CN113030916A - 一种用于激光雷达扫描的反射镜 - Google Patents
一种用于激光雷达扫描的反射镜 Download PDFInfo
- Publication number
- CN113030916A CN113030916A CN202110284643.3A CN202110284643A CN113030916A CN 113030916 A CN113030916 A CN 113030916A CN 202110284643 A CN202110284643 A CN 202110284643A CN 113030916 A CN113030916 A CN 113030916A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- sic
- reflector
- mirror
- composite material
- lidar scanning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims abstract description 25
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 23
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000013461 design Methods 0.000 claims description 9
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 8
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 6
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 6
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 230000010354 integration Effects 0.000 claims description 3
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 2
- 238000007723 die pressing method Methods 0.000 claims description 2
- 238000005495 investment casting Methods 0.000 claims description 2
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 claims description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 4
- 239000013590 bulk material Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 3
- RKTYLMNFRDHKIL-UHFFFAOYSA-N copper;5,10,15,20-tetraphenylporphyrin-22,24-diide Chemical group [Cu+2].C1=CC(C(=C2C=CC([N-]2)=C(C=2C=CC=CC=2)C=2C=CC(N=2)=C(C=2C=CC=CC=2)C2=CC=C3[N-]2)C=2C=CC=CC=2)=NC1=C3C1=CC=CC=C1 RKTYLMNFRDHKIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011156 metal matrix composite Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000002146 bilateral effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/481—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
- G01S7/4814—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements of transmitters alone
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/483—Details of pulse systems
- G01S7/484—Transmitters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/491—Details of non-pulse systems
