CN113151798B - 一种靶材组件及其加工方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种靶材组件及其加工方法，所述加工方法包括以下步骤：将靶材和背板结合后进行机加工，得到初级靶材组件；将初级靶材组件中靶材的溅射面边缘和部分靶材侧面区域进行滚花处理，对靶材侧面的剩余区域和部分背板区域进行喷砂处理，得到靶材组件。本发明所述加工方法通过对靶材溅射面边缘和靠近溅射面的部分侧面进行滚花处理，增强其对反溅射物的粘附能力，并利用滚花花纹的结构特性，避免反溅射物堆积过厚，有效防止因反溅射物过多而容易脱落的问题，保证镀膜产品的质量；所述加工方法对靶材组件的改进处理操作简单，效果显著，成本较低，应用前景广泛。

Description

一种靶材组件及其加工方法

技术领域

本发明属于靶材制备技术领域，涉及一种靶材组件及其加工方法。

背景技术

磁控溅射技术是目前工业镀膜生产中最常用的技术之一，通过控制粒子轰击靶材表面，高能粒子与靶材表面的原子发生碰撞，使靶材原子获得足够的能量从表面逃逸，然后在电场力或者磁场力的作用下沉积到基片表面完成镀膜过程。磁控溅射过程中，溅射出的靶材原子除了会沉积在基片上，也会沉积在沉积腔室的其它表面上，包括靶材的非溅射区，形成反溅射物；由于等离子气氛的能量较高，沉积在靶材非溅射区的原子可能会发生脱落或再次溅射而出，从而污染沉积在晶圆表面的薄膜。

为了降低磁控溅射过程中反溅射物脱落的风险，通常会在背板和靶材溅射面的边缘进行喷砂处理，增加背板和靶材溅射面边缘的粗糙度，然而随着溅射时间的延长，喷砂区域吸附的反溅射物越来越多，会导致后期吸附力不足，此时反溅射物容易脱落到晶圆薄膜上，造成镀膜的品质不良，因而改进靶材组件的结构以及溅射前的处理方式，是提高镀膜品质和生产效率的重要方式之一。

CN 106558479A公开了一种靶材组件及其加工方法，该方法包括：形成靶材组件，所述靶材组件包括背板以及与所述背板相连的靶材，所述背板与靶材相连的一面为正面，所述靶材包括溅射面和与所述溅射面通过倒角相连的侧面；靶材侧面与倒角的连接处和靶材侧面与背板正面连接处之间的区域构成靶材组件表面的吸附区域；对所述靶材组件表面的吸附区域进行喷砂处理。该方法通过对靶材的侧面进行喷砂处理，提高该吸附区域的粗糙度与吸附能力，一定程度上减少反溅射物的脱落，但喷砂处理的方式对吸附能力的提高有限，随溅射时间的延长，仍然容易造成反溅射物脱落的问题。

CN 112359334A公开了一种靶材组件及其加工方法，包括以下步骤：结合靶材与背板，得到第一靶材组件；机加工所得第一靶材组件，得到第二靶材组件；对所得第二靶材组件的靶材与背板连接处进行防脱落处理，得到靶材组件；所述防脱落处理包括滚花、喷砂与熔射。该方法的防脱落处理主要是针对靶材组件中背板区域以及背板与靶材侧面的连接区域，并未对靶材的溅射面进行处理，而靶材溅射面的边缘更接近晶圆的位置，容易因形成反溅射物的堆积而脱落，从而无法有效提高镀膜产品的品质。

综上所述，为避免靶材溅射过程中反溅射物脱落的问题，还需要对靶材组件中非溅射区的表面进行处理，充分提高对反溅射物的吸附能力，从而保证镀膜产品的品质。

发明内容

针对现有技术存在的问题，本发明的目的在于提供一种靶材组件及其加工方法，通过对靶材组件的非溅射区域分区进行滚花处理和喷砂处理，尤其是对更为靠近溅射区的区域进行滚花处理，利用滚花花纹的结构特性，避免反溅射物堆积过厚，从而降低反溅射物脱落现象的发生，保证镀膜产品的质量。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一方面，本发明提供了一种靶材组件的加工方法，所述加工方法包括以下步骤：

(1)将靶材和背板结合后进行机加工，得到初级靶材组件；

(2)将步骤(1)得到的初级靶材组件中靶材的溅射面边缘和部分靶材侧面区域进行滚花处理，对靶材侧面的剩余区域和部分背板区域进行喷砂处理，得到靶材组件。

本发明中，由于靶材溅射过程中存在因反溅射物脱落而污染薄膜的问题，本发明对靶材组件的非溅射区域先进行表面处理，以提高该非溅射区域的粗糙度，由于靶材溅射面的边缘更靠近主溅射区，因而对溅射面边缘和靠近溅射面的部分侧面进行滚花处理，利用滚花的结构特性，更大程度上增强其对反溅射物的粘附能力，并避免其堆积过厚，有效防止反溅射物过多而容易脱落的问题，对于距离主溅射区稍远的靶材侧面和部分背板区域，则进行喷砂处理，同样可以增加表面粗糙度，同时简化操作，避免对靶材组件结构的过大改变而影响靶材的使用；所述加工方法对靶材组件的改进处理操作简单，效果显著，成本较低，应用前景广泛。

以下作为本发明优选的技术方案，但不作为本发明提供的技术方案的限制，通过以下技术方案，可以更好地达到和实现本发明的技术目的和有益效果。

作为本发明优选的技术方案，步骤(1)所述靶材由锭材经切削以及热塑性变形得到。

优选地，步骤(1)所述靶材和背板结合的方式为焊接结合。

本发明中，所述靶材和背板在焊接前已由锭材加工为相应的结构，包括切削、变形、抛光等操作。

优选地，步骤(1)所述靶材包括钛靶材、铝靶材、钽靶材或钨钛合金靶材中任意一种。

优选地，步骤(1)所述背板包括铝合金背板或铜合金背板。

本发明中，所述背板材质的选择中，铝合金背板或铜合金背板已包括对应的金属单质背板铝背板或铜背板。

作为本发明优选的技术方案，步骤(1)所述机加工包括：对靶材侧面加工形成倒角，使得靶材溅射面的尺寸小于靶材焊接面的尺寸。

优选地，所述机加工后靶材的侧面为斜面，与靶材焊接面的夹角为15～45度，例如15度、20度、25度、30度、35度、40度或45度等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

本发明中，将靶材侧面加工为斜面，起到过渡作用，既可以增加反溅射物的附着面积，又能避免因竖直侧面尖端棱边的存在而导致异常放电，沉积物容易脱落的问题。

作为本发明优选的技术方案，步骤(2)所述靶材的溅射面边缘的滚花区域的宽度为8～15mm，例如8mm、9mm、10mm、11mm、12mm、13mm、14mm或15mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

优选地，步骤(2)所述靶材侧面的滚花区域为靠近靶材溅射面的部分区域。

优选地，所述靶材侧面的滚花区域的边界距靶材溅射面的竖直距离为靶材高度的1/3～1/2，例如1/3、7/20、2/5、9/20或1/2等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

本发明中，滚花区域大小的选择，根据靶材整体尺寸的大小进行调整，充分避免对主溅射区域造成影响。

作为本发明优选的技术方案，步骤(2)所述滚花处理形成的滚花花纹为直条形花纹。

优选地，所述直条形花纹包括至少两段，例如两段、三段、四段或五段等，相邻两段花纹呈交叉错位式结构排列。

优选地，相邻两段花纹中交叉部分的长度占单段花纹长度的20～25％，例如20％、21％、22％、23％、24％或25％等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

作为本发明优选的技术方案，所述滚花的花纹密度为75～90TPI，例如75TPI、78TPI、80TPI、82TPI、85TPI、88TPI或90TPI等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

优选地，所述滚花的花纹深度为60～90μm，例如60μm、65μm、70μm、75μm、80μm、85μm或90μm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

优选地，步骤(2)所述滚花处理后滚花区域的表面粗糙度为20～35μm，例如20μm、22μm、25μm、27μm、30μm、32μm或35μm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

