CN113176276A - 一种面板缺陷检测设备及面板缺陷检测方法 - Google Patents

一种面板缺陷检测设备及面板缺陷检测方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供了一种面板缺陷检测设备及面板缺陷检测方法，涉及面板缺陷检测技术领域，该设备包括支撑台、第一龙门、第二龙门、扫描机构和复检机构，第一龙门包括第一立柱和设于第一立柱上的第一横梁，扫描机构设于第一横梁上，第一横梁适于相对第一立柱沿第一横梁的延伸方向移动，第二龙门包括第二立柱和设于第二立柱上的第二横梁，复检机构设于第二横梁上。通过上述设置，从而可以通过移动龙门横梁来带动扫描机构移动；相对于扫描机构独立运动的方式，因其运动部分为扫描机构及龙门横梁这一整体，其刚性大，所以扫描机构局部挠曲变形小，结构更加稳定，故而更能确保扫描机构的成像质量及缺陷检测的稳定性。

Description

一种面板缺陷检测设备及面板缺陷检测方法
技术领域
本发明涉及面板缺陷检测技术领域，具体而言，涉及一种面板缺陷检测设备及面板缺陷检测方法。
背景技术
液晶显示面板在制造过程中可能会产生诸多缺陷，这些缺陷大致可分为宏观缺陷与微观缺陷，其中微观缺陷难以用肉眼检测出来。因此，为了检测面板的微观缺陷，市面上出现了相应的面板缺陷检测设备，现有的面板缺陷检测设备中，初扫相机和复扫相机分别布置在两个具有一定距离的龙门上，初扫相机在龙门上步进运动，以对待检测面板进行初扫，复扫相机根据初扫过程得到的缺陷坐标在龙门上运动至缺陷点上方，对待检测面板进行复扫，以获得详细的缺陷信息。但由于初扫相机在龙门上步进运动会导致初扫相机局部的挠曲变形，进而会影响初扫相机的成像质量，故而现有的结构设计难以确保初扫相机的成像质量和缺陷检测的稳定性。
发明内容
本发明解决的问题是现有的结构设计难以确保初扫相机的成像质量和缺陷检测的稳定性。
为解决上述问题，本发明的第一方面提供一种面板缺陷检测设备，包括支撑台、第一龙门、第二龙门、扫描机构和复检机构，所述支撑台用于承载待检测面板并驱动所述待检测面板运动，所述第一龙门包括第一立柱和设于所述第一立柱上的第一横梁，所述扫描机构设于所述第一横梁上，所述第一横梁与所述支撑台的上表面间具有一定间隙，所述第一横梁适于相对所述第一立柱沿所述第一横梁的延伸方向移动，所述第二龙门包括第二立柱和设于所述第二立柱上的第二横梁，所述第二横梁与所述支撑台的上表面间具有一定间隙，所述复检机构设于所述第二横梁上，所述复检机构适于在所述第二横梁上移动，所述复检机构适于在所述第二横梁上移动，所述扫描机构用于扫描所述待检测面板，所述复检机构用于对所述待检测面板进行复检。
由于扫描机构设于第一横梁上，且第一横梁适于相对第一立柱沿第一横梁的延伸方向移动，因此，可以通过移动第一横梁来带动扫描机构移动；相对于扫描机构在第一横梁上独立运动的方式，因其运动部分为扫描机构及第一横梁这一整体，其刚性大，所以扫描机构局部挠曲变形小，结构更加稳定，故而更能确保扫描机构的成像质量及缺陷检测的稳定性。另外，通过将复检机构设于与第一龙门分隔的第二龙门上，从而避免复检机构受到第一横梁移动的影响，进而保证复检过程不会受到干扰；同时由于复检模块采用复检机构独立运动的方式，因复检机构质量较小，不用担心其刚性不足及挠曲变形，则复检机构采用独立运动的方式可以达到很大的速度及加速度，从而提高复检效率。
进一步地，该面板缺陷检测设备还包括气浮导向装置，所述复检机构设于所述气浮导向装置上，所述气浮导向装置设于所述第二横梁上，所述气浮导向装置用于限制所述复检机构的移动方向。
进一步地，所述支撑台包括支撑架和设于所述支撑架上的气浮平台，所述气浮平台用于悬浮支撑所述待检测面板。
进一步地，所述气浮平台包括第一气浮平台和两个第二气浮平台，所述第一气浮平台设于两个所述第二气浮平台之间，所述第一气浮平台和所述第二气浮平台适于悬浮支撑所述待检测面板，所述扫描机构和/或所述复检机构扫描所述待检测面板时，所述待检测面板悬浮于所述第一气浮平台上。
进一步地，所述第二气浮平台包括多个气浮条，各所述气浮条平行且间隔设置，所述气浮条用于悬浮支撑所述待检测面板。
进一步地，所述支撑台还包括夹持机构，所述夹持机构用于带动所述待检测面板在所述支撑台上运动。
进一步地，所述夹持机构包括吸附装置，所述吸附装置适于垂向吸附所述待检测面板，并适于带动所述待检测面板移动。
进一步地，所述支撑台还包括矫正机构，所述矫正机构用于对所述待检测面板进行矫正。
进一步地，所述矫正机构包括沿第一方向相对设置的第一活动架和第一固定架，所述第一活动架上设有第一滚轮机构，所述第一固定架上设有第二滚轮机构，所述第一滚轮机构适于向所述第二滚轮机构移动，以对所述待检测面板进行矫正。
进一步地，所述第一活动架设于所述吸附装置上。
进一步地，所述矫正机构包括沿第一方向相对设置的第二活动架和第二固定架，所述第二活动架和所述第二固定架上均设有第三滚轮机构，所述第二活动架的所述第三滚轮机构与所述第二固定架的所述第三滚轮机构适于相对移动，以对所述待检测面板进行矫正。
进一步地，所述第二活动架设于所述吸附装置上。
进一步地，所述矫正机构还包括沿第二方向间隔设置的两个第三活动架，所述第三活动架上设有第四滚轮机构，两所述第四滚轮机构适于相对移动，以对所述待检测面板进行矫正，其中，所述第一方向与所述第二方向交叉。
进一步地，所述支撑台包括第一气浮平台和第二气浮平台，所述第一气浮平台设于两个所述第二气浮平台之间，所述扫描机构和/或所述复检机构扫描所述待检测面板时，所述待检测面板悬浮于所述第一气浮平台上，所述第二气浮平台包括多个气浮条，各所述气浮条平行且间隔设置，所述气浮条用于悬浮支撑所述待检测面板。
进一步地，所述第三活动架设于两所述气浮条间的间隙中，所述第四滚轮机构的高度适于调节以与所述待检测面板位于同一高度。
进一步地，所述复检机构包括对焦装置和设于所述对焦装置上的复扫相机，所述复扫相机用于对所述待检测面板进行复扫，所述对焦装置用于监测所述复扫相机与所述待检测面板的间隔距离，并根据所述复扫相机与所述待检测面板的间隔距离使所述复扫相机相对所述第二龙门垂向运动，以使所述复扫相机与所述待检测面板的间隔距离为所述复扫相机的最佳成像距离。
进一步地，所述对焦装置包括音圈电机、活动板、连接板和重力补偿机构，所述音圈电机定子设于所述连接板上，所述音圈电机动子与所述活动板连接，所述复扫相机适于设于所述活动板上，所述活动板适于相对所述连接板垂向运动，所述重力补偿机构用于输出一个与所述复扫相机的重力方向相反的恒力。
进一步地，所述第二龙门还包括直线驱动机构和气浮轴承，所述第二横梁内设有走行腔，所述直线驱动机构设于所述走行腔内，所述直线驱动机构适于在所述走行腔内往复直线运动，所述直线驱动机构与所述气浮轴承连接，所述气浮轴承环绕所述第二横梁设置，且所述气浮轴承各面与所述第二横梁间形成气膜间隙，所述气浮轴承用于安装所述复检机构。
本发明的第二方面提供一种面板缺陷检测方法，所述方法应用于如上所述的面板缺陷检测设备，所述方法包括：
缺陷评价结果获取阶段和待检测面板复检阶段；
所述缺陷评价结果获取阶段包括：
根据待检测面板的扫描图像确定所述扫描图像的第一候选缺陷，根据所述第一候选缺陷确定裁剪图像，根据所述裁剪图像确定第一缺陷评分；
从所述第一候选缺陷中筛选第二候选缺陷，根据所述第二候选缺陷的坐标位置移动复检机构以采集复检图像，根据所述复检图像确定第二缺陷评分；
根据所述第一缺陷评分和所述第二缺陷评分确定各类缺陷的缺陷评价结果；
所述待检测面板复检阶段包括：
获取所述待检测面板的扫描图像，并根据所述扫描图像确定缺陷和各缺陷的类型；
根据预先获取的缺陷评价结果确定需复检类缺陷，从上述缺陷中挑选需复检类缺陷进行复检。
本发明实施例所述的用于待检测面板复检的方法，通过扫描图像确定的第一缺陷评分和复检图像确定的第二缺陷评分来确定各类缺陷的缺陷评价结果，根据缺陷评价结果挑选需复检类缺陷进行复检，无需对已拥有较好准确率的某类缺陷进行复检，因此能够极大提高复检的效率，并同时兼顾缺陷检测的准确性。
附图说明
图1为本发明实施例的面板缺陷检测设备的示例图；
图2为本发明实施例的面板缺陷检测设备检测过程的俯视示意图；
图3为本发明实施例的面板缺陷检测设备检测过程的侧视示意图；
图4为本发明实施例的支撑台的示意图；
图5为本发明实施例的面板缺陷检测设备矫正过程的示意图；
图6为图5中Ⅰ处的放大图；
图7为本发明实施例的第二活动架集成于夹持机构上后的结构示意图；
图8为本发明实施例的夹持机构的结构图；
图9为本发明实施例的夹持机构吸附待检测面板的示意图；
图10为本发明实施例的第二固定架及其上的相应结构的结构示意图；
图11为本发明实施例的第二活动架及其上的相应结构的结构示意图；
图12为本发明实施例的第三活动架及其上的相应结构的结构示意图；
图13为本发明实施例的第一龙门的结构示意关系图；
图14为本发明实施例的第二龙门的结构示意图；
图15为本发明实施例的对焦装置的结构示意图；
图16为本发明实施例的对焦装置的仰视图；
图17为本发明实施例的对焦装置对焦过程的示意图；
图18为本发明实施例的面板缺陷检测方法的流程图；
图19为本发明实施例的待检测面板的扫描图像；
图20为本发明实施例的缺陷示意图；
图21为本发明实施例的裁剪图像。
附图标记说明：
1-支撑架，11-第一支架，12-第二支架，13-第三支架，2-气浮平台，21-第一气浮平台，22-第二气浮平台，221-气浮条，3-夹持机构，31-第二支撑横梁，32-驱动装置，33-导向装置，34-吸附装置，35-支座，4-矫正机构，41-第一活动架，411-第一滚轮机构，412-第一调节装置，42-第一固定架，421-第二滚轮机构，43-第二活动架，431-第三支撑横梁，44-第二固定架，441-支撑底座，442-固定底座，443-调整弹簧，444-高度调整座，445-第一支撑横梁，446-第三滚轮机构，4461-第三滚轮，45-第三活动架，451-第四滚轮机构，4511-第四滚轮，452-第二调节装置，453-第三调节装置，454-支撑座，5-第一龙门，51-第一横梁，52-第一立柱，53-第一导向机构，54-驱动机构，6-第二龙门，61-第二横梁，62-第二立柱，63-气浮轴承，64-直线驱动机构，7-扫描机构，8-复检机构，81-对焦装置，811-音圈电机，812-重力补偿机构，813-固定导向件，814-活动导向件，815-第一测距传感器，816-位置编码器，817-连接板，818-活动板，82-复扫相机，9-待检测面板。
具体实施方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。
本发明的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。
如附图所示，设有XYZ坐标系,其中，X轴正向表示“前”，X轴反向表示“后”，Y轴正向表示“右”，Y轴反向表示“左”,Z轴正向表示“上”，Z轴反向表示“下”。
本实施例中，第一方向为Y轴方向，第二方向为X轴方向，第二方向为待检测面板9在气浮平台2上的运动方向。
如图1至图3所示，本发明实施例一种面板缺陷检测设备，包括支撑台、第一龙门5、第二龙门6、扫描机构7和复检机构8，所述支撑台用于承载待检测面板9并驱动所述待检测面板9运动，所述第一龙门5包括第一立柱52和设于所述第一立柱52上的第一横梁51，所述扫描机构7设于所述第一横梁51上，所述第一横梁51与所述支撑台的上表面间具有一定间隙，所述第一横梁51适于相对所述第一立柱52沿所述第一横梁51的延伸方向移动，所述第二龙门6包括第二立柱62和设于所述第二立柱62上的第二横梁61，所述第二横梁61与所述支撑台的上表面间具有一定间隙，所述复检机构8设于所述第二横梁61上，所述复检机构8适于在所述第二横梁61上移动，所述复检机构8适于在所述第二横梁61上移动，所述扫描机构7用于扫描所述待检测面板9，所述复检机构8用于对所述待检测面板9进行复检。
其中，面板缺陷检测设备还包括控制器，所述扫描机构7和所述复检机构8分别与所述控制器电连接；所述扫描机构7扫描所述待检测面板9并向所述控制器发送扫描图像，所述控制器分析所述扫描图像以确定所述待检测面板9的缺陷点及缺陷点坐标，并将所述缺陷点坐标发送给所述复检机构8，所述复检机构8根据所述缺陷点坐标对所述待检测面板9进行复检，并向所述控制器发送复检图像，然后所述控制器分析所述复检图像以确定所述缺陷点的缺陷类型。
具体地，如图13，第一龙门5包括第一横梁51、第一立柱52、第一导向机构53和驱动机构54。第一导向机构53包括第一导向件和第二导向件，第二导向件可相对第一导向件移动，第一导向件安装在第一立柱52上，第二导向件和驱动机构54与扫描龙门横梁固定连接,扫描机构7固定于第一横梁51上,驱动机构54驱动第一横梁51移动，进而带动安装在第一横梁51上的扫描机构7沿第一导向机构53导向方向来回运动。
应用中，扫描机构7设于第一横梁51的前侧，复检机构8设于第二横梁61的前侧。
由于扫描机构7设于第一横梁51上，且第一横梁51适于相对第一立柱52沿第一横梁51的延伸方向移动，因此，可以通过移动第一横梁51来带动扫描机构7移动；相对于扫描机构7第一横梁51上独立运动的方式，因其运动部分为扫描机构7及第一横梁51这一整体，其刚性大，所以扫描机构7局部挠曲变形小，结构更加稳定，故而更能确保扫描机构7的成像质量及缺陷检测的稳定性。另外，通过将复检机构8设于与第一龙门5分隔的第二龙门6上，从而避免复检机构8受到第一横梁51移动的影响，进而保证复检过程不会受到干扰。
可选地，该面板缺陷检测设备还包括气浮导向装置，所述复检机构8设于所述气浮导向装置上，所述气浮导向装置设于所述第二横梁61上，所述气浮导向装置用于限制所述复检机构8的移动方向。
本实施例中，气浮导向装置为气浮导轨，复检机构8使用气浮导轨作导向，相对于导轨滑块等直接接触的方式，气浮导轨因其自身误差均化作用，可实现其在长行程运动过程中仍能保持高精度，因此，特别适合大尺寸面板缺陷检测中需要大行程高精度、高效率检测的场合。可选地，第一龙门5的两端和第二龙门6的两端分别通过升降机构连接于支撑台上，从而可实现快速调整第一横梁51和/或第二横梁61与支撑台之间的平行度，同时降低了装调难度，更易提高装配精度，确保了扫描机构7和复检机构8的成像质量。
可选地，如图1至图4所示，所述支撑台包括支撑架1和设于所述支撑架1上的气浮平台2，所述气浮平台2用于悬浮支撑所述待检测面板9。
具体地，通过气浮平台2悬浮支撑待检测面板9，减小待检测面板9与支撑台间的摩檫力，便于待检测面板9在支撑台上移动，有利于提高待检测面板9在支撑台上的移动速度，进而提高检测效率。
可选地，如图1和图4所示，所述气浮平台2包括第一气浮平台21和两个第二气浮平台22，所述第一气浮平台21设于两个所述第二气浮平台22之间，所述第一气浮平台21和所述第二气浮平台22适于悬浮支撑所述待检测面板9，所述扫描机构7和/或所述复检机构8扫描所述待检测面板9时，所述待检测面板9悬浮于所述第一气浮平台21上。
具体地，其中，支撑架1包括从前至后依次设置的第一支架11、第二支架12、第三支架13，第一支架11和第三支架13分别与第二支架12刚性连接到一起。第一支架11和第三支架13上固定安装有第二气浮平台22，第二支架12上对应安装有第一气浮平台21。通过将面板检测区域和非面板检测区域区分开来，即分为第一气浮平台21和第二气浮平台22，从而只需保证面板检测区域具有较高的精度，即只需保证第一气浮平台21具有较高的精度，从而降低了整体的精度要求，进而降低了支撑台的生产成本。
可选地，所述第二气浮平台22包括多个气浮条221，各所述气浮条221平行且间隔设置，所述气浮条221用于悬浮支撑所述待检测面板9。
具体地，通过气浮条221来悬浮支撑所述待检测面板9，从而有效降低了第二气浮平台22的整体面积，进而降低了第二气浮平台22的生产成本。
应用中，第一气浮平台21包括一整体的平板，平板上设有多个气浮孔，通过气浮孔释放气体支撑待检测面板9，第二气浮平台22包括多个气浮条221，各气浮条221沿第一方向设置，各气浮条221平行且间隔设置。
可选地，如图5所示，所述支撑台还包括夹持运送机构3，所述夹持运送机构3用于带动所述待检测面板9在所述支撑台上运动。
具体地，夹持运送机构3设于气浮平台2的一侧，并可从气浮平台2前端移动至后端，从而在夹持待检测面板9后，带动待检测面板9在支撑台上移动。
具体地，夹持运送机构3包括第二支撑横梁31、驱动装置32、导向装置33、夹持件和支座35，本实施例中，夹持件为吸附装置34，第二支撑横梁31设于支座35上，第二支撑横梁31沿前后方向设置，驱动装置32设于第二支撑横梁31上，驱动装置32与导向装置33固定连接，吸附装置34设于导向装置33上，通过导向装置33限制吸附装置34的移动方向，驱动装置32驱动导向装置33沿横梁方向往复运动，进而带动吸附装置34移动，从而实现待检测面板9的往复移动。
其中，夹持运送机构3还可以为滑动连接在气浮平台2侧端的夹具，通过夹具夹持待检测面板9并带动待检测面板9移动。
优选地，如图5至图9所示，所述夹持运送机构3包括吸附装置34，所述吸附装置34适于垂向吸附所述待检测面板9，并适于带动所述待检测面板9移动或水平摆动。
其中，吸附装置34用于与待检测面板9接触的一面需要相对待检测面板9具有较高的平行度，以避免影响待检测面板9的平行度。
通过在第一活动架41上设置吸附装置34，并通过吸附装置34垂向吸附待检测面板9，使得吸附装置34可带动待检测面板9运动，通过吸附的方式带动待检测面板9运动，相较以夹持方式带动待检测面板9运动，能够有效降低面板损坏的几率。
应用中，当待检测面板9初步定位完成后，吸附装置34可带动待检测面板9运动至对准相机下方，对准相机检测待检测面板9上的定位标记的位置，根据检测结果来调整吸附装置34的角度，进而调整待检测面板9的角度，从而实现待检测面板9的精准定位。
可选地，如图1和图5所示，所述支撑台还包括矫正机构4，所述矫正机构4用于对所述待检测面板9进行矫正。
具体地，通过设置矫正机构4对待检测面板9进行水平方向的矫正，从而限定待检测面板9在支撑台上的运动轨迹，避免待检测面板9偏离预定的运动轨迹影响面板缺陷检测效果。
可选地，如图1和图4所示，所述矫正机构4包括沿第一方向相对设置的第一活动架41和第一固定架42，所述第一活动架41上设有第一滚轮机构411，所述第一固定架42上设有第二滚轮机构421，所述第一滚轮机构411适于向所述第二滚轮机构421移动，以对所述待检测面板9进行矫正。
具体地，第一活动架41和第一固定架42分别固定安装于第一支架11左右两端上，第一滚轮机构411包括第一调节装置412和第一滚轮，第一调节装置412设于第一活动架41上，第一调节装置412适于相对第一活动架41向左或向右移动，第一滚轮安装在第一调节装置412上，当第一调节装置412移动，第一滚轮会相对第一活动架41向左或向右移动，第二滚轮机构421包括第二滚轮，第二滚轮安装于第一固定架42上，第二滚轮无法相对第一固定架42向左或向右移动，且第二滚轮机构421面向第一滚轮机构411方向，因此，当待检测面板9从上一工位运输到支撑架1前端的第二气浮平台22上时，第一调节装置412向右运动，带动安装在其上的第一滚轮向右运动，第一滚轮运动至与待检测面板9的侧面抵接，并推动待检测面板9向右运动，直至待检测面板9的另一侧面与第二滚轮抵接，从而通过第一滚轮机构411和第二滚轮机构421的配合校正了待检测面板9。
其中，第一活动架41和第一固定架42上还可设有相应的高度调节机构，第一活动架41的高度调节机构用于调节第一滚轮的高度，第一固定架42上的高度调节机构用于调节第二滚轮的高度。通过高度调节机构的设置，使得第一滚轮机构411和第二滚轮机构421的高度可独立调整，各滚轮机构安装调试互不干扰，从而便于将第一滚轮机构411和第二滚轮机构421调整至预定高度，以使第一滚轮机构411和第二滚轮机构421能与待检测面板9的侧面抵接。
应用中，第一活动架41的结构可类似于图10所示的第二固定架44的结构。
可选地，第一活动架41设于所述吸附装置34上。通过将第一活动架41集成于吸附装置34上，从而使得待检测面板9的矫正完成后，夹持运送机构3无需运动即可吸附待检测面板9，从而省去了夹持运送机构3运动到矫正机构4下方的时间，从而提高了面板检测效率。
另一实施例中，如图5和图6所示，所述矫正机构4包括沿第一方向相对设置的第二活动架43和第二固定架44，所述第二活动架43和所述第二固定架44上均设有第三滚轮机构446，所述第二活动架43的第三滚轮机构446与所述第二固定架44的第三滚轮机构446适于相对移动，以对所述待检测面板9进行矫正。
应用中，第二活动架43上设有多个第三滚轮机构446，第二固定架44上对应设有多个第三滚轮机构446，以避免待检测面板9在矫正过程中发生偏移。
具体地，如图10和11所示，第二活动架43和第二固定架44分别设于第一支架11左右两端上，第三滚轮机构446包括第一调节装置412和第三滚轮4461，第一调节装置412分别设于第二活动架43和第二固定架44上，第一调节装置412适于向左或向右运动，第三滚轮4461分别安装在第二活动架43和第二固定架44的第一调节装置412上，当第二活动架43上的第一调节装置412运动时，第二活动架43上的第三滚轮4461会相对第二活动架43向左或向右运动，当第二固定架44上的第一调节装置412运动时，第二固定架44上的第三滚轮4461会相对第二固定架44向左或向右移动，通过第二活动架43和第二固定架44上的第一调节装置412的配合，可实现第二活动架43上的第三滚轮4461与第二固定架44上的第三滚轮4461的相对移动，从而对待检测面板9进行位置矫正。
对应地，上述的第二活动架43和第二固定架44上也可设置相应的高度调节机构，通过高度调节机构调节相应的第三滚轮4461的高度。第二活动架43和第二固定架44上设有多个第三滚轮机构446。
应用中，如图10所示，第二固定架44的结构可以如下设置，第二固定架44包括支撑底座441、固定底座442、调整弹簧443和高度调整座444，支撑底座441设于支撑架1上，固定底座442设于支撑底座441上，高度调整座444通过调整弹簧443连接于固定底座442上，其中，通过高度调整座444、调整弹簧443以及固定底座442的配合来调节第二固定架44的高度和平行度，具体如下，通过锁付螺丝穿过高度调整座444及调整弹簧443将固定底座442锁付于支撑底座441上，通过调整锁付螺丝的松紧来调整第二固定架44的高度及平行度。高度调整座444上设有第一支撑横梁445，第一支撑横梁445上设有多个调节装置安装座，多个第一调节装置412分别安装于多个调节装置安装座上，多个第一调节装置412沿第一支撑横梁445的延伸方向布置，第一调节装置412上设有滚轮安装座，第三滚轮4461设于滚轮安装座上。
其中，本申请中的高度调节机构都可以采用类似上述高度调整座444、调整弹簧443以及固定底座442组成的组合结构。
可选地，如图5至图7所示，所述第二活动架43设于所述吸附装置34上。
其中，若矫正机构4和夹持运送机构3是分离的，当待检测面板9由外部设备运输至气浮平台2上时，需要先通过矫正机构4对待检测面板9进行矫正，当矫正完成后，夹持运送机构3需要运动至运动到矫正机构4下方，然后夹持待检测面板9。
本实施例中，通过将第二活动架43设于所述吸附装置34，以将第二活动架43集成于夹持运送机构3上，从而使得待检测面板9的矫正完成后，夹持运送机构3无需运动即可夹持待检测面板9，从而省去了夹持运送机构3运动到矫正机构4下方的时间，从而提高了面板检测效率。
应用中，当第二活动架43设于夹持运送机构3上时，夹持运送机构3包括第二支撑横梁31、驱动装置32、导向装置33、吸附装置34和支座35，夹持运送机构3的具体结构前面已经解释，此处不再赘述，不同的是第二活动架43设于吸附装置34上，因此，当驱动装置32驱动导向装置33沿第二支撑横梁31方向往复运动时，第二活动架43会随吸附装置34沿第二支撑横梁31方向往复运动。其中，第二活动架43包括第三支撑横梁431，第三支撑横梁431上设有多个调节装置安装座，多个第一调节装置412分别安装于多个调节装置安装座上，第一调节装置412上设有第三滚轮机构446。
可选地，如图5和图12所示，所述矫正机构4还包括沿第二方向间隔设置的两个第三活动架45，所述第三活动架45上设有第四滚轮机构451，两所述第四滚轮机构451适于相对移动，以对所述待检测面板9进行矫正，其中，第一方向与第二方向交叉。
其中，优选第二方向与第一方向垂直。
通过在第二方向上设置两个第三活动架45，并在第三活动架45上设置用于推动待检测面板9的第四滚轮机构451，从而通过两第四滚轮机构451的相对运动来推动待检测面板9，对待检测面板9进行辅助矫正；同时，由于第一方向和第二方向垂直，则通过滚轮机构同时从面板前后左右侧抵住面板边沿来进行面板校正，能有效防止面板滑移，提高定位精准度。
具体地，两个第三活动架45分别设置于前端支架的前后两端，第三活动架45包括支撑座454、第二调节装置452和第三调节装置453，第二调节装置452设于支撑座454上，第二调节装置452适于向前或向后运动，第二调节装置452上设有第三调节装置453，第三调节装置453适于向上或向下运动，第四滚轮机构451包括第四滚轮4511，第四滚轮4511设于第三调节装置453上。还可以将第三调节装置453设于支撑座454上，将第二调节装置452设于第三调节装置453上，第四滚轮4511设于第二调节装置452上。
可选地，所述第三活动架45设于两所述气浮条221间的间隙中，所述第四滚轮机构451的高度适于调节以与所述待检测面板9位于同一高度。
具体地，由于第三活动架45分别设置于前端支架的前后两端，而前后方向为待检测面板9的移动方向，因此，在待检测面板9矫正完成后，为了避免设于第三活动架45上的第四滚轮4511阻碍待检测面板9前后移动，需要将第四滚轮4511的高度调节至低于待检测面板9的高度。为了达到上述目的，本实施例中，将第二气浮平台22设置为包括多个气浮条221的结构，气浮条221悬浮支撑待检测面板9，相邻两气浮条221间具有间隙，通过将第三活动架45设于两气浮条221间的间隙中，使得第四滚轮4511可下降至间隙中，从而避免第四滚轮4511阻碍待检测面板9移动。
可选地，如图14至17所示，所述复检机构8包括对焦装置81和设于所述对焦装置81上的复扫相机82，所述复扫相机82用于对所述待检测面板9进行复扫，所述对焦装置81用于监测所述复扫相机82与所述待检测面板9的间隔距离，并根据所述复扫相机82与所述待检测面板9的间隔距离使所述复扫相机82相对所述第二龙门6垂向运动，以使所述复扫相机82与所述待检测面板9的间隔距离为所述复扫相机82的最佳成像距离。
其中，复扫相机82包括面阵扫描相机。
应用中，假设复扫相机82的最佳成像距离为x，当对焦装置81监测到复扫相机82与待检测面板9的垂向距离为y时，则对比x和y，根据对比结果使复扫相机82相对第一龙门5向上或向下运动，以使复扫相机82与待检测面板9的垂向距离为x。
通过将复扫相机82设置于对焦装置81上，从而通过对焦装置81的自动对焦，使复扫相机82与待检测面板9的距离为最佳成像距离，以保证复扫相机82的成像效果，进而提高面板缺陷检测的效果。
如图14至图16所示，对焦装置81包括音圈电机811、第一测距传感器815、位置编码器816和处理器，所述音圈电机811、所述第一测距传感器815和所述位置编码器816分别与所述处理器电连接，所述第一测距传感器用于监测复扫相机82与待检测面板9的间隔距离并反馈所述间隔距离给所述处理器，所述位置编码器816用于监测所述复扫相机82的位置信息并反馈所述位置信息给所述处理器，所述音圈电机811用于驱动所述复扫相机82运动，所述处理器用于根据所述间隔距离、所述位置信息和预知的所述复扫相机82的最佳成像距离控制所述音圈电机811，以使所述音圈电机811驱动所述复扫相机82运动至最佳成像位置，以确保复扫相机82的成像效果。
应用中，第一测距传感器815实时监测复扫相机82与待检测面板9的间隔距离并反馈所述间隔距离给处理器，处理器对比所述间隔距离与复扫相机82的最佳成像距离，其中复扫相机82的最佳成像距离已经预知且预设于处理器中，当所述间隔距离与复扫相机82的最佳成像距离不同时，则计算出复扫相机82需要移动的距离，然后驱动复扫相机82向上或向下运动，而在运动过程中，位置编码器816实时获取复扫相机82的位置信息，以获取复扫相机82的运动距离并反馈给处理器，由此，位置编码器816、第一测距传感器815和处理器构成闭环控制，使复扫相机82能精准、高速运动到最佳成像位置。
通过第一测距传感器815监测复扫相机82到待检测面板9表面的间隔距离并将检测数据发送给处理器，从而便于处理器将该距离与复扫相机82最佳成像距离进行对比，得出复扫相机82需要行走的距离；同时，通过处理器控制音圈电机811驱动复扫相机82运动至最佳成像位置，复扫相机82运行过程中，通过位置编码器816实时反馈复扫相机82的当前位置信息，从而与第一测距传感器815和处理器构成闭环控制，确保复扫相机82能精准、高速运动到最佳成像位置。
可选地，所述对焦装置81包括音圈电机811、活动板818、连接板817和重力补偿机构812，所述音圈电机811定子设于所述连接板817上，所述音圈电机811动子与所述活动板818连接，所述复扫相机82适于设于所述活动板818上，所述活动板818适于相对所述连接板817垂向运动，所述重力补偿机构812用于输出一个与所述复扫相机82的重力方向相反的恒力。
通过音圈电机811作为驱动装置32，利用音圈电机811的高频高速响应特性可实现复扫相机82的高频往复运动,从而实现面板运动过程中的快速自动对焦。另外，将重力补偿机构812与音圈电机811结合，通过重力补偿机构812输出与复扫相机82的重力方向相反的恒力，弥补音圈电机811输出力不足的缺陷，从而实现大负载光学装置的自动对焦。
应用中，对焦装置81包括音圈电机811、重力补偿机构812、固定导向件813、活动导向件814、第一测距传感器815、位置编码器816、连接板817和活动板818，连接板817适于安装于第二横梁61上，音圈电机811定子固定于连接板817上，音圈电机811动子与活动板818连接，固定导向件813安装在连接板817上，活动导向件814与活动板818固定连接，重力补偿机构812的一侧与连接板817连接，另一侧与活动板818连接；复扫相机82固定安装在活动板818上，音圈电机811带动活动板818移动，进而带动复扫相机82移动，同时通过活动导向件814和固定导向件813的配合限制活动板818的移动轨迹，进而限制复扫相机82的移动轨迹。第一测距传感器815安装在活动板818或复扫相机82，用于检测光学镜头到待检测面板9上表面的距离；位置编码器816安装在活动板818上，用于向音圈电机811实时反馈复扫相机82行走距离。
具体地，通过将音圈电机811的定子设于连接板817上，将音圈电机811的动子与活动板818连接，从而使得音圈电机811可驱动活动板818相对连接板817运动，由于复扫相机82设于活动板818上，因此，音圈电机811通过驱动活动板818来实现对复扫相机82的驱动。另外，若音圈电机811直接与复扫相机82连接，则音圈电机811驱动复扫相机82会直接施力于复扫相机82，易造成复扫相机82的变形，进而影响复扫相机82的成像效果。而本实施例中，音圈电机811通过活动板818与复扫相机82连接，活动板818的变形不会影响复扫相机82，且活动板818可与复扫相机82具有较大的接触面积，复扫相机82受到驱动时受力较为均匀，复扫相机82变形较小；同时由于运动部分为活动板818和复扫相机82这一整体，其刚性大，从而进一步降低了复扫相机82的变形程度。
可选地，如图14至图16所示，所述位置编码器816设于所述活动板818上，所述第一测距传感器815适于设于所述复扫相机82上。
具体地，由于活动板818上设有复扫相机82，因此，活动板818的运动距离为复扫相机82的运动距离，将位置编码器816设于活动板818上和将位置编码器816设于复扫相机82上取得的效果相同，而位置编码器816设于复扫相机82上会压迫复扫相机82，可能会造成复扫相机82的局部变形，影响复扫相机82的成像效果，因此，本实施例中，位置编码器816设于活动板818上。
为了保证成像效果，需要使复扫相机82的光学镜头与待检测面板9的距离为最佳成像距离，而第一测距传感器815不可能设于与光学镜头相同的位置，因此，为了减小可能的误差，需要第一测距传感器815与光学镜头尽可能接近，因此，将第一测距传感器815设于复扫相机82上。
本实施例中，可选地，第一测距传感器815也可设于活动板818的相应位置，从而避免第一测距传感器815设于复扫相机82上造成复扫相机82的变形。
其中，音圈电机811具有高频响应的特性，但存在输出力不足的缺陷，难以驱动大负载的复扫相机82进行高频往复运动，因此，本实施例中，通过重力补偿机构812弥补音圈电机811输出力不足的缺陷，可大幅减小音圈电机811所需的输出力，既有利于降低音圈电机811的尺寸，同时也可确保音圈电机811能稳定驱动大负载的复扫相机82进行高频往复运动，确保复扫相机82图像采集稳定性，并保证复扫相机82到待检测面板9表面的距离为最佳成像距离。
应用中，优选重力补偿机构812输出的恒力的大小与活动板818及其上的结构整体受到的重力大小相同。
可选地，所述重力补偿机构812为气缸，所述气缸的活塞杆与所述活动板818连接，所述气缸的缸筒设于所述连接板817上。
具体地，气缸包括缸筒和活塞杆，滚筒内设有活塞腔，活塞杆设于活塞腔中，当活塞腔中的气压为恒定气压时，活塞杆受到的推力为恒力，因此，重力补偿机构812为气缸时，能稳定地输出一个恒力作用于活动板818上。
应用中，可通过改变气缸的活塞腔内的气压来改变气缸施加于活动板818上的作用力。
另一实施例中，重力补偿机构812包括电磁铁、磁吸件和第二测距传感器，当电磁铁通电时，电磁铁与磁吸件间具有电磁作用力，磁吸件设于活动板818上，第二测距传感器与电磁铁电连接，第二测距传感器用于测量磁吸件与电磁铁的间隔距离，电磁铁用于根据间隔距离调整输入电磁铁的电流的大小，以使电磁铁和磁吸件间的电磁作用力为一恒力。
可选地，该对焦装置81还包括第二导向机构，所述第二导向机构用于限定所述活动板818相对所述连接板817的移动方向。
由于待检测面板9在气浮平台上上下起伏，因此，为了保证复扫相机82的成像效果，复扫相机82应随之上下移动，为了限定复扫相机82相对连接板817的运动轨迹，需要在连接板817上设置第二导向机构，通过第二导向机构限定活动板818相对连接板817的移动方向，以限定设于活动板818上的复扫相机82的移动方向。
可选地，所述第二导向机构包括活动导向件814和固定导向件813，所述固定导向件813设于所述连接板817上，所述活动导向件814与所述活动板818连接，所述活动导向件814适于相对所述固定导向件813沿所述固定导向件813的延伸方向移动。
其中，固定导向件813的延伸方向为上下方向。
具体地，固定导向件813与活动导向件814滑动连接，通过固定导向件813的限制，使得活动导向件814只能上下移动，因此，通过将固定导向件813设于连接板817上，将活动导向件814与活动板818连接，从而使得活动板818相对连接板817的可移动方向为上下方向，从而限定复扫相机82的移动方向为上下方向。
可选地，所述固定导向件813包括两导轨，两所述导轨平行且间隔设置，所述重力补偿机构812设于两所述导轨之间。
具体地，通过将重力补偿机构812设于两导轨之间，从而提高了对焦装置81整体结构的紧凑度，便于降低对焦装置81的体积。
其中，导轨可为下述的气浮轨道。
可选地，所述固定导向件813包括气浮轨道，所述活动导向件814与所述气浮轨道间形成气膜间隙，所述气浮轨道设于所述连接板817上。
具体地，因活动导向件814与气浮轨道间形成了气膜间隙，因此，气浮轨道与活动导向件814间的摩檫力较低，相对于传统采用直线导轨的接触式传动方式，有利于降低摩擦磨损，提高使用寿命；另一方面，传统的直线导轨在各定位位置的挠曲变形不一致，导致活动导向件在短距离或长距离定位时，其定位精度不一致，使得复扫相机82难以准确地运动至最佳成像位置。而气浮轨道具有误差均化作用，可实现活动导向件在短距离或长距离定位时，其定位精度一致，从而提高复扫相机82对焦过程的准确度。
可选地，所述活动导向件814包括气浮轴承，所述气浮轴承与所述固定导向件813间形成气膜间隙，所述气浮轴承与所述活动板818连接。通过本方式也可达到与上述实施方式相同的效果。
可选地，该对焦装置81还包括两个第三测距传感器，所述第三测距传感器用于监测所述第三测距传感器与所述待检测面板9的距离，且两个第三测距传感器与所述活动板818下端边缘的距离相同。
一般在装配时，活动板818会与待检测面板9平行，但对焦装置81在使用一段时间后，活动板818可能相对待检测面板9出现倾斜，当倾斜角度超过一定值后，活动板818上的复扫相机82的成像效果会变差，为此，需要监测活动板818的倾斜角度，以便于后续调整。本实施例中，通过对比两个第三测距传感器测得的距离，从而根据测量数据判断活动板818与待检测面板9是否平行，当第三测距传感器测得的距离不一致的，则可判断活动板818下边缘与面板不平行，并可根据测量数据进行调整，实现对活动板818的角度调整。
可选地，如图14所示，所述第二龙门6还包括直线驱动机构64和气浮轴承63，所述第二横梁61内设有走行腔，所述直线驱动机构64设于所述走行腔内，所述直线驱动机构64适于在所述走行腔内往复直线运动，所述直线驱动机构64与所述气浮轴承63连接，所述气浮轴承63环绕所述第二横梁61设置，且所述气浮轴承63各面与所述第二横梁61间形成气膜间隙，所述气浮轴承63用于安装所述复检机构8。
通过在第二横梁61上设置走行腔，并在走行腔内设置直线驱动机构64，从而提高第二龙门6的结构紧凑度；同时，直线驱动机构64与气浮轴承63连接，气浮轴承63各面与第二横梁61间具有气膜间隙，使得气浮轴承63与龙门横梁间的摩檫力较小，从而便于直线驱动机构64快速平稳地带动气浮轴承63运动，进而保证安装于气浮轴承63的复检机构8的平稳运动，从而提高复检机构8的成像效果。
本实施例中，待检测面板9的检测过程如下，当面板从上一个工位传送到位于前端的第二气浮平台22上时，夹持运送机构3带动第二活动架43运动至矫正置，第三活动架45上的高度调整机构调节第四滚轮机构451的高度，使第四滚轮机构451向上运动至与待检测面板9同一高度，接着第三活动架45上的第二调节装置452同时调节，带动第四滚轮机构451运动，抵住待检测面板9前后边沿，于此同时，位于第一支撑横梁445和第三支撑横梁431上的第一调节装置412同时动作，带动第二固定架44和第二活动架43上的第三滚轮机构446同时动作移动至待检测面板9左右边沿，第一滚轮机构411和第四滚轮机构451配合分别从面板左右前后方向抵住面板边沿，完成面板矫正校正，接着夹持运送机构3的吸附装置34吸附住面板边沿，第一滚轮机构411和第四滚轮机构451复位，开始待检测面板9的精密定位。精密定位完成后，吸附装置34带动待检测面板9移动至第一气浮平台21上，并带动待检测面板9在第一气浮平台21上往复运动；扫描相机安装于龙门横梁的前侧面上，复扫相机82安装于龙门横梁的另一侧面上，此时龙门横梁上的扫描相机沿龙门横梁方向来回运动，从而对经过其下方的待检测面板9进行缺陷扫描识别及缺陷坐标定位；同时复扫相机82也沿龙门横梁方向来回运动，对经过其下方的待检测面板9进行复检及缺陷分类。
如图18所示，本发明另一实施例提供一种面板缺陷检测方法，所述方法应用于如上所述的面板缺陷检测设备，所述方法包括：
缺陷评价结果获取阶段和待检测面板复检阶段；
所述缺陷评价结果获取阶段包括：
根据待检测面板9的扫描图像确定所述扫描图像的第一候选缺陷，根据所述第一候选缺陷确定裁剪图像，根据所述裁剪图像确定第一缺陷评分；
从所述第一候选缺陷中筛选第二候选缺陷，根据所述第二候选缺陷的坐标位置移动复检机构8以采集复检图像，根据所述复检图像确定第二缺陷评分；
根据所述第一缺陷评分和所述第二缺陷评分确定各类缺陷的缺陷评价结果；
所述待检测面板复检阶段包括：
获取待检测面板9的扫描图像，并根据所述扫描图像确定缺陷和各缺陷的类型；
根据预先获取的缺陷评价结果确定需复检类缺陷，从上述缺陷中挑选需复检类缺陷进行复检。
本实施例所述的面板缺陷检测方法，通过扫描图像确定的第一缺陷评分和复检图像确定的第二缺陷评分来确定各类缺陷的缺陷评价结果，根据缺陷评价结果挑选需复检类缺陷进行复检，无需对已拥有较好准确率的某类缺陷进行复检，因此能够极大提高复检的效率，并同时兼顾缺陷检测的准确性。
本实施例所述的缺陷类型包括：在印制电路板上出现划伤、孔错位、划伤、短路、断路、污染等,玻璃基板规则区域和滤光片表面含有针孔、划痕、颗粒、脏污、mura(斑)等，但不限于上述类型。
本实施例所述的获取待检测面板9的扫描图像，并根据所述扫描图像确定缺陷和各缺陷的类型为本申请后文所述的初检阶段。
本实施例所述的缺陷评价结果获取阶段，可以用于确定初检阶段对各类待检测面板9的各类缺陷的缺陷评价结果，所述缺陷评价结果用于表征某种类型缺陷在初检时的准确度。发明人经过大量实验和实践发现某类型缺陷在初检时就能非常准确地被检测出，并因面板类型、初检时缺陷检测算法类型、线扫描相机分辨率等因素影响。本申请通过提前删选出初检阶段准去率较高的某一类或多类缺陷，并无需对已拥有较好准确率的该类缺陷进行复检，如此可极大提高复检的效率，并同时兼顾缺陷检测的准确性。
在一些实施例中，具体的，对某类待检测面板9复检前，可以先挑选同类面板进行缺陷评价结果获取，确定各类缺陷的缺陷评价结果，并将缺陷评价结果低于设定阈值的缺陷类型确定为需复检缺陷。在对待检测面板9进行缺陷检测时，可先获取待检测面板9的扫描图像，并根据所述扫描图像确定缺陷和各缺陷的类型，从需复检缺陷中挑选全部或部分进行复检，也可以是从需复检缺陷中挑选预设数量的缺陷进行复检。在一些例子中，所述获取待检测面板9的扫描图像，并根据所述扫描图像确定缺陷和各缺陷的类型，也可以是：通过扫描机构7扫描所述待检测面板9，获取所述扫描图像；根据所述扫描图像，采用线扫算法确定缺陷和缺陷分类。在一些例子中，也可以是：获取扫描图像后，采用线扫算法确定缺陷，再针对缺陷对扫描图像进行裁剪，根据裁剪图像确定缺陷分类。
具体地，在一些例子中，缺陷评价结果获取具体可包括：根据待检测面板9的扫描图像确定扫描图像的第一候选缺陷，根据第一候选缺陷确定裁剪图像，根据裁剪图像确定第一缺陷评分，即根据待检测面板9的扫描图像确定裁剪图像后，通过带有缺陷的裁剪图像确定第一缺陷评分；从第一候选缺陷中筛选第二候选缺陷，根据第二候选缺陷的坐标位置移动复检机构8以采集复检图像，根据复检图像确定第二缺陷评分，即通过复检机构8采集的复检图像确定第二缺陷评分；由于第一缺陷评分和第二缺陷评分均用于评价缺陷的可靠性，因此可以根据第一缺陷评分和第二缺陷评分的加权结果确定缺陷评价结果；根据缺陷评价结果确定扫描图像的真实缺陷以完成复检。
相比于现有技术中为了提高检测效率,都是挑选一定数量的候选缺陷进行复检，本实施例中，通过扫描图像确定的第一缺陷评分和复检图像确定的第二缺陷评分来确定缺陷评价结果，从而确定第一缺陷评分与缺陷评价结果是否存在一致性，以此来确定在多次测试后，某种类型的缺陷是否可以只需要通过初检即可进行准确的缺陷评价，例如某种类型的缺陷的识别率很高，那么在复检时就可以忽略这类型的缺陷，避免复检机构8重新拍照增加不必要的时间消耗，由此实现检测全部缺陷同时保证检测效率。
在本实施例中，通过扫描图像确定的第一缺陷评分和复检图像确定的第二缺陷评分来确定缺陷评价结果，根据缺陷评价结果挑选需复检类缺陷进行复检，无需对已拥有较好准确率的某类缺陷进行复检，因此能够极大提高复检的效率，并同时兼顾缺陷检测的准确性。
可选地，所述根据显示面板的扫描图像确定所述扫描图像的第一候选缺陷包括：通过扫描机构7扫描所述显示面板，获取所述扫描图像；根据所述扫描图像，采用线扫算法确定所述第一候选缺陷。
具体地，在本实施例中，根据显示面板的扫描图像确定扫描图像的第一候选缺陷包括：通过扫描机构7扫描显示面板，获取扫描图像；根据扫描图像，采用线扫算法确定第一候选缺陷。结合图19所示，通过线扫系统扫描显示面板获取的扫描图像如图19所示，在获取扫描图像后，采用线扫算法确定的第一候选缺陷如图20所示，从而能够根据第一候选缺陷来进行缺陷评价。
其中，线扫算法为传统图像处理算法，用于处理扫描图像确定缺陷，在此不再赘述。
在本实施例中，通过线扫系统扫描显示面板，获取扫描图像，根据扫描图像，采用线扫算法确定第一候选缺陷，从而能够根据第一候选缺陷来进行缺陷评价。
可选地，所述根据所述第一候选缺陷确定裁剪图像包括：根据所述第一候选缺陷的中心坐标和复检机构8的分辨率确定裁剪图像。
具体地，在本实施例中，根据第一候选缺陷确定裁剪图像包括：根据第一候选缺陷的中心坐标和复检机构8的分辨率确定裁剪图像。在某些实施例中可以是：以第一候选缺陷的中心坐标为裁剪中心，从扫描图像中裁剪出分辨率为复检机构8分辨率的图像作为裁剪图像。结合图21所示，例如复检机构8分辨率为1280×1024，那么以候选缺陷的中心坐标为裁剪中心，从扫描图像中裁剪出分辨率为1280×1024的图像作为裁剪图像，从而能够通过带有缺陷的裁剪图像确定第一缺陷评分。
在本实施例中，根据第一候选缺陷的中心坐标和复检机构8的分辨率确定裁剪图像，从而能够通过带有缺陷的裁剪图像确定第一缺陷评分。
可选地，所述根据所述裁剪图像确定第一缺陷评分包括：采用复检算法对所述裁剪图像进行复检以确定所述第一缺陷评分。
具体地，在本实施例中，根据裁剪图像确定第一缺陷评分包括：采用复检算法对裁剪图像进行复检以确定第一缺陷评分。区别于传统图像处理算法，复检算法基于卷积神经网络，采用大量图像进行训练，完善网络，从而确定第一缺陷评分与缺陷评价结果是否存在一致性，以此来确定在多次测试后，某种类型的缺陷是否可以只需要通过扫描图像确定准确的缺陷评价，那么在复检时就可以忽略这类型的缺陷，避免复检机构8重新拍照增加不必要的时间消耗，由此实现检测全部缺陷同时保证检测效率。
在本实施例中，采用复检算法对裁剪图像进行复检以确定第一缺陷评分，根据第一缺陷评分与缺陷评价结果的一致性来确定某类缺陷是否可以只需要通过初检即可进行准确的缺陷评价，避免复检机构8重新拍照增加不必要的时间消耗，由此实现检测全部缺陷同时保证检测效率。
可选地，所述从所述第一候选缺陷中筛选第二候选缺陷包括：从所述第一候选缺陷中筛选出需要所述复检机构8采集的候选缺陷作为所述第二候选缺陷。
具体地，在本实施例中，从第一候选缺陷中筛选第二候选缺陷包括：从第一候选缺陷中筛选出需要复检机构8采集的候选缺陷作为第二候选缺陷。一般为了提高检测效率,都是挑选一定数量(例如200个)的候选缺陷进行复检，筛选的规则根据随机法以及缺陷评价结果进行筛选，即200个候选缺陷在考虑缺陷评价结果后进行随机选取，缺陷评价结果确定后，可能需要对某些类型(比如脏污类)的缺陷会进行忽略或者重点观察。
在本实施例中，从第一候选缺陷中筛选出需要复检机构8采集的候选缺陷作为第二候选缺陷，从而根据第二候选缺陷的坐标移动复检机构8以采集复检图像，进而能够根据复检图像确定的第二缺陷评分来进行缺陷评价。
可选地，所述根据所述复检图像确定第二缺陷评分包括：采用复检算法对所述复检图像进行复检以确定所述第二缺陷评分。
具体地，在本实施例中，根据复检图像确定第二缺陷评分包括：采用复检算法对复检图像进行复检以确定第二缺陷评分，并对缺陷进行相应分类。在一些例子中，复检算法区别于传统图像处理算法，复检算法基于卷积神经网络，采用大量图像进行训练，完善网络。与上述确定第一缺陷评分的步骤不同，本实施例中应用的图像来源于复检机构8的采集，而第一缺陷评分则采用裁剪图像进行，现有技术在复检时，通常只有复检机构8采集，而没有经过裁剪图像这一步骤。
在本实施例中，采用复检算法对复检图像进行复检以确定第二缺陷评分，从而通过复检图像确定的第二缺陷评分来进行缺陷评价。
可选地，所述根据所述第一缺陷评分和所述第二缺陷评分确定各类缺陷的缺陷评价结果包括：根据所述第一缺陷评分和第一权重确定第一加权结果；根据所述第二缺陷评分和第二权重确定第二加权结果；根据所述第一加权结果和所述第二加权结果确定所述缺陷评价结果。
具体地，在本实施例中，根据第一缺陷评分和第二缺陷评分确定各类缺陷的缺陷评价结果包括：根据第一缺陷评分和第一权重确定第一加权结果；根据第二缺陷评分和第二权重确定第二加权结果；根据第一加权结果和第二加权结果确定缺陷评价结果。例如对于一个脏污的疑似缺陷，第一缺陷评分为0.6，第二缺陷评分为0.7，根据算法表现和经验来设定第一缺陷评分和第二缺陷评分的权重，可以是缺陷评分越高，为其设置更高权重的形式，比如第一缺陷评分权重为0.4，第二缺陷评分权重为0.6，那么这个脏污的疑似缺陷的总评分为：0.6*0.4+0.7*0.6＝0.66，通过总评分确定缺陷评价结果，一般总评分超过0.5时可认定该类缺陷部位需复检类缺陷。可以根据实际效果来调整裁剪图像与复检机构8采集图像计算的结果的权重占比，相比现有技术而言灵活性更高且误判率更低。
在本实施例中，根据第一缺陷评分和第二缺陷评分的加权结果确定缺陷评价结果可以根据实际效果来调整第一缺陷评分和第二缺陷评分的权重占比，相比现有技术而言灵活性更高且误判率更低。
虽然本公开披露如上，但本公开的保护范围并非仅限于此。本领域技术人员在不脱离本公开的精神和范围的前提下，可进行各种变更与修改，这些变更与修改均将落入本发明的保护范围。

Claims (17)

1.一种面板缺陷检测设备，其特征在于，包括支撑台、第一龙门(5)、第二龙门(6)、扫描机构(7)和复检机构(8)，所述支撑台用于承载待检测面板(9)并驱动所述待检测面板(9)运动，所述第一龙门(5)包括第一立柱(52)和设于所述第一立柱(52)上的第一横梁(51)，所述扫描机构(7)设于所述第一横梁(51)上，所述第一横梁(51)与所述支撑台的上表面间具有一定间隙，所述第一横梁(51)适于相对所述第一立柱(52)沿所述第一横梁(51)的延伸方向移动，所述第二龙门(6)包括第二立柱(62)和设于所述第二立柱(62)上的第二横梁(61)，所述第二横梁(61)与所述支撑台的上表面间具有一定间隙，所述复检机构(8)设于所述第二横梁(61)上，所述复检机构(8)适于在所述第二横梁(61)上移动，所述扫描机构(7)用于扫描所述待检测面板(9)，所述复检机构(8)用于对所述待检测面板(9)进行复检。
2.根据权利要求1所述的面板缺陷检测设备，其特征在于，还包括气浮导向装置，所述复检机构(8)设于所述气浮导向装置上，所述气浮导向装置设于所述第二横梁(61)上，所述气浮导向装置用于限制所述复检机构(8)的移动方向。
3.根据权利要求1所述的面板缺陷检测设备，其特征在于，所述支撑台包括支撑架(1)和设于所述支撑架(1)上的气浮平台(2)，所述气浮平台(2)用于悬浮支撑所述待检测面板(9)。
4.根据权利要求3所述的面板缺陷检测设备，其特征在于，所述气浮平台(2)包括第一气浮平台(21)和两个第二气浮平台(22)，所述第一气浮平台(21)设于两个所述第二气浮平台(22)之间，所述第一气浮平台(21)和所述第二气浮平台(22)适于悬浮支撑所述待检测面板(9)，所述扫描机构(7)和/或所述复检机构(8)扫描所述待检测面板(9)时，所述待检测面板(9)悬浮于所述第一气浮平台(21)上。
5.根据权利要求4所述的面板缺陷检测设备，其特征在于，所述第二气浮平台(22)包括多个气浮条(221)，各所述气浮条(221)平行且间隔设置，所述气浮条(221)用于悬浮支撑所述待检测面板(9)。
6.根据权利要求3至5任一项所述的面板缺陷检测设备，其特征在于，所述支撑台还包括夹持运送机构(3)，所述夹持运送机构(3)用于带动所述待检测面板(9)在所述支撑台上运动。
7.根据权利要求6所述的面板缺陷检测设备，其特征在于，所述夹持运送机构(3)包括吸附装置(34)，所述吸附装置(34)适于垂向吸附所述待检测面板(9)，并适于带动所述待检测面板(9)移动。
8.根据权利要求7所述的面板缺陷检测设备，其特征在于，所述支撑台还包括矫正机构(4)，所述矫正机构(4)用于对所述待检测面板(9)进行矫正。
9.根据权利要求8所述的面板缺陷检测设备，其特征在于，所述矫正机构(4)包括沿第一方向相对设置的第一活动架(41)和第一固定架(42)，所述第一活动架(41)上设有第一滚轮机构(411)，所述第一固定架(42)上设有第二滚轮机构(421)，所述第一滚轮机构(411)适于向所述第二滚轮机构(421)移动，以对所述待检测面板(9)进行矫正。
10.根据权利要求9所述的面板缺陷检测设备，其特征在于，所述第一活动架(41)设于所述吸附装置(34)上。
11.根据权利要求8所述的面板缺陷检测设备，其特征在于，所述矫正机构(4)包括沿第一方向相对设置的第二活动架(43)和第二固定架(44)，所述第二活动架(43)和所述第二固定架(44)上均设有第三滚轮机构(446)，所述第二活动架(43)的所述第三滚轮机构(446)与所述第二固定架(44)的所述第三滚轮机构(446)适于相对移动，以对所述待检测面板(9)进行矫正。
12.根据权利要求11所述的面板缺陷检测设备，其特征在于，所述第二活动架(43)设于所述吸附装置(34)上。
13.根据权利要求9至12任一项所述的面板缺陷检测设备，其特征在于，所述矫正机构(4)还包括沿第二方向间隔设置的两个第三活动架(45)，所述第三活动架(45)上设有第四滚轮机构(451)，两所述第四滚轮机构(451)适于相对移动，以对所述待检测面板(9)进行矫正，其中，所述第一方向与所述第二方向交叉。
14.根据权利要求1所述的面板缺陷检测设备，其特征在于，所述复检机构(8)包括对焦装置(81)和设于所述对焦装置(81)上的复扫相机(82)，所述复扫相机(82)用于对所述待检测面板(9)进行复扫，所述对焦装置(81)用于监测所述复扫相机(82)与所述待检测面板(9)的间隔距离，并根据所述复扫相机(82)与所述待检测面板(9)的间隔距离使所述复扫相机(82)相对所述第二龙门6垂向运动，以使所述复扫相机(82)与所述待检测面板(9)的间隔距离为所述复扫相机(82)的最佳成像距离。
15.根据权利要求14所述的面板缺陷检测设备，其特征在于，所述对焦装置(81)包括音圈电机(811)、活动板(818)、连接板(817)和重力补偿机构(812)，所述音圈电机(811)定子设于所述连接板(817)上，所述音圈电机(811)动子与所述活动板(818)连接，所述复扫相机(82)适于设于所述活动板(818)上，所述活动板(818)适于相对所述连接板(817)垂向运动，所述音圈电机(811)用于驱动所述活动板(818)运动，以带动所述复扫相机(82)运动，所述重力补偿机构(812)用于输出一个与所述复扫相机(82)的重力方向相反的恒力。
16.根据权利要求1所述的面板缺陷检测设备，其特征在于，所述第二龙门(6)还包括直线驱动机构(64)和气浮轴承(63)，所述第二横梁(61)内设有走行腔，所述直线驱动机构(64)设于所述走行腔内，所述直线驱动机构(64)适于在所述走行腔内往复直线运动，所述直线驱动机构(64)与所述气浮轴承(63)连接，所述气浮轴承(63)环绕所述第二横梁(61)设置，且所述气浮轴承(63)各面与所述第二横梁(61)间形成气膜间隙，所述气浮轴承(63)用于安装所述复检机构(8)。
17.一种面板缺陷检测方法，其特征在于，所述方法应用于权利要求1-16任一所述的面板缺陷检测设备，所述方法包括：
缺陷评价结果获取阶段和待检测面板复检阶段；
所述缺陷评价结果获取阶段包括：
根据待检测面板(9)的扫描图像确定所述扫描图像的第一候选缺陷，根据所述第一候选缺陷确定裁剪图像，根据所述裁剪图像确定第一缺陷评分；
从所述第一候选缺陷中筛选第二候选缺陷，根据所述第二候选缺陷的坐标位置移动复检机构(8)以采集复检图像，根据所述复检图像确定第二缺陷评分；
根据所述第一缺陷评分和所述第二缺陷评分确定各类缺陷的缺陷评价结果；
所述待检测面板复检阶段包括：
获取所述待检测面板(9)的扫描图像，并根据所述扫描图像确定缺陷和各缺陷的类型；
根据预先获取的缺陷评价结果确定需复检类缺陷，从上述缺陷中挑选需复检类缺陷进行复检。
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