CN112986615B - 量测装置及量测方法 - Google Patents
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Abstract
本发明有关于一种量测装置及量测方法，是一种用以量测风刀结构的出风风速，以及硬体变形量或平整度的量测装置与量测方法；本发明包括有一量测平台、一风速量测单元、一形变量测单元，以及一驱动装置；本发明主要藉由自动化的驱动装置的设计，有效驱动并乘载风速量测单元与形变量测单元的线性滑座进行长度达4000mm的风刀结构的出风风速与硬体形变量的量测动作，确实达到利用自动化量测方式完成风刀结构的风速与形变量均一性的量测等主要优势。
Description
技术领域
本发明有关于一种量测装置及量测方法，尤其是指一种用以量测风刀结构的出风风速，以及硬体变形量或平整度的量测装置与量测方法。
背景技术
随着半导体制程技术与光电技术的高度发展，液晶显示器、个人电脑或笔记型电脑等电子产品的功能也越来越成熟、越来越多样化，而这些电子产品在制作的过程中，都需要经过多道精密的制作程序以制造出轻薄短小、精密度高的电子产品；常见的液晶显示面板或半导体元件制程中，玻璃基板或半导体晶圆通常会经过多道湿式制程与其他制程的交替，以制作出最后的液晶显示面板或半导体元件；然而，在湿式制程与其他制程的转换中，常会需要将湿式制程所残留于基板上的水份或药液彻底排除，否则将会影像后续制程的良率，风刀即是用以吹移基板上药液的装置之一，由于上述的液晶显示面板或半导体元件等产品都是在奈米等级的尺寸，因此，风刀用以吹除药液的气体出气量与角度即被高度重视；因此，如何有效藉由创新的硬体设计，确实达到保有原始排除液体的效果，同时达到利用半自动化或自动化量测的方式完成风刀的风速与形变量均一性的量测，仍是湿式蚀刻机等相关产业开发业者与相关研究人员需持续努力克服与解决的课题。
发明内容
本发明主要目的为提供一种量测装置及量测方法，尤其是指一种用以量测风刀结构的出风风速，以及硬体变形量或平整度的量测装置与量测方法，主要藉由自动化的驱动装置的硬体设计，有效驱动并乘载风速量测单元与形变量测单元的线性滑座进行长度达4000mm的风刀结构的出风风速与硬体形变量的量测动作，确实达到利用半自动化或自动化量测方式完成风刀结构的风速与形变量均一性的量测等主要优势。
为了达到上述的实施目的，本发明提出一种量测装置，用以量测一风刀结构的风速与变形量，量测装置至少包括有一量测平台，包括有一基座，一设于基座上方的线性移载装置以及一设于该线性移载装置的平台；一风速量测单元，包括有一设置于该线性移载装置上的该平台的固定架、一设置于该固定架上端部的风速计、一组设于该固定架上端部并连接该风速计的皮托管，以及一设置于该固定架下端部且抵靠该风刀结构的抵靠件，其中该皮托管的一入气接口与该风刀结构的一刀口相对设置并相距一距离，以量测该刀口出风的风速值，并将该风速值传送至该风速计显示，而该抵靠件藉由一设置于该固定架的调整器调整以顶抵该风刀结构；一形变量测单元，设置于该线性移载装置上，且位于该风速量测单元的一端部，该形变量测单元包括有一量测件，且该量测件接近该风刀结构的侧部并量测其变形量；以及一驱动装置，驱动该线性移载装置于该基座上滑动，以带动该风速量测单元与该形变量测单元量测该风刀结构的风速与变形量。
如上所述的量测装置，其中该基座上更依序设置有两个支撑件，且该支撑件其中的一端上设置有该线性移载装置，且另一该支撑件上则设置有该风刀结构。
如上所述的量测装置，其中该支撑件的一上表面进一步设置有一龙铣平面，以提供一水平基准面或一垂直基准面。
如上所述的量测装置，其中该线性移载装置藉由至少两个滑轨于该龙铣平面上滑动。
如上所述的量测装置，其中该龙铣平面上进一步设置有一具有一斜平面以固定该风刀结构的角度固定块。
