CN113306315B - 干燥装置 - Google Patents

干燥装置 Download PDF

Info

Publication number
CN113306315B
CN113306315B CN202110148933.5A CN202110148933A CN113306315B CN 113306315 B CN113306315 B CN 113306315B CN 202110148933 A CN202110148933 A CN 202110148933A CN 113306315 B CN113306315 B CN 113306315B
Authority
CN
China
Prior art keywords
workpiece
led lamp
lamp unit
light
heat
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202110148933.5A
Other languages
English (en)
Other versions
CN113306315A (zh
Inventor
井上智彦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Phoenix Electric Co Ltd
Original Assignee
Phoenix Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP2021001877A external-priority patent/JP7145534B2/ja
Application filed by Phoenix Electric Co Ltd filed Critical Phoenix Electric Co Ltd
Publication of CN113306315A publication Critical patent/CN113306315A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN113306315B publication Critical patent/CN113306315B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26DRYING
    • F26BDRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B3/00Drying solid materials or objects by processes involving the application of heat
    • F26B3/28Drying solid materials or objects by processes involving the application of heat by radiation, e.g. from the sun
    • F26B3/283Drying solid materials or objects by processes involving the application of heat by radiation, e.g. from the sun in combination with convection
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26DRYING
    • F26BDRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B3/00Drying solid materials or objects by processes involving the application of heat
    • F26B3/28Drying solid materials or objects by processes involving the application of heat by radiation, e.g. from the sun
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J11/00Devices or arrangements  of selective printing mechanisms, e.g. ink-jet printers or thermal printers, for supporting or handling copy material in sheet or web form
    • B41J11/0015Devices or arrangements  of selective printing mechanisms, e.g. ink-jet printers or thermal printers, for supporting or handling copy material in sheet or web form for treating before, during or after printing or for uniform coating or laminating the copy material before or after printing
    • B41J11/002Curing or drying the ink on the copy materials, e.g. by heating or irradiating
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F26DRYING
    • F26BDRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
    • F26B3/00Drying solid materials or objects by processes involving the application of heat
    • F26B3/18Drying solid materials or objects by processes involving the application of heat by conduction, i.e. the heat is conveyed from the heat source, e.g. gas flame, to the materials or objects to be dried by direct contact
    • F26B3/20Drying solid materials or objects by processes involving the application of heat by conduction, i.e. the heat is conveyed from the heat source, e.g. gas flame, to the materials or objects to be dried by direct contact the heat source being a heated surface, e.g. a moving belt or conveyor

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Microbiology (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Drying Of Solid Materials (AREA)

Abstract

本发明提供一种干燥装置,能够使涂布在工件的表面的干燥对象物快速干燥。干燥装置(10)由LED灯单元(12)和热分散部件(14)构成,所述LED灯单元(12)向在表面涂布有干燥对象物(I)的工件(W)照射光,所述热分散部件(14)配置在工作台(S)上,从LED灯单元(12)的相反侧对工件(W)进行支承,并且接受透过工件(W)的光而发热。

