CN113038724A - 电路板的制造方法、电路板及电子设备 - Google Patents
电路板的制造方法、电路板及电子设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN113038724A CN113038724A CN202110230870.8A CN202110230870A CN113038724A CN 113038724 A CN113038724 A CN 113038724A CN 202110230870 A CN202110230870 A CN 202110230870A CN 113038724 A CN113038724 A CN 113038724A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- layer
- seed layer
- metal
- platinum
- circuit board
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 22
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 146
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 146
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims abstract description 55
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 47
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 28
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 claims abstract description 15
- 230000008569 process Effects 0.000 claims abstract description 11
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 claims abstract description 7
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 77
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 claims description 38
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 18
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 claims description 17
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- 238000003475 lamination Methods 0.000 claims description 14
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims description 12
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 12
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 12
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 229910000566 Platinum-iridium alloy Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 claims description 5
- HWLDNSXPUQTBOD-UHFFFAOYSA-N platinum-iridium alloy Chemical class [Ir].[Pt] HWLDNSXPUQTBOD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 210000000857 visual cortex Anatomy 0.000 claims description 4
- 230000002207 retinal effect Effects 0.000 claims description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 230000000638 stimulation Effects 0.000 description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 12
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 8
- 210000001525 retina Anatomy 0.000 description 8
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 238000011161 development Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 description 4
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000000992 sputter etching Methods 0.000 description 4
- 239000007943 implant Substances 0.000 description 3
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 3
- 229920000052 poly(p-xylylene) Polymers 0.000 description 3
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 210000005252 bulbus oculi Anatomy 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 2
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 2
- 238000002207 thermal evaporation Methods 0.000 description 2
- 230000016776 visual perception Effects 0.000 description 2
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- QZPSXPBJTPJTSZ-UHFFFAOYSA-N aqua regia Chemical compound Cl.O[N+]([O-])=O QZPSXPBJTPJTSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 210000004556 brain Anatomy 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 238000004100 electronic packaging Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000015654 memory Effects 0.000 description 1
- 210000005036 nerve Anatomy 0.000 description 1
- 210000002569 neuron Anatomy 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 210000003786 sclera Anatomy 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000004936 stimulating effect Effects 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/10—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
- H05K3/18—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material
- H05K3/188—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material by direct electroplating
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K1/00—Printed circuits
- H05K1/02—Details
- H05K1/11—Printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
- H05K1/118—Printed elements for providing electric connections to or between printed circuits specially for flexible printed circuits, e.g. using folded portions
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Parts Printed On Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
本申请公开了一种电路板的制造方法、电路板及电子设备。该制造方法包括形成位于第一薄膜绝缘层表面的金属种子层;形成位于金属种子层之上的图案化的第一光刻胶层;采用电镀工艺在第一光刻胶层形成的空间内形成电镀金属层,电镀金属层的厚度大于金属种子层的厚度但不超过第一光刻胶层的厚度;去除第一光刻胶层;通过干法刻蚀,利用电镀金属层和去除第一光刻胶层后暴露出的金属种子层的厚度差,去除暴露出的金属种子层,以形成相同图形的金属电镀层和金属种子层。本申请提出了一种简单快速的制作高精度的具有较大厚度的图形化的金属层的方法。
Description
技术领域
本发明涉及电子电路技术领域,更具体地,涉及一种电路板的制造方法、电路板及电子设备。
背景技术
目前,在微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)领域中,常采用湿法刻蚀形成图案化的金属层。即,在基底上依次形成金属层、光刻胶层,通过曝光显影形成图案化的光刻胶以暴露部分金属层,接着在化学蚀刻液中去除暴露的部分金属层,形成图案化的金属层。然而,上述方法极易造成金属层在化学刻蚀液环境中被过刻蚀甚至断裂,无法得到更高稳定性、更高密度的图案化金属层,尤其对于形成较厚的图形化的金属层,此问题尤为突出。另外,湿法刻蚀对于不同的金属刻蚀条件和刻蚀速率各不相同,尤其是对于一些刻蚀速度较慢,对刻蚀条件要求较高的金属(例如铂,一般需要在高温溶液中用腐蚀性较高的溶液如王水进行湿法刻蚀),此问题会更加突出。
还可以采用剥离法(Lift-off)形成图案化的金属层。即,在基底上形成光刻胶层,通过曝光显影形成图案化的光刻胶,并在光刻胶的镂空部分和未镂空部分的上表面形成金属层,接着将位于未镂空部分的上表面的金属层随光刻胶一起去除,形成图案化的金属层。但通过该方法形成的图案化的金属层在剥离处容易形成毛刺,进而影响其电学性能。此外,该方法对光刻胶的要求极高,也难以形成高密度的图案化金属层。
另外,也可以用干法刻蚀形成图案化的金属层。即,在基底上依次形成金属层、光刻胶层,通过曝光显影形成图案化的光刻胶以暴露部分金属层,接着用干法刻蚀(比如等离子刻蚀、磁控溅射刻蚀等)去除暴露的部分金属层,形成图案化的金属层。然而,由于干法刻蚀金属的速度非常慢,上述方法只能用于制作厚度较小的图形化的金属层。对于厚度较大的金属,很难形成较厚的光刻胶层,此外随着光刻胶厚度的增加,其光刻所能达到的精度也随之降低。因此,该方法很难形成高密度的厚度较大的图案化金属层。
因此,亟需一种制造方法,以得到更高稳定性、更高密度的图案化金属层,尤其是厚度较大的图案化金属层,进而应用于电子设备中以提升其集成度和稳定性。
发明内容
鉴于上述问题,本发明的目的在于提供一种图案化金属层,从而应用于电子设备中以实现更高集成度和更高稳定性。
根据本发明的一方面,提供一种电路板的制造方法,包括:形成位于第一薄膜绝缘层表面的金属种子层;形成位于所述金属种子层之上的图案化的第一光刻胶层;采用电镀工艺在所述第一光刻胶层形成的空间内形成电镀金属层;去除所述第一光刻胶层;以及去除部分所述金属种子层,以形成图案化的金属种子层,其中,所述电镀金属层的厚度大于所述金属种子层的厚度但不超过所述第一光刻胶层的厚度。
可选地,形成位于第一薄膜绝缘层表面的金属种子层的步骤包括:形成位于第一薄膜绝缘层表面的铂种子层、钛/铂叠层种子层、钛/金叠层种子层、铂/金叠层种子层、铬/铂叠层种子层、铬/金叠层种子层、铱种子层、铂/铱叠层种子层、铱/铂叠层种子层、或铂铱合金种子层。
可选地,还包括:形成覆盖所述第一薄膜绝缘层的暴露表面以及所述电镀金属层的第二薄膜绝缘层。
可选地,采用化学刻蚀去除所述第一光刻胶层,采用干法刻蚀去除部分所述金属种子层。
根据本发明的另一方面,提供一种电路板,包括第一薄膜绝缘层;位于所述第一薄膜绝缘层之上的图案化的金属种子层;位于所述图案化的金属种子层表面的电镀金属层,所述电镀金属层在所述第一薄膜绝缘层上的投影覆盖所述图案化的金属种子层。
可选地,所述电镀金属层的截面形状包括多个梯形,各所述梯形中靠近所述图案化的金属种子层的底边长度小于远离所述图案化的金属种子层的底边长度。
可选地,所述图案化的金属种子层包括铂种子层、钛/铂叠层种子层、钛/金叠层种子层、铂/金叠层种子层、铬/铂叠层种子层、铬/金叠层种子层、铱种子层、铂/铱叠层种子层、铱/铂叠层种子层、或铂铱合金种子层。
可选地,还包括:覆盖所述第一薄膜绝缘层的暴露表面以及所述电镀金属层的第二薄膜绝缘层。
根据本发明的另一方面,提供一种电子设备,包括采用上述所述制造方法制备而成的电路板或上述所述的电路板。
可选地,所述电子设备为植入式视网膜电刺激器或植入式视觉皮层电刺激器,所述电路板为柔性电极。
本发明电路板的制造方法包括在图案化的第一光刻胶层所形成的空间内采用电镀工艺形成厚度大于金属种子层但不超过光刻胶层厚度的电镀金属层,以有效保持电镀金属层的形态,提升了电镀金属层的密度和稳定性。
优选地,电镀金属层通过第一光刻胶层形成截面形状为多个倒梯形的结构,其靠近金属种子层的底边长度小于远离金属种子层的底边长度。进而在第二薄膜绝缘层覆盖具有上述结构的电镀金属层时,能将图案化的电镀金属层包裹更为紧密,结合强度高,增强了电路板的稳定性。
附图说明
通过以下参照附图对本发明实施例的描述,本发明的上述以及其他目的、特征和优点将更为清楚,在附图中:
图1示出了根据本发明实施例的柔性电极的示意图;
图2示出了根据本发明实施例的电路板的制造方法的流程示意图;
图3至图9示出了根据本发明实施例的电路板在制造过程中各个阶段的截面示意图。
附图标记列表:
110 衬底
111 第二光刻胶层
112 金属种子层
113 第一光刻胶层
200 电路板
201 第一薄膜绝缘层
202 电镀金属层
203 图案化的金属种子层
204 第二薄膜绝缘层
300 柔性电极
310 引入端
320 连接电缆
330 刺激端
具体实施方式
以下将参照附图更详细地描述本发明。在各个附图中,相同的元件采用类似的附图标记来表示。为了清楚起见,附图中的各个部分没有按比例绘制。此外,在附图中可能未示出某些公知的部分。
在下文中描述了本发明的许多特定的细节,例如器件的结构、材料、尺寸、处理工艺和技术,以便更清楚地理解本发明。但正如本领域的技术人员能够理解的那样,可以不按照这些特定的细节来实现本发明。
本发明提供的电路板或者由制造方法制备而成的电路板可以应用于电子设备中,电子设备例如为植入式视网膜电刺激器或植入式视觉皮层电刺激器。
以电子设备为植入式视网膜电刺激器为例,电子设备包括植入件和外部件。植入件中至少包括相互连接的柔性电极300和电子元件。电子元件包括根据电路设计而可能设置的电路芯片、电容器、电感器、电阻器、振荡器、滤波器、存储器等元器件。
图1示出了根据本发明实施例的柔性电极300的示意图。如图1所示,柔性电极300具有引入端310、刺激端330以及连接在引入端310和刺激端330之间的连接电缆320,连接电缆320内部形成多根分别连接刺激端330的导线。
电子元件与柔性电极300的引入端310连接并封装形成电子封装体,电子封装体缝合在眼球巩膜外侧,柔性电极300的连接电缆320穿过眼球壁,柔性电极300的刺激端330通过固定钉固定在视网膜表面。
电子设备外部件包括采集视频信息的摄像头,视频信息经过数据转换后无线传输至植入件的电子封装体,柔性电极300中的刺激端330通过电刺激的方式向视网膜传递刺激,传送到视网膜上的电脉冲信号刺激视网膜上仍保留功能的神经元,并将此刺激通过视觉神经传送到大脑,进而使患者产生视觉感知。
上述电子设备的柔性电极300的引入端310、连接电缆320、刺激端330中均包括图案化的金属层。其中,以金属层结构最简单的连接电缆320为例,连接电缆320中包括例如数十根、数百根甚至更多并列的导线,每根导线的宽度为0.2微米~200微米,相邻导线之间的间距为0.2微米~200微米。在优选的实施例中,连接电缆320的导线的线宽和相邻导线之间的线距均为2微米~5微米,这对柔性电极300的集成度要求极高。
下面结合附图和实施例,对本发明提供的电路板的制造方法和电路板的具体实施方式做进一步详细描述。其中,以下提到的电路板例如以植入式视网膜电刺激器中的柔性电极300中的连接电缆320部分为例进行说明。
图2示出了根据本发明实施例的电路板的制造方法的流程示意图,图3至图9示出了根据本发明实施例的电路板在制造过程中各个阶段的截面示意图。
如图2所示,电路板的制造方法包括如下步骤:
步骤S01:在衬底110上形成第一薄膜绝缘层201。该方法始于形成第一薄膜绝缘层201,如图3所示。衬底110用于提供机械支撑。具体地,在衬底110表面均匀形成第二光刻胶层111,之后在第二光刻胶层111表面上形成绝缘的第一薄膜绝缘层201。其中,第二光刻胶层111在形成电路板的步骤中作为牺牲层,第二光刻胶层111用于保护衬底110。在替代的实施例中,可以在衬底110表面直接形成第一薄膜绝缘层201,而省去形成第二光刻胶层111的步骤以减低成本和简化电路板的制造流程。
其中,第一薄膜绝缘层201例如采用化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,CVD)工艺形成,第一薄膜绝缘层201优选为聚对二甲苯膜(派瑞林膜),派瑞林膜更柔软且便于塑性变形,能更好贴附于被植入组织上,提高电刺激效果。其中,衬底110优选为硅片。在可替代的实施例中,第一薄膜绝缘层201例如还可以为聚甲基丙烯酸甲酯(PolymethylMethacrylate,PMMA)、特氟隆、硅树脂、聚酰亚胺、聚对苯二甲酸(polyethyleneterephthalate)中的任意一种或多种。
步骤S02:在第一薄膜绝缘层210表面形成金属种子层112,如图4所示。例如采用如溅射(sputter)、电子束蒸发(E-beam)或热蒸发(Thermal Evaporation)等物理气相沉积(Physical Vapour Deposition,PVD)工艺形成金属种子层112。金属种子层112的厚度例如为金属种子层112例如覆盖第一薄膜绝缘层201的整个上表面。金属种子层112有利于后续的电镀工艺形成均匀的电流密度(有利于有效控制电镀层厚度的均匀性),并且有利于加强第一薄膜绝缘层201与后续形成的电镀金属层202之间的结合强度。
优选地,金属种子层112可采用铂种子层、钛/铂叠层种子层(钛在下层)、钛/金叠层种子层(钛在下层)、铂/金叠层种子层(铂在下层)、铬/铂叠层种子层(铬在下层)、铬/金叠层种子层(铬在下层)、铱种子层、铂/铱叠层种子层(铂在下层)、铱/铂叠层种子层(铱在下层)、或铂铱合金种子层,以便于提高电镀金属层202与第一薄膜绝缘层201之间的结合强度。
步骤S03:在金属种子层112表面上形成图案化的第一光刻胶层113,如图5所示。具体地,在金属种子层112上均匀形成第一光刻胶以覆盖金属种子层112,接着例如通过曝光、显影形成图案化的第一光刻胶层113。进一步地,第一光刻胶层113的图案至少包括镂空的线性结构。具体地,第一光刻胶层113包括多个并列的线型结构,该线型结构的线宽例如为0.2微米~200微米,相邻线型结构之间的间距例如为0.2微米~200微米。由于光散射作用,图案化的第一光刻胶层113的截面形状能形成为多个梯形,各梯形中靠近金属种子层112的底边长度大于远离金属种子层112的底边长度,第一光刻胶层113使得部分金属种子层112表面裸露。需要说明的是,在采用不同类型的第一光刻胶113时,图案化后第一光刻胶层113的梯形的长边与短边方向可以与前述相反,同样能够实现本发明的技术效果。
步骤S04:在图案化的第一光刻胶层113形成的空间内形成电镀金属层202,如图6所示。电镀金属层202与裸露的金属种子层112结合,且电镀金属层202的厚度大于金属种子层112的厚度不超过第一光刻胶层113的厚度。具体地,采用电镀工艺形成电镀金属层202,例如采用金电镀液形成电镀金层,采用铂电镀液形成电镀铂层,或采用铂灰电镀液形成电镀铂灰层。电镀金属层202的截面形状与第一光刻胶层113的截面形状互补,即,电镀金属层202的截面形状为多个梯形,各梯形中靠近金属种子层112的底边长度小于远离金属种子层112的底边长度。对应地,电镀金属层202包括多根并列的导线,导线的线宽例如为0.2微米~200微米,相邻导线之间的间距例如为0.2微米~200微米。进一步地,电镀金属层202的材质包括金、银、铂、铂灰、铂黑、钯、铱中的至少一种。
步骤S05:去除第一光刻胶层113,并去除部分金属种子层112以形成图案化的金属种子层203,如图7所示。具体地,例如采用化学刻蚀方法去除第一光刻胶层113,接着采用感应耦合等离子体刻蚀(ICP)、反应离子刻蚀(RIE),离子铣技术(ion milling)或磁控溅射刻蚀(Sputter Etch)等干法刻蚀技术去除电镀金属层202下方的部分金属种子层112,形成图案化的金属种子层203,该蚀刻过程中,电镀金属层202起到自掩膜作用,暴露在电镀金属层202外的金属种子层112被蚀刻去除。图案化的金属种子层203将电镀金属层202与第一薄膜绝缘层201结合在一起,电镀金属层202在第一薄膜绝缘层201上的投影覆盖图案化的金属种子层203。
该实施例在去除第一光刻胶层113的过程中,不容易因过刻蚀和剥离不彻底对电镀金属层202造成损伤,使得电镀金属层202的形态得以完整保留,提升了电镀金属层202的密度和稳定性。
步骤S06:形成覆盖电镀金属层202以及第一薄膜绝缘层201的暴露表面的第二薄膜绝缘层204,如图8所示。第二薄膜绝缘层204的材料和第一薄膜绝缘层201的材料可以相同,优选也采用化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,CVD)工艺形成派瑞林膜。
进一步地,还包括步骤S07:去除第二光刻胶层111和衬底110,如图9所示。例如溶解去除第二光刻胶层111,并去除衬底110,之后进行水冲洗及烘烤的步骤来清洁电路板200的外侧表面。
其中,图9中示出的电路板200为连接电缆320部分的结构。需要说明的是,柔性电极300的引入端310和刺激端330也可以采用上述方法制造得到,在具体实施时需要进一步在相应的各薄膜绝缘层或金属层上形成开口或通孔。
具体地,电路板200包括第一薄膜绝缘层201、位于第一薄膜绝缘层201之上的图案化的金属种子层203、位于图案化的金属种子层203表面的电镀金属层202、以及覆盖电镀金属层202和第一薄膜绝缘层201的暴露表面的第二薄膜绝缘层204。
电镀金属层202在第一薄膜绝缘层201上的投影覆盖图案化的金属种子层203。进一步地,电镀金属层202的截面形状包括多个梯形,各梯形中靠近图案化的金属种子层203的底边长度小于远离图案化的金属种子层203的底边长度。进而在第二薄膜绝缘层204覆盖具有上述结构的电镀金属层202时,能将图案化的电镀金属层202包裹更为紧密,结合强度高,增强了电路板200的稳定性。需要说明的是,在采用不同类型的第一光刻胶113时,电镀金属层202的梯形的长边与短边方向可以与前述相反,同样能够实现本发明的技术效果。
本发明还提供包含上述电路板的上述电子设备,该电子设备优选为为植入式视网膜电刺激器或植入式视觉皮层电刺激器,该电路板200为柔性电极300。本发明能使得以上电刺激器实现更高集成度和更高稳定性,提高电刺激通道数量,进而让患者获得更高分辨率的视觉感知。
以上实施例并没有详尽叙述所有细节,也不限制该发明仅为所述的具体实施例。显然,根据以上描述,可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例,是为了更好地解释本发明的原理和实际应用,从而使所属技术领域技术人员能很好地利用本发明以及在本发明基础上的修改使用。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。
Claims (10)
1.一种电路板的制造方法,其特征在于,包括:
形成位于第一薄膜绝缘层表面的金属种子层;
形成位于所述金属种子层之上的图案化的第一光刻胶层;
采用电镀工艺在所述第一光刻胶层形成的空间内形成电镀金属层;
去除所述第一光刻胶层;以及
去除部分所述金属种子层,以形成图案化的金属种子层,
其中,所述电镀金属层的厚度大于所述金属种子层的厚度但不超过所述第一光刻胶层的厚度。
2.根据权利要求1所述的制造方法,其特征在于,形成位于第一薄膜绝缘层表面的金属种子层的步骤包括:
形成位于第一薄膜绝缘层表面的铂种子层、钛/铂叠层种子层、钛/金叠层种子层、铂/金叠层种子层、铬/铂叠层种子层、铬/金叠层种子层、铱种子层、铂/铱叠层种子层、铱/铂叠层种子层、或铂铱合金种子层。
3.根据权利要求1所述的制造方法,其特征在于,还包括:
形成覆盖所述第一薄膜绝缘层的暴露表面以及所述电镀金属层的第二薄膜绝缘层。
4.根据权利要求1所述的制造方法,其特征在于,采用化学刻蚀去除所述第一光刻胶层,采用干法刻蚀去除部分所述金属种子层。
5.一种电路板,其特征在于,包括:
第一薄膜绝缘层;
位于所述第一薄膜绝缘层之上的图案化的金属种子层;
位于所述图案化的金属种子层表面的电镀金属层,
其中,所述电镀金属层在所述第一薄膜绝缘层上的投影覆盖所述图案化的金属种子层。
6.根据权利要求5所述的电路板,其特征在于,所述电镀金属层的截面形状包括多个梯形,各所述梯形中靠近所述图案化的金属种子层的底边长度小于远离所述图案化的金属种子层的底边长度。
7.根据权利要求5所述的电路板,其特征在于,所述图案化的金属种子层包括铂种子层、钛/铂叠层种子层、钛/金叠层种子层、铂/金叠层种子层、铬/铂叠层种子层、铬/金叠层种子层、铱种子层、铂/铱叠层种子层、铱/铂叠层种子层、或铂铱合金种子层。
8.根据权利要求5所述的电路板,其特征在于,还包括:覆盖所述第一薄膜绝缘层的暴露表面以及所述电镀金属层的第二薄膜绝缘层。
9.一种电子设备,其特征在于,包括:采用如权利要求1至4任一项所述制造方法制备而成的电路板或如权利要求5至8任一项所述的电路板。
10.根据权利要求9所述的电子设备,其特征在于,所述电子设备为植入式视网膜电刺激器或植入式视觉皮层电刺激器,所述电路板为柔性电极。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202110230870.8A CN113038724A (zh) | 2021-03-02 | 2021-03-02 | 电路板的制造方法、电路板及电子设备 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202110230870.8A CN113038724A (zh) | 2021-03-02 | 2021-03-02 | 电路板的制造方法、电路板及电子设备 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN113038724A true CN113038724A (zh) | 2021-06-25 |
Family
ID=76465607
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202110230870.8A Pending CN113038724A (zh) | 2021-03-02 | 2021-03-02 | 电路板的制造方法、电路板及电子设备 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN113038724A (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117613001A (zh) * | 2023-11-30 | 2024-02-27 | 上海玻芯成微电子科技有限公司 | 一种芯片的制作方法及其芯片 |
Citations (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10173413A (ja) * | 1996-12-16 | 1998-06-26 | Murata Mfg Co Ltd | 結合線路および結合線路の作成方法 |
CN1716467A (zh) * | 2004-07-01 | 2006-01-04 | Tdk株式会社 | 薄膜线圈及其制造方法、线圈构造体及其制造方法 |
CN101006953A (zh) * | 2007-01-18 | 2007-08-01 | 上海交通大学 | 人造视网膜神经柔性阵列微电极芯片及其制造方法 |
CN101172184A (zh) * | 2007-10-10 | 2008-05-07 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 一种三维柔性神经微电极及制作方法 |
CN101204603A (zh) * | 2007-12-14 | 2008-06-25 | 西安交通大学 | 一种植入式mems生物电极及其制备工艺 |
CN102415222A (zh) * | 2009-04-24 | 2012-04-11 | 住友电气工业株式会社 | 用于印刷布线板的基板、印刷布线板及其制造方法 |
JP2015046575A (ja) * | 2013-08-01 | 2015-03-12 | 三菱瓦斯化学株式会社 | プリント配線板の製造方法 |
CN105169554A (zh) * | 2015-09-14 | 2015-12-23 | 上海交通大学 | 一种视觉假体柔性神经微电极焊盘的制备方法 |
CN105228519A (zh) * | 2013-05-21 | 2016-01-06 | 国立研究开发法人科学技术振兴机构 | 多点探针及构成其的电子接点片、多点探针阵列以及多点探针的制造方法 |
CN105578738A (zh) * | 2015-12-21 | 2016-05-11 | 上海交通大学 | 基于弹性衬底的可拉伸电路板的制备方法及可拉伸电路板 |
CN105997058A (zh) * | 2016-05-28 | 2016-10-12 | 惠州市力道电子材料有限公司 | 一种聚合物柔性叉指电极及其加工方法 |
CN107041078A (zh) * | 2017-05-27 | 2017-08-11 | 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 | 高密度柔性基板的制造方法 |
TW201804879A (zh) * | 2016-07-19 | 2018-02-01 | 欣興電子股份有限公司 | 線路載板及其製作方法 |
CN108990298A (zh) * | 2018-07-26 | 2018-12-11 | 深圳崇达多层线路板有限公司 | 一种以镍为种子层及抗蚀层制作精细线路的方法 |
CN111584436A (zh) * | 2020-05-27 | 2020-08-25 | 上海天马微电子有限公司 | 覆晶薄膜及其制造方法 |
-
2021
- 2021-03-02 CN CN202110230870.8A patent/CN113038724A/zh active Pending
Patent Citations (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10173413A (ja) * | 1996-12-16 | 1998-06-26 | Murata Mfg Co Ltd | 結合線路および結合線路の作成方法 |
CN1716467A (zh) * | 2004-07-01 | 2006-01-04 | Tdk株式会社 | 薄膜线圈及其制造方法、线圈构造体及其制造方法 |
CN101006953A (zh) * | 2007-01-18 | 2007-08-01 | 上海交通大学 | 人造视网膜神经柔性阵列微电极芯片及其制造方法 |
CN101172184A (zh) * | 2007-10-10 | 2008-05-07 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 一种三维柔性神经微电极及制作方法 |
CN101204603A (zh) * | 2007-12-14 | 2008-06-25 | 西安交通大学 | 一种植入式mems生物电极及其制备工艺 |
CN102415222A (zh) * | 2009-04-24 | 2012-04-11 | 住友电气工业株式会社 | 用于印刷布线板的基板、印刷布线板及其制造方法 |
CN105228519A (zh) * | 2013-05-21 | 2016-01-06 | 国立研究开发法人科学技术振兴机构 | 多点探针及构成其的电子接点片、多点探针阵列以及多点探针的制造方法 |
JP2015046575A (ja) * | 2013-08-01 | 2015-03-12 | 三菱瓦斯化学株式会社 | プリント配線板の製造方法 |
CN105169554A (zh) * | 2015-09-14 | 2015-12-23 | 上海交通大学 | 一种视觉假体柔性神经微电极焊盘的制备方法 |
CN105578738A (zh) * | 2015-12-21 | 2016-05-11 | 上海交通大学 | 基于弹性衬底的可拉伸电路板的制备方法及可拉伸电路板 |
CN105997058A (zh) * | 2016-05-28 | 2016-10-12 | 惠州市力道电子材料有限公司 | 一种聚合物柔性叉指电极及其加工方法 |
TW201804879A (zh) * | 2016-07-19 | 2018-02-01 | 欣興電子股份有限公司 | 線路載板及其製作方法 |
CN107041078A (zh) * | 2017-05-27 | 2017-08-11 | 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 | 高密度柔性基板的制造方法 |
CN108990298A (zh) * | 2018-07-26 | 2018-12-11 | 深圳崇达多层线路板有限公司 | 一种以镍为种子层及抗蚀层制作精细线路的方法 |
CN111584436A (zh) * | 2020-05-27 | 2020-08-25 | 上海天马微电子有限公司 | 覆晶薄膜及其制造方法 |
Non-Patent Citations (3)
Title |
---|
化工百科全书编组: "《化工百科全书 第3卷》", 31 March 1993, 北京:化学工业出版社 * |
李长青: "《功能材料》", 30 June 2014, 哈尔滨:哈尔滨工业大学出版社 * |
石庚辰: "《微机电系统技术基础》", 31 August 2006, 北京:中国电力出版社 * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN117613001A (zh) * | 2023-11-30 | 2024-02-27 | 上海玻芯成微电子科技有限公司 | 一种芯片的制作方法及其芯片 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN208492977U (zh) | 多层结构柔性人工听觉神经刺激电极 | |
EP0888701B1 (en) | Thin film fabrication technique for implantable electrodes | |
EP1949437B2 (en) | Implantable microelectronic device and method of manufacture | |
US10478617B2 (en) | Thin-film electrode assembly with soft overmold | |
EP3551277B1 (en) | Implantable electrode and method for manufacturing | |
JPH06318672A (ja) | 薄膜コンデンサの形成方法、薄膜コンデンサの製造方法、薄膜バイパスコンデンサの製造方法および薄膜コンデンサ | |
WO2024046185A1 (zh) | 植入式探针装置及其制备方法、电极装置、电子设备 | |
US8471155B2 (en) | Metal plugged substrates with no adhesive between metal and polyimide | |
CN113038724A (zh) | 电路板的制造方法、电路板及电子设备 | |
CN115381458A (zh) | 脑部电极装置及其制备方法、电极装置、电子设备 | |
JP4221357B2 (ja) | 電極構造体、その製造方法および使用 | |
US10617011B2 (en) | Micro-fabricated group electroplating technique | |
KR101362750B1 (ko) | 박막 신경전극, 이의 제조방법 및 이를 이용한 인쇄회로기판 연결방법 | |
EP4149218A1 (en) | Connection method for chip and circuit board, and circuit board assembly and electronic device | |
CN112604153B (zh) | 电极、电路板及电子设备 | |
TW201515543A (zh) | 配線基板之製造方法 | |
JP2009254892A (ja) | 埋植型電極のための薄膜製作技術 | |
JP2005509251A (ja) | 薄肉の可撓性導電体 | |
CN117919595A (zh) | 一种可检测温度的微针及其制作方法 | |
US20090234425A1 (en) | Method for producing implant structures for contacting or electrostimulation of living tissue cells or nerves | |
CN112604153A (zh) | 电极、电路板及电子设备 | |
JPH0260006A (ja) | 導電性シートの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20210625 |