CN112987412A - 光照射装置及光照射方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种光照射装置及光照射方法，其为对工件进行加热而照射光的光照射装置及光照射方法，不需要作为准备阶段的长时间的实验，且能够适当地抑制稼动率的降低、生产节拍时间的长时间化。光照射装置具备：具备：第一工作台，能够将从第一待机位置朝向照射区域的移动作为去路移动而进行往返移动；第二工作台，能够将从第二待机位置朝向照射区域的移动作为去路移动而进行往返移动；控制部，分别控制第一工作台和第二工作台的移动，以使第一工件和第二工件交替通过照射区域；以及加热部，分别设置于第一工作台以及第二工作台，能够对所载置的工件进行加热。在一方的工作台进行往返移动的期间，载置于另一个工作台的工件被加热部加热。

Description

光照射装置及光照射方法

技术领域

本发明涉及光照射装置及光照射方法，尤其涉及对工件台上的工件进行加热而照射光的光照射装置及光照射方法。

背景技术

以往，关于以液晶面板为首的液晶显示元件的取向膜、视场角补偿膜的取向层等取向处理，采用照射规定波长的偏振光进行取向的被称为光取向的技术。

在这样的光取向技术中，近年来，提出了并用偏振光照射和加热的方法。

例如在专利文献1中公开了一种偏振光照射装置，其具备对载置于工作台面上的基板进行加热的加热机构。该技术是在基板的表面温度不稳定的状态和基板的表面温度稳定的状态下改变搬送台的移动速度的技术。具体而言，使回路中的搬送台的移动速度比去路中的搬送台的移动速度慢。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2019-101226号公报。

发明内容

发明所要解决的课题

在上述专利文献1所记载的技术中，在基板的表面温度不稳定的状态下，很难确定什么样的工作台的移动速度是适当的。这是因为，偏振光照射后的基板的状态是好是坏，其原因是基于基板的表面温度还是基于工作台的移动速度很难区分。为了明确该区分，需要在各种温度条件下反复进行使工作台的移动速度变化的实验，在求出最佳的工作台移动速度之前需要很多的时间。

使基板的表面温度上升到预先设定的期望的温度，在该温度下稳定后进行偏振光照射，这样容易求出最佳的工作台移动速度。然而，在该情况下，需要等待偏振光的照射，直到基板的温度在期望的温度下稳定为止。即，需要设置规定的待机时间，装置的稼动率降低。

因此，本发明的课题在于提供一种光照射装置及光照射方法，其为对工件进行加热而照射光的光照射装置及光照射方法，不需要作为准备阶段的长时间的实验，且能够适当地抑制稼动率的降低、生产节拍时间的长时间化。

用于解决课题的手段

为了解决上述课题，本发明所涉及的光照射装置的一个方式是对通过预先设定的照射区域的工件照射光的光照射装置，其特征在于，具备：第一工作台，载置第一工件，在通过上述照射区域的输送轴上，能够将从设定于上述照射区域的一侧的第一待机位置朝向上述照射区域的移动作为去路移动而进行往返移动；第二工作台，载置第二工件，在通过上述照射区域的输送轴上，能够将从设定于上述照射区域的另一侧的第二待机位置朝向上述照射区域的移动作为去路移动而进行往返移动；控制部，分别控制上述第一工作台和上述第二工作台的移动，以使上述第一工件和上述第二工件交替通过上述照射区域；以及加热部，分别设置于上述第一工作台以及上述第二工作台，能够对所载置的工件进行加热，在上述第一工作台以及上述第二工作台中载置有工件的一方的工作台进行往返移动的期间，载置于另一个工作台的工件被上述加热部加热。

这样，采用具备载置有工件的2个工作台并对各工件交替地照射光的所谓的双工作台方式。由此，在向一个工作台的光照射中，能够进行另一个工作台的工件更换作业等。因此，与工作台仅为1个的情况相比，能够削减生产节拍时间，提高稼动率。

另外，在向载置于一个工作台的工件照射光的过程中，能够利用加热部对载置在另一个工作台上的工件进行加热。因此，在对一个工件的光照射结束后，能够不等待另一个工件的升温而对该另一个工件进行光照射。这样，能够削减因工件的加热而引起的等待时间，因此与工作台仅为1个的情况相比，能够抑制稼动率的降低以及生产节拍时间的长时间化。进而，由于能够对加热后的工件进行光照射，因此能够容易地决定工作台的最佳的移动速度。因此，不需要作为准备阶段的长时间的实验。

另外，在上述的光照射装置中，优选的是，上述第一工作台以及上述第二工作台中进行去路移动的工作台到达上述照射区域之前，载置于该工作台的工件的温度达到预先设定的期望的温度。

在该情况下，能够在工件的温度稳定的状态下使工作台进入照射区域，因此能够进行适当的光照射处理。

此外，在上述的光照射装置中，也可以是，上述控制部进行如下控制，使上述第一工作台以及上述第二工作台中进行去路移动的工作台从待机位置朝向上述照射区域的去路的移动速度，比进行上述去路移动的工作台从上述照射区域朝向上述待机位置的回路的移动速度慢。