Description

干燥装置
技术领域
本发明涉及一种干燥装置,例如用于使涂布于由透明的玻璃板构成的工件的表面的干燥对象物干燥。
背景技术
以往,在作为智能手机等的罩部件被使用的透明的玻璃面板(工件)的表面涂布用于实施设计等的溶剂系油墨的作业使用喷墨装置等进行。
(例如,专利文献1)
在使用喷墨装置等进行涂布后,需要使该油墨干燥的工序,使用加热板、干燥器或者干燥炉等进行干燥。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2006-7029号公报
发明内容
(发明要解决的课题)
然而,在以往的干燥方法中存在使油墨干燥过于花费时间的问题。因此,例如在曲面涂布油墨时,无法完全满足想要在干燥前的油墨因重力而滴下来之前完成干燥的要求。
此外,还指出如下问题,在使用干燥器的情况下,干燥前的油墨由于来自干燥器的风压而移动,在涂布面产生油墨的不均匀。
本发明是鉴于前述的课题而完成的,其目的在于提供一种能够使涂布于工件的表面的干燥对象物快速干燥的干燥装置。
(用于解决课题的技术方案)
根据本发明的一方面,提供一种干燥装置,具有:LED灯单元,其向在表面涂布有干燥对象物的工件照射光;以及热分散部件,其配置在工作台上,从所述LED灯单元的相反侧对所述工件进行支承,并且接受透过所述工件的所述光而发热。
优选地,所述热分散部件相对所述工件以面进行接触。
优选地,所述LED灯单元由多个LED灯构成,多个所述LED灯具有至少1个放射第一波长的光的所述LED灯,并且具有至少1个放射第二波长的光的所述LED灯。
优选地,所述LED灯单元由多个LED灯构成,多个所述LED灯具有至少1个放射第一强度的光的所述LED灯,并且具有至少1个放射第二强度的光的所述LED灯。
优选地,为了在从所述工作台分离的位置配置所述热分散部件,所述干燥装置还具有配置在所述工作台与所述热分散部件之间的分离部件。
(发明效果)
根据本发明所涉及的干燥装置,从LED灯单元放射的光的一部分照到涂布于工件的表面的干燥对象物,由此该干燥对象物吸收光而升温。此外,关于未照到干燥对象物的剩余部分的光,在透过工件后,照到热分散部件,由此被该热分散部件吸收。
由此,吸收光而升温的热分散部件对工件整体进行加热,结果是干燥对象物的温度进一步变高,由此能够以更短时间使干燥对象物干燥。
附图说明
图1是表示应用本发明的实施方式所涉及的干燥装置10的图。
图2是表示油墨I对工件W的涂布方式的一个例子的图。
图3是表示油墨I对工件W的涂布方式的另一个例子的图。
图4是表示被热分散部件14吸收的光的路径的图。
图5是表示变形例1所涉及的干燥装置10的图。
图6是表示变形例5所涉及的干燥装置10的图。
图7是表示变形例5所涉及的另一个干燥装置10的图。
图8是表示变形例6所涉及的干燥装置10的图。
图9是表示变形例7所涉及的干燥装置10的图。
图10是表示变形例7所涉及的另一个干燥装置10的图。
具体实施方式
(干燥装置10的结构)
下面,使用附图对本发明所涉及的干燥装置10的结构进行说明。此外,该干燥装置10与上述的喷墨装置等油墨涂布装置组合而成的装置称为工件设计装置。
如图1所示,干燥装置10大致由LED灯单元12、热分散部件14和分离部件16构成。
LED灯单元12为向工件W照射光的部件,具有灯单元主体18、以及安装于该灯单元主体18的表面的多个LED灯20。
灯单元主体18例如为一般的印刷基板,在其表面以COB、SMD等方式安装有多个LED灯20。
多个LED灯20为放射规定的波长的光的部件,就各波长而言,优选地,根据被干燥的油墨I的颜色、成分等选定该油墨I最容易吸收的波长。
另外,多个LED灯20放射的光的波长可以全部设定为相同波长(即,从LED灯单元12放射的光的波长为1种),也可以全部设定为不同波长(即,从LED灯单元12放射的光的波长具有与LED灯20的数量相同的种类数量)。进一步而言,作为LED灯单元12,可以具有至少1个放射第一波长的光的LED灯20,并且具有至少1个放射第二波长的光的LED灯20(即,从LED灯单元12放射的光的波长为2种以上)。
如上所述,通过能够从1个LED灯单元12放射多种波长的光,由此能够同时放射多种波长的光,也能够将不同波长的光相互区别而放射相同波长的光。当然,可以使所有LED灯20同时点亮,也可仅使一部分LED灯20选择性地点亮。例如,在单独使用干燥装置10的情况下,考虑以预先编程的点亮模式使各LED灯20点亮,在使干燥装置10与未图示的印刷机联动的情况下,考虑例如从该印刷机得到油墨I的颜色信息,仅使放射适于基于该颜色信息的油墨I的颜色的波长的光的LED灯20选择性地点亮。
并且,关于多个LED灯20放射的光的强度,也可以全部设定为相同强度(即,从LED灯单元12放射的光的强度为1种),也可以全部设定为不同强度(即,从LED灯单元12放射的光的强度具有与LED灯20的数量相同的种类数量)。此外,作为LED灯单元12,可以具有至少1个放射第一强度的光的LED灯20,并且可以具有至少1个放射第二强度的光的LED灯20(即,从LED灯单元12放射的光的强度为2种以上)。
如上所述,通过能够从1个LED灯单元12放射多种强度的光,由此能够同时放射多种强度的光,也能够将不同强度的光相互区别而放射相同强度的光。当然,可以使所有LED灯20同时点亮,也可仅使一部分LED灯20选择性地点亮。例如,在具有曲面的工件W的表面涂布有油墨I,在从各LED灯20至工件W的距离分别不同的情况下,考虑从至工件W的距离近的LED灯20放射比较低强度的光,从至工件W的距离远的LED灯20放射比较高强度的光。
热分散部件14为由接受来自LED灯单元12的光而发热的材料构成的部件。另外,热分散部件14配置在工作台S上,通过与工件W的与被LED灯单元12照射的面相反一侧的面抵接,对该工件W进行支承。另外,作为热分散部件14的材质,例如考虑黑色氧化处理后的铝、石墨、硅晶片、混炼碳后的树脂成型部件、黑陶瓷(Al2O3+TiC)、黑色镀层等。
在本实施方式中,由于工件W的与热分散部件14抵接的面形成为平面,因此工件W与热分散部件14相互面接触,但根据工件W的形状,也考虑工件W与热分散部件14以多个点接触的情况。如后所述,从使涂布于工件W的油墨I干燥的效率的观点而言,优选工件W与热分散部件14相互面接触。
分离部件16为配置在工作台S与热分散部件14之间的部件,在本实施方式中,配置在热分散部件14的四角。该分离部件16具有将热分散部件14配置在从工作台S分离的位置的作用。通过这样使热分散部件14与工作台S分离,热分散部件14与工作台S之间的空间成为隔热层,能够使接受来自LED灯单元12的光而发热的热分散部件14的热量难以传递到工作台S。
此外,对油墨I相对工件W的涂布方式进行例示。作为油墨I的涂布方式的一个例子,如图2所示,考虑如下方式,在工件W的表面的中央部以矩形形状涂布油墨I,在该油墨I的外周保留未涂布油墨I的部分。
或者,作为另一个例子,如图3所示,也考虑如下方式,先在工件W的周缘部涂布油墨I1并使其干燥,再在未涂布油墨I1的工件W的中央部涂布油墨I2并使其干燥。
(干燥装置10的特征)
如图4所示,根据本实施方式所涉及的干燥装置10,从LED灯单元12放射的光的一部分(L1)照到涂布于工件W的表面的油墨I,由此该油墨I吸收光而升温。此外,关于未照到油墨I的剩余部分的光(L2),在透过工件W后,照到热分散部件14,由此被该热分散部件14吸收。进一步而言,根据油墨I本身的光透过率、油墨I的膜厚,还存在照到油墨I后,透过该油墨I,进一步透过工件W而被热分散部件14吸收的光(L3)。
由此,吸收光而升温的热分散部件14对工件W整体进行加热,结果是油墨I的温度进一步升高,由此能够以更短的时间使油墨I干燥。
另外,在上述的实施方式中,通过分离部件16在热分散部件14与工作台S之间形成有隔热层,因此接受来自LED灯单元12的光而发热的热分散部件14的热量难以传递到工作台S。由此,能够利用来自热分散部件14的热量使工件W整体更高地升温,因此能够以更短时间使油墨I干燥。
(变形例1)
在上述的实施方式中,使用分离部件16在热分散部件14与工作台S之间形成隔热层,但也可以如图5所示,省略这些分离部件16而使热分散部件14与工作台S直接接触。
此外,若如上所述热分散部件14与工作台S直接接触,则从热分散部件14传递到工作台S的热量变多,对工件W进行加热的热量变少,因此优选设置分离部件16。
(变形例2)
