CN113176484A - 一种静态参数测试系统、方法、电子设备及存储介质 - Google Patents
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Abstract
本申请涉及一种静态参数测试系统、方法、电子设备及存储介质，系统包括：第一测量模块、第二测量模块、第三测量模块、第四测量模块、第五测量模块、第六测量模块中的至少一种测量模块，所述第一测量模块、第二测量模块、第三测量模块、第四测量模块、第五测量模块、第六测量模块通过切换模块与测量夹具相连接，所述第一测量模块、第二测量模块、第三测量模块、第四测量模块、第五测量模块、第六测量模块之间通过总线相连接；以解决现有技术中，针对固态微波功率器件静态参数测量系统，测量结果不准确、测试系统结构复杂、体积大、质量重的问题。
Description
技术领域
本发明涉及测试测量领域，特别是涉及一种静态参数测试系统、方法、电子设备及存储介质。
背景技术
目前，传统Si和GaAs半导体器件性能已接近其材料本身决定的理论极限，碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN)宽禁带等半导体材料因具有宽带隙、高饱和漂移速度、高临界击穿电场等优点，成为研制大功率、高频、高温及抗辐照电子器件的理想材料。GaN材料系列具有低热产生率及高击穿电场，适于研制抗辐照、高频、高密度集成电子器件。半绝缘SiC单晶材料以其宽带隙、高饱和漂移速率、高临界击穿电场、高热导率成为制备制备宽禁带固态微波器件的最佳衬底。
以GaAs、GaN、SiC材料为衬底的固态微波功率器件，较传统的耗尽型器件(如JFET器件)具有一定的特殊性，主要应用领域为射频、微波领域，由于材料工艺机理存在缺陷，比如具有电流坍塌效应、自加热效应、极化效应和热电子效应等，导致GaAs、GaN、SiC器件制备工艺复杂、周期长且价格昂贵。
静态参数是表征固态微波功率器件直流特性的参数，是其基础质量的保证。根据国内外典型器件手册可知，静态参数主要包括：栅极和源极之间夹断电压VGSoff、栅极和源极之间的漏电流IGSS、漏极饱和电流IDSS、跨导 gm等。
国内固态微波功率器件静态参数测试偏置脉冲电流幅值达到10A以上，脉冲宽度为300μs～1ms，目前器件研制单位、使用单位均自行制定测试方案，个别单位甚至使用直流条件替代脉冲条件进行测量，使用已有设备包括：图示仪、半导体器件IV测量系统等，由于器件材料自身存在电流坍塌效应、自加热效应、极化效应和热电子效应等，静态参数测量过程中，容易产生自激，测量结果差异很大，甚至有的单位测量结果不正确；测试系统构成复杂、体积大、质量重，不便于使用，因此市场急需一种专门用于固态微波器件静态参数测量的设备。
现有技术中，针对固态微波功率器件静态参数测量系统，测量结果差异大，测量结果不准确、测试系统结构复杂、体积大、质量重的问题，现尚未提出有效解决方案。
发明内容
针对以上技术问题，本申请提出一种静态参数测试系统、方法、电子设备及存储介质，以解决现有技术中，针对固态微波功率器件静态参数测量系统，测量结果差异大，测量结果不准确、测试系统结构复杂、体积大、质量重的问题。
第一方面，本申请提出一种静态参数测试系统，用于测量固态微波功率器件的静态参数，包括：第一测量模块、第二测量模块、第三测量模块、第四测量模块、第五测量模块、第六测量模块中的至少一种测量模块，所述第一测量模块、第二测量模块、第三测量模块、第四测量模块、第五测量模块、第六测量模块通过切换模块与测量夹具相连接，所述第一测量模块、第二测量模块、第三测量模块、第四测量模块、第五测量模块、第六测量模块之间通过总线相连接；
所述第一测量模块，用于为固态微波功率器件静态参数测量提供正负双极性电压输出或电压测量、电流输出或电流测量功能；
所述第二测量模块，用于为固态微波功率器件静态参数测量提供直流电压输出或直流电流测量功能；
所述第三测量模块，用于为固态微波功率器件静态参数提供漏极电流输出或漏极电压测量功能；