- G01S7/4911—Transmitters
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
Abstract
本发明公开一种用于激光雷达扫描的反射镜，反射镜镜体的材料是一种具有高稳定性、高比刚度和高导热率的新型轻质材料，该新型轻质材料包括SiC或SiC掺杂复合材料。相比传统的玻璃、金属、陶瓷和其他复合材料等所加工成的反射镜，本发明具有热稳定性高、比刚度高、导热性高、轻量化程度高、可靠性高等显著优点。此外，本发明的反射镜易于成型复杂结构和一体化结构，可实现商业化、批量化、低成本生产，满足市场上对激光雷达扫描反射镜日益增长的巨量需求。
Description
技术领域
本发明涉及激光和激光雷达领域，尤其涉及一种用于激光雷达扫描的反射镜。
背景技术
激光雷达，其工作原理是利用激光进行探测和测距技术，车载激光雷达通常被安装于汽车顶部，可360度监测，在激光雷达内部，每一组组件都包含有发射单元与接收单元。近年来，随着自动驾驶关键技术实现突破，激光雷达正被广泛应用于自动驾驶汽车行业，作为自动驾驶车辆探测感知所处环境的“眼睛”，激光雷达需要具备在极端气候条件下长时间工作的高稳定性和高可靠性。
光机扫描是当前激光雷达发射单元所采用的最主要的扫描方式，典型的激光雷达光机扫描方式有振镜扫描、转镜扫描和楔镜扫描，即利用扫描反射镜的摆动或转动，不断地周期改变激光的出射方向，达到激光雷达扫描的目的。反射镜是用于激光雷达光机扫描系统中的关键光学元件，在激光雷达工作时，反射镜需要在电机的带动下长时间持续不断地摆动或旋转。为了满足激光雷达扫描系统在极端苛刻的环境下保持长时间工作的高稳定性和高可靠性，需要扫描反射镜材料具有化学性能稳定、机械强度高、受热变形小、重量轻等特点。
目前，激光雷达行业常用的反射镜材料有石英玻璃、微晶玻璃、硅、金属铝等。这些材料加工成的反射镜虽能满足性能要求，但它们装配成的光机扫描系统却难以适应在极端苛刻环境下长期运行的高稳定性和高可靠性。因此，寻找并采用具有化学性能稳定、比刚度高、导热率高、易加工或成型为所需轻量化结构的新型轻质材料，成为了制造激光雷达扫描反射镜的关键。
发明内容
针对现有技术的情况，本发明的目的在于提供一种用于激光雷达扫描的反射镜，其具有高稳定性、高比刚度和高导热率。
为实现上述目的，本发明采用以下技术方案：
一种用于激光雷达扫描的反射镜，所述反射镜镜体的材料为一种具有高稳定性、高比刚度和高导热率的新型轻质材料，该新型轻质材料包括SiC或SiC掺杂复合材料。
进一步的，所述SiC包括SiC单晶、SiC多晶或SiC陶瓷。
进一步的，所述SiC掺杂复合材料包括SiC掺杂单晶、SiC掺杂多晶或SiC掺杂陶瓷等。
进一步的，所述SiC掺杂复合材料的掺杂成分包括Si/SiC、Si/SiC+Al、Si/SiC+Ti、B4C/SiC/Si或BN/SiC等。
进一步的，所述SiC掺杂复合材料还包括Al/SiC等等金属基复合材料。
进一步的，所述反射镜的镜体是一个整体的结构，通过机加工、模压或反应烧结等方式成型实现结构一体化。
进一步的，所述反射镜的镜体通过设计不同结构的模具模压成型时，将SiC粉末或SiC掺杂复合材料粉末注入模具，实现不同轻量化复杂设计结构的一体化高精度铸造；所述反射镜的镜体通过机加工成型时，通过切割、CNC雕刻、研磨或抛光等工艺对SiC或SiC掺杂复合材料的块体进行加工，实现不同轻量化复杂设计结构的一体化高精度制造。
进一步的，所述反射镜可具有一个、两个或三个以上的反射面，反射面经过高精度研磨抛光并镀有高反膜，实现对工作波长的高反射率。
进一步的，所述反射镜的工作波长范围包括800nm-1600nm。
进一步的，所述反射镜安装在激光雷达扫描振动或转动机构上，实现对激光发射信号的反射扫描。
本发明与现有技术相比，其具有的有益效果为：
第一，相比传统的玻璃、金属、陶瓷和其他复合材料等所加工成的反射镜，本发明所使用的新型轻质材料如SiC材料或SiC掺杂复合材料，具有热稳定性高、比刚度高、导热性高、可靠性高等显著优点;
第二，该反射镜可通过对新型轻质材料如SiC材料或SiC掺杂复合材料的块体材料进行机加工，或对其粉末材料注入模具进行模压或反应烧结成型等方式，可实现具有轻量化、一体化复杂设计结构镜体的高精度制造，这不仅可以大大节省反射镜与光机扫描机构的装调时间，还可实现商业化、批量化、低成本生产，满足市场上对激光雷达扫描反射镜日益增长的巨量需求。此外，本发明的轻量化、一体化结构能够更好的承受恶劣环境下长时间的高可靠性使用，比如户外车载或者其他设备等。
附图说明
以下结合附图和具体实施方式对本发明做进一步详细说明；
图1a为本发明实施例1中四边形单面反射镜3D示意图；
图1b为本发明实施例1中带有鱼骨状突起加强结构单面反射镜3D示意图；
图1c为本发明实施例1中带有鱼骨状突起加强结构单面反射镜3D示意图（另一视角）；
图2 a为本发明实施例2中双面反射镜3D结构示意图；
图2 b为本发明实施例2中带有凸起转轴的双面反射镜3D示意图；
图3为本发明实施例3中的四面反射镜3D示意图；
图4为本发明的典型六面反射镜3D示意图；
图5 a为本发明带有转轴的实心六面反射镜3D示意图；
图5 b为本发明带有转轴且反射面带有倾角的实心六面反射镜3D示意图；
图5 c为本发明反射面带有倾角的空心六面反射镜3D示意图。
具体实施方式
本发明一种用于激光雷达扫描的反射镜，所述反射镜镜体的材料为SiC或SiC掺杂复合材料。
所述SiC包括SiC单晶、SiC多晶或SiC陶瓷。
所述SiC掺杂复合材料包括SiC掺杂单晶、SiC掺杂多晶或SiC掺杂陶瓷等。进一步的，所述SiC掺杂复合材料的掺杂成分包括Si/SiC、Si/SiC+Al、Si/SiC+Ti、B4C/SiC/Si或BN/SiC等。
此外，所述SiC掺杂复合材料还包括Al/SiC等等金属基复合材料。
实施例1：
本发明实施例1的单面反射镜结构示意图如图1 a 和图1b所示：
该反射镜的镜体由SiC材料或SiC掺杂复合材料的块体材料通过机加工而成，或者由SiC材料或SiC掺杂复合材料的粉末注入模具进行模压或反应烧结成型，只有一个反射面，反射面经过研磨抛光后镀有高反膜。
图1a是较为常见的四边形单面反射镜结构，反射面的背部无需进行抛光等额外加工，反射镜的厚度可以从几十微米到几毫米不等，反射镜也可根据设计需要被加工成多边形结构。
图1b) 为反射面的背部加工或成型有鱼骨状的突起加强结构，通过优化结构设计可实现反射镜厚度薄且反射面的面形随温度变化小，反射镜的重量很轻，完全是一种轻量化设计。该反射镜底部留出了台阶状的安装固定面，可用于反射镜的高精度定位和安装。
实施例2：
本发明实施例2的双面结构示意图如图2 a和图2 b所示：
该反射镜的镜体由SiC材料或SiC掺杂复合材料的块体材料通过机加工而成，或者由SiC材料或SiC掺杂复合材料的粉末注入模具进行模压或反应烧结成型，具有两个反射面，反射面经过研磨抛光后镀有高反膜。
本实施例图2 a) 所示反射镜的两个反射面之间根据设计要求成一小楔角，也可以是两个无楔角的平行面，反射镜的底部同样留有安装台阶面，用于反射镜的高精度定位和安装。
相比图2 a)，图2 b) 所示反射镜底部则有一体化成形凸起的转轴，转轴中心线和反射镜左右对称的中心轴线相重合，反射镜可以通过凸起的转轴卡位固定在电机的机械转轴凹型接口上，安装简便。由于反射面镜体没有与其他不同热膨胀系数（CTE）材料的固定装置直接接触，其面形精度受温度影响很小。
实施例3：
本发明实施例3的四面反射镜结构示意图如图3所示：
该反射镜的镜体由SiC复合材料粉末反应烧结成型，镜体的外形是四方体，中心是圆柱形空心结构，四方体的四个侧面是反射面1、2、3、4，反射面经过研磨抛光后镀有高反膜，四方体的两个底面分别开有四个小孔，用于反射镜的高精度定位和安装。
类似于实施例3中的空心四方体结构，该反射镜的外形还可以设计成空心的N（N≥3，N为整数）方体结构，具有N个反射面。图4给出了典型的空心六方体反射镜示意图。
此外，上述N（N≥3，N为整数，典型值为4、6、8、12等）方体结构还可以包括但不限于如下结构：
N方体是实心结构，中间有凸出的转轴；如图5 a) 所示，是一个典型的六方体结构，具有六个反射面，中间有凸起的转轴。
N个反射面可根据设计成一定的倾斜角度；如图5 b) 所示，是一个典型的六方体且六个反射面成一定倾斜角度，中间为实心且有凸起的转轴；如图5c) 所示，是一个典型的空心六方体且六个反射面成一定倾斜角度。
上面结合附图对本发明的实施加以描述，但是本发明不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式是示意性而不是加以局限本发明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本发明的权利要求和说明书的范围当中。
Claims (10)
1.一种用于激光雷达扫描的反射镜，其特征在于：所述反射镜镜体的材料为一种具有高稳定性、高比刚度和高导热率的新型轻质材料，该新型轻质材料包括SiC或SiC掺杂复合材料。
2.根据权利要求1所述的一种用于激光雷达扫描的反射镜，其特征在于：所述SiC包括SiC单晶、SiC多晶或SiC陶瓷。
3.根据权利要求1所述的一种用于激光雷达扫描的反射镜，其特征在于：所述SiC掺杂复合材料包括SiC掺杂单晶、SiC掺杂多晶或SiC掺杂陶瓷。
4.根据权利要求1所述的一种用于激光雷达扫描的反射镜，其特征在于：所述SiC掺杂复合材料的掺杂成分包括Si/SiC、Si/SiC+Al、Si/SiC+Ti、B4C/SiC/Si或BN/SiC。
5.根据权利要求1所述的一种用于激光雷达扫描的反射镜，其特征在于：所述SiC掺杂复合材料还包括Al/SiC。
6.根据权利要求1所述的一种用于激光雷达扫描的反射镜，其特征在于：所述反射镜的镜体是一个整体的结构，通过机加工、模压或反应烧结成型实现结构一体化。
7.根据权利要求6所述的一种用于激光雷达扫描的反射镜，其特征在于：所述反射镜的镜体通过设计不同结构的模具模压成型时，将SiC粉末或SiC掺杂复合材料粉末注入模具，实现不同轻量化复杂设计结构的一体化高精度铸造；所述反射镜的镜体通过机加工成型时，通过切割、CNC雕刻、研磨或抛光对SiC或SiC掺杂复合材料的块体进行加工，实现不同轻量化复杂设计结构的一体化高精度制造。
8.根据权利要求1所述的一种用于激光雷达扫描的反射镜，其特征在于：所述反射镜可具有一个、两个或三个以上的反射面，反射面经过高精度研磨抛光并镀有高反膜，实现对工作波长的高反射率。
9.根据权利要求1所述的一种用于激光雷达扫描的反射镜，其特征在于：所述反射镜的工作波长范围包括800nm-1600nm。
10.根据权利要求1所述的一种用于激光雷达扫描的反射镜，其特征在于：所述反射镜安装在激光雷达扫描振动或转动机构上，实现对激光发射信号的反射扫描。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202110284643.3A CN113030916A (zh) | 2021-03-17 | 2021-03-17 | 一种用于激光雷达扫描的反射镜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202110284643.3A CN113030916A (zh) | 2021-03-17 | 2021-03-17 | 一种用于激光雷达扫描的反射镜 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN113030916A true CN113030916A (zh) | 2021-06-25 |
Family
ID=76470905
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202110284643.3A Pending CN113030916A (zh) | 2021-03-17 | 2021-03-17 | 一种用于激光雷达扫描的反射镜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN113030916A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115128718A (zh) * | 2022-07-29 | 2022-09-30 | 洛阳瑄宇光电科技有限公司 | 一种非改性高精度轻质反射镜及其加工方法 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20010033936A1 (en) * | 1997-07-02 | 2001-10-25 | Kichiya Tanino | Sic composite and method of production thereof |
| CN1364746A (zh) * | 2001-04-28 | 2002-08-21 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 碳化硅反射镜坯体成型工艺方法及胀缩模具 |
| JP2005134680A (ja) * | 2003-10-31 | 2005-05-26 | Mitsubishi Electric Corp | 反射ミラー、導光光学系システム、レーザ加工機、および反射ミラーの製造方法 |
| CN101315435A (zh) * | 2007-06-01 | 2008-12-03 | 哈尔滨工业大学 | 可见光波段内碳化硅反射镜的高反膜及其制备方法 |
| CN107500774A (zh) * | 2017-09-05 | 2017-12-22 | 西安明科微电子材料有限公司 | 一种铝碳化硅材质反射镜制备方法 |
| CN108318952A (zh) * | 2017-09-04 | 2018-07-24 | 哈尔滨工业大学 | 基于3D打印和金刚石切削加工的SiC光学反射镜的制造工艺 |
-
2021
- 2021-03-17 CN CN202110284643.3A patent/CN113030916A/zh active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20010033936A1 (en) * | 1997-07-02 | 2001-10-25 | Kichiya Tanino | Sic composite and method of production thereof |
| CN1364746A (zh) * | 2001-04-28 | 2002-08-21 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 碳化硅反射镜坯体成型工艺方法及胀缩模具 |
| JP2005134680A (ja) * | 2003-10-31 | 2005-05-26 | Mitsubishi Electric Corp | 反射ミラー、導光光学系システム、レーザ加工機、および反射ミラーの製造方法 |