在该情况下，在工作台进入照射区域之前的期间，能够确保工件的温度上升至期望的温度的时间。因此，能够在工件的温度稳定的状态下使工作台进入照射区域。

另外，也可以是，上述光照射装置还包括温度传感器，该温度传感器检测上述第一工件以及上述第二工件的温度，上述控制部进行如下控制，在上述第一工作台以及上述第二工作台中的进行去路移动的工作台从待机位置朝向上述照射区域的去路中，在由上述温度传感器检测出的进行上述去路移动的工作台上的工件的温度没在预先设定的期望的温度下稳定的情况下，使上述进行去路移动的工作台的移动速度比上述工件的温度在上述期望的温度下稳定的情况慢。

这样，根据工作台上的工件的温度，控制从待机位置朝向照射区域的去路的工作台移动速度，因此能够在工件的温度可靠地稳定的状态下使工作台进入照射区域。

另外，也可以是，上述光照射装置还包括温度传感器，该温度传感器检测上述第一工件和上述第二工件的温度，上述控制部进行如下控制，在上述第一工作台以及上述第二工作台中的进行去路移动的工作台从待机位置朝向上述照射区域的去路中，使进行上述去路移动的工作台在到达上述照射区域之前的规定位置停止，直至由上述温度传感器检测出的进行上述去路移动的工作台上的工件的温度在预先设定的期望的温度下稳定。

这样，能够检测工作台上的工件的温度，使进行去路移动的工作台不进入照射区域，直到工件的温度稳定为止。因此，能够可靠地使工作台在工件的温度稳定的状态下进入照射区域。

另外，在上述的光照射装置中，也可以是，上述控制部进行如下控制，在上述第一工作台以及上述第二工作台中的一方工作台开始进行回路移动的时刻，允许另一方工作台开始去路移动。

在该情况下，例如能够在一个工作台的回路移动之后，开始另一个工作台的去路移动。因此，能够在一个工作台的光照射处理之后进行另一个工作台的光照射处理，能够实现生产节拍进一步缩短。另外，由于能够避免2个工作台一起进行去路移动的状况，因此能够可靠地防止工作台彼此的干涉。

此外，在上述的光照射装置中，也可以是，使上述控制部进行如下控制，使上述第一工作台以及上述第二工作台在上述照射区域内以相同的移动速度在去路移动和回路移动中移动，相对于上述第一工件及上述第二工件，在去路移动和回路移动双方照射上述光。

这样，由于在去路移动和回路移动双方照射光，所以能够不浪费能量地进行光照射处理。另外，在去路和回路中，不需要改变照射区域内的工作台移动速度，因此工作台的速度控制容易。

另外，在上述的光照射装置中，上述光也可以是偏振光。这样，也能够应用于对工件照射偏振光并进行光取向处理的偏振光照射装置。

进而，在上述的光照射装置中，上述偏振光也可以是以波长365nm为主要成分的偏振光。在该情况下，能够进行使用通过加热而反应性提高的光取向膜的光取向处理。

另外，本发明的光照射方法的一个方式是对通过预先设定的照射区域的工件照射光的光照射方法，其特征在于，以第一工件和第二工件交替地通过上述照射区域的方式单独地控制第一工作台和第二工作台时，在上述第一工作台以及上述第二工作台中载置有工件的一方工作台进行往返移动的期间，利用设置于该另一方工作台的加热部对载置于该另一方工作台的工件进行加热，其中，上述第一工作台为，载置上述第一工件，在通过上述照射区域的输送轴上，能够将从设定于上述照射区域的一侧的第一待机位置朝向上述照射区域的移动作为去路移动而进行往返移动；上述第二工作台为，载置上述第二工件，在通过上述照射区域的输送轴上，能够将从设定于上述照射区域的另一侧的第二待机位置朝向上述照射区域的移动作为去路移动而进行往返移动。

这样，采用具备载置有工件的2个工作台并对各工件交替地照射光的所谓的双工作台方式。由此，在向一个工作台的光照射中，能够进行另一个工作台的工件更换作业等。因此，与工作台仅为1个的情况相比，能够削减生产节拍时间，提高生产性。

另外，在向载置于一个工作台的工件照射光的过程中，能够利用加热部对载置在另一个工作台上的工件进行加热。因此，在对一个工件的光照射结束后，能够不等待另一个工件的升温而对该另一个工件进行光照射。这样，能够削减因工件的加热而带来的等待时间，因此与工作台仅为1个的情况相比，能够抑制稼动率的降低以及生产节拍时间的长时间化。进而，由于能够对加热后的工件进行光照射，因此能够容易地决定工作台的最佳移动速度。因此，不需要作为准备阶段的长时间的实验。

发明效果：

根据本发明，在双工作台方式中，在对一个工作台上的工件进行光照射处理的期间，对另一个工作台上的工件进行加热，因此能够适当地抑制稼动率的降低、生产节拍时间的长时间化。另外，由于能够使工件上升到设定的温度后进行光照射处理，因此工作台移动速度的设定容易，不需要作为准备阶段的长时间的实验。

附图说明

图1是表示本实施方式的偏振光照射装置的概略结构图。

图2是偏振光照射装置的示意性的剖视图。

图3是表示工作台速度控制处理步骤的流程图。。

符号说明

10A、10B…光照射部、11…放电灯、12…反射镜、13…偏振片、14…灯罩、15…照射区域、20…搬送部、21A…第一工作台、21B…第二工作台、22A…引导件、22B…磁铁板、23A、23B…线圈模块、24A、24B…θ移动机构、26A、26B…盒加热器、27A、27B…温度传感器，30…控制部，100…偏振光照射装置

具体实施方式

以下，基于附图对本发明的实施方式进行说明。

(第一实施方式)

在本实施方式中，对一边加热工件一边照射偏振光来进行处理的偏振光照射装置进行说明。另外，在本实施方式中，以偏振光照射装置为例进行说明，但只要是一边加热工件一边照射光来进行处理的装置，则也能够应用于不使用偏振光的光照射装置。

图1及图2是表示本实施方式的偏振光照射装置100的概略结构图。图1是从斜上方观察偏振光照射装置100整体的立体图，图2是从侧面观察偏振光照射装置100的示意性剖视图。

偏振光照射装置100具备光照射部10A及10B和输送工件W的输送部20。在此，工件W是形成有光取向膜的、例如被整形为液晶面板的大小的矩形状的基板。

偏振光照射装置100一边从光照射部10A及10B照射规定波长的偏振光(偏振光)，一边利用输送部20使工件W直线移动，对工件W的光取向膜照射上述偏振光而进行光取向处理。

光照射部10A及10B分别具备作为线状光源的灯11和反射灯11的光的反射镜12。另外，光照射部10A及10B分别具备配置在其光射出侧的偏振片13。而且，光出射部10A及10B分别具备收容灯11、反射镜12及偏振片13的灯罩14。

光照射部10A以及光照射部10B在使灯11的长边方向与工件W的输送方向(X方向)正交的方向(Y方向)一致的状态下，沿着工件W的输送方向(X方向)并列设置。

以下，对光照射部10A以及10B的具体结构进行说明。

灯11是长条状的灯，其发光部具有与工件W的输送方向正交的方向的宽度对应的长度。该灯11例如是高压水银灯、在水银中加入了其他金属的金属卤化物灯等，放射波长为200nm～400nm的紫外光。

作为光取向膜的材料，已知有被波长254nm的光取向的材料、被波长313nm的光取向的材料、被波长365nm的光取向的材料等。在本实施方式中，作为通过加热而使反应性提高的光取向膜，使用被波长365nm的光取向的光取向膜。另外，光取向膜只要是以波长365nm为主波长的光进行取向的膜即可。另外，在本实施方式中使用的光取向膜只要是通过加热使反应性提高的光取向膜即可，光的波长并不限定于上述。

光源的种类可以根据需要的波长适当选择。例如，作为光源，也可以使用将放射紫外光的LED、LD排列成直线状而配置的线状光源。在该情况下，排列LED、LD的方向相当于灯的长度方向。

反射镜12将来自灯11的放射光向规定的方向反射，其截面为椭圆形或抛物线状的雨槽状聚光镜。反射镜12以其长度方向与灯11的长度方向一致的方式配置。

灯罩14在其底面具有供来自灯11的放射光及由反射镜12反射的反射光通过的光射出口。偏振片13安装于灯罩14的光出射口，对通过该光射出口的光进行偏振。

偏振片13具有将多个偏振片沿着灯11的长度方向排列配置的结构。这多个偏振片例如由框架等支承。

偏振片例如为线栅型偏振元件，偏振片的个数与照射偏振光的区域的大小相应地适当选择。

输送部20具备分别保持工件W的第一工作台21A以及第二工作台21B。这2个工作台21A、21B是通过真空吸附等方法吸附保持工件W的平板状的工作台。另外，在本实施方式中，将各工作台21A、21B以及工件W设为矩形状，但并不限定于此，能够设为任意的形状。另外，并不限定于利用平板状的工作台对工件W进行吸附保持的结构，也可以是利用多个销对工件W进行吸附保持的结构。

另外，输送部20为了使工作台21A以及21B在X方向上移动，具备沿着工作台21A以及21B的移动方向即X方向延伸的2个引导件22A、配置于2个引导件22A之间的磁铁板22B以及线圈模块23A、23B。

2根引导件22A和磁铁板22B配置在未图示的设置台的上表面。磁铁板22B由交替改变相邻的磁极的极性并在X方向上以等间隔排列的多个磁铁构成。另外，线圈模块23A以与磁铁板22B对置的方式安装于工作台21A的背面的中央部，线圈模块23B以与磁铁板22B对置的方式安装于工作台21B的背面的中央部。由引导件22A、磁铁板22B、线圈模块23A、23B构成线性电动机驱动机构。

这样，工作台21A和21B构成为能够沿着作为共用的输送轴的引导件22A在X方向上往返移动。

另外，用于使工作台21A以及21B在X方向上移动的机构并不限定于上述的线性电动机驱动机构，能够采用任意的机构。作为用于使工作台21A以及21B在X方向上移动的机构，例如也能够采用使用了滚珠丝杠的机构。

并且，输送部20具备能够使工作台21A以及21B分别向θ方向(绕Z轴)旋转的θ移动机构24A以及24B。即，工作台21A以及21B分别以能够向θ方向旋转的方式安装于固定基座25A以及25B之上，其旋转角度由θ移动机构24A以及24B调整。

工作台21A以及21B的移动路径被设计为通过光照射部10A以及10B的正下方。输送部20构成为，将工件W输送到基于光照射部10A和10B的偏振光的照射区域15(参照图2)，并且使其通过该照射区域15。进而，输送部20构成为，在工件W完全通过照射区域15之后，使该工件W折返，并再次通过该照射区域15。利用该去路移动和回路移动双方对工件W照射偏振光，对工件W的光取向膜进行光取向处理。

输送部20的动作由图2所示的控制部30控制。

接着，使用图2对工作台21A及21B的移动区间进行说明。

第一工作台21A能够在从设定于偏振光的照射区域15的一侧的工件搭载位置即基板搭载位置(第一待机位置)P11到设定于照射区域15的另一侧的折返位置P12的区间往返移动。另外，第二工作台21B能够在从隔着照射区域15而设定于与基板搭载位置P11相反的一侧的作为工件搭载位置的基板搭载位置(第二待机位置)P21、到隔着照射区域15而设定于折返位置P12的相反侧的折返位置P22为止的区间往返移动。

在此，关于第一工作台21A，将从基板搭载位置P11朝向折返位置P12的移动设为去路移动。同样地，对于第二工作台，也将从基板搭载位置P21朝向折返位置P22的移动设为去路移动。

另外，基板搭载位置是指进行载置在工作台上的基板(工件W)的更换作业以及对准作业的位置，折返位置是指设定在照射区域15与另一方的工作台的基板搭载位置之间的、从工作台的去路移动向回路移动的切换位置。

例如，第一工作台21A的移动区间(P11～P12)的X方向距离和第二工作台21B的移动区间(P21～P22)的X方向距离能够设定为大致相等。另外，在第一工作台21A的基板搭载位置P11与照射区域15之间，即使第二工作台21B通过θ方向的旋转移动而成为任意的姿势，也能够确保能够通过照射区域15的量以上的空间。同样地，在第二工作台21B的基板搭载位置P21与照射区域15之间，即使第一工作台21A通过θ方向的旋转移动而成为任意的姿势，也确保能够通过照射区域15的量以上的空间。

另外，在本实施方式中，偏振光照射装置100具备用于对分别载置在第一工作台21A、第二工作台21B上的工件W进行加热的加热机构。

在本实施方式中，作为加热单元，对使用筒式加热器26A、26B的情况进行说明。筒式加热器26A、26B分别以与工作台21A、21B接触的方式安装。例如，在工作台21A、21B上开孔，在其中嵌入筒式加热器26A、26B。

筒式加热器26A、26B通过被通电而发热，由此，工作台21A、21B被加热，载置在其上的工件W的温度上升。供给到筒式加热器26A、26B的电力能够由控制部30控制。

即，预先在控制部30中预先设定工作台21A、21B的目标温度，控制部30以工作台21A、21B的温度在目标温度下稳定的方式控制筒式加热器26A、26B，从而使载置于工作台21A、21B的工件W的温度维持在期望的温度。在此，工件W的期望的温度也取决于光取向膜的种类，为50℃至100℃。

在工作台21A、21B上，也可以分别设置有用于检测工件W的温度的温度传感器27A、27B。在该情况下，控制部30也可以取得由温度传感器27A、27B检测出的工件W的温度，控制向筒式加热器26A、26B供给的电力，以使工件W的温度成为期望的温度。

另外，作为加热单元，也可以使用筒式加热器以外的加热器种类。另外，也可以不对工作台21A、21B进行电加热，而是使温水或加热后的溶液流动而对工作台21A、21B进行加热。

偏振光照射装置100的基本动作如下。

若向偏振光照射装置100接通电源，则控制部30向筒式加热器26A、26B供给电力，开始工作台21A、21B的加热。由此，工作台21A、21B的温度朝向规定的目标温度上升。

当工作台21A、21B达到目标温度时，在基板搭载位置上，在各工作台21A、21B上载置工件W，开始工作台21A、21B的动作。此时，工件W从被载置在工作台21A、21B上的时刻开始升温，在达到所希望的温度后，被控制为在该温度下稳定。

第一工作台21A在基板搭载位置P11进行工件W的更换作业以及对准作业，在对准完成后，通过θ移动机构24A进行旋转移动。由此，使工件W的朝向相对于偏振光的偏振光轴成为规定的朝向。

之后，第一工作台21A朝向照射区域15开始去路移动。然后，当通过照射区域15到达折返位置P12时，开始回路移动，并返回至基板搭载位置P11。在该基板搭载位置P11，再次进行工件W的更换作业以及对准作业，在对准完成后，第一工作台21A再次朝向照射区域15开始去路移动。反复进行该动作。

第二工作台21B也同样地在基板搭载位置P21进行工件W的更换作业以及对准作业，在对准完成后，通过θ移动机构24B旋转移动而朝向照射区域15开始去路移动。此时的第二工作台21B的旋转角度有时与第一工作台21A的旋转角度不同。然后，第二工作台21B在通过照射区域15到达折返位置P22时开始回路移动，并返回至基板搭载位置P21。反复进行该动作。

在此，工作台21A以及21B的移动速度能够在去路、回路、照射区域15内、照射区域15外分别为相同的速度。

但是，控制部30在第一工作台21A和第二工作台21B如上述那样在共同的输送轴上反复往返移动的期间，以两者不干涉的方式，在一个工作台进行去路移动的期间，仅允许另一个工作台的回路移动，禁止去路移动。在本实施方式中，在一方的工作台开始回路移动的时刻，允许开始另一方的工作台的去路移动。

控制部30对作为工作台的移动机构的输送部20(参照图1)的各部进行控制，以实现上述的工作台动作。此时，控制部30从与搬送轴平行配置的线性标尺等取得各工作台21A以及21B的位置信息，基于所取得的位置信息算出各工作台21A以及21B的速度信息。然后，控制部30基于所取得的位置信息以及计算出的速度信息，计算各工作台21A以及21B的目标移动位置以及目标移动速度，并将其输出到输送部20的各部。

图3是表示由控制部30执行的工作台速度控制处理步骤的流程图。该图3所示的处理是在控制部30控制第一工作台21A的移动速度的情况下执行的处理。

另外，关于控制第二工作台21B的移动速度的处理，只要将以下说明中的“第一工作台”替换为“第二工作台”、将“第二工作台”替换为“第一工作台”即可，因此在此省略说明。

首先，在步骤S1中，控制部30判定第一工作台21A是否处于回路移动中。在此，控制部30基于第一工作台21A的位置信息，判定第一工作台21A的位置以及移动方向，判定第一工作台21A是否在回路移动中。

然后，在该步骤S1中，在判定为第一工作台21A处于回路移动中的情况下，移至步骤S2。另一方面，在判定为第一工作台21A不是在回路移动中、即判定为在去路移动中、或者在基板搭载位置处于停止中的情况下，移至步骤S3。

在步骤S2中，控制部30以使第一工作台21A以预先设定的回路的移动速度移动的方式设定目标移动速度，将其输出到第一工作台21A的移动机构之后转移到步骤S6。

在步骤S3中，控制部30判定第二工作台21B是否处于去路移动中。在此，控制部30基于第二工作台21B的位置信息，判定第二工作台21B的移动方向，并判定第二工作台21B是否进行去路移动。然后，在判定为第二工作台21B进行去路移动的情况下，移至步骤S4，在判定为第二工作台21B未进行去路移动的情况下，移至步骤S5。

在步骤S4中，控制部30使第一工作台21A在基板搭载位置待机。即，控制部30以停止第一工作台21A的方式将目标移动速度设定为0，并将其输出到第一工作台21A的移动机构之后转移到步骤S6。

在步骤S5中，控制部30以使第一工作台21A以预先设定的去路的移动速度移动的方式设定目标移动速度，将其输出到第一工作台21A的移动机构之后转移到步骤S6。另外，如上上述，第一工作台21A的去路移动的目标移动速度可以与第一工作台21A的回路移动的目标移动速度相同。

在步骤S6中，控制部30判定是否结束第一工作台21A的驱动控制，在判定为继续控制的情况下返回步骤S1，在判定为结束控制的情况下，结束工作台速度控制处理。

这样，本实施方式中的偏振光照射装置100是具备能够在同一轴上往返移动的2个工件工作台(第一工作台21A以及第二工作台21B)、对该工作台上的基板(工件W)交替地照射偏振光的所谓的双工作台方式的光照射装置。

在该偏振光照射装置100中，工作台21A、21B在通过作为加热单元的筒式加热器26A、26B将各工作台21A、21B加热至目标温度的状态下进行动作。

第一工作台21A载置工件W(以下称为工件W1)并在输送轴上往返移动，在去路和回路中分别对工件W1照射偏振光来进行光取向处理。此时，工件W1在期望的温度下稳定。

第一工作台21A从基板搭载位置P11进入照射区域15，在照射区域15对工件W1进行去路的光取向处理，之后，若到达折返位置P12而开始回路移动，则第二工作台21B开始去路移动。该第二工作台21B上载置有工件W(以下，称为工件W2。)，以成为所希望的温度的方式被加热。第二工作台21B从基板搭载位置P21进入照射区域15，若相对于第一工作台21A的工件W1的回路的光取向处理结束，则进入照射区域15。由此，对工件W2进行去路的光取向处理。

当第一工作台21A返回到基板搭载位置P11时，光取向处理结束后的工件W1从第一工作台21A上被搬出，接下来要处理的工件W3被搬入载置到第一工作台21A上。此时，工件W3从载置于第一工作台21A的时刻起被加热，工件W3的温度开始上升。

然后，若相对于第二工作台21B的工件W2的去路的光取向处理结束，第二工作台21B到达折返位置P22而开始回路移动，则载置有工件W3的第一工作台21A开始去路移动。若相对于第二工作台21B的工件W2的回路的光取向处理结束，则第一工作台21A进入照射区域15，进行针对工件W3的去路的光取向处理。

该动作在第一工作台21A与第二工作台21B之间交替地重复，进行对工件W的光取向处理。

在此，第一工作台21A上的工件W3的温度，在该工件W3在基板搭载位置P11载置于第一工作台21A上之后到第二工作台21B的回路中的光取向处理结束为止的期间达到所希望的温度，并在该温度下稳定。

这样，在第二工作台21B往返移动而对工件W2进行光取向处理的期间，对第一工作台21A上的工件W3进行加热。因此，在进行去路移动的第一工作台21A到达照射区域15之前，能够使工件W3的温度稳定在期望的温度。

即，能够在工件W3在期望的温度下稳定的状态下，开始针对工件W3的去路光取向处理。另外，工件W3的温度在载置于第一工作台21A上的期间维持在期望的温度。因此，能够在工件W的温度以期望的温度稳定的状态下，进行相对于工件W的往返的光取向处理。

另外，在本实施方式中，说明了在一方的工作台开始回路移动的时刻开始另一方的工作台的去路移动的情况，但也可以在一方的工作台结束往返移动而返回到基板搭载位置的时刻开始另一方的工作台的去路移动。

从各工作台21A、21B的去路移动开始到结束针对回路中的工件W的光取向处理而返回到基板搭载位置为止的时间也依赖于工件W的大小、光取向膜的种类的不同，大概为1分钟～2分钟。即使是大的基板，1分钟到2分钟的时间也是使工件W上升到期望的温度并在该温度下稳定所需的足够的时间。

因此，通过如上述那样控制工作台动作，即使是工件大的基板，在工作台到达照射区域15之前，也能够可靠地使载置在该工作台上的工件的温度上升到期望的温度并使其稳定。因此，能够可靠地以期望的温度在稳定的状态下进行光取向处理。

如以上说明的那样，本实施方式的偏振光照射装置100，在照射区域15的一侧具备第一工作台21A，在另一侧具备第二工作台21B，在一方的工作台往返移动、且对载置于该工作台的工件W(基板)照射偏振光的期间，使载置于另一方的工作台的工件W的温度朝向期望的温度上升。在对一个工作台的工件W的偏振光照射处理(光取向处理)结束时，另一个工作台上的工件W的温度稳定在期望的温度，因此能够在结束对一个工作台的偏振光照射处理之后，接着进行对另一个工作台的稳定的偏振光照射处理。

即，在一个工件W的温度上升稳定之前的期间，对另一个工件W照射偏振光，作为装置没有等待时间，能够防止稼动率的降低、生产节拍时间的长时间化。

另外，在进行去路移动的工作台到达照射区域15之前，载置于该工作台的工件W的温度达到所希望的温度，因此能够在工件W的温度稳定的状态下使工作台进入照射区域15。即，能够在使工件W的温度以期望的温度稳定的状态下进行往返的偏振光照射处理。因此，在去路和回路中，能够使在照射区域15内移动的移动速度相同。另外，能够容易地确定在照射区域15工作台以何种移动速度移动适合的条件。因此，不需要作为准备阶段的长时间的实验。

进而，在一方的工作台进行去路移动的期间，禁止另一方的工作台开始去路移动，在一方的工作台到达折返位置而开始回路移动的时刻允许开始另一方的工作台的去路移动，因此能够避免2个工作台一起进行去路移动的状况，能够可靠地避免工作台彼此的干涉。另外，由于能够以与一方的工作台的回路移动连续的方式开始另一方的工作台的去路移动，因此能够进一步缩短生产节拍时间。

(第二实施方式)

接着，对本发明的第二实施方式进行说明。

在上述的第一实施方式中，使各工作台的移动速度恒定，而该第二实施方式根据该工作台上的工件W的温度来控制去路中的工作台的移动速度。

本实施方式中的偏振光照射装置100的结构与图1及图2所示的上述的第一实施方式中的偏振光照射装置100相同。另外，在本实施方式的偏振光照射装置100中，控制部30与上述的第一实施方式同样地执行图3所示的工作台速度控制处理。但是，图3的步骤S5的处理与第一实施方式不同。

控制部30在图3的步骤S3中，当判定为第二工作台21B未进行去路移动时，转移到步骤S5，设定第一工作台21A的去路中的目标移动速度，并将其输出到第一工作台21A的移动机构。

此时，控制部30取得由温度传感器27A检测出的第一工作台21A上的工件W的温度，并判定工件W的温度是否在期望的温度下稳定。然后，控制部30在判定为工件W的温度在期望的温度下稳定的情况下，以使第一工作台21A以预先设定的去路的移动速度(例如，与回路相同的移动速度)移动的方式设定目标移动速度，并将其输出到第一工作台21A的移动机构。

另一方面，控制部30在判定为工件W的温度在期望的温度下不稳定时，以使第一工作台21A以比上述预先设定的去路的移动速度低的移动速度移动的方式设定目标移动速度，并将其输出到第一工作台21A的移动机构。

这样，本实施方式中的偏振光照射装置100也可以使2个阶段中从进行去路移动的工作台的基板待机位置朝向照射区域15的去路的移动速度比从该工作台的照射区域朝向基板待机位置的回路的移动速度慢。

在该情况下，在工作台进入照射区域15之前的期间，能够确保工件W的温度上升至期望的温度的时间。因此，能够在工件W的温度稳定的状态下使工作台进入照射区域15。另外，能够使载置有往返的偏振光照射处理结束的工件W的工作台迅速地返回到基板待机位置，因此能够加快接下来要处理的工件W的搬入载置，并相应地能够确保该工件W的加热时间。

另外，此时，利用温度传感器检测工件W的温度，基于检测出的温度，控制从进行去路移动的工作台的基板待机位置朝向照射区域15的去路中的工作台移动速度。因此，能够可靠地使工作台在工件W的温度稳定的状态下进入照射区域15。

另外，在本实施方式中，说明了在图3的步骤S5中判定为工件W的温度在期望的温度下不稳定的情况下，将第一工作台21A的目标移动速度设定为比预先设定的去路的移动速度低的移动速度的情况。然而，也可以与工件W的温度无关地使从进行去路移动的工作台的基板待机位置朝向照射区域15的去路的移动速度比回路的移动速度慢。

并且，只要能够在工件W的温度以期望的温度稳定之前不使载置了该工件W的工作台进入照射区域15即可，例如，也可以在工件W的温度以期望的温度稳定之前，使进行去路移动的工作台的目标移动速度为0(停止)。此时，使该工作台停止的位置只要是从基板搭载位置到到达照射区域15为止的区间的规定位置即可。

(变形例)

在上述各实施方式中，也可以使工作台21A、21B的移动速度在照射区域15内和照射区域15外变化。具体而言，也可以控制为，工作台21A、21B以第一移动速度在照射区域15内移动，以与第一移动速度相比高的第二移动速度(最大移动速度)在照射区域15外移动。

另外，在该情况下，考虑到在第一工作台21A与第二工作台21B之间可能存在移动速度差，也可以根据进行回路移动的工作台的位置或移动速度，对在照射区域15外进行去路移动的工作台的移动速度进行控制。

例如，也可以在工作台21A、21B的工作台间距离比预先设定的规定距离(最接近距离)长时，以使进行去路移动的工作台以高速的第二移动速度移动的方式进行控制，在工作台间距离为规定距离(最接近距离)以下时，以使进行去路移动的工作台和进行回路移动的工作台以相同的移动速度移动的方式进行控制。

在该情况下，能够使工作台彼此不发生干涉地在进行回路移动的工作台刚通过照射区域15之后(根据最接近距离，在进行回路移动的工作台通过照射区域15的过程中)使进行去路移动的工作台进入照射区域15，能够高效地进行光取向处理。

另外，例如，也可以在一方的工作台进行去路移动、另一方的工作台进行回路移动的情况下，使一方的工作台从去路移动刚开始之后追随另一方的工作台。

在该情况下，根据先行的另一方的工作台的移动速度来控制一方的工作台的移动速度，即使在上述另一方的工作台的移动速度因移动区间而不同的情况下，也能够可靠地防止在工作台之间产生干扰。但是，在以进一步缩短生产节拍时间为目的的情况下，如上上述，优选在工作台间距离成为最接近距离之前，使后续的工作台以高速的第二移动速度移动。

进而，在上述各实施方式中，说明了在一方的工作台进行去路移动的期间禁止另一方的工作台开始去路移动的情况，但也可以允许该另一方的工作台开始去路移动。例如，也可以在一方的工作台进行去路移动的期间，使另一方的工作台朝向相对于一方的工作台的折返位置为最接近距离且在另一方的工作台的待机位置侧所设定的目标停止位置，开始去路移动。在该情况下，在另一方工作台到达目标停止位置时，在一方工作台进行去路移动时，使另一方工作台在目标停止位置停止，直到一方工作台开始回路移动。

在该情况下，能够可靠地防止工作台彼此的干涉，并且能够更高效地进行针对2个工件W的光取向处理。

另外，在上述各实施方式中，说明了在基板搭载位置进行工作台的θ方向的旋转动作，在该旋转动作结束后开始去路移动的情况，但也可以一边进行θ旋转动作一边进行去路移动。由此，能够进一步缩短生产节拍时间。

进而，在上述各实施方式中，对将本发明应用于偏振光照射装置的情况进行了说明，但并不限定于此。例如，只要是具有2个工作台能够沿着同一轴往返移动的结构、具有将2个工作台分别从隔着光照射区域设定在同一轴上的待机位置交替地向光照射区域输送的结构的光照射装置，则通过应用本发明能够得到与上述各实施方式相同的效果。作为这样的光照射装置，例如有DI(直接影像：直描)曝光装置、和利用紫外线进行热固化处理的紫外线照射装置等。

Claims (10)

1.一种光照射装置，对通过预先设定的照射区域的工件照射光，其特征在于，

具备：

第一工作台，载置第一工件，在通过上述照射区域的输送轴上，能够将从设定于上述照射区域的一侧的第一待机位置朝向上述照射区域的移动作为去路移动而进行往返移动；

第二工作台，载置第二工件，在通过上述照射区域的输送轴上，能够将从设定于上述照射区域的另一侧的第二待机位置朝向上述照射区域的移动作为去路移动而进行往返移动；

控制部，分别控制上述第一工作台和上述第二工作台的移动，以使上述第一工件和上述第二工件交替通过上述照射区域；以及

加热部，分别设置于上述第一工作台以及上述第二工作台，能够对所载置的工件进行加热，

在上述第一工作台以及上述第二工作台中载置有工件的一方的工作台进行往返移动的期间，载置于另一个工作台的工件被上述加热部加热。

2.根据权利要求1所述的光照射装置，其特征在于，

上述第一工作台以及上述第二工作台中进行去路移动的工作台到达上述照射区域之前，载置于该工作台的工件的温度达到预先设定的期望的温度。

3.根据权利要求1所述的光照射装置，其特征在于，

上述控制部进行如下控制，

使上述第一工作台以及上述第二工作台中进行去路移动的工作台从待机位置朝向上述照射区域的去路的移动速度，比进行上述去路移动的工作台从上述照射区域朝向上述待机位置的回路的移动速度慢。

4.根据权利要求1所述的光照射装置，其特征在于，

还包括温度传感器，该温度传感器检测上述第一工件以及上述第二工件的温度，

上述控制部进行如下控制，

在上述第一工作台以及上述第二工作台中的进行去路移动的工作台从待机位置朝向上述照射区域的去路中，在由上述温度传感器检测出的进行上述去路移动的工作台上的工件的温度没在预先设定的期望的温度下稳定的情况下，使进行上述去路移动的工作台的移动速度比上述工件的温度在上述期望的温度下稳定的情况慢。

5.根据权利要求1所述的光照射装置，其特征在于，

还包括温度传感器，该温度传感器检测上述第一工件和上述第二工件的温度，

上述控制部进行如下控制，

在上述第一工作台以及上述第二工作台中的进行去路移动的工作台从待机位置朝向上述照射区域的去路中，使进行上述去路移动的工作台在到达上述照射区域之前的规定位置停止，直至由上述温度传感器检测出的进行上述去路移动的工作台上的工件的温度在预先设定的期望的温度下稳定。

6.根据权利要求1所述的光照射装置，其特征在于，

上述控制部进行如下控制，

在上述第一工作台以及上述第二工作台中的一方工作台开始进行回路移动的时刻，允许另一方工作台开始去路移动。

7.根据权利要求1所述的光照射装置，其特征在于，

上述控制部进行如下控制，

使上述第一工作台以及上述第二工作台在上述照射区域内以相同的移动速度在去路移动和回路移动中移动，

相对于上述第一工件及上述第二工件，在去路移动和回路移动双方照射上述光。

8.根据权利要求1所述的光照射装置，其特征在于，

上述光是偏振光。

9.根据权利要求8所述的光照射装置，其特征在于，

上述偏振光是以波长为365nm为主要成分的偏振光。

10.一种光照射方法，是向通过预先设定的照射区域的工件照射光的光照射方法，其特征在于，

以第一工件和第二工件交替地通过上述照射区域的方式单独地控制第一工作台和第二工作台时，在上述第一工作台以及上述第二工作台中载置有工件的一方工作台进行往返移动的期间，利用设置于该另一方工作台的加热部对载置于该另一方工作台的工件进行加热，其中，

上述第一工作台为，载置上述第一工件，在通过上述照射区域的输送轴上，能够将从设定于上述照射区域的一侧的第一待机位置朝向上述照射区域的移动作为去路移动而进行往返移动；上述第二工作台为，载置上述第二工件，在通过上述照射区域的输送轴上，能够将从设定于上述照射区域的另一侧的第二待机位置朝向上述照射区域的移动作为去路移动而进行往返移动。

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