CN113325671B - 在工件的不平整表面上激光直接成像的装置及成像方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种在工件的不平整表面上激光直接成像的装置,包括:计算机控制系统以及至少一组一体设置在光轴上的发光光源、准直镜以及成像透镜,工件的不平整表面上涂镀有感光油墨层。发光光源、准直镜及成像透镜经计算机控制系统控制整体往复摆动扫描感光油墨层上的待曝光点。计算机控制系统用于控制发光光源、准直镜、成像透镜、工件协同工作,使出射光在感光油墨层上进行若干次往复扫描,对若干个待曝光点进行全部曝光。本发明还公开了一种在不平整表面上直接激光成像的方法。本装置和方法,解决了在不平整表面上不能直接进行激光成像的问题。

Description

在工件的不平整表面上激光直接成像的装置及成像方法
技术领域
本发明属于激光直接成像领域,尤其涉及到一种在工件的不平整表面上激光直接成像的装置及成像方法。
背景技术
LDI(laser Direct Image,激光直接成像),是直接利用CAM工作站输出的数据,驱动激光直接成像的装置。LDI具有以下优点:(1)、无需使用菲林,大大提高了生产效率,简化了制作工序;(2)、灵活的比例设定模式大大提高了机器的对位精度;(3)、明显提高制作精度,减少图形转移误差;(4)、操作性能好;(5)、清洁度高。尽管LDI有上述描述的优点,但是目前LDI只能对平整的平面或者回转体表面进行直接激光成像。随着工业的不断发展,各种具有不规则曲面形状的工件不断出现,很多时候在不规则曲面上需要激光直接成像,鉴于目前的技术现状,无法满足这一使用需求。
发明内容
本发明提供了一种在工件的不平整表面上激光直接成像的装置及成像方法,其目的在于解决现有技术中无法在工件的不平整表面上进行激光直接成像的问题。
本发明的方案如下:
一种在工件的不平整表面上激光直接成像的装置,包括,计算机控制系统以及至少一组一体设置在光轴上的发光光源、准直镜以及成像透镜;
发光光源、准直镜及成像透镜经计算机控制系统控制整体往复摆动;
发光光源发出的光经准直镜准直后入射至成像透镜,经过成像透镜出射后形成出射光,成像透镜经计算机控制系统控制沿着光轴移动,出射光往复扫描不平整表面上的感光油墨层上的待曝光点并曝光,并将存储于计算机控制系统中的待印制图像印制在感光油墨层上;
计算机控制系统还用于:读取工件的不平整表面的信息,将待印制图像光栅化后并投影到不平整表面上的感光油墨层处理成若干个待曝光点,控制发光光源有效出光以及控制工件的运动。
进一步地,将待印制图像光栅化的具体步骤为:将待印制图像划分为m行*n列,得到m*n个像素点,并将m*n个像素点投影到感光油墨层上作为待曝光点。
进一步地,成像透镜经计算机控制系统控制沿着光轴移动,出射光往复扫描不平整表面上的感光油墨层上的待曝光点并曝光,将存储于计算机控制系统中的待印制图像印制在感光油墨层上的具体步骤为:
选取投影到感光油墨层的待印制图像的第p(1≤p≤m)行第i(1≤i≤n)列的像素点Qpi作为待曝光点;
定义发光光源到成像透镜的光心的物距为UPi,成像透镜的光心到待曝光点Qpi的像距为Vpi,定义成像透镜的焦距为f;
根据透镜成像公式
Figure BDA0003106607450000021
计算机控制系统根据Vpi值的变化控制成像透镜沿着光轴移动,以使全部待曝光点Qpi在工件的感光油墨层上聚焦曝光;
其中,Vpi的值随着待曝光点的不同而变化,UPi的值随Vpi的值变化而变化,f为定值。
进一步地,计算机控制系统控制发光光源有效出光的具体控制方为:当出射光扫描到待曝光点时,计算机控制系统控制发光光源出光;当出射光未扫描到待曝光点时,控制系统控制发光光源不出光。
进一步地,发光光源、准直镜及成像透镜经计算机控制系统控制整体往复摆动的摆动方向为先从右到左摆动,后从左到右摆动,或者先从左到右摆动,后从右到左摆动。
进一步地,工件的运动方向和出射光的往复扫描方向垂直。