另外,也可以代替分离部件16,在工作台S与热分散部件14之间,夹设有由导热率比这些工作台S、热分散部件14相对低的材质构成的隔热部件。
(变形例3)
并且,LED灯单元12可以相对于工件W固定,该LED灯单元12也可以如打印头那样一边相对于工件W移动一边照射光。并且,也可以使工作台S与工件W一起移动。
(变形例4)
另外,也可以不是将热分散部件14从工作台S独立的部件,将(例如,由铝(A5052)、不锈钢(SUS304)构成的)工作台S的表面例如进行黑色氧化处理、黑色涂装来提高光吸收性,将该处理表面、涂装表面作为热分散部件14。
(变形例5)
另外,如图6所示,在省略分离部件16而将热分散部件14以直接接触的方式载置于工作台S的情况下,也可以在该工作台S的表面的与热分散部件14对应的位置形成凹部30。
通过形成如上所述的凹部30,能够在热分散部件14与工作台S的表面(=凹部30的底面)之间形成作为隔热层的空间,因此接受来自LED灯单元12的光而发热的热分散部件14的热量难以传递到工作台S。由此,能够利用来自热分散部件14的热量使工件W整体更高地升温,因此能够以更短时间使油墨I干燥。
此外,凹部30的形状并不限于如图6所示那样的比较大的形状,如图7所示,也可以形成多个比较小的凹部30。
(变形例6)
另外,也可以代替平坦的形状的工作台S,如图8所示,将多根大致圆柱状的输送辊32相互并列地对齐,在这些输送辊32之上载置热分散部件14。
通过采用如上所述的方式,在相邻的输送辊32彼此之间形成空间,因此与变形例5等同样地,接受来自LED灯单元12的光而发热的热分散部件14的热量难以传递到工作台S。由此,能够利用来自热分散部件14的热量使工件W整体更高地升温,因此能够以更短时间使油墨I干燥。
(变形例7)
另外,关于热分散部件14的形状,也不限于上述那样的平板状的热分散部件14,例如,如图9所示,也可以使用以截面为“コ”字状的方式形成有凹部34的热分散部件14。
该热分散部件14以凹部34朝上的方式配置在载置于工作台S的表面的平面状的隔热部件36之上。
而且,在两端部朝上弯曲形成的工件W(在表面涂布有油墨I)嵌入该凹部34内的基础上,被照射有来着LED灯单元12的光。
当然,形成有凹部34的热分散部件14并不限定于此,如图10所示,也可以通过将底部件38与侧壁部件40组合而形成具有凹部34的热分散部件14。
(变形例8)
至此,示出对涂布于工件W(例如,智能手表的框件、平板电脑/液晶显示器的框件)的表面的油墨I的干燥作业使用干燥装置10的例子,但干燥装置10的用途并不限定于此,例如,也能够用于智能手机的红外线受光部所使用的红外线透过油墨的干燥作业、涂布在基板上的功能材料的干燥作业、或者涂布剂等功能性聚合物的干燥作业。如上所述使用干燥装置10来进行干燥作业的对象物(油墨I、功能材料、功能性聚合物等)统称为“干燥对象物”。
作为“涂布在基板上的功能材料的干燥”,考虑有玻璃基板上的彩色滤光片等、半导体晶片上的光致抗蚀剂的干燥。例如,在硅晶片为工件W的情况下,通过适当地选择来自LED灯单元12的光的波长,由此,硅晶片本身吸收该光而有助于发热。通过在其中组合热分散部件14,能够实现更高效的干燥。另外,作为光致抗蚀剂的干燥,考虑有预烘烤及后烘烤。预烘烤是使光致抗蚀剂所包含的溶剂蒸发的工序。后烘烤是进行光致抗蚀剂的致密化及固化的工序。
进一步而言,即使对于形成在半导体晶片上的薄膜的退火处理也能够使用干燥装置10。此时,热分散部件14有助于工件W的均热化。另外,能够使用基于LED灯单元12的光输出控制。
作为“涂布剂等的功能性聚合物的干燥”,考虑有透明油墨(外涂敷剂),即,智能手机罩等的涂装面及未涂装面的保护涂层。即使油墨为透明,也能够通过来自热分散部件14的热量使该油墨高效地干燥。
应该认为本次公开的实施方式在所有方面均为例示而并非限制。本发明的范围并非上述的说明而是由专利请求的范围表示,意在包含与专利请求的范围等同的意思以及范围内的全部变更。
符号说明
10 干燥装置
12 LED灯单元
14 热分散部件
16 分离部件
18 灯单元主体
20 LED灯
30 (工作台S的)凹部
32 输送辊
34 (热分散部件14的)凹部
36 隔热部件
38 底部件
40 侧壁部件
W 工件
S 工作台
I 油墨。

Claims (5)

1.一种干燥装置,其特征在于,具有:
LED灯单元,其向在表面涂布有待干燥的对象物的工件照射光;以及
热分散部件,其配置在工作台上,从所述LED灯单元的相反侧对所述工件进行支承,
所述LED灯单元和所述热分散部件配置为所述热分散部件通过接受从所述LED灯单元照射并透过所述工件的所述光而发热。
2.根据权利要求1所述的干燥装置,其特征在于,
所述热分散部件相对所述工件以面进行接触。
3.根据权利要求1所述的干燥装置,其特征在于,
所述LED灯单元由多个LED灯构成,
多个所述LED灯具有至少1个放射第一波长的光的所述LED灯,并且具有至少1个放射第二波长的光的所述LED灯。
4.根据权利要求1所述的干燥装置,其特征在于,
所述LED灯单元由多个LED灯构成,
多个所述LED灯具有至少1个放射第一强度的光的所述LED灯,并且具有至少1个放射第二强度的光的所述LED灯。
5.根据权利要求1所述的干燥装置,其特征在于,
为了在从所述工作台分离的位置配置所述热分散部件,所述干燥装置还具有配置在所述工作台与所述热分散部件之间的分离部件。
CN202110148933.5A 2020-02-26 2021-02-03 干燥装置 Active CN113306315B (zh)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020-030813 2020-02-26
JP2020030813 2020-02-26
JP2021-001877 2021-01-08
JP2021001877A JP7145534B2 (ja) 2020-02-26 2021-01-08 乾燥装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN113306315A CN113306315A (zh) 2021-08-27
CN113306315B true CN113306315B (zh) 2024-03-08

Family

ID=77365176

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202110148933.5A Active CN113306315B (zh) 2020-02-26 2021-02-03 干燥装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US11781810B2 (zh)
CN (1) CN113306315B (zh)

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006007029A (ja) * 2004-06-23 2006-01-12 Sharp Corp 塗布膜の乾燥方法および塗布膜の乾燥装置
CN102029779A (zh) * 2009-09-28 2011-04-27 小森公司 片状物干燥器
CN102729648A (zh) * 2012-07-04 2012-10-17 武汉深蓝恒业数码科技有限公司 Uv喷墨打印机led紫外光源延时曝光装置
CN206317551U (zh) * 2016-12-30 2017-07-11 海捷数码技术(苏州)有限公司 数码印花直喷式印刷机
CN107667013A (zh) * 2015-05-27 2018-02-06 兰达实验室(2012)有限公司 在衬底的选定区域涂覆薄膜的打印方法和设备
CN207579334U (zh) * 2017-09-26 2018-07-06 鹤山市意达电子薄膜器件有限公司 一种led干燥装置及其印刷机
US10247475B2 (en) * 2014-10-02 2019-04-02 Revlon Consumer Products Corporation Nail lamp

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20060204670A1 (en) * 2003-01-09 2006-09-14 Con-Trol-Cure, Inc. UV curing method and apparatus
US7365988B2 (en) * 2005-11-04 2008-04-29 Graftech International Holdings Inc. Cycling LED heat spreader
US9232843B2 (en) * 2013-05-17 2016-01-12 Beauty Bela Cosme Corp. Nail polish curing device
US10946413B2 (en) * 2017-04-14 2021-03-16 Cosmex Co. Ltd. Slow-start photocuring device and switch control module thereof

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006007029A (ja) * 2004-06-23 2006-01-12 Sharp Corp 塗布膜の乾燥方法および塗布膜の乾燥装置
CN102029779A (zh) * 2009-09-28 2011-04-27 小森公司 片状物干燥器
CN102729648A (zh) * 2012-07-04 2012-10-17 武汉深蓝恒业数码科技有限公司 Uv喷墨打印机led紫外光源延时曝光装置
US10247475B2 (en) * 2014-10-02 2019-04-02 Revlon Consumer Products Corporation Nail lamp
CN107667013A (zh) * 2015-05-27 2018-02-06 兰达实验室(2012)有限公司 在衬底的选定区域涂覆薄膜的打印方法和设备
CN206317551U (zh) * 2016-12-30 2017-07-11 海捷数码技术(苏州)有限公司 数码印花直喷式印刷机
CN207579334U (zh) * 2017-09-26 2018-07-06 鹤山市意达电子薄膜器件有限公司 一种led干燥装置及其印刷机

Also Published As

Publication number Publication date
US20210262728A1 (en) 2021-08-26
US11781810B2 (en) 2023-10-10
CN113306315A (zh) 2021-08-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20090086278A (ko) 잉크젯 프린터 및 잉크젯 인쇄방법
US10252558B2 (en) Method for operating a UV curing device in a printing machine
WO2004108417A1 (ja) Uvインク使用のインクジェットプリンタ
JP2008103143A (ja) 光照射器およびインクジェットプリンタ
CN1596063A (zh) 图案形成方法、导电性薄膜、电光学装置、电子机器
TW200414800A (en) Device manufacturing apparatus, device manufacturing method, and electronic equipment
CN100488777C (zh) 液滴配置装置及液滴配置方法
CN103257483A (zh) 液晶显示设备的制作方法
US7261408B2 (en) Printing device with radiation source
CN113306315B (zh) 干燥装置
JP2006192321A (ja) 識別コード描画方法、基板、表示モジュール、及び電子機器
WO2017158943A1 (ja) パターニング装置及び有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法
JP7145534B2 (ja) 乾燥装置
KR101219323B1 (ko) 노광 장치
JP2004273125A (ja) 加熱装置
JP2014207209A (ja) 光源ユニット
KR20140114469A (ko) 자외선 경화 장치
US20190011112A1 (en) Light illuminating apparatus
JP2007335561A (ja) Led紫外線照射装置
JPWO2012014518A1 (ja) 紫外線照射装置
US20170194162A1 (en) Semiconductor manufacturing equipment and method for treating wafer
KR20140128718A (ko) 경화유닛 및 이를 적용한 전자회로 패턴 제조 장치
JP2021150649A (ja) 紫外線照射装置およびそれを備える画像記録装置
CN1585575A (zh) 热处理方法、配线图案的形成方法、电光学装置及其制法
KR100618666B1 (ko) 높은 반사 효율을 가진 기판 장치 및 그 제조 방법

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant