CN113132621A - 拍摄装置位置校正系统及方法 - Google Patents

Abstract

本发明实施例涉及半导体光刻技术领域，公开了一种拍摄装置位置校正系统及方法，所述拍摄装置位置校正系统包括：拍摄装置、距离感测装置、距离调整装置以及控制装置；拍摄装置用于拍摄光罩图像，并将光罩图像发送至控制装置，其中，拍摄装置在理论位置拍摄的光罩图像能够通过控制装置提取出光罩标识；距离感测装置用于感测拍摄装置的实际位置，并将实际位置发送至控制装置；控制装置用于接收光罩图像，并判断光罩图像中是否能够提取出光罩标识，在判定不能提取光罩标识时，根据实际位置与理论位置的偏移量控制所述距离调整装置移动所述拍摄装置。本发明提供的拍摄装置位置校正系统及方法能够自动校正拍摄装置的位置，提高工作效率并减少人力损失。

Description

拍摄装置位置校正系统及方法

技术领域

本发明实施例涉及半导体技术领域，特别涉及一种拍摄装置位置校正系统及方法。

背景技术

目前，半导体集成电路(IC)产业已经经历了指数式增长，其中，每代IC都比前一代IC具有更小和更复杂的电路。在IC发展的过程中，功能密度(即每一芯片面积上互连器件的数量)已普遍增加，而几何尺寸(即使用制造工艺可以产生的最小部件)却已减小。除了IC部件变得更小和更复杂之外，制造IC所用的晶圆也变得越来越小，这就对晶圆的质量要求越来越高。

晶圆的曝光处理对于整个光刻流程的顺利进行有着至关重要的作用，晶圆在进行曝光前，需要先在对晶圆进行曝光的机台上放入光罩，此时拍摄装置会拍摄光罩图像，机台会对光罩图像中的光罩标识进行识别。如果拍摄装置位置出现偏移，则光罩图像会偏离拍摄装置捕捉范围，使得光罩图像偏移，导致光罩标识识别失败，从而导致机台宕机。当前的调整方法主要是通过松开拍摄装置的紧固螺栓，然后将拍摄装置进行平移，再进行紧固，然后进行测试，如此反复，直至机台能识别出正确的光罩标识。

发明人发现现有技术中至少存在如下问题：上述调整拍摄装置位置的过程耗时较长，使得机台的工作效率不高，且需要手动调整拍摄装置，浪费了较多的人力。

发明内容

本发明实施例的目的在于提供一种拍摄装置位置校正系统及方法，其能够自动校正拍摄装置的位置，提高工作效率并减少人力损失。

为解决上述技术问题，本发明的实施例提供了一种拍摄装置位置校正系统，包括：

拍摄装置、距离感测装置、距离调整装置以及控制装置，所述控制装置分别与所述拍摄装置、所述距离感测装置和所述距离调整装置通信连接，所述拍摄装置与所述距离调整装置固定连接；所述拍摄装置用于拍摄光罩图像，并将所述光罩图像发送至所述33，其中，所述拍摄装置在理论位置拍摄的光罩图像能够通过所述控制装置提取出光罩标识；所述距离感测装置用于感测所述拍摄装置的实际位置，并将所述实际位置发送至所述控制装置；所述控制装置用于接收所述光罩图像，并判断所述光罩图像中是否能够提取出所述光罩标识，在判定不能提取所述光罩标识时，根据所述实际位置与所述理论位置的偏移量控制所述距离调整装置移动所述拍摄装置。

本发明的实施例还提供一种拍摄装置位置校正方法，包括：获取拍摄装置的实际位置；接收所述拍摄装置发送的光罩图像；对所述光罩图像进行特征提取，在判定不能从所述光罩图像中提取出所述光罩标识时，根据所述实际位置与理论位置的偏移量控制距离调整装置移动所述拍摄装置。

本发明的实施例相对于现有技术而言，通过设置距离感测装置，以便于获取拍摄装置的实际位置，由于理论位置是已知量，从而能够得知实际位置与理论位置的偏移量；通过设置控制装置，控制装置能够判断拍摄装置拍摄的光罩图像中是否能够提取出光罩标识，并在判定不能提取所述光罩标识时，根据偏移量控制所述距离调整装置移动，以使所述拍摄装置跟随所述距离调整装置移动。通过上述方式调整拍摄装置的位置，一方面由于拍摄装置在理论位置附近拍摄的光罩图像也可能满足要求，因此将判断光罩图像中是否能够提取出光罩标识的方式作为是否需要调整拍摄装置的判断标准，而不是以拍摄装置是否处于理论位置的方式作为是否需要调整拍摄装置的判断标准，避免了“拍摄装置处于理论位置附近时，拍摄出来的光罩图像也能经由控制装置提取光罩标识”的情况的发生，使得拍摄装置位置校正系统更加智能化，减少了没有必要的工作量，提高了工作效率；另一方面，整个拍摄装置位置的调整过程均由拍摄装置位置校正系统独立完成(即能够自动校正拍摄装置的位置)，也无需重复拆卸拍摄装置，从而进一步提高了工作效率并减少了人力损失。

另外，所述距离感测装置包括光源和光源接收器；所述光源设置在所述拍摄装置上、且与所述控制装置电连接；所述光源接收器与所述控制装置电连接，所述光源接收器在所述拍摄装置处于所述理论位置时，与所述光源相距第一预设距离；在所述拍摄装置处于所述实际位置时，所述光源接收器与所述光源相距第二预设距离，所述第一预设距离与所述第二预设距离的差值等于所述偏移量。