进一步地,工件在出射光每扫完一行待曝光点后前进运动一个预设位移,直至出射光扫描完最后一行待曝光点为止。
进一步地:发光光源为405nm波长单模激光光源。
进一步地:装置还包含测距模块。
本发明还公开了一种利用上述装置进行激光直接成像的方法,包括如下步骤:
步骤a:计算机读取工件的涂镀有感光油墨层的不平整表面信息并存储;
步骤b:将待印制图像光栅化后并投影到工件的不平整表面,得到m行*n列个待曝光点;
步骤c:计算机控制系统控制发光光源、准直镜、成像透镜和工件协调工作,使出射光在感光油墨层上进行若干次往复扫描,对m*n个待曝光点进行全部曝光,将待印制图像印制在感光油墨层上。
进一步地,步骤c中:计算机控制系统控制发光光源、准直镜、成像透镜和工件协调工作,使出射光在感光油墨层上进行若干次往复扫描,对感光油墨涂层上的m*n个待曝光点进行全部曝光,具体分解为如下步骤:
c1:选取感光油墨涂层上的m*n个待曝光点的第p(1≤p≤m)行第i(1≤i≤n)列的待曝光点Qpi
c2:由成像透镜成像公式
Figure BDA0003106607450000041
计算机控制系统根据测得的Vpi的数值调整成像透镜沿着光轴移动,以使待曝光点Qpi在工件的不平整面上曝光;
c3、计算机控制系统控制发光光源、准直镜、成像透镜整体同步摆动,使出射光扫描第p(1≤p≤m)行第(i+1)列的待曝光点Qp(i+1),同时控制成像透镜沿光轴移动,曝光待曝光点Qp(i+1),直至曝光完第p行的全部待曝光点;
c4、计算机控制系统控制工件沿着和出射光扫描方向垂直的方向移动,使出射光以和曝光第p行全部待曝光点同样的方法,逐行曝光剩余行数的待曝光点;
其中,UPi为发光光源到成像透镜的光心的物距,Vpi为成像透镜的光心到待曝光点Qpi的像距,f为成像透镜的焦距。
进一步地:出射光只有扫描到待曝光点时,计算机控制系统才控制发光光源出光;在曝光同一行的相邻两个待曝光点的时间间隔内,以及在曝光相邻两行待曝光点的时间间隔内,计算机控制系统控制发光光源不出光。。
本发明的有益技术效果:通过本装置和方法,将工件的不平整表面的信息扫描并存储于计算机中,将待印制图像光栅化后投影到涂镀有感光油墨层的工件的不平整表面,得到m*n个像素点,将m*n个像素点作为待曝光点。计算机控制系统控制发光光源、准直镜、成像透镜作为一个整体往复运动并逐行扫描曝光m个像素点;同时在准备扫描曝光下一行待曝光点时,计算机控制系统控制工件沿着和出射光扫描方向垂直的方向运动一个预设行程;对m*n个待曝光点进行全部曝光,将存储在计算机中的待印制图像印制在感光油墨层上。本装置和方法,解决了在不平整表面上激光直接成像的技术难题。
附图说明
图1为本发明的光路结构示意图;
图中各部件对应的名称及序号分别为:1、发光光源;2、准直镜;3、成像透镜;4、工件;41、感光油墨层;5、计算机控制系统;6、机械结构件
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制;术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述区别,而不能理解为指示或暗示相对重要性,此外,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,还可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
参考图1,图1为本发明的光路结构示意图。本发明所说的一种在工件的不平整表面上激光直接成像的装置,包括:发光光源1、准直镜2、成像透镜3、工件4和计算机控制系统5。发光光源1、准直镜2和成像透镜3设置在光轴Ox上,发光光源1、准直镜2和成像透镜3放置在一个可以往复整体摆动的机械结构件6内,该机械结构件6可以由电机(未图示)驱动摆动,并由计算机控制系统5进行运动控制。当机械结构件6做如图1所示的左右往复摆动时,机械结构件6带动发光光源1、准直镜2和成像透镜3左右来回摆动,其摆动方向与工件4的横向方向相同。
成像透镜3经计算机控制系统5控制可沿着光轴Ox移动,发光光源1经计算机控制系统5控制可以有效出光,即发出激光或者关闭激光。工件4的上表面为不平整表面,该不平整表面上涂镀有感光油墨层41。计算机控制系统5采集工件4的不平整表面的信息,这些信息储存在电脑中。计算机控制系统5中还存储有待印制图像的信息,计算机控制系统5将待印制图像光栅化后,得到m行*n列个像素点,计算机控制系统5将m行*n列个像素点根据不平整表面的信息投影到感光油墨层41上,得到m*n个待曝光点。本专利申请中所说的将印制图像光栅化,也就是将印制图像进行栅格数据,就是将空间分割成有规律的网格,每一个网格称为一个单元,并在各单元上赋予相应的属性值来表示实体的一种数据形式。每一个单元(像素)的位置由它的行列号定义,所表示的实体位置隐含在栅格行列位置中,数据组织中的每个数据表示地物或现象的非几何属性或指向其属性的指针。
参考图1,本发明工作原理为:发光光源1发出的激光经准直镜2准直后形成准直光,该准直光经过成像透镜3透射后形成出射光,出射光对位于不平整表面上的感光油墨层上的m*n个待曝光点进行多次扫描,最后全部曝光。由于m*n个待曝光点分布在感光油墨层41上,而感光油墨层41又覆盖在工件4的不平整的上表面上,所以m*n个待曝光点在空间上的坐标各不相同,从而导致了经由成像透镜3出射的出射光到每一个待曝光点的光程各不相同,为保证每一个待曝光点均能被发光光源1曝光,即是说发光光源1均能在每一个待曝光点上聚焦,根据光学成像原理,需要通过计算机控制系统5控制成像透镜3沿着光轴Ox往复运动以适应不同待曝光点光程的不同。需要说明的是,出射光在曝光感光油墨层41上的m*n个待曝光点时,计算机控制系统5控制发光光源1有效出光,也就是说只有出射光扫描到待曝光点时,发光光源1才会出光。本装置最后完成上述m*n个待曝光点在感光油墨层41上全部曝光,将存储在电脑中的待印制图像全部印制在感光油墨层41上。
发光光源1、准直镜2和成像头镜3整体左右来回摆动,成像透镜3沿着光轴Ox往复运动、工件4的前后平动以及发光光源1有效出光都是在计算机控制系统5的控制下协同进行的:当发光光源1、准直镜2和成像头镜3由右向左摆动时,发光光源1发出的光经准直经2准直后,形成准直光,准直光经成像透镜3透射后入射到工件4的不平整表面的感光油墨层41上扫描聚焦,将待曝光点进行曝光;当发光光源1、准直镜2和成像头镜3共同摆动扫描下一个待曝光点时,由于下一个待曝光点到成像透镜3的光程与前一个待曝光点到成像透镜3的光程不同,为了保证下一个待曝光点也能在感光油墨层41上聚焦,所以计算机控制系统5控制成像透镜3沿着光轴Ox运动。在扫描两个相邻待曝光点的间隔,为有效节约光能,则计算机控制系统控制5控制发光光源1不出光。当发光光源1、准直镜2和成像透镜3共同摆动扫描完感光油墨层的某一行最后一个待曝光点后,计算机控制系统控制5控制工件4沿着纵下运动,即沿着和发光光源1、准直镜2和成像头镜3整体摆动方向垂直的方向运动,此时,由于经由成像透镜3出射的出射光没有扫描到待曝光点,所以计算机控制系统5控制发光光源1不发光。
下面具体阐述成像透镜3经计算机控制系统5控制沿着光轴Ox移动,出射光往复扫描不平整表面上的感光油墨层41上的待曝光点并曝光,将存储于计算机控制系统5中的待印制图像印制在感光油墨层41上的具体步骤:
任选已经投影到感光油墨层41上待印制图像的第p(1≤p≤m)行第i(1≤i≤n)列的像素点Qpi作为待曝光点。需要说明的是,p、i为随机选择的两个值,也就是说像素点Qpi为一个随机选择的像素点,并以该随机选择的像素点作为待曝光点,这样选取的意义在于表述出透镜成像公式适合于任意一个待曝光点,因此具有普遍意义。
定义发光光源1到成像透镜3的光心的物距为UPi,成像透镜3的光心到待曝光点Qpi的像距为Vpi,定义成像透镜3的焦距为f;
由透镜成像公式
Figure BDA0003106607450000081
可以知道,
因为每一个待曝光点到成像透镜3的出射点的距离值Vpi均不相同,所以需要计算机控制系统5根据Vpi具体数值的变化适时控制成像透镜3沿着光轴Ox移动,以使所有待曝光点Qpi在感光油墨层上聚焦曝光。根据上述公式,在成像透镜的焦距f为定值前提下,UPi和Vpi的值随着待曝光点的不同而变化,UPi和Vpi的变化需要通过计算机控制系统5控制成像透镜3沿着光轴Ox移动来实现,因此,出射光扫描若干待曝光点时,成像透镜3会在光轴Ox上来回移动。
参考图1,作为其中的一个实施例,当p取1,i取1时,出射光首先扫描第1行第1列的待曝光点Q11,此时设置在本装置中的测距模块(未图示)测得D11的值,为保证待曝光点Q11能够被出射光曝光,则需要调整成像透镜3沿光轴移动距离Δ1,测距模块测得U11和V11;发光光源1、准直镜2和成像透镜3整体向左摆动角度θ,出射光扫描第1行第2列的待曝光点Q12,测距模块测得D12,为保证待曝光点Q12能够被出射光曝光,则又需要调整成像透镜3沿光轴移动距离Δ2,此时,因为成像透镜3沿着光轴Ox移动,U12和V12的值也均发生了变化。发光光源1、准直镜2和成像透镜3整体继续向左摆动角度θ,出射光扫描第1行第3列的第三个待曝光点;如此循环下去,直到扫描完第1行最后1列的最后一个待曝光点Q1i
在扫描第2行第1列的待曝光点Q21时,计算机控制系统5控制工件4沿着和出射光扫描方向垂直的方向移动一个预设距离,接着用和扫描第1行的i个待曝光点相同的办法,出射光依次扫描第2行的i个待曝光点。依次类推,直至扫描完最后一行最后一列的待曝光点Qmn。需要说明的是,工件4每一次沿纵向移动的预设距离例如可以是一个像素点所占空间的距离。
需要说明的是,在扫面同一行的两个相邻待曝光点A和待曝光点B的间隙,计算机控制系统5需要控制发光光源1不出光;在工件4沿着和出射光扫描方向垂直的方向(如图1的工件4的运动方向)移动一个预设距离时,也就是任意一行待曝光点扫描完后到准备扫描任意一行的下一行期间,计算机控制系统5需要控制发光光源1不出光。总之,只有出射光扫描到待曝光点时,计算机控制系统5才控制发光光源1出光。
为保证工件4能纵向移动,也需要将工件4设置在沿着和出射光扫描方向垂直移动的平台上,该平台放置在导轨上,该平台由电机驱动运动,进而带动工件4运动。如图1所示,工件4的运动方向为垂直纸面向里,当然,这仅仅是示例性的,也可以是为垂直纸面向外。
本发明的技术方案中,发光光源优选为405nm波长单模激光光源。
本发明还公开了一种利用上述装置进行激光直接成像的方法,包括如下步骤:
步骤a:计算机读取工件的涂镀有感光油墨层的不平整表面信息并存储;
步骤b:将待印制图像光栅化后并投影到工件的不平整表面,得到m行*n列个待曝光点;
步骤c:计算机控制系统控制发光光源、准直镜、成像透镜和工件协调工作,使出射光在感光油墨层上进行若干次往复扫描,对m*n个待曝光点进行全部曝光,将待印制图像印制在感光油墨层上。通过上述步骤,可以实现工件的不平整表面上的若干待曝光点都被曝光。
具体地,步骤c又分解为如下步骤:
c1:选取感光油墨涂层上的m*n个待曝光点的第p(1≤p≤m)行第i(1≤i≤n)列的待曝光点Qpi
c2:由成像透镜成像公式
Figure BDA0003106607450000101
计算机控制系统根据测得的Vpi的数值调整成像透镜沿着光轴移动,以使待曝光点Qpi在工件的不平整面上曝光;
c3、计算机控制系统控制发光光源、准直镜、成像透镜整体同步摆动,使出射光扫描第p(1≤p≤m)行第(i+1)列的待曝光点Qp(i+1),同时控制成像透镜沿光轴移动,曝光待曝光点Qp(i+1),直至曝光完第p行的全部待曝光点;
c4、计算机控制系统控制工件沿着和出射光扫描方向垂直的方向移动,使出射光以和曝光第p行全部待曝光点同样的方法,逐行曝光剩余行数的待曝光点;
其中,UPi为发光光源到成像透镜光心的物距,Vpi为成像透镜的光心到待曝光点Qpi的像距,f为成像透镜的焦距。
在本方法中,还包括当不需要曝光时,计算机控制系统控制发光光源不出光。具体而言,在曝光同一行的相邻两个待曝光点的时间间隔内,计算机控制系统控制发光光源不出光。在曝光相邻两行待曝光点的时间间隔内,发光光源不出光。
本装置和方法,将工件的不平整表面的信息进行扫描并存储,将待印制图像光栅化后投影到涂镀有感光油墨层的工件的不平整表面,得到m*n个像素点,将m*n个像素点作为待曝光点。计算机控制系统控制发光光源、准直镜、成像透镜和工件协调工作,以及控制发光光源出光和不出光,保证出射光扫描到不平整表面上的感光油墨层上的所有待曝光点时,均能使所有待曝光点全部被曝光,从而使得将存储在计算机中的待印制图像印制在感光油墨层上。本装置和方法,解决了在不平整表面上激光直接成像的技术难题。
需要说明的是,本装置和方法中,发光光源、准直镜、成像透镜只示例性的列举了一组,实际上可以根据需要,发光光源、准直镜、成像透镜可以由若干组光学组件组成,即每一组光学组件均包括一个发光光源、一个准直镜和一个成像透镜。若干组光学组件并列设置,由计算机控制系统控制,同时沿同样的方向扫描工件4,即若干组光学组件一次同时从右向左扫描曝光若干行待曝光点,可以完成工件的若干行待曝光点同时曝光,进一步的提高了工作效率。每一组光学元件的工作原理及过程和前述相同,在此不再累述。
最后应说明的是:以上仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种在工件的不平整表面上激光直接成像的装置,其特征在于,包括,计算机控制系统以及至少一组一体设置在光轴上的发光光源、准直镜以及成像透镜;
所述发光光源、所述准直镜及所述成像透镜经所述计算机控制系统控制整体往复摆动;
所述发光光源发出的光经所述准直镜准直后入射至所述成像透镜,经过所述成像透镜出射后形成出射光,所述成像透镜经所述计算机控制系统控制沿着所述光轴移动,所述出射光往复扫描所述不平整表面上的感光油墨层上的待曝光点并曝光,并将存储于计算机控制系统中的待印制图像印制在所述感光油墨层上;
所述计算机控制系统还用于:读取所述工件的不平整表面的信息,将待印制图像光栅化后并投影到不平整表面上的感光油墨层处理成若干个所述待曝光点,控制所述发光光源有效出光以及控制所述工件的运动;
其中,所述将待印制图像光栅化的具体步骤为:将所述待印制图像划分为m行*n列,得到m*n个像素点,并将所述m*n个像素点投影到所述感光油墨层上作为待曝光点;
所述成像透镜经所述计算机控制系统控制沿着所述光轴移动,所述出射光往复扫描所述不平整表面上的感光油墨层上的待曝光点并曝光,将存储于计算机控制系统中的待印制图像印制在所述感光油墨层上的具体步骤为:
选取投影到感光油墨层的所述待印制图像的第p(1≤p≤m)行第i(1≤i≤n)列的像素点
Figure 759091DEST_PATH_IMAGE001
作为待曝光点;
定义所述发光光源到所述成像透镜的光心的物距为
Figure 472969DEST_PATH_IMAGE002
,所述成像透镜的光心到待曝光点
Figure 49444DEST_PATH_IMAGE001
的像距为
Figure 477276DEST_PATH_IMAGE003
,定义所述成像透镜的焦距为
Figure 26069DEST_PATH_IMAGE004
;
由透镜成像公式
Figure 379690DEST_PATH_IMAGE005
,计算机控制系统根据
Figure 443461DEST_PATH_IMAGE003
值的变化控制所述成像透镜沿着光轴移动,以使全部待曝光点
Figure 173520DEST_PATH_IMAGE001
在所述工件的感光油墨层上聚焦曝光;
其中,
Figure 576819DEST_PATH_IMAGE003
的值随着待曝光点的不同而变化,
Figure 101341DEST_PATH_IMAGE002
的值随
Figure 652408DEST_PATH_IMAGE003
的值变化而变化,
Figure 123841DEST_PATH_IMAGE004
为定值。
2.如权利要求1所述的在工件的不平整表面上激光直接成像的装置,其特征在于,所述计算机控制系统控制发光光源有效出光的具体控制方法为:当所述出射光扫描到所述待曝光点时,计算机控制系统控制发光光源出光;当所述出射光未扫描到所述待曝光点时,控制系统控制发光光源不出光。
3.如权利要求1所述的在工件的不平整表面上激光直接成像的装置,其特征在于,所述发光光源、所述准直镜及所述成像透镜经所述计算机控制系统控制整体往复摆动的摆动方向为先从右到左摆动,后从左到右摆动,或者先从左到右摆动,后从右到左摆动。
4.如权利要求1所述的在工件的不平整表面上激光直接成像的装置,其特征在于,所述工件的运动方向和所述出射光的往复扫描方向垂直。
5.如权利要求1所述的在工件的不平整表面上激光直接成像的装置,其特征在于,所述工件在所述出射光每扫完一行待曝光点后前进运动一个预设位移,直至所述出射光扫描完最后一行待曝光点为止。
6.如权利要求1所述的在工件的不平整表面上激光直接成像的装置,其特征在于:所述发光光源为405nm波长单模激光光源。
7.如权利要求1所述的在工件的不平整表面上激光直接成像的装置,其特征在于:所述装置还包含测距模块。
8.一种利用如权利要求1至7中任一项所述的装置进行激光直接成像的方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤a:计算机读取工件的涂镀有感光油墨层的不平整表面信息并存储;
步骤b:将待印制图像光栅化后并投影到所述工件的不平整表面,得到m行*n列个待曝光点;
步骤c:计算机控制系统控制发光光源、准直镜、成像透镜和工件协调工作,使出射光在所述感光油墨层上进行若干次往复扫描,对 m*n个所述待曝光点进行全部曝光,将所述待印制图像印制在所述感光油墨层上;
其中,步骤c中:计算机控制系统控制发光光源、准直镜、成像透镜和工件协调工作,使出射光在所述感光油墨层上进行若干次往复扫描,对感光油墨涂层上的 m*n个待曝光点进行全部曝光,具体分解为如下步骤:
c1:选取感光油墨涂层上的 m*n个待曝光点的第p(1≤p≤m)行第i(1≤i≤n)列的待曝光点
Figure 443964DEST_PATH_IMAGE001
c2:由成像透镜成像公式
Figure 404967DEST_PATH_IMAGE005
,计算机控制系统根据测得的
Figure 381013DEST_PATH_IMAGE003
的数值调整所述成像透镜沿着光轴移动,以使待曝光点
Figure 685830DEST_PATH_IMAGE001
在所述工件的不平整面上曝光;
c3、计算机控制系统控制发光光源、准直镜、成像透镜整体同步摆动,使出射光扫描第p(1≤p≤m)行第(i+1)列的待曝光点
Figure 126039DEST_PATH_IMAGE006
,同时控制成像透镜沿光轴移动,曝光所述待曝光点
Figure 195626DEST_PATH_IMAGE006
,直至曝光完第p行的全部待曝光点;
c4、计算机控制系统控制工件沿着和所述出射光扫描方向垂直的方向移动,使所述出射光以和曝光第p行全部待曝光点同样的方法,逐行曝光剩余行数的待曝光点;
其中,
Figure 455706DEST_PATH_IMAGE002
为所述发光光源到所述成像透镜的光心的物距,
Figure 331258DEST_PATH_IMAGE003
为所述成像透镜的光心到待曝光点的像距,
Figure 563656DEST_PATH_IMAGE004
为成像透镜的焦距。
9.如权利要求8所述的方法,其特征在于:所述出射光只有扫描到待曝光点时,所述计算机控制系统才控制所述发光光源出光;在曝光同一行的相邻两个待曝光点的时间间隔内,以及在曝光相邻两行待曝光点的时间间隔内,所述计算机控制系统控制所述发光光源不出光。
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