CN113091660A - 托盘平面度检测系统及其使用方法 - Google Patents

Abstract

本公开提供了托盘平面度检测系统及其使用方法，属于托盘平面度检测技术领域。将待测试托盘放置在支撑盘上，真空吸附装置使支撑盘与待测试托盘之间形成真空。注气装置中的注气器件向注气孔注入气体，气流经过注气孔均匀地进入支撑盘与待测试托盘之间，使支撑盘与待测试托盘之间形成间隙。测量装置测量注气孔与第一压差测量孔之间的压差以及第一压差测量孔与第二压差测量孔之间的压差，待测试托盘平面度高，两个位置处的压差均应接近为零。存在磨损，则两个位置处的压差会存在较大差别，可以以较为简单的结构测出待测试托盘的平面度，便于对托盘的平面度的检测且整体成本较低。

Description

托盘平面度检测系统及其使用方法

技术领域

本公开涉及托盘平面度检测技术领域，特别涉及一种托盘平面度检测系统及其使用方法。

背景技术

托盘是金属有机化合物化学气相沉积(英文：Metal-organic Chemical VaporDeposition，简称：MOCVD)设备、PECVD沉积设备、ICP刻蚀设备等薄膜设备的一部分，托盘形状为薄圆柱体，托盘的一端的端面上设置有多个用于放置衬底的圆形凹槽。另一面为与成膜设备接触的平面。托盘的接触平面在工艺过程中与成膜设备紧密接触，保障托盘上的外延膜系均匀生长。

由于衬底直接放置在托盘的圆形凹槽上，托盘与成膜设备的传热面紧密接触，保障均匀传热，因此需要检测托盘的平面度，保证托盘的平面度较好，才能保证托盘与沉积设备的传热面均匀接触，保证衬底的均匀受热以得到质量较好的外延片。相关技术中，常使用三坐标测量仪对托盘的平面度进行检测以判断托盘的磨损程度，但三坐标测量仪较为昂贵、检测速度较慢，且不易携带，对托盘的平面度的检测较为不便且成本较高。

发明内容

本公开实施例提供了托盘平面度检测系统及其使用方法，能够方便快捷对托盘的平面度的检测且整体成本较低。所述技术方案如下：

本公开实施例提供了一种托盘平面度检测系统，所述托盘平面度检测系统包括支撑装置、真空吸附装置、注气装置与测量装置，

所述支撑装置包括支撑盘，所述支撑盘具有轴线相互平行的注气孔、第一压差测量孔与第二压差测量孔，所述注气孔同轴位于所述支撑盘上，所述注气孔、所述第一压差测量孔与所述第二压差测量孔沿所述支撑盘的径向依次间隔分布，

所述真空吸附装置用于使所述支撑盘与放置在所述支撑盘上的待测试托盘之间形成真空，

所述注气装置包括注气器件所述注气器件用于向所述注气孔注入气体，

所述测量装置包括第一压差测量器件与第二压差测量器件，所述第一压差测量器件用于测量所述注气孔与所述第一压差测量孔之间的压差，所述第二压差测量器件用于测量所述第一压差测量孔与所述第二压差测量孔之间的压差。

可选地，所述支撑盘还具有同轴的位于所述支撑盘的同一面上的第一压力测量环槽、第二压力测量环槽，所述第一压差测量孔的一端位于所述第一压力测量环槽的底面上，所述第二压差测量孔的一端位于第二压力测量环槽的底面上。

可选地，所述支撑盘还具有同轴的真空环形槽，所述真空环形槽的内径大于所述第二压差测量孔与所述注气孔的垂直距离。

可选地，所述支撑盘还具有吸附孔，所述吸附孔的一端位于所述真空环形槽的底面。

可选地，所述真空吸附装置包括真空吸附泵，所述真空吸附泵与所述吸附孔的一端连通。

可选地，所述支撑装置还包括多个托盘定位块，所述多个托盘定位块沿所述支撑盘的周向均匀分布在所述支撑盘上。

可选地，所述注气装置还包括气源三联体、精密调压阀，所述注气器件的出气口与所述气源三联体的进气口连通，所述气源三联体的出气口与所述精密调压阀的进气口连通，所述精密调压阀的出气口与所述注气孔的一端连通。