如上所述的量测装置，其中该固定架进一步设置有一角度固定器，以调整该皮托管的该入气接口对准该风刀结构的该刀口的角度。
如上所述的量测装置，其中该量测件可为量测量表、光学位移计、雷射位移计等其中之一。
如上所述的量测装置，其中该量测件为量测量表，该量测量表进一步更包含有一量测探头以及一连接该量测探头的量表，该量测探头接近该风刀结构的侧部并量测其变形量。
如上所述的量测装置，其中量测装置可进一步设置有一分别以电性连接风速量测单元的风速计与形变量测单元的量表的警报装置，当风速计与量表显示的数值超过一预设数值时，警报装置发出一警报讯号。
如上所述的量测装置，其中该驱动装置为一伺服马达、一滑轨、一皮带或一滚珠螺杆中的任一种。
如上所述的量测装置，其中该驱动装置进一步包括有一伺服马达、至少两个连接该伺服马达的转动轮，以及一套设于该至少两个转动轮上且设置于该线性移载装置下端部的传动皮带，该伺服马达驱动该转动轮转动，以带动该传动皮带转动并带动该线性移载装置于该支撑件上来回滑动。
如上所述的量测装置，该量测装置进一步更包含人机界面。
如上所述的量测装置，其中量测探头发射与接收一光线，藉由光线反射的时间以计算风刀结构的形变量传输至人机界面。
如上所述的量测装置，该量测装置进一步包含供气过滤装置。
如上所述的量测装置，该线性移载装置为线性滑座或滚珠螺杆。
如上所述的量测装置，该量测件可为量测量表、量表位移计、光学位移计或雷射位移计。
如上所述的量测装置，为半自动化传送或自动化配置。
再者，为了达到上述实施目的，本发明另研拟一种量测方法，用以量测一风刀结构的风速与变形量，该量测方法包括有下列步骤：步骤一：设置一量测平台，其中该量测平台包括有一基座、二设置于该基座上的支撑件，以及一设置于其中的一该支撑件上的线性移载装置；
步骤二：设置一驱动装置连接该线性移载装置，以驱动于该线性移载装置于该支撑件上来回移动；
步骤三：设置一风刀结构于另一该支撑件上，其中该风刀结构包括有一刀口；
步骤四：设置一风速量测单元于该线性移载装置上，其中该风速量测单元的皮托管的该入气接口相对该刀口并相距一距离，而该风速量测单元的抵靠件顶抵该风刀结构；
步骤五：使用该入气接口接收该刀口的出风量并量测其风速，以传递至一风速计显示；以及
步骤六：设置一形变量测单元于该线性移载装置上，其中该形变量测单元的量测探头接近该风刀结构的侧部并量测其变形量，并将变形量传送至一量表(132)显示。
如上所述的量测方法，进一步更包含以下步骤：步骤七：设置一警报装置电性连接该风速计与该量表，当该风速计与该量表显示的数值超过一预设数值时，该警报装置发出一警报讯号。
如上所述的量测方法，其中该形变量测单元为半自动化或自动化传送量测数值。
藉此，本发明的量测装置及量测方法主要藉由自动化的驱动装置的硬体设计，有效驱动并乘载风速量测单元与形变量测单元的线性滑座进行长度达4000mm的风刀结构的出风风速与硬体形变量的量测动作，确实达到利用自动化量测方式完成风刀结构的风速与形变量均一性的量测等主要优势。
附图说明
图1：本发明量测装置其一较佳实施例的整体结构示意图。
图2：本发明量测装置其一较佳实施例的量测平台设置示意图。
图3：本发明量测装置其一较佳实施例的线性滑座与风刀结构设置示意图。
图4：本发明量测装置其一较佳实施例的风速量测单元设置示意图。
图5：本发明量测装置其一较佳实施例的抵靠件与皮托管设置示意图。
图6：本发明量测装置其一较佳实施例的抵靠件与调整器设置示意图。
图7：本发明量测装置其二较佳实施例的风速量测单元设置示意图。
图8：本发明量测装置其三较佳实施例的风速量测单元设置示意图。
图9：本发明量测装置其一较佳实施例的形变量测单元设置示意图。
图10：本发明量测装置其一较佳实施例的驱动装置设置示意图。