本发明中，所述滚花的花纹选择交叉错位式的多段直条型花纹的结构形式，且花纹密度较大，形成的花纹棱台圆滑且较窄，避免形成较厚的反溅射物沉积层，有效防止反溅射物的脱落问题。

作为本发明优选的技术方案，步骤(2)所述喷砂处理的区域包括靶材侧面上滚花处理以外的区域和自靶材和背板连接线向外延伸的部分背板表面区域。

优选地，所述背板表面的喷砂区域的宽度为15～25mm，例如15mm、16mm、18mm、20mm、22mm或25mm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

作为本发明优选的技术方案，步骤(2)所述喷砂处理后喷砂区域的表面粗糙度为5～8μm，例如5μm、5.5μm、6μm、6.5μm、7μm、7.5μm或8μm等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。

作为本发明优选的技术方案，所述加工方法包括以下步骤：

(1)将靶材和背板焊接结合后进行机加工，所述机加工包括：对靶材侧面加工形成倒角，使得靶材溅射面的尺寸小于靶材焊接面的尺寸，所述机加工后靶材的侧面为斜面，与靶材焊接面的夹角为15～45度，得到初级靶材组件；

(2)将步骤(1)得到的初级靶材组件中靶材的溅射面边缘和部分靶材侧面区域进行滚花处理，所述靶材的溅射面边缘的滚花区域的宽度为8～15mm，靶材侧面的滚花区域为靠近靶材溅射面的部分区域，靶材侧面滚花区域的边界距靶材溅射面的竖直距离为靶材高度的1/3～1/2，所述滚花处理形成的滚花花纹包括至少两段、呈交叉错位式结构排列的直条形花纹，相邻两段花纹中交叉部分的长度占单段花纹长度的20～25％，所述滚花的花纹密度为75～90TPI，花纹深度为60～90μm，滚花区域的表面粗糙度为20～35μm；

对靶材侧面上滚花处理以外的区域和自靶材和背板连接线向外延伸15～25mm的背板表面区域进行喷砂处理，喷砂区域的表面粗糙度为5～8μm，得到靶材组件。

另一方面，本发明提供了一种采用上述加工方法制备得到的靶材组件。

与现有技术相比，本发明具有以下有益效果：

(1)本发明所述加工方法通过对靶材溅射面边缘和靠近溅射面的部分侧面进行滚花处理，增强其对反溅射物的粘附能力，并通过对花纹结构形式及参数的控制，避免反溅射物堆积过厚，有效防止因反溅射物过多而容易脱落的问题，保证镀膜产品的质量，镀膜产品的合格率达到90％以上；

(2)本发明所述加工方法中将靶材的侧面调整为倒角结构，并在部分靶材侧面和背板区域进行喷砂处理，既能增加靶材边缘的附着表面积，也可适当增加表面粗糙度，降低反溅射物脱落现象的发生；

(3)本发明所述加工方法对靶材组件的改进处理操作简单，效果显著，成本较低，应用前景广泛。

附图说明

图1是本发明实施例1提供的加工方法得到的靶材组件的截面结构示意图；

图2是本发明图1中靶材组件α部结构的放大图；

图3是本发明图1中所述滚花的花纹形貌图；

其中，1-靶材，2-背板，3-滚花，4-滚花和喷砂分界线，5-喷砂终点线，6-靶材溅射面边缘花纹，7-靶材侧面花纹。

具体实施方式

为更好地说明本发明，便于理解本发明的技术方案，下面对本发明进一步详细说明。但下述的实施例仅是本发明的简易例子，并不代表或限制本发明的权利保护范围，本发明保护范围以权利要求书为准。

本发明具体实施方式部分提供了一种靶材组件及其加工方法，所述加工方法包括以下步骤：

(1)将靶材1和背板2结合后进行机加工，得到初级靶材组件；

(2)将步骤(1)得到的初级靶材组件中靶材1的溅射面边缘和部分靶材1侧面区域进行滚花处理，对靶材1侧面的剩余区域和部分背板2区域进行喷砂处理，得到靶材组件。

以下为本发明典型但非限制性实施例：

实施例1：

本实施例提供了一种靶材组件的加工方法，所述加工方法包括以下步骤：

(1)将钛靶材1和铝合金背板2焊接结合后进行机加工，所述靶材1由钛锭材经切削以及热塑性变形得到，所述机加工包括：对靶材1侧面加工形成倒角，使得靶材1溅射面的尺寸小于靶材1焊接面的尺寸，所述机加工后靶材1的侧面为斜面，与靶材1焊接面的夹角为15度，得到初级靶材组件；

(2)将步骤(1)得到的初级靶材组件中靶材1的溅射面边缘和部分靶材1侧面区域进行滚花处理，所述靶材1的溅射面边缘的滚花区域的宽度为13mm，靶材1侧面的滚花区域为靠近靶材1溅射面的部分区域，靶材1侧面滚花区域的边界距靶材1溅射面的竖直距离为靶材1高度的1/2，所述滚花处理形成的滚花3花纹为四段，呈交叉错位式结构排列，相邻两段花纹中交叉部分的长度占单段花纹长度的20％，所述滚花3的花纹密度为80TPI，花纹深度为75μm，滚花区域的表面粗糙度为25μm；

对靶材1侧面上滚花处理以外的区域和自靶材1和背板2连接线向外延伸20mm的背板2表面区域进行喷砂处理，喷砂区域的表面粗糙度为6μm，得到靶材组件。

采用上述方法加工得到的靶材组件的截面结构示意图如图1所示，图1中α部结构放大图如图2所示，图1中所述滚花的花纹形貌图如图3所示；

其中，图2所述结构中靶材组件的表面包括滚花区域和喷砂区域，图中4为滚花和喷砂分界线，5为喷砂终点线；图3中的花纹包括靶材溅射面边缘花纹6和靶材侧面花纹7两部分。

本实施例中，采用所述方法加工的靶材组件，溅射镀膜时薄膜产品的均匀性好，合格率可达到95％。

实施例2：

本实施例提供了一种靶材组件的加工方法，所述加工方法包括以下步骤：

(1)将钛靶材1和铜合金背板2焊接结合后进行机加工，所述靶材1由钛锭材经切削以及热塑性变形得到，所述机加工包括：对靶材1侧面加工形成倒角，使得靶材1溅射面的尺寸小于靶材1焊接面的尺寸，所述机加工后靶材1的侧面为斜面，与靶材1焊接面的夹角为35度，得到初级靶材组件；

(2)将步骤(1)得到的初级靶材组件中靶材1的溅射面边缘和部分靶材1侧面区域进行滚花处理，所述靶材1的溅射面边缘的滚花区域的宽度为10mm，靶材1侧面的滚花区域为靠近靶材1溅射面的部分区域，靶材1侧面滚花区域的边界距靶材1溅射面的竖直距离为靶材1高度的1/3，所述滚花处理形成的滚花3花纹为三段，呈交叉错位式结构排列，相邻两段花纹中交叉部分的长度占单段花纹长度的25％，所述滚花3的花纹密度为90TPI，花纹深度为60μm，滚花区域的表面粗糙度为35μm；

对靶材1侧面上滚花处理以外的区域和自靶材1和背板2连接线向外延伸25mm的背板2表面区域进行喷砂处理，喷砂区域的表面粗糙度为5μm，得到靶材组件。

本实施例中，采用所述方法加工的靶材组件，溅射镀膜时薄膜产品的均匀性好，合格率可达到92％。

实施例3：

本实施例提供了一种靶材组件的加工方法，所述加工方法包括以下步骤：

(1)将铝靶材1和铝合金背板2焊接结合后进行机加工，所述靶材1由铝锭材经切削以及热塑性变形得到，所述机加工包括：对靶材1侧面加工形成倒角，使得靶材1溅射面的尺寸小于靶材1焊接面的尺寸，所述机加工后靶材1的侧面为斜面，与靶材1焊接面的夹角为45度，得到初级靶材组件；

(2)将步骤(1)得到的初级靶材组件中靶材1的溅射面边缘和部分靶材1侧面区域进行滚花处理，所述靶材1的溅射面边缘的滚花区域的宽度为8mm，靶材1侧面的滚花区域为靠近靶材1溅射面的部分区域，靶材1侧面滚花区域的边界距靶材1溅射面的竖直距离为靶材1高度的2/5，所述滚花处理形成的滚花3花纹为五段，呈交叉错位式结构排列，相邻两段花纹中交叉部分的长度占单段花纹长度的22％，所述滚花3的花纹密度为75TPI，花纹深度为90μm，滚花区域的表面粗糙度为20μm；

对靶材1侧面上滚花处理以外的区域和自靶材1和背板2连接线向外延伸15mm的背板2表面区域进行喷砂处理，喷砂区域的表面粗糙度为8μm，得到靶材组件。

本实施例中，采用所述方法加工的靶材组件，溅射镀膜时薄膜产品的均匀性好，合格率可达到90％。

实施例4：

本实施例提供了一种靶材组件的加工方法，所述加工方法包括以下步骤：

(1)将钽靶材1和铜合金背板2焊接结合后进行机加工，所述靶材1由钽锭材经切削以及热塑性变形得到，所述机加工包括：对靶材1侧面加工形成倒角，使得靶材1溅射面的尺寸小于靶材1焊接面的尺寸，所述机加工后靶材1的侧面为斜面，与靶材1焊接面的夹角为30度，得到初级靶材组件；

(2)将步骤(1)得到的初级靶材组件中靶材1的溅射面边缘和部分靶材1侧面区域进行滚花处理，所述靶材1的溅射面边缘的滚花区域的宽度为15mm，靶材1侧面的滚花区域为靠近靶材1溅射面的部分区域，靶材1侧面滚花区域的边界距靶材1溅射面的竖直距离为靶材1高度的9/20，所述滚花处理形成的滚花3花纹为三段，呈交叉错位式结构排列，相邻两段花纹中交叉部分的长度占单段花纹长度的24％，所述滚花3的花纹密度为85TPI，花纹深度为70μm，滚花区域的表面粗糙度为30μm；

对靶材1侧面上滚花处理以外的区域和自靶材1和背板2连接线向外延伸18mm的背板2表面区域进行喷砂处理，喷砂区域的表面粗糙度为7μm，得到靶材组件。

本实施例中，采用所述方法加工的靶材组件，溅射镀膜时薄膜产品的均匀性好，合格率可达到93％。

对比例1：

本对比例提供了一种靶材组件的加工方法，所述加工方法参照实施例1中的方法，区别仅在于：步骤(1)不进行机加工，即靶材1的侧面仍为竖直面。

本对比例中，由于靶材的侧面未加工为斜面，侧面上沉积反溅射物较为困难，容易造成反溅射物脱落，且侧面与溅射面形成的棱边呈尖端结构，容易引起异常放电，影响溅射工艺，薄膜产品容易受到污染，生产合格率仅为70％。

对比例2：

本对比例提供了一种靶材组件的加工方法，所述加工方法参照实施例1中的方法，区别仅在于：步骤(2)中所述滚花3为花纹密度50TPI的网状花纹。

本对比例中，由于网状花纹的棱台较宽，较为凸出，容易造成对反溅射物的吸附力不足，随溅射工艺进行，容易发生脱落现象，使得薄膜产品容易受到污染，生产合格率仅为65％。

对比例3：

本对比例提供了一种靶材组件的加工方法，所述加工方法参照实施例1中的方法，区别仅在于：步骤(2)中不进行喷砂处理。

本对比例中，由于靶材组件中的非溅射区域还包括部分背板区域，若是不进行喷砂处理，则剩余侧面及背板区域难以对反溅射物进行粘附，仍会有部分脱落到薄膜产品上，影响薄膜产品的纯度，生产合格率仅为60％。

综合上述实施例和对比例可以看出，本发明所述加工方法通过对靶材溅射面边缘和靠近溅射面的部分侧面进行滚花处理，增强其对反溅射物的粘附能力，并通过对花纹结构形式及参数的控制，避免反溅射物堆积过厚，有效防止因反溅射物过多而容易脱落的问题，保证镀膜产品的质量，镀膜产品的合格率达到90％以上；所述加工方法中将靶材的侧面调整为倒角结构，并在部分靶材侧面和背板区域进行喷砂处理，既能增加靶材边缘的附着表面积，也可适当增加表面粗糙度，降低反溅射物脱落现象的发生；所述加工方法对靶材组件的改进处理操作简单，效果显著，成本较低，应用前景广泛。

申请人声明，本发明通过上述实施例来说明本发明的详细方法，但本发明并不局限于上述详细方法，即不意味着本发明必须依赖上述详细方法才能实施。所属技术领域的技术人员应该明了，对本发明的任何改进，对本发明方法的等效替换及辅助步骤的添加、具体方式的选择等，均落在本发明的保护范围和公开范围之内。

Claims (12)

1.一种靶材组件的加工方法，其特征在于，所述加工方法包括以下步骤：

(1)将靶材和背板结合后进行机加工，所述机加工后靶材的侧面为斜面，与靶材焊接面的夹角为15～45度，得到初级靶材组件；

(2)将步骤(1)得到的初级靶材组件中靶材的溅射面边缘和部分靶材侧面区域进行滚花处理，所述靶材侧面的滚花区域的边界距靶材溅射面的竖直距离为靶材高度的1/3～1/2，所述滚花处理形成的滚花花纹为直条形花纹，所述直条形花纹包括至少两段，相邻两段花纹呈交叉错位式结构排列，所述滚花的花纹密度为75～90TPI，花纹深度为60～90μm，所述滚花处理后滚花区域的表面粗糙度为20～35μm；对靶材侧面的剩余区域和部分背板区域进行喷砂处理，所述背板表面的喷砂区域的宽度为15～25mm，所述喷砂处理后喷砂区域的表面粗糙度为5～8μm，得到靶材组件。

2.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，步骤(1)所述靶材由锭材经切削以及热塑性变形得到。

3.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，步骤(1)所述靶材和背板结合的方式为焊接结合。

4.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，步骤(1)所述靶材包括钛靶材、铝靶材、钽靶材或钨钛合金靶材中任意一种。

5.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，步骤(1)所述背板包括铝合金背板或铜合金背板。

6.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，步骤(1)所述机加工包括：对靶材侧面加工形成倒角，使得靶材溅射面的尺寸小于靶材焊接面的尺寸。

7.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，步骤(2)所述靶材的溅射面边缘的滚花区域的宽度为8～15mm。

8.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，步骤(2)所述靶材侧面的滚花区域为靠近靶材溅射面的部分区域。

9.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，步骤(2)相邻两段花纹中交叉部分的长度占单段花纹长度的20～25％。

10.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，步骤(2)所述喷砂处理的区域包括靶材侧面上滚花处理以外的区域和自靶材和背板连接线向外延伸的部分背板表面区域。

11.根据权利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述加工方法包括以下步骤：

(1)将靶材和背板焊接结合后进行机加工，所述机加工包括：对靶材侧面加工形成倒角，使得靶材溅射面的尺寸小于靶材焊接面的尺寸，所述机加工后靶材的侧面为斜面，与靶材焊接面的夹角为15～45度，得到初级靶材组件；

(2)将步骤(1)得到的初级靶材组件中靶材的溅射面边缘和部分靶材侧面区域进行滚花处理，所述靶材的溅射面边缘的滚花区域的宽度为8～15mm，靶材侧面的滚花区域为靠近靶材溅射面的部分区域，靶材侧面滚花区域的边界距靶材溅射面的竖直距离为靶材高度的1/3～1/2，所述滚花处理形成的滚花花纹包括至少两段、呈交叉错位式结构排列的直条形花纹，相邻两段花纹中交叉部分的长度占单段花纹长度的20～25％，所述滚花的花纹密度为75～90TPI，花纹深度为60～90μm，滚花区域的表面粗糙度为20～35μm；

对靶材侧面上滚花处理以外的区域和自靶材和背板连接线向外延伸15～25mm的背板表面区域进行喷砂处理，喷砂区域的表面粗糙度为5～8μm，得到靶材组件。

12.一种根据权利要求1-11任一项所述的加工方法制备得到的靶材组件。

Images