另外，还包括信号调理装置，所述光源接收器通过所述信号调理装置与所述控制装置电连接；所述信号调理装置用于将所述光源接收器发送的第一信号转化为能够进行数据处理的第二信号，并将所述第二信号发送至所述控制装置。通过此种方式，有利于控制装置的数据处理，使得控制装置能够根据第二信号准确得知光源接收器接收到光的时间，从而提高了拍摄装置位置校正系统的可靠性。

另外，所述第一信号为波形信号，所述第二信号为数字信号；所述信号调理装置包括电压比较器和模数转换器，所述电压比较器用于将所述波形信号转化为脉冲信号，所述模数转换器用于将所述脉冲信号转化为所述数字信号。

另外，所述拍摄装置包括相对设置的左侧壁和右侧壁，所述光源包括第一光源和第二光源，所述第一光源设置在所述左侧壁上，所述第二光源设置在所述右侧壁上；所述光源接收器包括与所述第一光源同侧设置的第一光源接收器和与所述第二光源同侧设置的第二光源接收器，在所述拍摄装置处于所述理论位置时，所述第一光源接收器到所述第一光源的距离与所述第二光源接收器到所述第二光源的距离的差值在预设范围内。通过不同的光源和光源接收器测量拍摄装置的偏移量，对比测量结果从而确保得到的偏移量的准确性，提高了拍摄装置位置校正系统的可靠性。

另外，所述距离调整装置包括电磁阀和与所述电磁阀连接的气缸，所述气缸内设有第一活塞，所述第一活塞与所述拍摄装置固定连接，所述电磁阀能够控制所述第一活塞在所述气缸内做往复运动。

另外，所述电磁阀包括进气管路、排气管路、第二腔室，所述气缸包括第一腔室、设置在所述第一腔室内的第一活塞，且所述第一活塞将所述第一腔室分割成互不连通的第一区域和第二区域，所述气缸还包括连通所述第一区域的第一管路和连通所述第二区域的第二管路；所述第二腔室包括邻近所述第一腔室的上侧壁和与所述上侧壁相对设置的下侧壁，所述上侧壁上设有第一通孔和第二通孔，所述第一通孔与所述第一管路连接，所述第二通孔与所述第二管路连接；所述下侧壁上设有第三通孔、第四通孔和第五通孔，所述第三通孔和所述第五通孔均与所述排气管路连接，所述第四通孔与所述进气管路连接。

另外，所述电磁阀还包括设置在所述第二腔室内的第二活塞，所述第二活塞一端缠绕有线圈，另一端与弹簧连接，所述电磁阀还包括设置在所述线圈外侧的铁芯，且所述第二活塞将所述第二腔室分割成互不连通的第三区域、第四区域、第五区域和第六区域，且所述第四区域与所述第一区域连通以及所述第五区域与所述第二区域连通；所述线圈通电时，所述第二活塞能够在所述铁芯的作用下移动使得所述第四通孔连通所述第四区域，所述第五通孔连通所述第五区域；所述线圈断电时，所述第二活塞能够在所述弹簧的作用下移动使得所述第三通孔连通所述第四区域，所述第四通孔连通所述第五区域。

另外，所述拍摄装置位置校正系统还包括轨道槽以及可在所述轨道槽内滑动的滑轮，所述滑轮与所述拍摄装置固定连接。

另外，所述轨道槽包括供所述滑轮滑动的第一轨道和与所述第一轨道并排设置的第二轨道，所述第二轨道上设有多个等间隔设置的凹槽，所述拍摄装置上设有凸起部，所述凸起部在所述拍摄装置处于所述理论位置时收容于所述多个凹槽中的第一凹槽内、在所述拍摄装置处于所述实际位置时收容于所述多个凹槽中的第二凹槽内，所述第二凹槽到所述第一凹槽的距离等于所述偏移量。通过此种结构的设置，能够精确控制拍摄装置的移动距离，进一步提高拍摄装置位置校正系统的可靠性。

另外，还包括限位装置，所述限位装置设置于所述轨道槽在所述拍摄装置的移动方向上的两侧。通过此种结构的设置，避免了“拍摄装置移动范围超出轨道槽长度，从而摔坏拍摄装置”的情况的发生，提高了拍摄装置位置校正系统的可靠性。

另外，所述控制装置包括第一控制装置和第二控制装置；所述第一控制装置用于接收所述光罩图像，并判断所述光罩图像中是否能够提取出所述光罩标识，在判定不能提取所述光罩标识时，向所述第二控制装置发送纠偏指令；所述第二控制装置用于在接收到所述纠偏指令时，根据所述偏移量控制所述距离调整装置移动所述拍摄装置。

另外，还包括与所述第二控制装置连接的控制终端，所述控制终端包括转换部件和手动调节部件，所述第二控制装置用于在所述控制终端感应到针对所述转换部件的触碰操作时，断开所述拍摄装置与所述第一控制装置的通信连接；所述第二控制装置用于在所述拍摄装置与所述第一控制装置断开通信连接后，根据所述控制终端感应到的针对所述手动调节部件的触碰操作，控制所述距离调整装置移动所述拍摄装置。

另外，所述控制终端还包括报警部件，所述报警部件用于在所述拍摄装置处于所述理论位置时发出第一颜色的光、在所述拍摄装置处于所述实际位置时发出第二颜色的光。

附图说明

一个或多个实施例通过与之对应的附图中的图片进行示例性说明，这些示例性说明并不构成对实施例的限定，附图中具有相同参考数字标号的元件表示为类似的元件，除非有特别申明，附图中的图不构成比例限制。

图1是根据本发明第一实施例提供的拍摄装置位置校正系统的结构示意图；

图2是根据本发明第一实施例提供的拍摄装置位置校正系统的另一种结构示意图；

图3是根据本发明第一实施例提供的距离调整装置的结构示意图；

图4是根据本发明第一实施例提供的轨道槽的俯视图；

图5是根据本发明第一实施例提供的轨道槽的剖视图；

图6是根据本发明第一实施例提供的控制终端的操作界面图；

图7是根据本发明第二实施例提供的拍摄装置位置校正方法的流程图；

图8是根据本发明第三实施例提供的拍摄装置位置校正方法的流程图。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明的各实施例进行详细的阐述。然而，本领域的普通技术人员可以理解，在本发明各实施例中，为了使读者更好地理解本发明而提出了许多技术细节。但是，即使没有这些技术细节和基于以下各实施例的种种变化和修改，也可以实现本发明所要求保护的技术方案。

本发明的第一实施例涉及一种拍摄装置位置校正系统100，具体结构如图1所示，包括：

拍摄装置1、距离感测装置2、距离调整装置3以及控制装置4，控制装置4分别与拍摄装置1、距离感测装置2和距离调整装置3通信连接，拍摄装置1与距离调整装置3固定连接；拍摄装置1用于拍摄光罩图像，并将所述光罩图像发送至控制装置4，其中，拍摄装置1在理论位置拍摄的光罩图像能够通过控制装置4提取出光罩标识；距离感测装置3用于感测拍摄装置1的实际位置，并将实际位置发送至控制装置4；控制装置4用于接收所述光罩图像，并判断所述光罩图像中是否能够提取出所述光罩标识，在判定不能提取所述光罩标识时，根据所述实际位置与所述理论位置的偏移量控制距离调整装置3移动拍摄装置1。

需要说明的是，本实施例中的理论位置可以理解为拍摄装置1到距离感测装置2之间的理论距离，该理论距离可以是一个数值，如50毫米，即表明在距离感测装置2与拍摄装置1相距50毫米时，拍摄装置1拍摄的光罩图像能够通过控制装置4提取出光罩标识；该理论距离也可以是一个数值范围，如48毫米至52毫米之间，即表明拍摄装置1与距离感测装置2的距离在该数值范围内时，拍摄装置1拍摄的光罩图像能够通过控制装置4提取出光罩标识。可以理解的是，无论理论距离为一个数值还是一个数值范围，本实施例均不对理论距离的大小做具体限定，可以根据实际需求调节距离感测装置2拍摄装置1的相对位置关系，从而得到不同大小的理论距离。

此外，本实施例中的光罩标识可以为条形码、字符编码或二维码等，控制装置4设有读取框，当条形码在读取框内时，控制装置即可读取成功，如果拍摄装置位置出现偏移，则光罩条形码图像会偏离拍摄装置捕捉范围，导致条形码在读取框内出现偏移，从而导致读取失败。

利用本实施例中的拍摄装置位置校正系统100，在控制装置4读取光罩标识失败时自动调整拍摄装置1的位置能够很好的解决上述问题。

本发明的实施例相对于现有技术而言，通过设置距离感测装置2，以便于获取拍摄装置1的实际位置，由于理论位置是已知量，从而能够得知实际位置与理论位置的偏移量；通过设置控制装置4，控制装置4能够判断拍摄装置1拍摄的光罩图像中是否能够提取出光罩标识，并在判定不能提取所述光罩标识时，根据偏移量控制距离调整装置3移动拍摄装置1。通过上述方式调整拍摄装置1的位置，一方面由于拍摄装置1在理论位置附近拍摄的光罩图像也可能满足要求，因此将判断光罩图像中是否能够提取出光罩标识的方式作为是否需要调整拍摄装置1的判断标准，而不是以拍摄装置1是否处于理论位置的方式作为是否需要调整拍摄装置1的判断标准，避免了“拍摄装置1处于理论位置附近时，拍摄出来的光罩图像也能经由控制装置4提取光罩标识”的情况被排除，使得拍摄装置位置校正系统100更加智能化，减少了没有必要的工作量，提高了工作效率；另一方面，整个拍摄装置1位置的调整过程均由拍摄装置位置校正系统100独立完成(即能够自动校正拍摄装置1的位置)，也无需重复拆卸拍摄装置，从而进一步提高了工作效率并减少了人力损失。

下面对本实施例提供的拍摄装置位置校正系统100的实现细节进行具体的说明，以下内容仅为方便理解提供的实现细节，并非实施本方案的必须。

本实施例中，距离感测装置2包括光源21和光源接收器22；光源21设置在拍摄装置1上、且与控制装置4电连接；光源接收器22与控制装置4电连接，光源接收器22在拍摄装置1处于所述理论位置时，与光源21相距第一预设距离；在拍摄装置1处于所述实际位置时，光源接收器22与光源21相距第二预设距离，所述第一预设距离与所述第二预设距离的差值等于所述偏移量。具体的说，本实施例中的光源21可以为LED光源，光源接收器22可以为光敏电阻接收器，在拍摄装置位置校正系统100的工作过程中，LED光源可以设置为以预设时间间隔闪烁(如每秒闪烁两次、三次等，本实施例并不对预设时间间隔的大小做具体限定)，利用光敏电阻接收器在接收到LED光源发出的光时电阻会发生变化的特点，将光敏电阻接收器接入电路中，并将该电路与控制装置4电连接，控制装置4即可记录光敏电阻接收器的阻值发生变化的时间(也即光敏电阻接收器接收到LED光源发出的光的时间)，又由于LED光源的发光时间为已知量，将光敏电阻接收器的阻值发生变化的时间减去LED光源的发光时间即可得到光的传输时间，通过公式距离＝时间*速度，即可得到光敏电阻接收器与LED光源之间的距离。可以理解的是，本实施例中的光源21结合光源接收器22共同形成了距离传感器，但本实施例中的距离传感器也可以为其他结构，本实施例并不对距离传感器的结构做具体限定。

优选地，拍摄装置位置校正系统100还包括信号调理装置5，光源接收器22通过信号调理装置5与控制装置4电连接，信号调理装置5用于将光源接收器22发送的第一信号转化为能够进行数据处理的第二信号，并将所述第二信号发送至控制装置4。由于信号调理装置5难以通过第一信号获悉光源接收器22接收到光的时间，通过此种结构的设置，将第一信号转化为能够进行数据处理的第二信号，有利于控制装置4的数据处理，使得控制装置4能够根据第二信号准确得知光源接收器22接收到光的时间，从而提高了拍摄装置位置校正系统100的可靠性。

更优地，所述第一信号为波形信号，所述第二信号为数字信号；信号调理装置5包括电压比较器和模数转换器，电压比较器用于将所述波形信号转化为脉冲信号，模数转换器用于将所述脉冲信号转化为所述数字信号。具体的说，电压比较器是对输入信号进行鉴别与比较的电路，也是组成非正弦波发生电路的基本单元电路，利用电压比较器可将正弦波(即波形信号)变为同频率的方波或矩形波(即脉冲信号)；模数转换器能够将一个输入电压信号转换为一个输出的数字信号，相较于脉冲信号，数字信号具有更强的抗干扰能力、更远的传输距离且失真幅度小，因此，通过此种结构的设置，进一步确保了控制装置4准确的获取光源接收器22接收到光的时间，从而进一步提高了拍摄装置位置校正系统100的稳定性。

如图2所示，在另一个可行的实施例中，拍摄装置1包括相对设置的左侧壁11和右侧壁12，光源21包括第一光源211和第二光源212，第一光源211设置在左侧壁11上，第二光源212设置在右侧壁12上；光源接收器22包括与第一光源211同侧设置的第一光源接收器221和与第二光源212同侧设置的第二光源接收器222，在拍摄装置1处于所述理论位置时，第一光源接收器221到第一光源211的距离与第二光源接收器222到第二光源212的距离的差值在预设范围内。通过此种结构的设置，能够在拍摄装置1的位置出现偏移时，通过不同的光源和光源接收器测量拍摄装置的偏移量，对比测量结果从而确保得到的偏移量的准确性，提高了拍摄装置位置校正系统100的可靠性。

拍摄装置1处于理论位置时，可以等同于拍摄装置1到距离感测装置2之间距离为理论距离，为了便于理解，下面对本实施例中拍摄装置1、光源21以及光源接收器22的具体安装方式进行详细的举例说明：

1、当该理论距离为一个具体的数值时，以50毫米为例，即表明当拍摄装置1处于理论位置时，第一光源211到第一光源接收器221的距离为50毫米、第二光源212到第二光源接收器222的距离为50毫米，此时第一光源接收器221到第一光源211的距离与第二光源接收器222到第二光源212的距离的差值为0，也就是说，当第一光源接收器221到第一光源211的距离与第二光源接收器222到第二光源212的距离的差值不为0时，即表明拍摄装置1不处于理论位置。

2、当该理论距离为一个数值范围时，以48毫米至52毫米为例，即表明当拍摄装置1处于理论位置时，第一光源211到第一光源接收器221的距离最短为48毫米、此时第二光源212到第二光源接收器222的距离最长为52毫米；第一光源211到第一光源接收器221的距离最长为52毫米、此时第二光源212到第二光源接收器222的距离最短为48毫米，也就是说，预设范围为负4毫米至4毫米之间，当第一光源接收器221到第一光源211的距离与第二光源接收器222到第二光源212的距离的差值小于负4毫米或大于4毫米时，即表明拍摄装置1不处于理论位置。

值得一提的是，如图3所示，距离调整装置3包括电磁阀31和与电磁阀31连接的气缸32，气缸32内设有第一活塞33，第一活塞33与拍摄装置1固定连接，电磁阀31控制第一活塞33在气缸32内做往复运动，从而可以通过第一活塞33带动拍摄装置1移动。通过此种方式，提供了一种可行的自动调整拍摄装置1位置的结构，提高了拍摄装置位置校正系统100的稳定性。

具体的说，电磁阀31包括进气管路10、排气管路20、第二腔室322，气缸32包括第一腔室321、设置在第一腔室321内的第一活塞33，且第一活塞33将第一腔室321分割成互不连通的第一区域321A和第二区域321B，气缸32还包括连通第一区域321A的第一管路30和第二区域321B的第二管路40；第二腔室322包括邻近第一腔室321的上侧壁3221和与上侧壁3221相对设置的下侧壁3222，上侧壁3221上设有第一通孔100和第二通孔200，第一通孔100与第一管路30连接，第二通孔200与第二管路40连接；下侧壁上3222设有第三通孔300、第四通孔400和第五通孔500，第三通孔300和第五通孔500均与排气管路20连接，第四通孔400与进气管路10连接。

更具体的，电磁阀31还包括设置在第二腔室322内的第二活塞34，第二活塞34一端缠绕有线圈340，另一端与弹簧341连接，电磁阀31还包括设置在线圈340外侧的铁芯342，且第二活塞34将第二腔室322分割成互不连通的第三区域322A、第四区域322B、第五区域322C和第六区域322D，线圈340通电时，第二活塞34能够在铁芯342的作用下移动使得第四通孔400连通第四区域322B，第五通孔500连通第五区域322C；线圈340断电时，第二活塞34能够在弹簧341的作用下移动使得第三通孔300连通第四区域322B，第四通孔400连通第五区域322C。

可以理解的是，图1所示的距离调整装置3设置在拍摄装置1的右侧，当拍摄装置1向左发生偏移时，需要将拍摄装置1向右移动，此时控制装置4控制电磁阀1断电，第一区域321A与排气管路20连通，第二区域321B与进气管路10连通，使得第一腔室321内的气体推动第一活塞33向右运动(即第一活塞33收缩)，从而带动与第一活塞33固定连接的拍摄装置1向右运动；当拍摄装置1向右发生偏移时，需要将拍摄装置1向左移动，此时控制装置4控制电磁阀1通电，第一区域321A与进气管路10连通，第二区域321B与排气管路20连通，使得第一腔室10内的气体推动第一活塞33向左运动(即第一活塞33伸出)，从而带动与第一活塞33固定连接的拍摄装置1向左运动。需要说明的是，距离调整装置3也可以设置在拍摄装置1的左侧，此时拍摄装置1位置的调整方式与距离调整装置3设置在拍摄装置1右侧时类似，为了避免重复此处不再赘述。

值得一提的是，拍摄装置位置校正系统100还包括轨道槽6以及可在轨道槽6内滑动的滑轮(图未示出)，滑轮与拍摄装置1固定连接。根据拍摄装置1的大小设计合适的轨道槽长度及配备合适的滑轮，拍摄装置1左右两侧均设有一组滑轮，使拍摄装置1受力平衡，在气缸32推动拍摄装置1运动时起到支撑拍摄装置1并减少摩擦的作用，从而进一步提高了拍摄装置位置校正系统100的可靠性。

优选地，如图4和图5所示，轨道槽6包括供滑轮滑动的第一轨道61和与第一轨道61并排设置的第二轨道62，第二轨道62上设有多个等间隔设置的凹槽620，拍摄装置1上设有凸起部11，凸起部11在拍摄装置1处于理论位置时收容于多个凹槽中的第一凹槽621内、在拍摄装置1处于实际位置时收容于多个凹槽中的第二凹槽622内，第二凹槽622到第一凹槽621的距离等于偏移量。也就是说，凹槽620能够起到类似于刻度尺的作用，可以设置相邻凹槽620之间的距离为1毫米，则拍摄装置1上的凸起部11从上一个凹槽移动至下一个凹槽时，拍摄装置1的移动距离为1豪米，如拍摄装置1的偏移量为左偏5毫米，则可控制拍摄装置1的凸起部11向右移动五个凹槽，从而能够精确控制拍摄装置1的移动距离，进一步提高了拍摄装置位置校正系统100的可靠性。

更优地，拍摄装置位置校正系统100还包括限位装置7，限位装置7设置于轨道槽6在拍摄装置1的移动方向X上的两侧。通过此种结构的设置，避免了“拍摄装置1移动范围超出轨道槽6长度，导致拍摄装置1摔坏”的情况的发生，提高了拍摄装置位置校正系统100的可靠性。可以理解的是，本实施例中的限位装置7可以呈矩状的挡板，在实际应用中，限位装置7也可以为其他形状的挡板，本实施例并不对限位装置7的结构作具体限定；此外，还可以在限位装置7邻近拍摄装置1的侧面设置柔性阻挡层，如铺设一层棉花，以避免拍摄装置1因与限位装置7碰撞而损坏，从而进一步提高了拍摄装置位置校正系统100的可靠性。

具体的说，如图2所示，控制装置4包括第一控制装置41和第二控制装置42；第一控制系41统用于接收光罩图像，并判断光罩图像中是否能够提取出光罩标识，在判定不能提取光罩标识时，向第二控制装置42发送纠偏指令；第二控制装置42用于在接收到纠偏指令时，根据偏移量控制距离调整装置3移动拍摄装置1。可以理解的是，本实施例中的第一控制装置41可以为机台信号处理及CPU控制柜，第二控制装置42可以为微处理器，为了便于理解，下面对本实施例中拍摄装置位置校正系统100的工作方式进行具体的举例说明：

拍摄装置1将拍摄到的光罩图像发送至第一控制装置41，第一控制装置41判断本次拍摄的光罩图像中能否提取出光罩标识，在判定不能时，第一控制装置41根据光源21的发光时间、光源接收器22接收到光的时间以及光在空气中的传播速度计算拍摄装置1与距离感测装置2之间的实际距离。由于会预先设置一个拍摄装置1与距离感测装置2之间的初始距离，拍摄装置1在与距离感测装置2相距初始距离时，拍摄的光罩图像能够通过第一控制装置41提取出光罩标识，因此此时拍摄装置1的偏移量即为实际距离与初始距离的差值，第一控制装置41将该差值发送至第二控制装置42，第二控制装置42控制电磁阀31的打开与断开，并控制第一腔室321和第二腔室322的进气量与排气量，从而使第一活塞33的移动距离恰好等于拍摄装置1的偏移量，确保拍摄装置1位置调整后与距离感测装置2相距初始距离。可以理解的是，在首次调整完拍摄装置1的位置后，若第一控制装置41仍不能提取光罩标识，则会重复上述步骤直至提取出光罩标识。此外，需要说明的是，在本实施例中，即使拍摄装置1与距离感测装置2之间实际距离不等于初始距离，但如果第一控制装置41能够从拍摄装置1在该位置拍摄的光罩图像中提取出光罩标识，拍摄装置位置校正系统100无需调整拍摄装置1的位置，从而提高了拍摄装置位置校正系统100的工作效率。

值得一提的是，如图6所示，还包括与第二控制装置42连接的控制终端43，,控制终端43包括转换部件431和手动调节部件432，第二控制装置42用于在控制终端43感应到针对转换部件431的触碰操作时，断开拍摄装置1与第一控制装置41的通信连接；第二控制装置42还用于在拍摄装置1与第一控制装置41断开通信连接后，根据控制终端43感应到的针对手动调节部件432的触碰操作，控制距离调整装置3移动拍摄装置1。需要说明的是，本实施例中的转换部件431可以为按键，也可以为开关等；手动调节部件432可以为操控杆，也可以是调节按键等，本实施例并不对转换部件431和手动调节部件432的结构作具体限定。

需要说明的是，控制终端43还包括报警部件433，报警部件433用于在拍摄装置1处于所述理论位置时发出第一颜色的光、在拍摄装置1处于所述实际位置时发出第二颜色的光。可以理解的是，本实施例并不对报警部件433发光的颜色作具体限定，只需确保报警部件433在拍摄装置1处于理论位置和处于实际位置时发出的光的颜色不同即可。需要说明的是，本实施例中的报警部件433可以为LED灯、OLED灯等，并不对报警部件433的种类作具体限定。

为了便于理解，下面对本实施例中拍摄装置位置校正系统100的手动工作方式进行具体的举例说明：

控制终端43可以设有显示屏，显示屏上设有第一显示模块434，可显示当前摄拍摄装置位置校正系统100的工作状态；显示屏上设有第二显示模块435，可显示当前拍摄装置1和距离感测装置2的结构简图，并标明当前拍摄装置1和距离感测装置2之间的位置关系；当距离感测装置2检测到距离在48毫米～52毫米之间时，此时拍摄装置1处于良好的工作状态，报警部件433发出绿色的光。当距离小于48毫米或者大于52毫米时报警部件433发出红色的光，拍摄装置1位置需要根据拍摄装置1读取光罩标识情况进行调整。具体的说，手动调节部件432在显示屏上具有“左移”和“右移”两个模块，通过点击“左移”，即可使拍摄装置1向左移动；通过点击“右移”，即可使拍摄装置1向右移动。

本发明的第二实施例涉及一种拍摄装置位置校正方法，本实施例的具体流程如图7所示，包括：

S201：获取拍摄装置的实际位置。

关于步骤S201，具体的说，本实施例中可以通过距离感测装置感测拍摄装置的实际位置，并将实际位置发送至控制装置。需要说明的是，距离感测装置如何感测拍摄装置的实际位置已在前述实施例中详细介绍，为了避免重复，此处不再赘述。

S202：接收拍摄装置发送的光罩图像。

关于步骤S202，具体的说，本实施例中的拍摄装置可以为摄像机，摄像机与控制装置通信连接，摄像机在拍摄到光罩图像后，会将光罩图像发送至控制装置。

S203：对光罩图像进行特征提取，判断是否能够光罩图像中提取出光罩标识，在判定不能从光罩图像中提取出光罩标识时，执行步骤S204；否则，结束流程。

S204：根据实际位置与理论位置的偏移量控制距离调整装置移动拍摄装置。

关于步骤S204，具体的说，本实施例中的理论位置可以理解为拍摄装置到距离感测装置之间的理论距离，该理论距离可以是一个数值，如50毫米，即表明在距离感测装置与拍摄装置相距50毫米时，拍摄装置拍摄的光罩图像能够通过控制装置提取出光罩标识；该理论距离也可以是一个数值范围，如48毫米至52毫米之间，即表明拍摄装置与距离感测装置的距离在该数值范围内时，拍摄装置拍摄的光罩图像能够通过控制装置提取出光罩标识。可以理解的是，无论理论距离为一个数值还是一个数值范围，本实施例均不对理论距离的大小做具体限定，可以根据实际需求调节距离感测装置拍摄装置的相对位置关系，从而得到不同大小的理论距离。

本发明的实施例相对于现有技术而言，通过获取拍摄装置的实际位置，由于理论位置是已知量，从而能够得知实际位置与理论位置的偏移量；通过在判定不能提取所述光罩标识时，根据偏移量控制所述距离调整装置移动，以使所述拍摄装置跟随所述距离调整装置移动。通过上述方式调整拍摄装置的位置，一方面由于拍摄装置在理论位置附近拍摄的光罩图像也可能满足要求，因此将判断光罩图像中是否能够提取出光罩标识的方式作为是否需要调整拍摄装置的判断标准，而不是以拍摄装置是否处于理论位置的方式作为是否需要调整拍摄装置的判断标准，避免了“拍摄装置处于理论位置附近时，拍摄出来的光罩图像也能经由控制装置提取光罩标识”的情况的发生，使得拍摄装置位置校正系统更加智能化，减少了没有必要的工作量，提高了工作效率；另一方面，整个拍摄装置位置的调整过程均由拍摄装置位置校正系统独立完成(即能够自动校正拍摄装置的位置)，也无需重复拆卸拍摄装置，从而进一步提高了工作效率并减少了人力损失。

本发明的第三实施例涉及一种拍摄装置位置校正方法，本实施例是在第二实施例的基础上做了进一步的改进，具体改进之处在于：在本实施例中，会对拍摄装置的位置进行多次调整，以确保拍摄装置拍摄的光罩图像中能够提取出光罩标识。

本实施例的具体流程如图8所示，包括：

S301：获取拍摄装置的实际位置。

S302：接收拍摄装置发送的光罩图像。

本实施例的步骤S301至步骤S302与第二实施例的步骤S201至步骤S202类似，为了避免重复，此处不再赘述。

S303：对光罩图像进行特征提取，判断是否能从光罩图像中提取出光罩标识，若是，结束流程；若否，执行步骤S304。

S304：根据实际位置与理论位置的偏移量控制距离调整装置移动拍摄装置，返回步骤S301。

本发明的实施例相对于现有技术而言，通过获取拍摄装置的实际位置，由于理论位置是已知量，从而能够得知实际位置与理论位置的偏移量；通过在判定不能提取所述光罩标识时，根据偏移量控制所述距离调整装置移动，以使所述拍摄装置跟随所述距离调整装置移动。通过上述方式调整拍摄装置的位置，一方面由于拍摄装置在理论位置附近拍摄的光罩图像也可能满足要求，因此将判断光罩图像中是否能够提取出光罩标识的方式作为是否需要调整拍摄装置的判断标准，而不是以拍摄装置是否处于理论位置的方式作为是否需要调整拍摄装置的判断标准，避免了“拍摄装置处于理论位置附近时，拍摄出来的光罩图像也能经由控制装置提取光罩标识”的情况的发生，使得拍摄装置位置校正系统更加智能化，减少了没有必要的工作量，提高了工作效率；另一方面，整个拍摄装置位置的调整过程均由拍摄装置位置校正系统独立完成(即能够自动校正拍摄装置的位置)，也无需重复拆卸拍摄装置，从而进一步提高了工作效率并减少了人力损失。

本领域的普通技术人员可以理解，上述各实施例是实现本发明的示例，而在实际应用中，可以在形式上和细节上对其作各种改变，而不偏离本发明的精神和范围。

Claims (16)

1.一种拍摄装置位置校正系统，其特征在于，包括：拍摄装置、距离感测装置、距离调整装置以及控制装置，所述控制装置分别与所述拍摄装置、所述距离感测装置和所述距离调整装置通信连接，所述拍摄装置与所述距离调整装置固定连接；

所述拍摄装置用于拍摄光罩图像，并将所述光罩图像发送至所述控制装置；

所述距离感测装置用于感测所述拍摄装置的实际位置，并将所述实际位置发送至所述控制装置；

所述控制装置用于接收所述光罩图像，并判断所述光罩图像中是否能够提取出光罩标识，在判定不能提取所述光罩标识时，根据所述实际位置与理论位置的偏移量控制所述距离调整装置移动所述拍摄装置。

2.根据权利要求1所述的拍摄装置位置校正系统，其特征在于，所述距离感测装置包括光源和光源接收器；

所述光源设置在所述拍摄装置上、且与所述控制装置电连接；

所述光源接收器与所述控制装置电连接，所述光源接收器在所述拍摄装置处于所述理论位置时，与所述光源相距第一预设距离；在所述拍摄装置处于所述实际位置时，所述光源接收器与所述光源相距第二预设距离，所述第一预设距离与所述第二预设距离的差值等于所述偏移量。

3.根据权利要求2所述的拍摄装置位置校正系统，其特征在于，还包括信号调理装置，所述光源接收器通过所述信号调理装置与所述控制装置电连接；

所述信号调理装置用于将所述光源接收器发送的第一信号转化为能够进行数据处理的第二信号，并将所述第二信号发送至所述控制装置。

4.根据权利要求3所述的拍摄装置位置校正系统，其特征在于，所述第一信号为波形信号，所述第二信号为数字信号；

所述信号调理装置包括电压比较器和模数转换器，所述电压比较器用于将所述波形信号转化为脉冲信号，所述模数转换器用于将所述脉冲信号转化为所述数字信号。

5.根据权利要求2所述的拍摄装置位置校正系统，其特征在于，所述拍摄装置包括相对设置的左侧壁和右侧壁，所述光源包括第一光源和第二光源，所述第一光源设置在所述左侧壁上，所述第二光源设置在所述右侧壁上；

所述光源接收器包括与所述第一光源同侧设置的第一光源接收器和与所述第二光源同侧设置的第二光源接收器，在所述拍摄装置处于所述理论位置时，所述第一光源接收器到所述第一光源的距离与所述第二光源接收器到所述第二光源的距离的差值在预设范围内。

6.根据权利要求1所述的拍摄装置位置校正系统，其特征在于，所述距离调整装置包括电磁阀和与所述电磁阀连接的气缸，所述气缸内设有第一活塞，所述第一活塞与所述拍摄装置固定连接，所述电磁阀能够控制所述第一活塞在所述气缸内做往复运动。

7.根据权利要求6所述的拍摄装置位置校正系统，其特征在于，所述电磁阀包括进气管路、排气管路、第二腔室，所述气缸包括第一腔室、设置在所述第一腔室内的第一活塞，且所述第一活塞将所述第一腔室分割成互不连通的第一区域和第二区域，所述气缸还包括连通所述第一区域的第一管路和连通所述第二区域的第二管路；

所述第二腔室包括邻近所述第一腔室的上侧壁和与所述上侧壁相对设置的下侧壁，所述上侧壁上设有第一通孔和第二通孔，所述第一通孔与所述第一管路连接，所述第二通孔与所述第二管路连接；所述下侧壁上设有第三通孔、第四通孔和第五通孔，所述第三通孔和所述第五通孔均与所述排气管路连接，所述第四通孔与所述进气管路连接。

8.根据权利要求7所述的拍摄装置位置校正系统，其特征在于，所述电磁阀还包括设置在所述第二腔室内的第二活塞，所述第二活塞一端缠绕有线圈，另一端与弹簧连接，所述电磁阀还包括设置在所述线圈外侧的铁芯，且所述第二活塞将所述第二腔室分割成互不连通的第三区域、第四区域、第五区域和第六区域，且所述第四区域与所述第一区域连通以及所述第五区域与所述第二区域连通；所述线圈通电时，所述第二活塞能够在所述铁芯的作用下移动使得所述第四通孔连通所述第四区域，所述第五通孔连通所述第五区域；所述线圈断电时，所述第二活塞能够在所述弹簧的作用下移动使得所述第三通孔连通所述第四区域，所述第四通孔连通所述第五区域。

9.根据权利要求1所述的拍摄装置位置校正系统，其特征在于，还包括轨道槽以及可在所述轨道槽内滑动的滑轮，所述滑轮与所述拍摄装置固定连接。

10.根据权利要求9所述的拍摄装置位置校正系统，其特征在于，所述轨道槽包括供所述滑轮滑动的第一轨道和与所述第一轨道并排设置的第二轨道，所述第二轨道上设有多个等间隔设置的凹槽，所述拍摄装置上设有凸起部，所述凸起部在所述拍摄装置处于所述理论位置时收容于所述多个凹槽中的第一凹槽内、在所述拍摄装置处于所述实际位置时收容于所述多个凹槽中的第二凹槽内，所述第二凹槽到所述第一凹槽的距离等于所述偏移量。

11.根据权利要求9所述的拍摄装置位置校正系统，其特征在于，还包括限位装置，所述限位装置设置于所述轨道槽在所述拍摄装置的移动方向上的两侧。

12.根据权利要求1所述的拍摄装置位置校正系统，其特征在于，所述控制装置包括第一控制装置和第二控制装置；

所述第一控制装置用于接收所述光罩图像，并判断所述光罩图像中是否能够提取出所述光罩标识，在判定不能提取所述光罩标识时，向所述第二控制装置发送纠偏指令；

所述第二控制装置用于在接收到所述纠偏指令时，根据所述偏移量控制所述距离调整装置移动所述拍摄装置。

13.根据权利要求12所述的拍摄装置位置校正系统，其特征在于，还包括与所述第二控制装置连接的控制终端，所述控制终端包括转换部件和手动调节部件，所述第二控制装置用于在所述控制终端感应到针对所述转换部件的触碰操作时，断开所述拍摄装置与所述第一控制装置的通信连接；

所述第二控制装置用于在所述拍摄装置与所述第一控制装置断开通信连接后，根据所述控制终端感应到的针对所述手动调节部件的触碰操作，控制所述距离调整装置移动所述拍摄装置。

14.根据权利要求13所述的拍摄装置位置校正系统，其特征在于，所述控制终端还包括报警部件，所述报警部件用于在所述拍摄装置处于所述理论位置时发出第一颜色的光、在所述拍摄装置处于所述实际位置时发出第二颜色的光。

15.一种拍摄装置位置校正方法，其特征在于，包括：

获取拍摄装置的实际位置；

接收所述拍摄装置发送的光罩图像；

对所述光罩图像进行特征提取；

在判定不能从所述光罩图像中提取出光罩标识时，根据所述实际位置与理论位置的偏移量控制距离调整装置移动所述拍摄装置。

16.根据权利要求15所述的拍摄装置位置校正方法，其特征在于，在根据所述实际位置与理论位置的偏移量控制距离调整装置移动所述拍摄装置之后，还包括：

接收位置移动后的所述拍摄装置发送的新光罩图像；

对所述新光罩图像进行特征提取；

在判定不能从所述新光罩图像中提取出所述光罩标识时，重复执行控制所述距离调整装置移动所述拍摄装置、接收位置移动后的所述拍摄装置发送的新光罩图像及对所述新光罩图像进行特征提取的步骤，直至判定能够从所述新光罩图像中提取出所述光罩标识。

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