可选地，所述注气装置还包括稳压器，所述稳压器设置在所述精密调节阀与所述注气孔之间，且所述稳压器的进气口与所述精密调压阀的出气口连通。

可选地，所述注气装置还包括第一流量调节阀，所述第一流量调节阀的进气口与所述稳压器的出气口连通，所述第一流量调节阀的出气口与所述注气孔的一端连通。

本公开实施例提供了一种托盘平面度检测系统使用方法，所述托盘平面度检测系统使用方法应用于如前所述的托盘平面度检测系统，所述托盘平面度检测系统使用方法包括：

将待测试托盘放置在所述托盘平面度检测系统的支撑盘上；

使用真空吸附装置使所述支撑盘与所述待测试托盘之间形成真空，并使所述支撑盘与所述待测试托盘之间形成紧密接触；

注气装置的注气器件向所述支撑盘的注气孔注入定流量气流，使所述定流量气流经过所述注气孔进入所述支撑盘与所述待测试托盘之间；

使所述测量装置的测量所述注气孔与所述第一压差测量孔之间的压差以及所述第一压差测量孔与所述第二压差测量孔之间的压差；

根据所述注气孔与所述第一压差测量孔之间的压差以及所述第一压差测量孔与所述第二压差测量孔之间的压差，判断所述待测试托盘的平面度。

本公开实施例提供的技术方案带来的有益效果包括：

托盘平面度检测系统包括支撑装置、真空吸附装置、注气装置与测量装置。使用时，可以先将待测试托盘放置在支撑盘上，使用真空吸附装置用于使支撑盘与放置在支撑盘上的待测试托盘形成紧密接触。再使注气装置中的注气器件向注气孔注入气体，注气孔同轴位于支撑盘上，因此定流量气流可以经过注气孔均匀地进入支撑盘与待测试托盘之间，可以得到支撑盘上的待测试托盘不同位置的压力情况。如果待测试托盘平面度较高，两个位置处的压差大。若待测试托盘存在磨损，则两个位置处的压差会减小，可以用较为简单的结构测出待测试托盘的平面度，并判断待测试托盘的磨损程度，能够便于对托盘的平面度的检测且整体成本较低。也可以通过比较标准托盘的两个压差与待测试托盘的两个压差，判断待测试托盘的磨损程度。

附图说明

为了更清楚地说明本公开实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本公开实施例提供的托盘平面度检测系统的使用状态示意图；

图2是本公开实施例提供的支撑盘的正视图；

图3是本公开实施例提供的支撑盘的A-A向剖视图；

图4是本公开实施例提供的支撑盘的B-B向剖视图；

图5是本公开实施例提供的注气装置的结构示意图；

图6是本公开实施例提供的一种托盘平面度检测系统使用方法的流程图；

图7是本公开实施例提供的另一种托盘平面度检测系统使用方法的流程图。

具体实施方式

为使本公开的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本公开实施方式作进一步地详细描述。

为便于理解，此处对MOCVD设备中托盘的使用情况作进一步的说明，MOCVD设备在制备外延片时，需要从MOCVD设备内取出托盘放置衬底，再将托盘放回MOCVD设备内，托盘的频繁取出与放回，以及MOCVD设备内频繁且较大范围的温度变化，容易导致托盘出现形变或者磨损，影响托盘放置在MOCVD设备内底座上的平面度。托盘的平面度则直接影响到托盘上的衬底的加热，衬底容易受热不均而导致衬底上外延层的质量较差。因此需要对托盘的平面度进行检测，保证托盘的平面度处于较高的状态，才能保证最终得到的发光二极管外延片的质量较好。

以下对本公开实施例提供的托盘平面度检测系统进行说明，图1是本公开实施例提供的托盘平面度检测系统的使用状态示意图，参考图1可知，托盘平面度检测系统包括支撑装置1、真空吸附装置2、注气装置3与测量装置4。

支撑装置1包括支撑盘101，支撑盘101具有轴线相互平行的注气孔101a、第一压差测量孔101b与第二压差测量孔101c，注气孔101a同轴位于支撑盘101上，注气孔101a、第一压差测量孔101b与第二压差测量孔101c沿支撑盘101的径向依次间隔分布。

真空吸附装置2用于使支撑盘101与放置在支撑盘101上的待测试托盘之间形成真空，注气装置3包括注气器件301用于向注气孔101a注入气体。测量装置4包括第一压差测量器件401与第二压差测量器件402，第一压差测量器件401用于测量注气孔101a与第一压差测量孔101c之间的压差，第二压差测量器件402用于测量第一压差测量孔101b与第二压差测量孔101c之间的压差。

托盘平面度检测系统包括支撑装置1、吸附装置2、注气装置3与测量装置4。使用时，可以先将待测试托盘10放置在支撑盘101上，使用吸附装置2用于使支撑盘101与放置在支撑盘101上的待测试托盘10之间形成真空。再使注气装置3中的注气器件301向注气孔101a注入气体，注气孔101a同轴位于支撑盘101上，因此气流可以经过注气孔101a均匀地进入支撑盘101与待测试托盘10之间，使支撑盘101与待测试托盘10之间形成间隙。支撑盘101上注气孔101a、第一压差测量孔101b与第二压差测量孔101c沿支撑盘101的径向依次间隔分布，使测量装置4测量注气孔101a与第一压差测量孔101b之间的压差以及第一压差测量孔101b与第二压差测量孔101c之间的压差，可以得到支撑盘101上的待测试托盘10不同位置的压力情况。如果待测试托盘10平面度较高，两个位置处的压差均应接近为零。若待测试托盘10存在磨损，则两个位置处的压差会存在较大差别，可以以较为简单的结构测出待测试托盘10的平面度，并判断待测试托盘10的磨损程度，能够便于对托盘的平面度的检测且整体成本较低。也可以通过比较标准托盘的两个压差与待测试托盘10的两个压差，判断待测试托盘10的磨损程度。

图2是本公开实施例提供的支撑盘的正视图，参考图2可知，支撑盘101的周壁上可具有两个沿支撑盘101的周向均匀分布的取放开口101d。

取放开口101d的设置可以便于支撑盘101整体的取放，便于控制支撑盘101的安装及固定。

参考图2可知，支撑装置1还可包括多个托盘定位块102，多个托盘定位块102沿支撑盘101的周向均匀分布在支撑盘101上。

多个托盘定位块102的增加，可以将待测试托盘10整体快速定位在多个托盘定位块102之间，可以使待测试托盘10与支撑盘101实现快速同心定位，以保证后续测试得到的结果的准确度。

可选地，托盘定位块102与支撑盘101之间为可拆卸连接。便于实现托盘定位块102与支撑盘101之间的拆装。

参考图2可知，支撑盘101上还可具有与多个托盘定位块102一一对应的定位槽101e，每个托盘定位块102均嵌在一个对应的定位槽101e内。

定位槽101e的增加可以实现托盘定位块102的快速定位与安装，便于实现支撑盘101与托盘定位块102之间的快速拆装。并且定位槽101e本身也可以起到定位作用，保证托盘定位块102的位置安装准确，以保证托盘定位块102可以有效定位待测试托盘10。

示例性地，托盘定位块102与支撑盘101之间通过螺栓连接。便于实现托盘定位块102的固定。

需要说明的是，螺栓可以轴线平行于支撑盘101的轴向将托盘定位块102固定在支撑盘101上，或者螺栓的轴线也可以沿支撑盘101的径向设置将托盘定位块102固定在支撑盘101上，本公开对此不做限制。

参考图2可知，支撑盘101上还可具有多个螺纹孔101f，多个螺纹孔101f沿支撑盘101的周向均匀分布，每个螺纹孔101f内插有固定件。

固定件可以将支撑盘101固定在底座或其他固定结构上。在支撑盘101固定之后再将待测试托盘10放置在支撑盘101上，可以保证待测试托盘10的稳定放置与固定。

可选地，多个螺纹孔101f分布在同一圆周上，且该圆周的半径大于注气孔101a与第一压差测量孔101b之间的距离，该圆周的半径小于第一压差测量孔101b与第二压差测量孔101c之间的距离。

采用上一段中的结构，可以实现支撑盘101本身的稳定固定，而不会对支撑盘101的强度造成影响，注气孔101a与第一压差测量孔101b及第二压差测量孔101c也不会对支撑盘101的强度造成影响。

参考图2可知，支撑盘101还具有圆形槽101g，圆形槽101g沿注气孔101a的周向开设在注气孔101a的一端。

沿注气孔101a的周向开设在注气孔101a的一端的圆形槽101g的直径大于注气孔101a的直径，可以便于定流量气流的注入与均匀扩散，保证托盘与支撑盘101之间的间隙较为均匀。

参考图2可知，支撑盘101还具有同轴的位于支撑盘101的同一面上的第一压力测量环槽101h、第二压力测量环槽101i，第一压差测量孔101b的一端位于第一压力测量环槽101h的底面上，第二压差测量孔101c的一端位于第二压力测量环槽101i的底面上。

第一压力测量环槽101h与第二压力测量环槽101i的增加，可以使托盘与支撑盘101之间的间隙更为均匀，保证从第一压差测量孔101b测量到的第一压力测量环槽101h内的压力值、以及从第二压差测量孔101c测量到的第二压力测量环槽101i内的压力值更为准确，以提高压差的测量准确度。

图3是本公开实施例提供的支撑盘的A-A向剖视图，参考图3可知，第一压差测量孔101b的孔径由远离第一压力测量环槽101h的一端至靠近第一压力测量环槽101h的一端逐渐减小。可以避免定流量气流的泄露，所测量到的压力差也较为准确。

参考图3可知，第二压差测量孔101c的孔径变化与第一压差测量孔101b的孔径变化可以相同。因此此处不再赘述。

图4是本公开实施例提供的支撑盘的B-B向剖视图，参考图4可知，支撑盘101还具有同轴的真空环形槽101j，真空环形槽101j的内径大于第二压差测量孔101c与注气孔101a的垂直距离。

真空环形槽101j的增加，可以接收定流量气流，定流量气流在支撑盘101与待测试托盘10之间的间隙向四周扩散。支撑盘101上注气孔101a、第一压差测量孔101b与第二压差测量孔101c沿支撑盘101的径向依次间隔分布，并通过真空环形槽101j的均压作用，使得注气孔101a、第一压差测量孔101b与第二压差测量孔101c之间形成稳定的压差。且真空环形槽101j内的定流量气流也可以被抽空，真空环形槽101j内的低压可以将待测试托盘10与支撑盘101吸附地更紧密，保证通入定流量气流之前待测试托盘10与支撑盘101之间紧密吸附。

可选地，支撑盘101还具有吸附孔101k，吸附孔101k的一端位于所述真空环形槽101j的底面。

吸附孔101k的增加，可以便于实现对待测试托盘10与支撑盘101之间的空气抽取，保证待测试托盘10与支撑盘101之间的紧密吸附。

可选地，真空吸附装置2包括真空吸附泵201，真空吸附泵201与吸附孔101k的一端连通。便于实现空气的抽取。

需要说明的是，圆形槽101g、第一压力测量环槽101h、第二压力测量环槽101i、真空环形槽101j均位于支撑盘101的同一表平面上，且该表平面为支撑盘101用于放置待测试托盘10的表平面。

图5是本公开实施例提供的注气装置的结构示意图，参考图5可知，注气装置3还可包括气源三联体302、精密调压阀303，注气器件301的出气口与气源三联体302的进气口连通，气源三联体302的出气口与精密调压阀303的进气口连通，精密调压阀303的出气口与注气孔101a的一端连通。

定流量气流可以从注气器件301流出，进入气源三联体302调节后，定流量气流流出的流量较为稳定，定流量气流进一步进入精密调压阀303进行降压。保证最终进入注气孔101a内的定流量气流的流量较小且较为稳定。

需要说明的是，在本公开所提供的一种实现方式中，注气器件301可为注气泵或储气瓶等结构，本公开对此不做限制。

可选地，注气装置3还可包括过滤器304，过滤器304位于注气器件301与气源三联体302之间，且过滤器304的进气口与注气器件301的出气口连通，过滤器304的出气口与气源三联体302的进气口连通。可以保证流出的定流量气流的清洁程度，保证后续测量结果的准确。

示例性地，注气装置3还包括稳压器305，稳压器305设置在精密调节阀与第一流量调节阀307之间，且稳压器305的进气口与精密调压阀303的出气口连通。

稳压器305使流出的定流量气流的压力进一步得到稳定，保证流进注气孔101a内的定流量气流的流量与压力均较为稳定，提高后续得到的测量结果的准确度。

可选地，注气装置3还包括压力表306，压力表306与稳压器305的出口连通。可以便于观测流出的定流量气流压力。

示例性地，注气装置3还包括第一流量调节阀307，第一流量调节阀307的进气口与稳压器305的出气口连通，第一流量调节阀307的出气口与注气孔101a的一端连通。

第一流量调节阀307可以用于控制定流量气流的流动，保证最终得到的检测结果的准确度。

参考图5可知，注气装置3还包括精密流量计308、第二流量调节阀309与排出点S，精密流量计308与注气孔101a的一端连通，第二流量调节阀309的进气口与第一流量调节阀307的出口连通，第二流量调节阀309的出气口与排出点S连通。

精密流量计308可以较为准确地测量得到进入注气孔101a的定流量气流的流量，同时，可以通过调节第二流量调节阀309，来控制从第一流量调节阀307流出后，进入排出点S的定流量气流，以控制同样从第一流量调节阀307流出并进入注气孔101a的定流量气流的流量，便于实现定流量气流的微调，保证结果的准确性，避免出现定流量气流不稳定对检测结果造成干扰。

可选地，注气装置3还包括阻尼孔310，阻尼孔310可以位于排出点S与第二流量调节阀309之间的管道上。避免定流量气流对管道造成较大冲击。

在本公开所提供的一种实现方式中，排出点S还可与第二压差测量孔101c连通，此时可通过真空环形槽101j将待测试托盘10吸附在支撑盘101上，并检测真空环形槽101j内径以内的压力，此时可以将待测试托盘10的压差与标准托盘的压差进行比较，排出部分由外界压力因素对压差造成的影响。

需要说明的是，排出点S为定流量气流流出的位置，排出点S可以与定流量气流收集装置连通或者直接与大气连通。

在本公开所提供的一种实现方式中，第一压差测量器件401与第二压差测量器件402均可为压差测量器。且第一压差测量器件401在使用时，两个接头分别插入注气孔101a与第一压差测量孔101b，第二压差测量器件402在使用时，两个接头分别插入第一压差测量孔101b与第二压差测量孔101c。

图6是本公开实施例提供的一种托盘平面度检测系统使用方法的流程图，参考图6可知，托盘平面度检测系统使用方法应用于如前的托盘平面度检测系统，托盘平面度检测系统使用方法包括：

S101：将待测试托盘放置在托盘平面度检测系统的支撑盘上。

S102：使用真空吸附装置使支撑盘与待测试托盘之间形成真空，并使支撑盘与待测试托盘之间形成紧密接触。

S103：注气装置的注气器件向支撑盘的注气孔注入定流量气流，使定流量气流经过注气孔进入支撑盘与待测试托盘之间。

S104：使测量装置测量注气孔与第一压差测量孔之间的压差以及第一压差测量孔与第二压差测量孔之间的压差。

S105：根据注气孔与第一压差测量孔之间的压差以及第一压差测量孔与第二压差测量孔之间的压差，判断待测试托盘的平面度。

需要说明的是，在本公开所提供的一种实现方式中，托盘平面度检测系统包括支撑装置1、真空吸附装置2、注气装置3与测量装置4。使用时，可以先将待测试托盘10放置在支撑盘101上，使用真空吸附装置2用于使支撑盘101与放置在支撑盘101上的待测试托盘10之间形成真空，托盘10与支撑盘101的两个平面贴合在一起。再使注气装置3中的注气器件301向注气孔101a注入气体，注气孔101a同轴位于支撑盘101上，因此定流量气流可以经过注气孔101a均匀地进入支撑盘101与待测试托盘10之间，流过支撑盘101与待测试托盘10之间的间隙。通过配合调整节流阀307与309，使精密流量计308显示在固定的某个流量。支撑盘101上注气孔101a、第一压差测量孔101b与第二压差测量孔101c沿支撑盘101的径向依次间隔分布，使测量装置4测量注气孔101a与第二压差测量孔101c之间的压差以及第一压差测量孔101b与第二压差测量孔101c之间的压差，可以得到支撑盘101上的待测试托盘10不同位置的压力情况。如果待测试托盘10平面度较高，两个位置处的压差比较大。若待测试托盘10存在磨损，则两个位置处的压差会减小，可以以较为简单的结构测出待测试托盘10的平面度，并判断待测试托盘10的磨损程度，能够便于对托盘的平面度的检测且整体成本较低。也可以通过比较标准托盘的两个压差与待测试托盘10的两个压差，判断待测试托盘10的磨损程度。

图7是本公开实施例提供的另一种托盘平面度检测系统使用方法的流程图，参考图7可知，托盘平面度检测系统使用方法包括：

S201：将标准托盘放置在托盘平面度检测系统的支撑盘上，获取标准托盘的第一标准值与第二标准值，第一标准值为标准托盘的对应的注气孔与第一压差测量孔之间的压差，第二标准值为标准托盘的对应的第一压差测量孔与第二压差测量孔之间的压差。

S202：将待测试托盘放置在托盘平面度检测系统的支撑盘上。

步骤S202可包括：将待测试托盘放在支撑盘上，支撑盘上的多个托盘定位块将待测试托盘卡紧在支撑盘上。实现待测试托盘的良好固定。

S203：使用真空吸附装置使支撑盘与待测试托盘之间形成真空，并使支撑盘与待测试托盘之间形成紧密接触。

步骤S203可包括：真空吸附泵抽取吸附孔内的空间，并使待测试托盘与支撑盘之间相互紧密贴合。

S204：注气装置的注气器件向支撑盘的注气孔注入定流量气流，使定流量气流经过注气孔进入支撑盘与待测试托盘之间。

步骤S204包括：注气装置的注气器件向注气孔内注入流量与压力稳定的定流量气流，定流量气流通过注气孔流入待测试托盘与支撑盘之间以在待测试托盘与支撑盘之间形成稳定的间隙。定流量气流持续注入，进入待测试托盘与支撑盘之间的定流量气流最终从排出点排出。

S205：使测量装置测量注气孔与第一压差测量孔之间的压差以及第一压差测量孔与第二压差测量孔之间的压差。

S206：根据注气孔与第一压差测量孔之间的压差以及第一压差测量孔与第二压差测量孔之间的压差，判断待测试托盘的平面度。

步骤S206中，可以将待测试托盘对应的注气孔与第一压差测量孔之间的压差以及第一压差测量孔与第二压差测量孔之间的压差，分别与第一标准值与第二标准值进行对比，若存在差别则说明待测试托盘存在磨损。这种对比排除了测量及定流量气流带来的误差，所得到的检测结果更为准确。

需要说明的是，标准托盘的第一标准值与第二标准值的获取过程，与待测试托盘的注气孔与第一压差测量孔之间的压差以及第一压差测量孔与第二压差测量孔之间的压差的获取过程相同，此处不再赘述。

以上所述，并非对本公开作任何形式上的限制，虽然本公开已通过实施例揭露如上，然而并非用以限定本公开，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本公开技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本公开技术方案的内容，依据本公开的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本公开技术方案的范围内。

Claims (10)

1.一种托盘平面度检测系统，其特征在于，所述托盘平面度检测系统包括支撑装置、真空吸附装置、注气装置与测量装置，

所述支撑装置包括支撑盘，所述支撑盘具有轴线相互平行的注气孔、第一压差测量孔与第二压差测量孔，所述注气孔同轴位于所述支撑盘上，所述注气孔、所述第一压差测量孔与所述第二压差测量孔沿所述支撑盘的径向依次间隔分布，

所述真空吸附装置用于使所述支撑盘与放置在所述支撑盘上的待测试托盘之间形成真空，

所述注气装置包括注气器件，所述注气器件用于向所述注气孔注入气体，

所述测量装置包括第一压差测量器件与第二压差测量器件，所述第一压差测量器件用于测量所述注气孔与所述第一压差测量孔之间的压差，所述第二压差测量器件用于测量所述第一压差测量孔与所述第二压差测量孔之间的压差。

2.根据权利要求1所述的托盘平面度检测系统，其特征在于，所述支撑盘还具有同轴的位于所述支撑盘的同一面上第一压力测量环槽、第二压力测量环槽，所述第一压差测量孔的一端位于所述第一压力测量环槽的底面上，所述第二压差测量孔的一端位于第二压力测量环槽的底面上。

3.根据权利要求2所述的托盘平面度检测系统，其特征在于，所述支撑盘还具有同轴的真空环形槽，所述真空环形槽的内径大于所述第二压差测量孔与所述注气孔的垂直距离。

4.根据权利要求3所述的托盘平面度检测系统，其特征在于，所述支撑盘还具有吸附孔，所述吸附孔的一端位于所述真空环形槽的底面。

5.根据权利要求4所述的托盘平面度检测系统，其特征在于，所述真空吸附装置包括真空吸附泵，所述真空吸附泵与所述吸附孔的一端连通。

6.根据权利要求1～5任一项所述的托盘平面度检测系统，其特征在于，所述支撑装置还包括多个托盘定位块，所述多个托盘定位块沿所述支撑盘的周向均匀分布在所述支撑盘上。

7.根据权利要求1～5任一项所述的托盘平面度检测系统，其特征在于，所述注气装置还包括气源三联体、精密调压阀，所述注气器件的出气口与所述气源三联体的进气口连通，所述气源三联体的出气口与所述精密调压阀的进气口连通，所述精密调压阀的出气口与所述注气孔的一端连通。

8.根据权利要求7所述的托盘平面度检测系统，其特征在于，所述注气装置还包括稳压器，所述稳压器设置在所述精密调节阀与所述注气孔之间，且所述稳压器的进气口与所述精密调压阀的出气口连通。

9.根据权利要求8所述的托盘平面度检测系统，其特征在于，所述注气装置还包括第一流量调节阀，所述第一流量调节阀的进气口与所述稳压器的出气口连通，所述第一流量调节阀的出气口与所述注气孔的一端连通。

10.一种托盘平面度检测系统使用方法，其特征在于，所述托盘平面度检测系统使用方法应用于权利要求1～9任一项所述的托盘平面度检测系统，所述托盘平面度检测系统使用方法包括：

将待测试托盘放置在所述托盘平面度检测系统的支撑盘上；

使用真空吸附装置使所述支撑盘与所述待测试托盘之间形成真空，并使所述支撑盘与所述待测试托盘之间形成紧密接触；

注气装置的注气器件向所述支撑盘的注气孔注入定流量气流，使所述定流量气流经过所述注气孔进入所述支撑盘与所述待测试托盘之间；

使所述测量装置测量所述注气孔与所述第一压差测量孔之间的压差以及所述第一压差测量孔与所述第二压差测量孔之间的压差；

根据所述注气孔与所述第一压差测量孔之间的压差以及所述第一压差测量孔与所述第二压差测量孔之间的压差，判断所述待测试托盘的平面度。

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