所述第四测量模块，用于为固态微波功率器件静态参数中提供耐压参数漏电流测量功能；
所述第五测量模块，用于为固态微波功率器件静态参数中提供耐压参数测量或高压输出功能；
所述第六测量模块，用于为固态微波功率器件静态参数中提供直流或脉冲电压测量功能；
所述切换模块，用于在所述第一测量模块、第二测量模块、第三测量模块、第四测量模块、第五测量模块、第六测量模块之间进行切换，保证任一测量模块处于正在使用状态；
所述测量夹具，与正在使用中的任一测量模块相连接，用于夹持固态微波功率器件。
所述第一测量模块，通过所述测量夹具上设置的BNC端子连接到固态微波功率器件栅极、源级，所述电压输出范围优选为：±(0.5～30)V，所述电流测量范围优选为：±(2～200)μA以及±(0.2～200)mA；所述电流输出范围优选为：±(2～200)μA以及±(0.2～200)mA，电压测量范围优选为：±(0.5～30)V。
所述第二测量模块，通过所述测量夹具上设置的BNC端子连接到固态微波功率器件漏极、源级，所述电压输出范围优选为：(0.5～30)V，所述电流测量范围优选为：(0.2～200)mA以及(0.2～10)A。
所述第三测量模块，通过所述测量夹具上设置的BNC端子连接到固态微波功率器件漏极、源级，所述电流输出范围优选为：(0.2～200)mA、(0.2～ 2)A以及脉冲电流(2～30)A，所述电压测量范围优选为：±(0.5～30)V。
所述第四测量模块，通过所述测量夹具上设置的BNC端子连接到固态微波功率器件栅极与源极或漏极与源级，漏流测量范围优选为：(0.1～100)μ A。
所述第五测量模块，通过所述测量夹具上设置的BNC端子连接到固态微波功率器件栅极与源极或漏极与源级，所述高压输出范围优选为：(30～3000) V。
所述第六测量模块，通过所述测量夹具上设置的BNC端子连接到固态微波功率器件漏极与S源级，所述直流电压测量范围优选为：±(0.5～30)V，所述脉冲电压测量范围优选为：±(0.5V～30V)。
第二方面，本申请提出一种静态参数测试方法，采用所述的静态参数测试系统实现，包括如下步骤：
将第一测量模块、第二测量模块、第三测量模块、第四测量模块、第五测量模块、第六测量模块通过切换模块与测量夹具相连接；
将所述第一测量模块、第二测量模块、第三测量模块、第四测量模块、第五测量模块、第六测量模块之间通过总线相连接；
使用切换模块在所述第一测量模块、第二测量模块、第三测量模块、第四测量模块、第五测量模块、第六测量模块之间进行切换，保证任一测量模块处于正在使用状态；
使用测量夹具与正在使用中的任一测量模块相连接，用于夹持固态微波功率器件；
使用正在使用中的任一测量模块对应的测量功能对所述夹持固态微波功率器件进行测量。
第三方面，本申请提供一种电子设备，该电子设备包括：
一个或多个处理器；
存储器；
一个或多个应用程序，其中一个或多个应用程序被存储在存储器中并被配置为由一个或多个处理器执行，一个或多个程序配置用于：执行第二方面或者第二方面任一可能的实现方式所述的静态参数测试方法对应的操作。
第四方面，提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现第二方面或者第二方面任一可能的实现方式所述的静态参数测试方法。
有益技术效果：
(1)因为栅极双极性电压测量模块、漏极电压测量模块、漏极电流测量模块、漏电流测试模块、高压模块、同轴数据采集模块等模块技术指标能够满足固态微波功率器件G(栅极)、D(漏极)、S(源级)测量要求，通过固态微波功率器件静态参数测量软件能够测量相关静态参数；
(2)因为所采用的栅极双极性电压测量模块、漏极电压测量模块、漏极电流测量模块、漏电流测试模块、高压模块、同轴数据采集模块等模块体积足够小，便携式固态微波功率器件静态参数测试仪能够做到较其他测试系统体积小很多，体积控制在44cm×46cm×18cm，重量≤20kg，较常规器件测试系统体积及重量有较大优势。
(3)因为所采用的测量夹具具有印制板分布参数低、G(栅极)接地屏蔽、D(漏极)接地屏蔽、S(源极)接地屏蔽等优点，满足测量条件。
下面结合附图对本申请的一种静态参数测试系统、方法、电子设备及存储介质作进一步说明。
附图说明
图1为本发明一种静态参数测试系统的原理示意图；
图2为本发明一种静态参数测试方法的流程图；
图3为本发明实施例的一种静态参数测试系统具体实现示意图；
图4为本发明实施例的一种电子设备的结构示意图。
具体实施方式
本申请提出一种静态参数测试系统、方法、电子设备及存储介质，以解决现有技术中，针对固态微波功率器件静态参数测量系统，为解决现有测量偏置不一致(直流、脉冲)、测量结果差异大，测量结果不准确、测试系统结构复杂、体积大、质量重的问题，本申请可直接用于测量GaN、GaAs、SiC 等固态微波功率器件静态参数，包括栅极和源极之间夹断电压VGSoff、栅极和源极之间的漏电流IGSS、漏极饱和电流IDSS、跨导gm等。
第一方面，本申请提出一种静态参数测试系统，用于测量固态微波功率器件的静态参数，如图1所示，包括：第一测量模块、第二测量模块、第三测量模块、第四测量模块、第五测量模块、第六测量模块中的至少一种测量模块，所述第一测量模块、第二测量模块、第三测量模块、第四测量模块、第五测量模块、第六测量模块通过切换模块与测量夹具相连接，所述第一测量模块、第二测量模块、第三测量模块、第四测量模块、第五测量模块、第六测量模块之间通过总线相连接；
所述第一测量模块，用于为固态微波功率器件静态参数测量提供正负双极性电压输出或电压测量、电流输出或电流测量功能；
所述第二测量模块，用于为固态微波功率器件静态参数测量提供直流电压输出或直流电流测量功能；
所述第三测量模块，用于为固态微波功率器件静态参数提供漏极电流输出或漏极电压测量功能；
所述第四测量模块，用于为固态微波功率器件静态参数中提供耐压参数漏电流测量功能；
所述第五测量模块，用于为固态微波功率器件静态参数中提供耐压参数测量或高压输出功能；
所述第六测量模块，用于为固态微波功率器件静态参数中提供直流或脉冲电压测量功能；
所述切换模块，用于在所述第一测量模块、第二测量模块、第三测量模块、第四测量模块、第五测量模块、第六测量模块之间进行切换，保证任一测量模块处于正在使用状态；
所述测量夹具，与正在使用中的任一测量模块相连接，用于夹持固态微波功率器件。
所述第一测量模块，通过所述测量夹具上设置的BNC端子连接到固态微波功率器件栅极、源级，所述电压输出范围优选为：±(0.5～30)V，所述电流测量范围优选为：±(2～200)μA以及±(0.2～200)mA；所述电流输出范围优选为：±(2～200)μA以及±(0.2～200)mA，电压测量范围优选为：±(0.5～30)V。
所述第二测量模块，通过所述测量夹具上设置的BNC端子连接到固态微波功率器件漏极、源级，所述电压输出范围优选为：(0.5～30)V，所述电流测量范围优选为：(0.2～200)mA以及(0.2～10)A。
所述第三测量模块，通过所述测量夹具上设置的BNC端子连接到固态微波功率器件漏极、源级，所述电流输出范围优选为：(0.2～200)mA、(0.2～ 2)A以及脉冲电流(2～30)A，所述电压测量范围优选为：±(0.5～30)V。
所述第四测量模块，通过所述测量夹具上设置的BNC端子连接到固态微波功率器件栅极与源极或漏极与源级，漏流测量范围优选为：(0.1～100)μ A。
所述第五测量模块，通过所述测量夹具上设置的BNC端子连接到固态微波功率器件栅极与源极或漏极与源级，所述高压输出范围优选为：(30～3000) V。
所述第六测量模块，通过所述测量夹具上设置的BNC端子连接到固态微波功率器件漏极与S源级，所述直流电压测量范围优选为：±(0.5～30)V，所述脉冲电压测量范围优选为：±(0.5V～30V)。
本申请以如下实施例进行详细说明，本实施例只是给出一种可行的技术方案，实际实施过程中可行的技术方案有多种，且根据各个模块的技术参数内部实现方法更是多种多样，只要可以达到本申请要求的技术指标就在本申请的保护范围之中，栅极双极性电压测量模块(对应第一测量模块)，漏极电压测量模块(对应第二测量模块)，漏极电流测量模块(对应第三测量模块)，漏电流测试模块(对应第四测量模块)，高压模块(对应第五测量模块)，同轴数据采集模块(对应第六测量模块)。
一种静态参数测试系统，其体积为44cm×46cm×18cm，重量≤20kg，参照图3，组成包括：笔记本电脑(1)，栅极双极性电压测量模块(2)，漏极电压测量模块(3)，漏极电流测量模块(4)，漏电流测试模块(5)，高压模块(6)，同轴数据采集模块(7)，切换模块(8)，电源模块组(9)，测量夹具(10)，八口千兆交换机(11)等。笔记本电脑(1)通过固态微波功率器件静态参数测量软件通过LAN接口发送设置及测试命令，栅极双极性电压测量模块(2)，漏极电压测量模块(3)，漏极电流测量模块(4)，漏电流测试模块(5)，高压模块(6)，同轴数据采集模块(7)，切换模块(8)按照规定程序要求完成设定或输出或测量，最后通过固态微波功率器件静态参数测量软件完成参数计算，测量参数覆盖GaN、GaAs、SiC等固态微波功率器件静态参数，包括栅极和源极之间夹断电压VGSoff、栅极和源极之间的漏电流 IGSS、漏极饱和电流IDSS、跨导gm等。
接口形式包括网口、BNC接口、4mm香蕉头插座。其中各模块连接接口包括(12)、(13)、(14)、(15)、(16)、(17)、(18)、(19)为LAN接口，(20)、 (21)、(22)、(23)、(24)、(25)、(26)为BNC接口，(27)为4mm香蕉头接口。
所述笔记本电脑(1)，具备LAN接口，WIN 10操作系统，内存不低于 16GB，硬盘容量不低于500GB，用于编制固态微波功率器件静态参数测量软件，软件主要采用Visual C++6.0编制而成。
笔记本电脑(1)通过固态微波功率器件静态参数测量软件通过(18)、(19) LAN接口发送程控指令，控制栅极双极性电压测量模块(2)、漏极电压测量模块(3)、漏极电流测量模块(4)、漏电流测试模块(5)、高压模块(6)、同轴数据采集模块(7)、切换模块(8)等完成固态微波功率器件静态参数测量。
所述栅极双极性电压测量模块(2)，通过BNC端子连接到固态微波功率器件G(栅极)、S(源级)，为固态微波功率器件静态参数测量提供正负双极性电压输出/测量、电流输出/测量功能。主要技术指标包括：
1)电压输出，如表1：
表1：电压输出
| 量程 | 最大允许误差 |
| ±(0.5～1)V | ±0.5％ |
| ±(1～5)V | ±0.5％ |
| ±(5～30)V | ±0.5％ |
2)电流测量，如表2：
表2：电流测量
3)电流输出，如表3：
表3：电流输出
| 量程 | 最大允许误差 |
| ±(2～20)μA | ±1％ |
| ±(20～200)μA | ±1％ |
| ±(0.2～2)mA | ±1％ |
| ±(2～20)mA | ±1％ |
| ±(20～200)mA | ±1％ |
4)电压测量，如表4：
表4：电压测量
| 量程 | 最大允许误差 |
| ±(0.5～1)V | ±1％ |
| ±(1～5)V | ±1％ |
| ±(5～30)V | ±1％ |
5)尺寸及外观
尺寸：优于160mm×90mm×20mm(长×高×宽)；
外观：金属外壳，包括LAN控制端口、BNC电压电流接口；
6)接口及控制
控制接口：LAN接口。
所述漏极电压测量模块(3)，通过BNC端子连接到固态微波功率器件D (漏极)、S(源级)，为固态微波功率器件静态参数测量提供直流电压输出/ 电流测量功能。主要技术指标包括：
1)电压输出，如表5：
表5：电压输出
2)电流测量，如表6：
表6：电流测量
| 量程 | 最大允许误差 |
| (0.2～2)mA | ±1％ |
| (2～20)mA | ±1％ |
| (20～200)mA | ±1％ |
