不再向清洗机台提供冷却水，为使清洗机台能够继续对晶圆进行清洗，确保生产能够继续进行，需要对机台水冷机组与厂务水冷机组进行切换，通过厂务水冷机组继续对清洗机台提供冷却水。具体切换方式为将第四阀门101和第五阀门102关闭以使清洗机台与机台水冷机组关断，将第六阀门103和第七阀门104打开以使厂务水冷机组与清洗机台连通，厂务水冷机组中的冷却水进入清洗机台对清洗机台中的部分化学物质进行冷却。然而由于第四阀门101、第五阀门102、第六阀门103以及第七阀门104均各自独立地进行开关操作，互不关联，操作人员很有可能打开了第六阀和第七阀门104而忘了关闭第四阀门101和第五阀门102，这种情况下，第四阀门101、第五阀门102、第六阀门103以及第七阀门104均处于打开状态，厂务水冷机组和机台水冷机组均与清洗机台连通，由于厂务水的水压较大，厂务水冷机组中作为冷却水的厂务水就有可能大量地倒灌至机台水冷机组中，使厂务水冷机组与机台水冷机组之间发生较为严重的倒灌。

鉴于此，本申请实施例提供一种冷却系统，请参阅图1～图6，冷却系统包括工作设备1、第一冷却介质源2、第二冷却介质源、第一切换组件41；第二切换组件42；以及防错装置5。工作设备具有第一入口11和第一出口12，第一入口11通过第一切换组件41分别与第一冷却介质源2和第二冷却介质源选择性地连通，第一出口12通过第二切换组件42分别与第一冷却介质源2和第二冷却介质源选择性地连通，防错装置5分别与第一切换组件41和第二切换组件42连接以使第一切换组件41和第二切换组件42联动。如此结构形式，第一切换组件41和第二切换组件42联动，使得第一切换组件41和第二切换组件42一起切换，或者，第一切换组件41和第二切换组件42都不切换。当工作设备1需要由第一冷却介质源2提供冷却水切换到由第二冷却介质源提供冷却水，由于防错装置5分别与第一切换组件41和第二切换组件42连接使得第一切换组件41和第二切换组件42联动，工作设备1的第一入口11通过第一切换组件41切换到与第二冷却介质源连通，第一出口12通过第二切换组件42切换到第二冷却介质源连通。当工作设备1需要由第二冷却介质源提供冷却水切换到由第一冷却介质源2提供冷却水，由于防错装置5分别与第一切换组件41和第二切换组件42连接使得第一切换组件41和第二切换组件42联动，工作设备1的第一入口11通过第一切换组件41切换至第一冷却介质源2连通，第一出品12通过第二切换组件42切换至第一冷却介质源2连通。从而避免了第一入口11和第一出口12的其中之一与第一冷却介质源2连通，第一入口11和第一出口12的其中另一与第二冷却介质源连通，导致第一冷却介质源2和第二冷却介质源之间相互倒灌的问题。

可以理解的是，当工作设备1通过第一冷却介质源2提供冷却水，第一入口11和第一出口12均与第一冷却介质源2连通。当工作设备1通过第二冷却介质源提供冷却水，第一入口11和第一出口12均与第二冷却介质源连通。

需要解释的是，联动是指两者之间的动作产生关联。第一切换组件41和第二切换组件42联动是指，当第一切换组件41执行切换动作，会触发第二切换组件42执行切换动作；反过来，当第二切换组件42执行切换动作，会触发第一切换组件41执行切换动作；当第一切换组件41不执行切换动作，第二切换组件42不执行切换动作；当第二切换组件42不执行切换动作，第一切换组件41不执行切换动作。

一实施例中，在冷却系统正常工作状态下，第一冷却介质源2和第二冷却介质源的其中之一与工作设备1连通以向工作设备1提供冷却水，第一冷却介质源2和第二冷却介质源的其中另一与工作设备1关断备用。

需要解释的是，关断是指两者之间不连通的状态。

一实施例中，在冷却系统正常工作状态下，第一冷却介质源2与工作设备1连通以向工作设备1提供冷却水，第二冷却介质源与工作设备1关断备用。当冷却系统处于应急状态，第二冷却介质源与工作设备1连通以向工作设备1提供冷却水，第一冷却介质源2与工作设备1关断。

一实施例中，在冷却系统正常工作状态下，第二冷却介质源与工作设备1连通以向工作设备1提供冷却水，第一冷却介质源2与工作设备1关断备用。当冷却系统处于应急状态，第一冷却介质源2与工作设备1连通以向工作设备1提供冷却水，第二冷却介质源与工作设备1关断。

一实施例中，工作设备1为清洗机台，清洗机台配置为对晶圆进行清洗。第一冷却介质源2向清洗机台提供冷却水，或第二冷却介质源向清洗机台提供冷却水，通过向清洗机台提供冷却水，为清洗机台中的部分化学物质提供符合要求的低温环境。

一实施例中，工作设备1也可以为其它需要提供冷却水的设备。

一实施例中，第一冷却介质源2为机台水冷机组，第二冷却介质源为厂务水冷机组。

一实施例中，第一冷却介质源2中的冷却介质可以为除水以外的其它形式的冷却剂，和/或第二冷却介质源中的冷却介质可以为除水以外的其它形式的冷却剂。

一实施例中，当冷却系统处于正常工作状态，机台水冷机组与清洗机台连通以向清洗机台提供冷却水，冷却水在清洗机台与机台水冷机组之间循环，厂务水冷机组与清洗机台关断备用。当冷却系统处于应急状态，厂务水冷机组与清洗机台连通以向清洗机台提供冷却水，冷却水在清洗机台和厂务水冷机组之间循环，机台水冷机组与清洗机台关断。

一实施例中，厂务水冷机组中的冷却水主要来源于厂务水。

一实施例中，当冷却系统处于正常工作状态，清洗机台的第一入口11和第一出口12均与机台水冷机组连通，第一切换组件41将第一入口11与厂务水冷机组关断，第二切换组件42将第一出口12与厂务水冷机组关断，厂务水冷机组处于备用状态。当冷却系统处于应急状态，机台水冷机组无法提供冷却水，通过第一切换组件41将第一入口11与厂务水冷机组连通，第二切换组件42将第一出口12与厂务水冷机组连通，厂务水冷机组向清洗机台提供冷却水，第一切换组件41将第一入口11与机台水冷机组关断，第二切换组件42将第一出品12与机台水冷机组关断。由于第一切换组件41和第二切换组件42联动，当第一切换组件41切换至清洗机台的第一入口11与厂务水冷机组连通，第二切换组件42切换至清洗机台的第一出口12与厂务水冷机组连通，第一切换组件41将机台水冷机组与清洗机台的第一入口11之间关断，第二切换组件42将机台水冷机组与清洗机台的第一出口12之间关断，即机台水冷机组与清洗机台之间不连通。当机台水冷机组修复可以提供冷却水，可以恢复机台水冷机组向清洗机台提供冷却水，而不通过厂务水冷机组向清洗机台提供冷却水，具体为，第一切换组件41将清洗机台的第一入口11切换至与机台水冷机组连通，第二切换组件42将清洗机台的第一出口12切换至与机台水冷机组连通，机台水冷机组向清洗机台提供冷却水。由于第一切换组件41与第二切换组件42联动，当第一切换组件41切换至清洗机台的第一入口11与机台水冷机组连通，第二切换组件42切换至清洗机台的第一出口12与机台水冷机组连通，，第一切换组件41将厂务水冷机组与清洗机台的第一入口11之间关断，第二切换组件42将厂务水冷机组与清洗机台的第一出口12之间关断，即厂务水冷机组与清洗机台之间不连通。厂务水冷机组和机台水冷机组择一地与清洗机台连通，厂务水冷机组中的厂务水不会倒灌至机台水冷机组。

一实施例中，当工作设备1停止工作，第一冷却介质源2和第二冷却介质源可均与工作设备1关断。具体为，第一切换组件41将第一入口11分别与第一冷却介质源2和第二冷却介质源关断。第二切换组件42将第一出口12分别与第一冷却介质源2和第二冷却介质源关断。

一实施例中，当工作设备1为清洗机台，机台水冷机组包括容器、制冷器以及水泵，水泵连接在容器与第一切换组件41之间，制冷器配置为抽取容器中的水进行降温处理并将降温处理后的水送回容器，水泵配置为将容器中进行降温处理后的水经第一切换组件41输送至清洗机台并从清洗机台经第二切换组件输送回容器，容器与外界连通。如此结构形式，由于容器与外界连通，能够在一定程度上稳定容器内的压力，防止容器内的气体和/或液体在冷热变化过程中体积发生变化导致容器内的压力上升或下降，有利于容器在工作过程中较为安全。由于第一切换组件41和第二切换组件42联动，防止厂务水冷机组与机台水冷机组均与清洗机台连通，缓解了厂务水冷机组与机台水冷机组之间的倒灌，降低了机台水冷机组的容器由于厂务水的倒灌而使容器中的水泄漏到外界的可能性。

一实施例中，容器也可以不与外界连通。

可以理解的是，机台水冷机组也可以采用其它结构形式，只要能够向清洗机台提供所需的冷却水即可。

一实施例中，请参阅图1～图5，所述第一切换组件41为第一阀门，所述第二切换组件42为第二阀门。如此结构形式，相对于相关技术中通过四个阀门进行切换，本申请实施例的冷却系统通过第一阀门和第二阀门这两个阀门进行切换，所用的阀门数量更少，阀门数量越少，整个冷却系统由于阀门异常而停机的可能性较小，降低了冷却系统的制造和维护成本。

具体地，当需要第一冷却介质源2向工作设备1供水，工作设备1的第一入口11通过第一阀门与第一冷却介质源2连通，工作设备1的第一出口12通过第二阀门与第一冷却介质源2连通，第一阀门将第一入口11与第二冷却介质源关断，第二阀门将第一出口12与第二冷却介质源关断。当需要第二冷却介质源向工作设备1供水，工作设备1需要由第一冷却介质源供水切换至由第二冷却介质源供水，由于第一阀门和第二阀门联动，第一阀门和第二阀门会一起动作，工作设备1的第一入口11通过第一阀门与第二冷却介质源连通，工作设备1的第一出口12通过第二阀门与第二冷却介质源连通，第一阀门将第一入口11与第一冷却介质源2关断，第二阀门将第一出口12与第一冷却介质源2关断。

需要说明的是，图1中防错装置5采用双点画线示意，仅示意第一手柄和第二手柄间连接有防错装置5，图中所示防错装置5的位置并不一定是防错装置5相对于第一阀门和第二阀门的真实位置。

一实施例中，第一阀门和第二阀门均可以为手动阀门。

一实施例中，第一阀门和第二阀门也可以是具有自动控制功能的阀门，如电磁阀等。

一实施例中，请参阅图1～图5，第一阀门具有第一端口413、第二端口414以及第三端口415，第一端口413与第一冷却介质源2连通，第二端口414与第一入口11连通，第三端口415与第二冷却介质源连通，第二端口414分别与第一端口413和第三端口415选择性地连通；第二阀门具有第四端口423、第五端口424以及第六端口425，第四端口423与第一冷却介质源2连通，第五端口424与第一出口12连通，第六端口425与第二冷却介质源连通，第五端口424分别与第四端口423和第六端口425选择性地连通。如此结构形式，通过相应端口分别与第一冷却介质源2、第二冷却介质源以及工作设备1连通，相应端口之间选择性地连通，从而实现第一入口11通过第一阀门分别与第一冷却介质源2和第二冷却介质源连通，第一出口通过第二阀门分别与第一冷却介质源2和第二冷却介质源连通。

一实施例中，第一阀门和第二阀门均为三通阀。

可以理解的是，第一阀门和第二阀门可以不局限于三通阀，其它满足要求的阀门形式也是可以的。

一实施例中，请参阅图1～图5，第一阀门具有第一操作装置411，第一操作装置411配置为驱动第一阀门的阀芯动作，第二阀门具有第二操作装置421，第二操作装置421配置为驱动第二阀门的阀芯动作。防错装置5分别与第一操作装置411和第二操作装置421连接以使第一操作装置411和第二操作装置421联动。如此结构形式，由于防错装置5分别与第一操作装置411和第二操作装置421连接以使第一操作装置411和第二操作装置421联动，防错装置5会阻止操作者对第一操作装置411和第二操作装置421择一的完成切换操作，要么第一阀门和第二阀门均完成切换，要么第一阀门和第二阀门均无法完成切换，从而防止进入故障状态。

具体地，当操作者对第一操作装置411进行切换操作，但没有对第二操作装置421进行切换操作，由于防错装置5分别与第一操作装置411和第二操作装置421连接使第一操作装置411和第二操作装置421联动，第一操作装置411的移动会传递到防错装置5并通过防错装置5传递到第二操作装置421。如果第二操作装置421进行切换操作的阻力较大，防错装置5无法推动第二操作装置421移动以完成第二阀门的切换，第二操作装置421向防错装置5施加的反作用力将阻止第一操作装置411发生移动，操作者单独对第一操作装置411进行切换操作无法完成第一阀门的切换，这样，第一阀门和第二阀门均无法完成切换。如果第二操作装置421进行切换操作的阻力较小，防错装置5可能推动第二操作装置421发生移动，操作者单独对第一操作装置411进行切换操作，可能使得第一阀门和第二阀门均完成切换，冷却系统由工作设备1与第一冷却介质源2连通的状态切换至工作设备1与第二冷却介质源连通的状态，或冷却系统由工作设备1与第二冷却介质源连通的状态切换至工作设备1与第一冷却介质源2连通的状态不会出现工作设备1同时连通第一冷却介质源2和第二冷却介质源造成第一冷却介质源2和第二冷却介质源相互倒灌的问题。

当操作者对第二操作装置421进行切换操作，但没有对第一操作装置411进行切换操作，由于防错装置5分别与第一操作装置411和第二操作装置421连接，第二操作装置421的移动会传递到防错装置5并通过防错装置5传递到第一操作装置411。如果第一操作装置411的阻力较大，防错装置5无法推动第一操作装置411移动以完成第一阀门的切换，第一操作装置411向防错装置5施加的反作用力将阻止第二操作装置421移动，操作者单独对第二操作装置421进行切换操作无法完成第二阀门的切换，第一阀门和第二阀门均无法完成切换，不会进入故障状态。如果第一操作装置411切换的阻力较小，防错装置5可能推动第一操作装置411移动，操作者单独对第二操作装置421进行切换操作，可能使得第一阀门和第二阀门均完成切换，冷却系统由工作设备1与第一冷却介质源2连通的状态切换至工作设备1与第二冷却介质源连通的状态，或冷却系统由工作设备1与第二冷却介质源连通的状态切换至工作设备1与第二冷却介质源连通的状态。

一实施例中，操作者可同时对第一操作装置411和第二操作装置421进行切换操作，以使第一阀门和第二阀门均完成切换。

一实施例中，当第一阀门和第二阀门均可以为能够进行自动控制的阀门，第一操作装置411可以与第一阀门的阀芯连接，第一操作装置411跟随第一阀门的阀芯的移动而移动。第二操作装置421可以与第二阀门的阀芯连接，第二操作装置421跟随第二阀门的阀芯的移动而移动。

