CN113249691A - 一种旋转靶材退绑方法及夹具 - Google Patents

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王英洁
文崇斌
胡智向
朱刘
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Vital Thin Film Materials Guangdong Co Ltd
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    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
    • C23C14/3414—Metallurgical or chemical aspects of target preparation, e.g. casting, powder metallurgy

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Abstract

本发明涉及溅射镀膜技术领域，公开了一种旋转靶材退绑方法及夹具，其中，旋转靶材退绑方法包括以下步骤：用高温胶纸将需退绑的靶材下方包裹；用硅胶垫圈塞到需退绑的靶材下方缝隙的三个点上，将靶材进行旋转加热，使铟从靶材缝隙流出；待铟不再外流，再持续保温一段时间；将适配的退绑夹具固定在靶材正中间，将靶材从背管上端口取下。通过本方法退绑的靶材可最大限度提高良品率，退绑后的靶材经扫描后无裂纹等问题可重新利用并绑定，减少了废品产生。另外，本方法直接采用退绑夹具固定在靶材的中间将靶材取下，方便操作。

Description

一种旋转靶材退绑方法及夹具
技术领域
本发明涉及溅射镀膜技术领域，特别是涉及一种旋转靶材退绑方法及夹具。
背景技术
溅射镀膜行业内使用的靶材通常都是采用粘合绑定的方式来制造的，一方面是为了避免一些韧性较差的金属、合金或氧化物等易裂材料在使用过程中破裂，旋转靶材则绑定在不锈钢背管或钛背管上，常用的绑定材料为金属铟或其他金属物质；另一方面，可以改善靶材机械强度不足的问题，可确保靶材的冷却及电接触良好，防止靶材在溅射中出现溅射不均匀和靶材开裂等问题。但是在绑定过程中，一支背管绑定多节靶材时经常会出现绑定率低需要将靶材退绑后重新处理的情况，这时候需要将靶材的铟融化，然后将靶材从背管上取下，即为退绑，然后目前的退绑方法获得的靶材良品率低，退绑后的靶材均不能重新利用并绑定，增加了废品率。另外，传统的退绑方法中由于旋转靶材退绑时过热，人工不易操作。
发明内容
为解决上述技术问题，本发明提供一种旋转靶材退绑方法及夹具，提高退绑靶材的良品率，退绑后无裂纹的靶材可重新利用并绑定，减少废品产生，方便操作。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种旋转靶材退绑方法，包括以下步骤：
用高温胶纸将需退绑的靶材下方包裹；
用硅胶垫圈塞到需退绑的靶材下方缝隙的三个点上，将靶材进行旋转加热，使铟从靶材缝隙流出；
待铟不再外流，再持续保温一段时间；
将适配的退绑夹具固定在靶材正中间，将靶材从背管上端口取下。
优选地，还包括以下步骤：
继续加热背管，然后将背管的铟抹平，并冷却。
优选地，还包括以下步骤：
将靶材进行水浸超声C扫描，检测裂纹情况，无裂纹可重新处理后进行再次绑定。
优选地，将靶材进行旋转加热时，靶材外表面温度控制在160-190℃。
优选地，待铟不再外流时，再持续保温1-2分钟。
优选地，继续加热管背时，管背的温度控制在170-200℃。
一种旋转靶材退绑用夹具，包括两个半圆形夹具本体，两个所述夹具主体的连接端相铰接，两个所述夹具主体的自由端设有锁扣。
优选地，所述夹具本体的内侧设有软胶垫，所述夹具主体的外壁设有把手。
优选地，所述夹具本体的厚度为4-6毫米，所述软胶垫的厚度为8-12毫米。
优选地，所述夹具本体的内径与待夹持的靶材的外径相同。
本发明实施例的一种旋转靶材退绑方法，与现有技术相比，其有益效果在于：通过本方法退绑的靶材可最大限度提高良品率，退绑后的靶材经扫描后无裂纹等问题可重新利用并绑定，减少了废品产生。另外，本方法直接采用退绑夹具固定在靶材的中间将靶材取下，方便操作。
附图说明
图1为本发明的旋转靶材退绑方法的流程图。
图2为本发明的旋转靶材退绑用夹具的结构示意图。
其中：1-夹具本体，2-锁扣，3-软胶垫，4-把手。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
如图1-2所示，本发明实施例优选实施例的一种旋转靶材退绑方法，其特征在于：包括以下步骤：
用高温胶纸将需退绑的靶材下方包裹，防止铟滴落至靶材表面；
用三段硅胶垫圈分别塞到需退绑的靶材下方缝隙的三个点上，将靶材进行旋转加热，并控制靶材外表面温度达到160-190℃，如170℃、180℃等，此时铟逐渐融化，从靶材缝隙慢慢流出。试验证明，靶材外表面温度达到160-190℃时为最佳加热温度，既能充分保证铟逐渐融化，又不会影响其他器件；
待铟不再外流，再持续保温一段1-2分钟，保证铟完全流出；
保温完成后将适配的退绑夹具固定在靶材正中间，将靶材从背管上端口取下。优选地，所述夹具的内径与靶材的外径相同，其包括两个半圆形夹具本体1，两个所述夹具主体1的连接端相铰接，两个所述夹具主体1的自由端设有锁扣2，同时，所述夹具本体1的外壁设有把手4。取靶材时将两个所述夹具本体1套在靶材的中间，然后锁紧所述锁扣2，握住所述把手4即可将靶材从背管的上端口取下，操作简单方便。同时，为避免夹紧是损伤靶材，所述夹具本体1的内侧设有软胶垫3。设置了所述软胶垫3后，以保证所述软胶垫3的内径与靶材的外径相同。
本实施例中，所述夹具本体1的厚度为4-6毫米，优选5毫米。长度为150-200毫米。所述夹具本体1与所述把手4均采用304不锈钢。所述软胶垫3为耐高温软胶，其厚度为8-12毫米，优选5毫米。
通过本方法退绑的靶材可最大限度提高良品率，退绑后的靶材经扫描后无裂纹等问题可重新利用并绑定，减少了废品产生。另外，本方法直接采用退绑夹具固定在靶材的中间将靶材取下，方便操作。
由于采用本方法可到的良品率较高，需要重新利用，有菜还包括以下步骤：
将靶材退绑后继续加热背管至170-200℃，用不锈钢刷将背管的铟抹平，冷却后可继续进行绑定。
对于取下的靶材，靶材进行水浸超声C扫描，检测裂纹情况，无裂纹可重新处理后进行再次绑定，减少了废品率。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种旋转靶材退绑方法，其特征在于：包括以下步骤：
用高温胶纸将需退绑的靶材下方包裹；
用硅胶垫圈塞到需退绑的靶材下方缝隙的三个点上，将靶材进行旋转加热，使铟从靶材缝隙流出；
待铟不再外流，再持续保温一段时间；
将适配的退绑夹具固定在靶材正中间，将靶材从背管上端口取下。
2.如权利要求1所述的旋转靶材退绑方法，其特征在于：还包括以下步骤：
继续加热背管，然后将背管的铟抹平，并冷却。
3.如权利要求1所述的旋转靶材退绑方法，其特征在于：还包括以下步骤：
将靶材进行水浸超声C扫描，检测裂纹情况，无裂纹可重新处理后进行再次绑定。
4.如权利要求1所述的旋转靶材退绑方法，其特征在于：将靶材进行旋转加热时，靶材外表面温度控制在160-190℃。
5.如权利要求1所述的旋转靶材退绑方法，其特征在于：等铟不再外流时，再持续保温1-2分钟。
6.如权利要求2所述的旋转靶材退绑方法，其特征在于：继续加热管背时，管背的温度控制在170-200℃。
7.一种旋转靶材退绑用夹具，其特征在于：包括两个半圆形夹具本体，两个所述夹具主体的连接端相铰接，两个所述夹具主体的自由端设有锁扣。
8.如权利要求7所述的旋转靶材退绑用夹具，其特征在于：所述夹具本体的内侧设有软胶垫，所述夹具本体的外壁设有把手。
9.如权利要求8所述的旋转靶材退绑用夹具，其特征在于：所述夹具本体的厚度为4-6毫米，所述软胶垫的厚度为8-12毫米。
10.如权利要求7所述的旋转靶材退绑用夹具，其特征在于：所述夹具本体的内径与待夹持的靶材的外径相同。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2180501A1 (en) * 2008-10-24 2010-04-28 Applied Materials, Inc. Rotatable sputter target base, rotatable sputter target, coating installation, method of producing a rotatable sputter target, target base connection means, and method of connecting a rotatable target base device for sputtering installations to a target base support
CN103339290A (zh) * 2010-11-24 2013-10-02 普兰西公司 用于分离旋转靶的靶的方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2180501A1 (en) * 2008-10-24 2010-04-28 Applied Materials, Inc. Rotatable sputter target base, rotatable sputter target, coating installation, method of producing a rotatable sputter target, target base connection means, and method of connecting a rotatable target base device for sputtering installations to a target base support
CN103339290A (zh) * 2010-11-24 2013-10-02 普兰西公司 用于分离旋转靶的靶的方法

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