图11：本发明量测方法其一较佳实施例的步骤流程图。
图12：本发明量测方法其二较佳实施例的步骤流程图。
图号说明：
1 量测装置
11 量测平台
111 基座
1111 支撑件
1112 移动轮
1113 支撑架
1114 上表面
112 线性移载装置
1121 滑轨
113 平台
114 龙铣平面
1141 水平基准面
1142 垂直基准面
115 角度固定块
1151 斜平面
12 风速量测单元
121 固定架
1211 调整器
12111 调整板
12112 弹性体
12113 滑块
1212 角度固定器
1213 前后调整器
1214 高度调整器
122 风速计
123 皮托管
1231 入气接口
124 抵靠件
13 形变量测单元
130 量测件
131 量测探头
132 量表
14 驱动装置
141 伺服马达
142 转动轮
143 传动皮带
2 风刀结构
21 刀口
3 供气过滤装置
31 入气源
32 调压阀
33 流压显示器
34 入气过滤装置
35 压力表
36 气体分支管
37 球阀开关
38 软管
S1 步骤一
S2 步骤二
S3 步骤三
S4 步骤四
S5 步骤五
S6 步骤六
S7 步骤七。
具体实施方式
首先，请参阅图1所示，为本本发明量测装置其一较佳实施例的整体结构示意图，其中本发明的量测装置1用以量测一长达4000毫米(millimeter，简称mm)的风刀结构2的风速与变形量，该量测装置1包括有一量测平台11、一风速量测单元12、一形变量测单元13，以及一驱动装置14；本发明的量测装置及量测方法主要藉由自动化的驱动装置14的硬体设计，有效驱动并乘载该风速量测单元12与该形变量测单元13的线性移载装置112进行长度达4000mm的风刀结构2的出风风速与硬体形变量的量测动作，确实达到利用自动化量测方式完成该风刀结构2的风速与形变量均一性的量测等主要优势。
请一并参阅图2与图3所示，为本发明量测装置其一较佳实施例的量测平台设置示意图，以及本发明量测装置其一较佳实施例的量测平台设置示意图，该量测平台11由一基座111、两个支撑件1111与一线性移载装置112以及一设于该线性移载装置112的平台113所组合而成，其中该基座111用以支撑整体的量测装置1；此外，该基座111的下端部可进一步设置有复数个移动轮1112，该等移动轮1112主要可供一使用者方便移动该量测装置1使用；再者，该基座111的下端部亦可进一步设置有复数个支撑架1113，该等支撑架1113主要平稳该量测装置1，避免因基座111的晃动而影响该风速量测单元12与该形变量测单元13的量测准确性，该量测装置1进一步包含供气过滤装置3，该供气过滤装置3用以过滤一入气源31，其中该供气过滤装置3更包含至少一与入气源31连接的调压阀(32)、至少一与该调压阀32连接的流量显示器33、至少一与该流量显示器33连接的入气过滤装置34、至少一与该入气过滤装置34连接的压力表35、至少一与该压力表35连接的气体分支管36、至少一与该气体分支管36连接的球阀开关37、以及一与该球阀开关37连接的软管38，透过管路的配置，将入气源透过层层的过滤与监控，使其能达到稳定的质量与流量的优势。在本发明一实施例中，该支撑件1111为工字梁、H型梁、U型梁、ㄇ型梁等任一种。
该等支撑件1111设置于该基座111的上表面1114，由于该风刀结构2的风速或形变量的量测对水平的要求极为重要，因此，每一该支撑件1111的上表面1114设置有一龙铣平面114，以提供一水平基准面1141或一垂直基准面1142供该线性移载装置112与该风刀结构2设置，由图2与图3所示，该线性移载装置112设置于左侧的支撑件1111的龙铣平面114上，且该线性移载装置112藉由至少两个滑轨1121于该龙铣平面114上滑动，而该风刀结构2则是设置于右侧的支撑件1111的龙铣平面114上，该风刀结构2与该线性移载装置112皆是藉由该龙铣平面114而达到完全水平或完全垂直的态样。