一实施例中，请参阅图2和图5，第一操作装置411为绕第一转动中心线412转动的第一手柄，第二操作装置421为绕第二转动中心线422转动的第二手柄，防错装置5分别与第一手柄和第二手柄转动连接以使第一手柄和第二手柄联动，防错装置5与第一手柄在第一位置处转动连接，第一位置与第一转动中心线412之间间隔第一预设距离D1，防错装置5与第二手柄在第二位置处转动连接，第二位置与第二转动中心线422之间间隔第二预设距离D2。如此结构形式，第一位置与第一转动中心线412之间间隔第一预设距离D1，使得第一位置相对于第一转动中心线412偏心设置，第二位置与第二转动中心线422之间间隔第二预设距离D2，使得第二位置相对于第二转动中心线422偏心设置。当操作者对第一手柄和第二手柄均进行切换操作，防错装置5能够随着第一手柄和第二手柄的转动而相应移动，第一阀门和第二阀门均能够完成切换。当操作者单独对第一手柄和第二手柄进行切换操作，第一手柄和/或第二手柄的移动也能够传递到防错装置5，使得第一阀门和第二阀门均无法切换，或第一阀门和第二阀门均能够完成切换。

一实施例中，请参阅图2，防错装置5连接在第一手柄和第二手柄之间，第一阀门和第二阀门沿第一转动中心线412的延伸方向排列。

一实施例中，第参阅图3～图5，防错装置5连接在第一手柄和第二手柄之间，第一阀门和第二阀门沿预设方向排列，预设方向与第一转动中心线412的延伸方向垂直。

可以理解的是，请参阅图4，由于加工精度等因素，两个零部件之间难以严丝合缝地连接，两个零部件之间可能存在一定的间隙，在第一位置处，第一手柄与防错装置5可能存在间隙，在第二位置处，第二手柄与防错装置5之间可能存在间隙。当第一手柄转过一定角度，由于第一手柄手柄与防错装置5之间可能存在间隙，第一手柄转过一个较小的角度可能刚好消除了第一手柄与防错装置5在连接位置处的间隙，这个过程中第一手柄也没有向防错装置5施加推力，当间隙消除后，第一手柄继续转动，第一手柄才会向防错装置5施加推力，第二手柄与防错装置5之间也是如此，需要防错装置5移动一段较小的距离消除防错装置5与第二手柄之间的间隙，第二手柄与防错装置5之间才会相互施加作用力。第一手柄可能需要转动一定的角度以消除间隙，以使第一手柄与防错装置5之间、以及第二手柄与防错装置5之间能够相互施加作用力，防错装置5才能够起到防止进入故障状态的作用，这就涉及到防错灵敏度的问题。如果第一预设距离D1和第二预设距离D2较小，对于同样大小的间隙，第一手柄或第二手柄需要转动更大的角度才能消除间隙，使得第一手柄和第二手柄进入联动状态，这就导致防错装置5的防错灵敏度较低。

鉴于此，一实施例中，第一位置位于第一手柄端部，第二位置位于第二手柄的端部。如此结构形式，能够使得第一预设距离D1和第二预设距离D2尽可能地增大。第一手柄转动较小的角度即能够消除第一手柄和防错装置5在第一位置处的间隙，第二手柄转动较小的角度即能够消除第二手柄和防错装置5在第二位置处的间隙，提高防错装置5的防错灵敏度。

一实施例中，第一位置也可以位于第一手柄的端部与第一转动中心线412之间，第二位置也可以位于第二手柄的端部与第二转动中心线422之间。

一实施例中，请参阅图1～图5，防错装置5为连杆。

一实施例中，请参阅图1～图5，连杆的两端均形成有球头51。第一手柄形成有第一球窝4111，连杆其中一端的球头51位于第一球窝4111内。第二手柄形成有第二球窝4211，连杆另一端的球头51位于第二球窝4211内。如此结构形式，连杆与第一手柄的转动中心大致为第一球窝4111的球心，连杆与第一手柄之间能够较为自由的转动，连杆与第二手柄的转动中心大致为第二球窝4211的球心，连杆与第二手柄之间能够较为自由的转动。

一实施例中，请参阅图4和图5，第一手柄包括相互连接的第一本体4112和第一连接件4113，第一球窝4111形成于第一连接件4113。

一实施例中，第一本体4112与第一连接件4113一体成型，或第一本体4112与第一连接件4113螺纹连接。

一实施例中，请参阅图4和图5，第二手柄包括相互连接的第二本体4212和第二连接件4213，第二球窝4211形成于第二连接件4213。

一实施例中，第二本体4212和第二连接件4213一体成型，或第二本体4212与第二连接件4213螺纹连接。

一实施例中，连杆与第一手柄之间可以通过销轴转动连接。

一实施例中，连杆与第二手柄之间可以通过销轴转动连接。

一实施例中，第一手柄和第二手柄平行。如此结构形式，便于防错装置5连接在第一手柄和第二手柄之间。

一实施例中，请参阅图1，冷却系统还包括第三阀门6和第八阀门7，第一切换组件41通过第三阀门6与第二冷却介质源选择性地连通，第二切换组件42通过第八阀门7与第二冷却介质源选择性地连通。如此结构形式，当不需要第二冷却介质源对工作设备1进行冷却，可通过第三阀门6将第一切换组件41与第二冷却介质源之间关断，通过第八阀门7将第二切换组件42与第二冷却介质源之间关断，即使第一切换组件41和第二切换组件42误动作，第二冷却介质源中的冷却介质也不会流入工作设备1。

一实施例中，工作设备1为清洗机台，第二冷却介质源为厂务水冷机组，第一冷却介质源2为机台水冷机组。当不需要厂务水，可通过第三阀门6将第一切换组件41与厂务水冷机组之间关断，通过第八阀门7将第二切换组件42与厂务水冷机组之间关断，即使第一切换组件41和第二切换组件42误动作，厂务水也不会流入清洗机台。

一实施例中，第三阀门6为手动阀。

一实施例中，第三阀门6为二通阀。

可以理解的是，第一切换组件41并不局限于通过第一阀门实现切换功能，和第二切换组件42并不局限于通过第二阀门实现切换功能。一实施例中，请参阅图6，第一切换组件41包括第五阀门102和第六阀门103，第二切换组件42包括第四阀门101和第七阀门104，第四阀门101、第五阀门102、第六阀门103以及第七阀门104均为二通阀。第一入口11通过第五阀门102与第一冷却介质源2选择性地连通，第一入口11通过第六阀门103与第二冷却介质源选择性地连通，第一出口12通过第四阀门101与第一冷却介质源2选择性地连通，第一出口12通过第七阀门104与第二冷却介质源选择性地连通。第四阀门101具有操作第四阀门101的阀芯动作的第三操作装置1011，第五阀门102具有操作第五阀门102的阀芯动作的第四操作装置1021，第六阀门103具有操作第六阀门103的阀芯动作的第五操作装置1031，第七阀门104具有操作第七阀门104的阀芯动作的第六操作装置1041。其中，第三操作装置1011和第四操作装置1021之间、第四操作装置1021和第五操作装置1031之间、第五操作装置1031和第六操作装置1041均连接有防错装置5。需要多个操作者对第四阀门101、第五阀门102、第六阀门103以及第七阀门104一起进行切换操作才能完成第一切换组件41和第二切换组件42的切换。从而防止第四阀门101、第五阀门102、第六阀门103以及第七阀门104中，第六阀门103和第七阀门104打开后，第四阀门101和第五阀门102忘记关闭导致厂务水倒灌至机台水冷机组的问题。

一实施例中，第三操作装置1011、第四操作装置1021、第五操作装置1031以及第六操作装置1041均为手柄。

需要说明的是，图6中防错装置5采用双点画线示意，仅示意第三操作装置1011和第四操作装置1021之间、第四操作装置1021和第五操作装置1031之间、第五操作装置1031和第六操作装置1041均连接有防错装置5，图中所示防错装置5的位置并不一定是防错装置5相对于各阀门的真实位置。

本申请提供的各个实施例/实施方式在不产生矛盾的情况下可以相互组合。

以上仅为本申请的较佳实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种冷却系统，其特征在于，包括工作设备、第一冷却介质源、第二冷却介质源、第一切换组件、第二切换组件以及防错装置，所述工作设备具有第一入口和第一出口，所述第一入口通过所述第一切换组件分别与所述第一冷却介质源和所述第二冷却介质源选择性地连通，所述第一出口通过所述第二切换组件分别与第一冷却介质源和所述第二冷却介质源选择性地连通，所述防错装置分别与所述第一切换组件和所述第二切换组件连接以使所述第一切换组件和所述第二切换组件联动。

2.根据权利要求1所述的冷却系统，其特征在于，所述第一切换组件为第一阀门，所述第二切换组件为第二阀门。

3.根据权利要求2所述的冷却系统，其特征在于，所述第一阀门具有第一操作装置，所述第一操作装置配置为驱动所述第一阀门的阀芯动作，所述第二阀门具有第二操作装置，所述第二操作装置配置为驱动所述第二阀门的阀芯动作；所述防错装置分别与所述第一操作装置和所述第二操作装置连接以使所述第一操作装置和所述第二操作装置联动。

4.根据权利要求3所述的冷却系统，其特征在于，所述第一操作装置为绕第一转动中心线转动的第一手柄，所述第二操作装置为绕第二转动中心线转动的第二手柄，所述防错装置分别与所述第一手柄和所述第二手柄转动连接以使所述第一手柄和所述第二手柄联动，所述防错装置与所述第一手柄在第一位置处转动连接，所述第一位置与所述第一转动中心线之间间隔第一预设距离，所述防错装置与所述第二手柄在第二位置处转动连接，所述第二位置与所述第二转动中心线之间间隔第二预设距离。

5.根据权利要求4所述的冷却系统，其特征在于，所述第一位置位于第一手柄端部，所述第二位置位于所述第二手柄的端部。

6.根据权利要求4所述的冷却系统，其特征在于，所述防错装置为连杆，所述连杆的两端均形成有球头；所述第一手柄形成有第一球窝，所述连杆其中一端的球头位于所述第一球窝内；所述第二手柄形成有第二球窝，所述连杆另一端的球头位于所述第二球窝内。

7.根据权利要求2所述的冷却系统，其特征在于，所述第一阀门具有第一端口、第二端口以及第三端口，所述第一端口与所述第一冷却介质源连通，所述第二端口与所述第一入口连通，所述第三端口与所述第二冷却介质源连通，所述第二端口分别与所述第一端口和所述第三端口选择性地连通；所述第二阀门具有第四端口、第五端口以及第六端口，所述第四端口与所述第一冷却介质源连通，所述第五端口与所述第一出口连通，所述第六端口与所述第二冷却介质源连通，所述第五端口分别与所述第四端口和所述第六端口选择性地连通。

8.根据权利要求1～7任一项所述的冷却系统，其特征在于，所述工作设备为清洗机台，所述清洗机台配置为对晶圆进行清洗，所述第一冷却介质源为机台水冷机组，所述第二冷却介质源为厂务水冷机组。

9.根据权利要求8所述的冷却系统，其特征在于，所述机台水冷机组包括容器、制冷器以及水泵，所述水泵连接在所述容器与所述第一切换组件之间，所述制冷器配置为抽取所述容器中的水进行降温处理并将降温处理后的水送回所述容器，所述水泵配置为将所述容器中进行降温处理后的水经所述第一切换组件输送至清洗机台并从所述清洗机台经所述第二切换组件输送回所述容器，所述容器与外界连通。

10.根据权利要求1～7任一项所述的冷却系统，其特征在于，所述冷却系统还包括第三阀门和第八阀门，所述第一切换组件通过所述第三阀门与所述第二冷却介质源选择性地连通，所述第二切换组件通过所述第八阀门与所述第二冷却介质源选择性地连通。

Images