CN200976035Y - 功率场效应晶体管静态参数的测试装置 - Google Patents
功率场效应晶体管静态参数的测试装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN200976035Y CN200976035Y CN 200620016251 CN200620016251U CN200976035Y CN 200976035 Y CN200976035 Y CN 200976035Y CN 200620016251 CN200620016251 CN 200620016251 CN 200620016251 U CN200620016251 U CN 200620016251U CN 200976035 Y CN200976035 Y CN 200976035Y
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- effect transistor
- power field
- field effect
- proving installation
- voltage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
本实用新型是一种功率场效应晶体管静态参数的测试装置,具有数据处理单元和数据采集单元,功率场效应晶体管测试夹具和测试装置,测试装置通过功率场效应晶体管测试夹具连接被检测的功率场效应晶体管;在数据处理单元向数据采集单元发送控制指令后,数据采集单元发出数字和模拟信号控制测试装置测试晶体管的静态参数,数字信号控制测试装置搭成相应的测试电路的,模拟信号驱动测试装置中的电压或电流发生器,给被测功率场效应晶体管加载电流和电压;数据采集装置将测试结果输出到数据处理单元。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶体管的检测装置,特别是指功率场效应晶体管(POWER MOSFET)静态参数的测试装置。
背景技术
功率场效应晶体管是一种新一代的功率晶体管,其具有耐压高,正向压降低,速度快的优点随着低压手持式设备的增长,功率场效应晶体管的需求急速增加,对于功率场效应晶体管的生产厂家,怎样高速,高效地测试功率场效应晶体管是非常重要的。
目前,业界都是采用传统仪器来测试功率场效应晶体管的各项静态参数,例如:采用万用表测电压电流,采用内阻测试仪测量电池内阻,采用稳压电源给功率场效应晶体管提供电压,电流等。上述传统测试功率场效应晶体管的各项静态参数的设备需要每项参数单独测试,分别记录,效率很低。且因为人工测试,操作人员容易因操作失误或视力疲劳造成误判,进而影响产品质量。
发明内容
本实用新型的所要解决的技术问题是提供一种对功率场效应晶体管的多个静态参数进行自动测试的装置。
本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的:
一种功率场效应晶体管静态参数的测试装置,具有数据处理单元,数据采集单元,功率场效应晶体管测试夹具,其特征在于:还具有一测试装置,该测试装置通过功率场效应晶体管测试夹具连接被检测的功率场效应晶体管;在数据处理单元向数据采集单元发送控制指令后,数据采集单元发出数字和模拟信号控制测试装置测试晶体管的静态参数,数字信号控制测试装置选通相应的测试电路,模拟信号驱动测试装置中的电压和电流发生器,给被测功率场效应晶体管加载电流和电压;数据采集装置将测试结果输出到数据处理单元。
其中,所述测试装置包括继电器网络,电流发生器,电压发生器,以及开启电压(Vt)测试电路,漏源击穿电压(BVds)测试电路,漏源漏电流(Idss)测试电路,寄生二极管正向压降(Vsd)测试电路,通态电阻(Ron)测试电路,门极击穿电压(BVgs)测试电路,门极漏电流(Idss)测试电路中的至少两种或两种以上,测试装置通过继电器网络选择上述测试电路的连接或断开。
其进一步改进为所述测试装置还进一步包括保护电路和报警电路。
其中,所述数据处理装置为PC机,数据采集装置为数据采集卡,数据处理装置装设在PC机主板的PCI插槽中。所述PC机能分析处理测试结果,并显示和保存结果。
其中,所述测试结果包括开启电压(Vt),漏源击穿电压(BVds),漏源漏电流(Idss),寄生二极管正向压降(Vsd),通态电阻(Ron),门极击穿电压(BVgs),门极漏电流(Idss)。
本实用新型的优点在于:通过所述功率场效应晶体管静态参数的自动测试装置代替传统仪器测试对功率场效应晶体管进行各项静态参数测试,测试集成度高,测试过程无需人工干涉,且测试数据自动保存,以便生产统计和品质分析。
附图说明
图1是本实用新型功率场效应晶体管静态参数测试装置的结构示意图。
图2是本实用新型对开启电压(Vt)测量的电路示意图。
图3是本实用新型对漏源击穿电压(BVds)测试的电路示意图。
图4是本实用新型对漏源漏电流(Idss)测试的电路示意图。
图5是本实用新型对通态电阻(Ron)测试的电路示意图。
图6是本实用新型对寄生二极管正向压降(Vsd)测试的电路示意图。
图7是本实用新型对门极击穿电压(BVgs)测试的电路示意图。
图8是本实用新型对门极漏电流(Idss)测试的电路示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做出进一步的说明。
请参阅图1,为该功率场效应晶体管静态参数测试设备的结构示意图。该设备主要包括两大部分,即数据采集处理系统和一个测试装置。数据采集处理系统包括PC机、数据采集卡,将数据采集卡装入PC机主板的PCI插槽中。测试装置内有完备的测试电路,包括电流发生器,高压发生器,电流采样电路,电压采样电路,保护电路,报警电路,及继电器网络。在测试晶圆时,需要通过探针台连接测试装置和被测晶圆。
在PC机经过PCI总线向数据采集卡发送控制指令后,数据采集卡发出数字和模拟信号控制测试装置测试各项参数。测试某项参数时,数据采集卡先发出数字信号控制测试装置中的继电器网络,搭成相应的测试电路,再发出模拟信号驱动电压或电流发生器,加载于被测功率场效应晶体管,同时,采样电路采集功率场效应晶体管的测试结果,通过采样电路传给数据采集卡,数据采集卡把采集的数据反馈给PC机进行分析处理。得出每项参数的测试结果,并判断每项参数是否合格,最后通过所述的测试处理显示系统保存测试数据和显示最终测试结果。
本实用新型功率场效应晶体管静态参数的测试装置通过控制测试装置搭建测试电路,可一次测试如下七项静态参数的部分和全部:开启电压(Vt),漏源击穿电压(BVds),漏源漏电流(Idss),寄生二极管正向压降(Vsd),通态电阻(Ron),门极击穿电压(BVgs),门极漏电流(Idss)。下面结合图2到图8,分别对各参数的测试过程进行说明:
一、开启电压(Vt)测试:
(1)数据采集卡发出数字信号,控制继电器搭成电路如图2所示,使功率场效应晶体管门极和漏极短路。
(2)数据采集卡发出模拟信号BT1,使功率场效应晶体管漏源通过250uA的电流。
(3)R1两端的电压既是开启电压(Vt)。电压采样电路采集R1的电压,经数据采集卡送到PC机。
二.漏源击穿电压(BVds)测试:
(1)数据采集卡发出数字信号,控制继电器搭成电路如图3所示,使功率场效应晶体管门极和源极短路。
(2)数据采集卡发出模拟信号BT1,使功率场效应晶体管漏源通过250uA的电流。
(3)R1两端的电压既是漏源击穿电压(BVds)。电压采样电路采集R1的电压,经数据采集卡送到PC机。
三.漏源漏电流(Idss)测试:
(1)数据采集卡发出数字信号,控制继电器搭成电路如图4所示,使功率场效应晶体管门极和源极短路。
(2)数据采集卡发出模拟信号BT1,使功率场效应晶体管漏源加20伏电压(因功率场效应晶体管型号不同而易)。
(3)流过R1的电流既是Idss。电流采样电路采集R1的电流,经数据采集卡送到PC机。
四.通态电阻(Ron)测试:
(1)数据采集卡发出数字信号,控制继电器搭成电路如图5所示,使功率场效应晶体管门极和漏极由相应的模拟信号驱动。
(2)数据采集卡发出模拟信号BT1,使功率场效应晶体管门极加4.5伏电压(因功率场效应晶体管型号不同而易),发出模拟信号BT2,使漏源加3安的电流(因功率场效应晶体管型号不同而易)。
(3)R1两端电压既是功率场效应晶体管漏源电压。电压采样电路采集R1的电压,经数据采集卡送到PC机,经PC计算,除以漏源通过的电流,所得值既是Ron。
五.寄生二极管正向压降(Vsd)测试:
(1)数据采集卡发出数字信号,控制继电器搭成电路如图6所示,使功率场效应晶体管门极和源极短路。
(2)数据采集卡发出模拟信号BT1,使源漏加3安的电流(因功率场效应晶体管型号不同而易)。
(3)R1两端电压既是功率场效应晶体管寄生二极管正向压降(Vsd)。电压采样电路采集R1的电压,经数据采集卡送到PC机。
六.门极击穿电压(BVgs)测试:
(1)数据采集卡发出数字信号,控制继电器搭成电路如图7所示,使功率场效应晶体管漏极悬空。
(2)数据采集卡发出模拟信号BT1,使功率场效应晶体管门源通过250uA的电流。
(3)R1两端的电压既是门极击穿电压(BVgs)。电压采样电路采集R1的电压,经数据采集卡送到PC机。
七.门极漏电流(Igss)测试:
(1)数据采集卡发出数字信号,控制继电器搭成电路如图8所示,使功率场效应晶体管漏极悬空。
(2)数据采集卡发出模拟信号BT1,使功率场效应晶体管门源加10伏的电压(因功率场效应晶体管型号不同而易)。
(3)流过R1的电流既是Igss。电流采样电路采集R1的电流,经数据采集卡送到PC机。
本实用新型通过上述方式,在同一时段内完成功率场效应晶体管所有七项静态参数的测试,大大提高了测试效率,降低了测试的成本。
Claims (6)
1、一种功率场效应晶体管静态参数的测试装置,具有数据处理单元,数据采集单元,功率场效应晶体管测试夹具,其特征在于:还具有一测试装置,该测试装置通过功率场效应晶体管测试夹具连接被检测的功率场效应晶体管;
在数据处理单元向数据采集单元发送控制指令后,数据采集单元发出数字和模拟信号控制测试装置测试晶体管的静态参数,数字信号控制测试装置选通相应的测试电路,模拟信号驱动测试装置中的电压和电流发生器,给被测功率场效应晶体管加载电流和电压;数据采集装置将测试结果输出到数据处理单元。
2、如权利要求1所述的功率场效应晶体管静态参数的测试装置,其特征在于:所述测试装置包括继电器网络,电流发生器,电压发生器,以及开启电压(Vt)测试电路,漏源击穿电压(BVds)测试电路,漏源漏电流(Idss)测试电路,寄生二极管正向压降(Vsd)测试电路,通态电阻(Ron)测试电路,门极击穿电压(BVgs)测试电路,门极漏电流(Idss)测试电路中的至少两种或两种以上,测试装置通过继电器网络选择上述测试电路的连接或断开。
3、如权利要求2所述的功率场效应晶体管静态参数的测试装置,其特征在于:所述测试装置还进一步包括保护电路和报警电路。
4、如权利要求1或2或3所述的功率场效应晶体管静态参数的测试装置,其特征在于:所述数据处理装置为PC机,数据采集装置为数据采集卡,数据处理装置装设在PC机主板的PCI插槽中。
5、如权利要求4所述的功率场效应晶体管静态参数的测试装置,其特征在于:所述PC机能分析处理测试结果,并显示和保存结果。
6、如权利要求5所述的功率场效应晶体管静态参数的测试装置,其特征在于:所述测试结果包括开启电压(Vt),漏源击穿电压(BVds),漏源漏电流(Idss),寄生二极管正向压降(Vsd),通态电阻(Ron),门极击穿电压(BVgs),门极漏电流(Idss)。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 200620016251 CN200976035Y (zh) | 2006-12-07 | 2006-12-07 | 功率场效应晶体管静态参数的测试装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 200620016251 CN200976035Y (zh) | 2006-12-07 | 2006-12-07 | 功率场效应晶体管静态参数的测试装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN200976035Y true CN200976035Y (zh) | 2007-11-14 |
Family
ID=38902319
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN 200620016251 Expired - Lifetime CN200976035Y (zh) | 2006-12-07 | 2006-12-07 | 功率场效应晶体管静态参数的测试装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN200976035Y (zh) |
Cited By (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102023238A (zh) * | 2010-11-04 | 2011-04-20 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 用于SiC MESFET直流测试的夹具 |
CN102116830A (zh) * | 2011-01-09 | 2011-07-06 | 湖南文理学院 | 一种ccd光电参量的测试方法 |
CN102393501A (zh) * | 2011-10-14 | 2012-03-28 | 哈尔滨工业大学 | 一种mosfet可靠性测试分析系统及方法 |
CN102478622A (zh) * | 2010-11-25 | 2012-05-30 | 佛山市顺德区顺达电脑厂有限公司 | 场效应管测试装置及其方法 |
CN103364694A (zh) * | 2012-03-26 | 2013-10-23 | 上海宏力半导体制造有限公司 | 对超测量源表范围的漏源击穿电压进行测量的装置及方法 |
CN103675639A (zh) * | 2013-12-17 | 2014-03-26 | 中国科学院微电子研究所 | 一种功率vdmos器件低温远程在线测试系统 |
CN103760485A (zh) * | 2014-01-27 | 2014-04-30 | 成都先进功率半导体股份有限公司 | 二极管、三极管的后端检测方法 |
CN104267329A (zh) * | 2014-10-21 | 2015-01-07 | 京东方科技集团股份有限公司 | 晶体管测试电路以及测试方法 |
CN104898035A (zh) * | 2015-06-15 | 2015-09-09 | 山东晶导微电子有限公司 | 实时采集数据的高温反偏实验系统 |
CN107436384A (zh) * | 2016-05-27 | 2017-12-05 | 无锡华润上华科技有限公司 | 半导体可动离子的测试系统及其控制系统 |
CN108344936A (zh) * | 2018-01-22 | 2018-07-31 | 无锡昌德微电子股份有限公司 | 一种功率半导体器件的测试方法 |
CN109444703A (zh) * | 2018-10-15 | 2019-03-08 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 超级结器件的测试方法 |
CN113176484A (zh) * | 2021-03-29 | 2021-07-27 | 中国电子技术标准化研究院 | 一种静态参数测试系统、方法、电子设备及存储介质 |
CN113740691A (zh) * | 2021-07-27 | 2021-12-03 | 杭州士兰集成电路有限公司 | 场效应管的测试方法 |
CN116047171A (zh) * | 2023-03-14 | 2023-05-02 | 中山大学 | 一种功率半导体场效应晶体管动态导通电阻的表征方法及装置 |
-
2006
- 2006-12-07 CN CN 200620016251 patent/CN200976035Y/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102023238B (zh) * | 2010-11-04 | 2012-09-12 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 用于SiC MESFET直流测试的夹具 |
CN102023238A (zh) * | 2010-11-04 | 2011-04-20 | 中国电子科技集团公司第十三研究所 | 用于SiC MESFET直流测试的夹具 |
CN102478622A (zh) * | 2010-11-25 | 2012-05-30 | 佛山市顺德区顺达电脑厂有限公司 | 场效应管测试装置及其方法 |
CN102478622B (zh) * | 2010-11-25 | 2013-12-04 | 佛山市顺德区顺达电脑厂有限公司 | 场效应管测试装置及其方法 |
CN102116830A (zh) * | 2011-01-09 | 2011-07-06 | 湖南文理学院 | 一种ccd光电参量的测试方法 |
CN102393501A (zh) * | 2011-10-14 | 2012-03-28 | 哈尔滨工业大学 | 一种mosfet可靠性测试分析系统及方法 |
CN102393501B (zh) * | 2011-10-14 | 2013-11-13 | 哈尔滨工业大学 | 一种mosfet可靠性测试分析系统的mosfet静态参数测试方法 |
CN103364694A (zh) * | 2012-03-26 | 2013-10-23 | 上海宏力半导体制造有限公司 | 对超测量源表范围的漏源击穿电压进行测量的装置及方法 |
CN103675639A (zh) * | 2013-12-17 | 2014-03-26 | 中国科学院微电子研究所 | 一种功率vdmos器件低温远程在线测试系统 |
CN103760485B (zh) * | 2014-01-27 | 2016-01-20 | 成都先进功率半导体股份有限公司 | 二极管、三极管的后端检测方法 |
CN103760485A (zh) * | 2014-01-27 | 2014-04-30 | 成都先进功率半导体股份有限公司 | 二极管、三极管的后端检测方法 |
CN104267329A (zh) * | 2014-10-21 | 2015-01-07 | 京东方科技集团股份有限公司 | 晶体管测试电路以及测试方法 |
US10006957B2 (en) | 2014-10-21 | 2018-06-26 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Circuit and method for testing transistor(s) |
CN104898035A (zh) * | 2015-06-15 | 2015-09-09 | 山东晶导微电子有限公司 | 实时采集数据的高温反偏实验系统 |
CN107436384A (zh) * | 2016-05-27 | 2017-12-05 | 无锡华润上华科技有限公司 | 半导体可动离子的测试系统及其控制系统 |
CN108344936A (zh) * | 2018-01-22 | 2018-07-31 | 无锡昌德微电子股份有限公司 | 一种功率半导体器件的测试方法 |
CN109444703A (zh) * | 2018-10-15 | 2019-03-08 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 超级结器件的测试方法 |
CN113176484A (zh) * | 2021-03-29 | 2021-07-27 | 中国电子技术标准化研究院 | 一种静态参数测试系统、方法、电子设备及存储介质 |
CN113740691A (zh) * | 2021-07-27 | 2021-12-03 | 杭州士兰集成电路有限公司 | 场效应管的测试方法 |
CN116047171A (zh) * | 2023-03-14 | 2023-05-02 | 中山大学 | 一种功率半导体场效应晶体管动态导通电阻的表征方法及装置 |
CN116047171B (zh) * | 2023-03-14 | 2023-10-27 | 中山大学 | 一种功率半导体场效应晶体管动态导通电阻的表征方法及装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN200976035Y (zh) | 功率场效应晶体管静态参数的测试装置 | |
CN106168647A (zh) | Igbt老化状态检测系统 | |
CN103019902A (zh) | Arinc429总线信号性能参数的自动测试装置及测试方法 | |
CN106443405A (zh) | 多igbt模块综合老化特征量测量装置 | |
CN202548256U (zh) | 短路测试装置 | |
CN105842609A (zh) | 一种柴油机scr系统控制单元硬件电路检测装置 | |
CN206805286U (zh) | 一种dcs 系统模拟量信号采集实时性测试的装置 | |
CN202711062U (zh) | 一种动车辅助电源装置控制单元自动测试系统 | |
CN103093714A (zh) | Led显示屏驱动板的检测装置以及检测方法 | |
CN201322790Y (zh) | 恒流电源板的测试装置 | |
CN103246282B (zh) | 一种变桨控制器测试装置 | |
CN214504211U (zh) | 飞参记录仪测试系统 | |
CN106226601A (zh) | 一种弱电流自动化绝缘电阻的检测装置 | |
CN105548717A (zh) | 一种基于虚拟仪器技术的电气参数测试装置 | |
CN105375980A (zh) | 一种检测多路光网络单元长发光的装置及方法 | |
CN104515956A (zh) | 一种智能电能表电源模块检测方法及装置 | |
CN205067701U (zh) | 一种电动汽车驱动电机的测试装置 | |
CN204855739U (zh) | 功率放大器测试装置 | |
CN106533360A (zh) | 便携式光伏组件户外功率测试装置及其测试方法 | |
CN202974086U (zh) | 一种无线电引信测试仪自动校准系统 | |
CN203788304U (zh) | 硬件接口功能测试装置 | |
CN207215868U (zh) | 一种电路板测试装置 | |
CN106996998A (zh) | 一种应答信号测试仪 | |
CN105738849A (zh) | 一种数字式电能质量检测系统 | |
CN204705684U (zh) | 一种电子烟主机测试治具 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
EE01 | Entry into force of recordation of patent licensing contract |
Assignee: Ningbo BYD Semiconductor Co., Ltd. Assignor: Biyadi Co., Ltd. Contract record no.: 2010440020106 Denomination of utility model: Device for testing power field-effect transistor static parameter Granted publication date: 20071114 License type: Exclusive License Record date: 20100708 |
|
CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20071114 |
|
EXPY | Termination of patent right or utility model |