| (0.2～2)A | ±1％ |
| (2～10)A | ±1％ |
3)尺寸及外观
尺寸：优于160mm×90mm×20mm(长×高×宽)；
外观：金属外壳，包括LAN控制端口、BNC电压电流端口。
4)接口及控制
控制接口：LAN接口。
所述漏极电流测量模块(4)，通过BNC端子连接到固态微波功率器件D (漏极)、S(源级)，为固态微波功率器件静态参数提供漏极电流输出、电压测量功能。主要技术指标包括：
1)电流输出，如表7：
表7：电流输出
| 量程 | 最大允许误差 |
| (0.2～2)mA | ±0.5％ |
| (2～20)mA | ±0.5％ |
| (20～200)mA | ±0.5％ |
| (0.2～2)A | ±0.5％ |
| (2～10)A(脉冲电流) | ±0.5％ |
| (10～30)A(脉冲电流) | ±1％ |
2)电压测量，如表8：
表8：电压测量
| 量程 | 最大允许误差 |
| ±(0.5～1)V | ±1％ |
| ±(1～5)V | ±1％ |
| ±(5～30)V | ±1％ |
3)尺寸及外观
尺寸：优于160mm×90mm×20mm(长×高×宽)；
外观：金属外壳，包括LAN端口、BCN电流电压端口。
4)接口及控制
控制接口：LAN接口。
5)钳位保护
具有电压钳位保护功能，钳位电压：30V±0.5V。
6)脉冲电流技术指标
脉冲宽度：300μs±30μs，脉冲电流顶部平坦部分幅度最大允许误差不大于±1％。
所述漏电流测试模块(5)，通过BNC端子连接到固态微波功率器件G(栅极)或D(漏极)、S(源级)，为固态微波功率器件静态参数中耐压参数漏电流测量提供电流测量功能。主要技术指标包括：
1)漏流测量，如表9：
表9：漏流测量
| 量程 | 允许误差 |
| (0.1～1)μA | ±(1％+10nA) |
| (1～10)μA | ±0.5％ |
| (10～100)μA | ±0.5％ |
| (0.1～1)mA | ±0.5％ |
| (1～10)mA | ±0.5％ |
| (10～100)mA | ±1％ |
2)尺寸及外观
尺寸：优于160mm×90mm×20mm(长×高×宽)；
外观：金属外壳，包括LAN控制端口、电流输出端口、电压测量端口。
3)接口及控制
控制接口：LAN接口。
4)保护功能
应包括高压驱动电路和高压保护电路，实现击穿电压硬件闭环测试和高压限流保护功能。
所述高压模块(6)，通过BNC端子连接到固态微波功率器件G(栅极) 或D(漏极)、S(源级)，为固态微波功率器件静态参数中耐压参数测量提供高压输出功能。主要技术指标包括：
范围30V～3000V，最大允许误差±1％。
所述同轴数据采集模块(7)，通过BNC端子连接到固态微波功率器件D (漏极)、S(源级)，为固态微波功率器件静态参数测量提供直流/脉冲电压测量功能。主要技术指标包括：
1)直流电压测量
范围：±(0.5V～30V)，最大允许误差：±0.3％。
2)单脉冲电压测量
单脉冲电压范围：±(0.5V～30V)；
单脉冲宽度：100μs～1ms；
连续波带宽：大于100kHz；
采样率：大于50kSa/s；
最大允许误差：±0.5％。
3)尺寸及外观
尺寸：优于300mm×120mm×30mm(长×高×宽)；
外观：金属外壳，BNC直流电压/脉冲电压测量端口。
4)接口及控制
控制接口：LAN接口。
所述切换模块(8)，通过BNC端子连接到栅极双极性电压测量模块(2)、漏极电压测量模块(3)、漏极电流测量模块(4)、漏电流测试模块(5)、高压模块(6)、同轴数据采集模块(7)，通过LAN接口连接到笔记本电脑(1)，通过4mm香蕉头接口连接至电源模块组(9)，为固态微波功率器件静态参数测量提供资源切换。所述切换模块(8)通过LAN口(19)与笔记本电脑(1) 连接，通过BNC接口(21)、(22)、(23)、(24)、(25)、(26)分别与栅极双极性电压测量模块(2)、漏极电压测量模块(3)、漏极电流测量模块(4)、漏电流测试模块(5)、高压模块(6)、同轴数据采集模块(7)连接，通过接口(20)与测量夹具(10)连接。
所述电源模块组(9)，通过4mm香蕉头接口连接至切换模块(8)，为固态微波功率器件静态参数测量提供偏置直流电压，主要技术指标包括：±35V (11A)、±15V(1A)、±5V(1.5A)、±12V(1A)，最大允许误差：±0.5％。所述测量夹具(10)，通过BNC接口连接至切换模块(8)，为固态微波功率器件提供测量夹具。
所述八口千兆交换机(11)通过LAN口(18)与笔记本电脑(1)、栅极双极性电压测量模块(2)、漏极电压测量模块(3)、漏极电流测量模块(4)、漏电流测试模块(5)、高压模块(6)、同轴数据采集模块(7)等连接，为固态微波功率器件参数测量提供程序硬件条件。为笔记本电脑通过固态微波功率器件静态参数测量软件实现程控指令分发到栅极双极性电压测量模块(2)、漏极电压测量模块(3)、漏极电流测量模块(4)、漏电流测试模块(5)、高压模块(6)、同轴数据采集模块(7)的控制单元。
所述测量夹具，选用印制板分布参数低的夹具，且G(栅极)接地屏蔽、 D(漏极)接地屏蔽、S(源极)接地屏蔽。
分析：
(1)因为栅极双极性电压测量模块、漏极电压测量模块、漏极电流测量模块、漏电流测试模块、高压模块、同轴数据采集模块等模块技术指标能够满足固态微波功率器件G(栅极)、D(漏极)、S(源级)测量要求，通过固态微波功率器件静态参数测量软件能够测量相关静态参数；
(2)因为所采用的栅极双极性电压测量模块、漏极电压测量模块、漏极电流测量模块、漏电流测试模块、高压模块、同轴数据采集模块等模块体积足够小，便携式固态微波功率器件静态参数测试仪能够做到较其他测试系统体积小很多，体积控制在44cm×46cm×18cm，重量≤20kg，较常规器件测试系统体积及重量有较大优势。
(3)因为所采用的测量夹具具有印制板分布参数低、G(栅极)接地屏蔽、D(漏极)接地屏蔽、S(源极)接地屏蔽等优点，满足测量条件。本专利便携式固态微波功率器件静态参数测试仪可以用来测量GaN、GaAs、 SiC等固态微波功率器件静态参数，包括栅极和源极之间夹断电压VGSoff、栅极和源极之间的漏电流IGSS、漏极饱和电流IDSS、跨导gm等，直接保障固态微波功率器件静态参数质量。
第二方面，本申请提出一种静态参数测试方法，采用所述的静态参数测试系统实现，如图2所示，包括如下步骤：
将第一测量模块、第二测量模块、第三测量模块、第四测量模块、第五测量模块、第六测量模块通过切换模块与测量夹具相连接；
将所述第一测量模块、第二测量模块、第三测量模块、第四测量模块、第五测量模块、第六测量模块之间通过总线相连接；
使用切换模块在所述第一测量模块、第二测量模块、第三测量模块、第四测量模块、第五测量模块、第六测量模块之间进行切换，保证任一测量模块处于正在使用状态；
使用测量夹具与正在使用中的任一测量模块相连接，用于夹持固态微波功率器件；
使用正在使用中的任一测量模块对应的测量功能对所述夹持固态微波功率器件进行测量。
第三方面，本申请提供一种电子设备，该电子设备包括：
一个或多个处理器；
存储器；
一个或多个应用程序，其中一个或多个应用程序被存储在存储器中并被配置为由一个或多个处理器执行，一个或多个程序配置用于：执行第二方面或者第二方面任一可能的实现方式所述的静态参数测试方法对应的操作。
如图4所示，电子设备100包括：处理器101和存储器103。其中，处理器101和存储器103相连，如通过总线102相连。
该电子设备100的结构并不构成对本申请实施例的限定。
处理器101可以是CPU，通用处理器，DSP，ASIC，FPGA或者其他可编程逻辑器件、晶体管逻辑器件、硬件部件或者其任意组合。其可以实现或执行结合本申请公开内容所描述的各种示例性的逻辑方框，模块和电路。处理器4001也可以是实现计算功能的组合，例如包含一个或多个微处理器组合， DSP和微处理器的组合等。
总线102可包括一通路，在上述组件之间传送信息。总线102可以是PCI 总线或EISA总线等。总线102可以分为地址总线、数据总线、控制总线等。为便于表示，图4中仅用一条粗线表示，但并不表示仅有一根总线或一种类型的总线。
存储器103可以是ROM或可存储静态信息和指令的其他类型的静态存储设备，RAM或者可存储信息和指令的其他类型的动态存储设备，也可以是 EEPROM、CD-ROM或其他光盘存储、光碟存储(包括压缩光碟、激光碟、光碟、数字通用光碟、蓝光光碟等)、磁盘存储介质或者其他磁存储设备、或者能够用于携带或存储具有指令或数据结构形式的期望的程序代码并能够由计算机存取的任何其他介质，但不限于此。
第四方面，提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现第二方面或者第二方面任一可能的实现方式所述的静态参数测试方法。
以上所述的实施例仅仅是对本发明的优选实施方式进行描述，并非对本发明的范围进行限定，在不脱离本发明设计精神的前提下，本领域普通技术人员对本发明的技术方案作出的各种变形和改进，均应落入本发明权利要求书确定的保护范围内。
Claims (10)
1.一种静态参数测试系统，用于测量固态微波功率器件的静态参数，其特征在于：包括：第一测量模块、第二测量模块、第三测量模块、第四测量模块、第五测量模块、第六测量模块中的至少一种测量模块，所述第一测量模块、第二测量模块、第三测量模块、第四测量模块、第五测量模块、第六测量模块通过切换模块与测量夹具相连接，所述第一测量模块、第二测量模块、第三测量模块、第四测量模块、第五测量模块、第六测量模块之间通过总线相连接；
所述第一测量模块，用于为固态微波功率器件静态参数测量提供正负双极性电压输出或电压测量、电流输出或电流测量功能；
所述第二测量模块，用于为固态微波功率器件静态参数测量提供直流电压输出或直流电流测量功能；
所述第三测量模块，用于为固态微波功率器件静态参数提供漏极电流输出或漏极电压测量功能；
所述第四测量模块，用于为固态微波功率器件静态参数中提供耐压参数漏电流测量功能；
所述第五测量模块，用于为固态微波功率器件静态参数中提供耐压参数测量或高压输出功能；
所述第六测量模块，用于为固态微波功率器件静态参数中提供直流或脉冲电压测量功能；
所述切换模块，用于在所述第一测量模块、第二测量模块、第三测量模块、第四测量模块、第五测量模块、第六测量模块之间进行切换，保证任一测量模块处于正在使用状态；
所述测量夹具，与正在使用中的任一测量模块相连接，用于夹持固态微波功率器件。
2.根据权利要求1所述的静态参数测试系统，其特征在于，所述第一测量模块，通过所述测量夹具上设置的BNC端子连接到固态微波功率器件栅极、源级，所述电压输出范围优选为：±(0.5～30)V，所述电流测量范围优选为：±(2～200)μA以及±(0.2～200)mA；所述电流输出范围优选为：±(2～200)μA以及±(0.2～200)mA，电压测量范围优选为：±(0.5～30)V。
3.根据权利要求1所述的静态参数测试系统，其特征在于，所述第二测量模块，通过所述测量夹具上设置的BNC端子连接到固态微波功率器件漏极、源级，所述电压输出范围优选为：(0.5～30)V，所述电流测量范围优选为：(0.2～200)mA以及(0.2～10)A。
4.根据权利要求1所述的静态参数测试系统，其特征在于，所述第三测量模块，通过所述测量夹具上设置的BNC端子连接到固态微波功率器件漏极、源级，所述电流输出范围优选为：(0.2～200)mA、(0.2～2)A以及脉冲电流(2～30)A，所述电压测量范围优选为：±(0.5～30)V。
5.根据权利要求1所述的静态参数测试系统，其特征在于，所述第四测量模块，通过所述测量夹具上设置的BNC端子连接到固态微波功率器件栅极与源极或漏极与源级，漏流测量范围优选为：(0.1～100)μA。
6.根据权利要求1所述的静态参数测试系统，其特征在于，所述第五测量模块，通过所述测量夹具上设置的BNC端子连接到固态微波功率器件栅极与源极或漏极与源级，所述高压输出范围优选为：(30～3000)V。
7.根据权利要求1所述的静态参数测试系统，其特征在于，所述第六测量模块，通过所述测量夹具上设置的BNC端子连接到固态微波功率器件漏极与S源级，所述直流电压测量范围优选为：±(0.5～30)V，所述脉冲电压测量范围优选为：±(0.5V～30V)。
8.一种静态参数测试方法，采用权利要求1～7任意一项所述的静态参数测试系统实现，其特征在于，包括如下步骤：
将第一测量模块、第二测量模块、第三测量模块、第四测量模块、第五测量模块、第六测量模块通过切换模块与测量夹具相连接；
将所述第一测量模块、第二测量模块、第三测量模块、第四测量模块、第五测量模块、第六测量模块之间通过总线相连接；
使用切换模块在所述第一测量模块、第二测量模块、第三测量模块、第四测量模块、第五测量模块、第六测量模块之间进行切换，保证任一测量模块处于正在使用状态；
使用测量夹具与正在使用中的任一测量模块相连接，用于夹持固态微波功率器件；
使用正在使用中的任一测量模块对应的测量功能对所述夹持固态微波功率器件进行测量。
9.一种电子设备，其特征在于，该电子设备包括：
一个或多个处理器；
存储器；
一个或多个应用程序，其中一个或多个应用程序被存储在存储器中并被配置为由一个或多个处理器执行，一个或多个程序配置用于：执行权利要求8所述的静态参数测试方法对应的操作。
10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现权利要求8所述的静态参数测试方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202110334939.1A CN113176484A (zh) | 2021-03-29 | 2021-03-29 | 一种静态参数测试系统、方法、电子设备及存储介质 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202110334939.1A CN113176484A (zh) | 2021-03-29 | 2021-03-29 | 一种静态参数测试系统、方法、电子设备及存储介质 |
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|---|---|
| CN113176484A true CN113176484A (zh) | 2021-07-27 |
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ID=76922705
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202110334939.1A Pending CN113176484A (zh) | 2021-03-29 | 2021-03-29 | 一种静态参数测试系统、方法、电子设备及存储介质 |
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| CN (1) | CN113176484A (zh) |
Citations (4)
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| CN200976035Y (zh) * | 2006-12-07 | 2007-11-14 | 比亚迪股份有限公司 | 功率场效应晶体管静态参数的测试装置 |
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2021
- 2021-03-29 CN CN202110334939.1A patent/CN113176484A/zh active Pending
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