| CN101315435A (zh) * | 2007-06-01 | 2008-12-03 | 哈尔滨工业大学 | 可见光波段内碳化硅反射镜的高反膜及其制备方法 |
| CN108318952A (zh) * | 2017-09-04 | 2018-07-24 | 哈尔滨工业大学 | 基于3D打印和金刚石切削加工的SiC光学反射镜的制造工艺 |
| CN107500774A (zh) * | 2017-09-05 | 2017-12-22 | 西安明科微电子材料有限公司 | 一种铝碳化硅材质反射镜制备方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115128718A (zh) * | 2022-07-29 | 2022-09-30 | 洛阳瑄宇光电科技有限公司 | 一种非改性高精度轻质反射镜及其加工方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6176588B1 (en) | Low cost light weight mirror blank | |
| CN108318952B (zh) | 基于3D打印和金刚石切削加工的SiC光学反射镜的制造工艺 | |
| CN113030916A (zh) | 一种用于激光雷达扫描的反射镜 | |
| US8646290B2 (en) | Method of manufacturing a glass optical element | |
| US7080915B2 (en) | Mirror substrate, mirror body using the same, and optical device using mirror body | |
| US5563743A (en) | Base body of a reflecting mirror and method for the preparation thereof | |
| KR102273981B1 (ko) | 갈바노 미러, 갈바노 미러를 이용한 갈바노 스캐너, 갈바노 미러를 이용한 레이저 가공기 및 갈바노 미러의 제조 방법 | |
| US20170050890A1 (en) | Advanced Mirrors Utilizing Polymer-Derived-Ceramic Mirror Substrates | |
| JP4099135B2 (ja) | 反射ミラーの製造方法 | |
| US3873191A (en) | Uniform optical surfaces and elements | |
| JP2006276429A (ja) | 軽量化反射鏡 | |
| US4826271A (en) | Rotational polygon mirror and method of manufacturing the same | |
| US5907430A (en) | Filled plastic mirrors and low-cost infrared optics system | |
| CN113885114A (zh) | 一种轻量化反射镜镜坯及其制备方法 | |
| US4842354A (en) | Rotary polygonal mirror and method of making the same | |
| CN106019529A (zh) | 一种空间铝基反射镜组件 | |
| JP2009276378A (ja) | 軽量化ミラー及びその製造方法 | |
| CN216595588U (zh) | 一种激光雷达多面旋转棱镜 | |
| CN211348826U (zh) | 一种高稳定性次镜支撑结构 | |
| WO2017083707A1 (en) | Advanced mirrors utilizing polymer-derived mirror substrates | |
| US20120013031A1 (en) | Mould Comprising Two Internal Corner-Cubes and Component Comprising Cuboid Elements Forming Two Internal Corner-Cubes | |
| JP3575927B2 (ja) | 熱可塑性樹脂製光反射部材の成形方法及び熱可塑性樹脂製光反射部品の作製方法 | |
| JP4024596B2 (ja) | 光学機器用反射鏡およびその製造方法 | |
| Catanzaro et al. | UltraLITE glass/composite hybrid mirror | |
| CN116360022A (zh) | 一种激光雷达多面旋转棱镜 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination |