CN113390318A - 一种石英坩埚壁厚快速检测装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种石英坩埚壁厚快速检测装置,包括顶板、承载板、底板、固定于底板的圆环形挡板,所述底板处具有多个半球形凹槽,每个半球形凹槽内具有一个球体,所述承载板位于所述底板上方,被多个所述球体支撑;所述顶板通过电动伸缩杆连接有检测单元,所述检测单元包括活动板、内径检测环和外径检测环,外径检测环通过第一连接杆与所述活动板连接,所述内径检测环通过第二连接杆与所述活动板连接。本发明的检测装置能够对石英坩埚的内外径及壁厚进行快速检测是否合格。
Description
技术领域
本发明涉及坩埚领域,具体涉及一种石英坩埚壁厚快速检测装置。
背景技术
石英坩埚,具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点,应用越来越广泛。石英坩埚在制作过程中需要经过高纯石英砂→高纯石墨模具→真空装料成型→真空电弧熔制→自然冷却脱模→石英坩埚初步检测→冷加工喷砂、切断、倒角→石英坩埚二次检测→超净清洗、超声、高压喷淋、自动烘干。而内外径及壁厚的检测就是其中的一环,但是现有的检测设备存在结构复杂,检测复杂的问题,检测不够快速方便。
发明内容
发明目的:本发明旨在克服现有技术的缺陷,提供一种石英坩埚壁厚快速检测装置。
技术方案:一种石英坩埚壁厚快速检测装置,包括顶板、承载板、底板、固定于底板的圆环形挡板,所述底板处具有多个半球形凹槽,每个半球形凹槽内具有一个球体,所述承载板位于所述底板上方,被多个所述球体支撑;所述顶板通过电动伸缩杆连接有检测单元,所述检测单元包括活动板、内径检测环和外径检测环,外径检测环通过第一连接杆与所述活动板连接,所述内径检测环通过第二连接杆与所述活动板连接。
进一步地,所述第一连接杆有4个,4个第一连接杆呈圆环状等间距分布,所述第二连接杆有4个,4个第二连接杆呈圆环状等间距分布。
从而4个第一连接杆和4个第二连接杆可以很稳定地对外径检测环和内径检测环进行有效的固定连接。
进一步地,所述外径检测环和内径检测环的截面均为圆形。
进一步地,所述外径检测环和所述内径检测环均具有刚性环形骨架和包覆所述刚性环形骨架的包层。
包层具有一定的弹性,从而不会损伤石英坩埚的表面。
进一步地,所述承载板的上表面固定有防滑垫。
进一步地,所述第一连接杆的长度等于第二连接杆的长度。
进一步地,所述球体的直径小于半球形凹槽的直径0-1mm。
进一步地,多个半球形凹槽呈多圈分布;或者多个半球形凹槽呈十字形分布。从而多个球体为石英坩埚提供有效的支撑,方便石英坩埚的位移。
有益效果:本申请的石英坩埚检测装置,将石英坩埚放置在承载板上,承载板能够进行一定程度的位移,从而利用外径检测装置和内径检测装置一次性对石英坩埚的内、外径进行准确快速的检测,判断石英坩埚的壁厚是否合格。
附图说明
图1为检测装置的剖面示意图;
图2为检测装置立体示意图。
具体实施方式
附图标记:1底板;2.环形挡板;3球体;4承载板;5防滑垫;6顶板;7 电动伸缩杆;8活动板;8.1外径检测环;8.2内径检测环;8.3第一连接杆;8.4 第二连接杆。
下面结合图1-2作具体说明:一种石英坩埚壁厚快速检测装置,包括顶板6、承载板4、底板1、固定于底板1的圆环形挡板2,所述底板1处具有多个半球形凹槽,每个半球形凹槽内具有一个球体3,所述承载板4位于所述底板1上方,被多个所述球体3支撑;所述顶板6通过电动伸缩杆连接有检测单元,所述检测单元包括活动板8、内径检测环8.2和外径检测环8.1,外径检测环8.1通过第一连接杆8.3与所述活动板8连接,所述内径检测环8.2通过第二连接杆8.4与所述活动板连接。
进一步地,所述第一连接杆8.3有4个,4个第一连接杆8.3呈圆环状等间距分布,所述第二连接杆8.4有4个,4个第二连接杆8.4呈圆环状等间距分布。所述外径检测环8.1和内径检测环8.2的截面均为圆形。所述外径检测环8.1和所述内径检测环8.2均具有刚性环形骨架和包覆所述刚性环形骨架的包层。所述承载板4的上表面固定有防滑垫5。所述第一连接杆8.3的长度等于第二连接杆 8.4的长度。所述球体3的直径小于半球形凹槽的直径0-1mm。多个半球形凹槽呈多圈分布;或者多个半球形凹槽呈十字形分布。
如图所示,本发明的检测装置,可以将石英坩埚放置在承载板上,大概角度对准内、外径检测环,接着利用电动伸缩杆使得内、外径检测环下移,从而使得内径检测环位于石英坩埚内侧,外径检测环包围石英坩埚外侧,由于承载板可以移动,并且在球体的支撑下,移动非常方便,从而很容易地微调石英坩埚和内、外径检测环的相对位置。如果内外径相对完全贴合,则表明内外径合格,壁厚合格,否者不合格。
尽管本发明就优选实施方式进行了示意和描述,但本领域的技术人员应当理解,只要不超出本发明的权利要求所限定的范围,可以对本发明进行各种变化和修改。
Claims (8)
1.一种石英坩埚壁厚快速检测装置,其特征在于,包括顶板、承载板、底板、固定于底板的圆环形挡板,所述底板处具有多个半球形凹槽,每个半球形凹槽内具有一个球体,所述承载板位于所述底板上方被多个所述球体支撑;所述顶板通过电动伸缩杆连接有检测单元,所述检测单元包括活动板、内径检测环和外径检测环,外径检测环通过第一连接杆与所述活动板连接,所述内径检测环通过第二连接杆与所述活动板连接。
2.根据权利要求1所述的石英坩埚壁厚快速检测装置,其特征在于,所述第一连接杆有4个,4个第一连接杆呈圆环状等间距分布,所述第二连接杆有4个,4个第二连接杆呈圆环状等间距分布。
3.根据权利要求1所述的石英坩埚壁厚快速检测装置,其特征在于,所述外径检测环和内径检测环的截面均为圆形。
4.根据权利要求1所述的石英坩埚壁厚快速检测装置,其特征在于,所述外径检测环和所述内径检测环均具有刚性环形骨架和包覆所述刚性环形骨架的包层。
5.根据权利要求1所述的石英坩埚壁厚快速检测装置,其特征在于,所述承载板的上表面固定有防滑垫。
6.根据权利要求1所述的石英坩埚壁厚快速检测装置,其特征在于,所述第一连接杆的长度等于第二连接杆的长度。
7.根据权利要求1所述的石英坩埚壁厚快速检测装置,其特征在于,所述球体的直径小于半球形凹槽的直径0-1mm。
8.根据权利要求1所述的石英坩埚壁厚快速检测装置,其特征在于,多个半球形凹槽呈多圈分布;或者多个半球形凹槽呈十字形分布。
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CN202010171880.4A CN113390318A (zh) | 2020-03-12 | 2020-03-12 | 一种石英坩埚壁厚快速检测装置 |
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CN202010171880.4A CN113390318A (zh) | 2020-03-12 | 2020-03-12 | 一种石英坩埚壁厚快速检测装置 |
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CN (1) | CN113390318A (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114136180A (zh) * | 2021-11-23 | 2022-03-04 | 航发优材(镇江)高温合金有限公司 | 一种粉末冶金领域用中间包坩埚检测工装 |
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2020
- 2020-03-12 CN CN202010171880.4A patent/CN113390318A/zh not_active Withdrawn
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CN114136180A (zh) * | 2021-11-23 | 2022-03-04 | 航发优材(镇江)高温合金有限公司 | 一种粉末冶金领域用中间包坩埚检测工装 |
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