请一并参阅图4至图5所示，为本发明量测装置其一较佳实施例的风速量测单元设置示意图，以及抵靠件与皮托管设置示意图，其中该平台113上方更设有该风速量测单元12，且该风速量测单元12由一固定架121、一风速计122、一皮托管123与一抵靠件124所组合而成，其中该固定架121设置于该线性移载装置112上，而该风速计122与该皮托管123同时设置于该固定架121上，且该皮托管123的该入气接口1231与该风刀结构2的刀口21相对并相距由一距离，该入气接口1231用以接收由该刀口21吹出的气体并量测其风速以传递至该风速计122显示，而该抵靠件124设置于该固定架121的下端部，并顶抵该风刀结构2的侧部，其中该抵靠件124藉由一设置于该固定架121的调整器1211调整其顶抵该风刀结构2的态样；也就是说，请一并参阅图6所示，为本发明量测装置其一较佳实施例的抵靠件与调整器设置示意图，其中该调整器1211由一调整板12111、一弹性体12112，以及一滑块12113所组合而成，该滑块12113连接该抵靠件124，该调整板12111用以压缩该弹性体12112，以使该抵靠件124贴紧该风刀结构2，若该风刀结构2变形时，该抵靠件124可顺着该风刀结构2外型移动，以使该皮托管(123)的入气接口1231可与该风刀结构(2)的刀口21保持相同的距离，而不影响该风速量测单元12的量测；其中该弹性体12112可以为弹簧、弹性橡胶、油压元件等任一种；其中该抵靠件(124)可为滚轮、滑块中的任一种。藉此，使该调整器1211可透过该调整钣12111后方的一螺丝(图未标示)调整弹性体12112的软硬度，进而使其可透过抵靠件与弹性体的配置，达到弹性压制力，进而使该弹性体得以依据风刀结构2的侧部外型移动；且该风速量测单元12进一步更包含一前后调整器1213以及一高度调整器1214，并透过调整该风速量测单元整体的位置高度或前后距离，使其能够透过缩短距离有效提升风速值的精确性的优势。
此外，请再参阅图7与图8所示，为本发明量测装置其二较佳实施例的风速量测单元设置示意图，以及本发明量测装置其三较佳实施例的风速量测单元设置示意图，其中为因应该风刀结构2为直立式的刀口21斜吹30度或40度的态样，本发明具有两种不同的实施态样，其一为图7所示的改变该皮托管123的入气接口1231的角度，亦即该固定架121设置有一角度固定器1212，以调整该皮托管123的入气接口1231对准该风刀结构2的刀口21的角度为30度或40度的夹角，以完整接收并量测该刀口21所吹出的气体的风速，并传递至该风速计122显示；另一为图8所示的改变该风刀结构2的刀口21的角度，亦即该龙铣平面114上设置有一具有一斜平面1151以固定该风刀结构2的角度固定块116，当该风刀结构2设置于该斜平面1151上时，该刀口21即与该皮托管123的入气接口1231夹设30度或40度的夹角，以完整接收并量测该刀口21所吹出的气体的风速，并传递至该风速计122显示。
请一并参阅图9所示，为本发明量测装置其一较佳实施例的形变量测单元设置示意图，其中该形变量测单元13设置于该线性移载装置112上，且位于该风速量测单元12的一端部，该形变量测单元13包括有一量测探头131，以及一连接该量测探头131的量表132，该量测探头131接近该风刀结构2的侧部并量测其变形量，该变形量透过一传送至该量表132显示，该量测装置1进一步更包含人机界面，该量测探头131发射一讯号，并藉由接收该讯号的反射以计算该风刀结构2的形变量传输至人机界面，其中该讯号为微波或光线等其中的一种讯号，也就是说，该量测探头131主要朝向该风刀结构2的侧部发射一讯号，例如：一雷射光线，当该量测探头131接收该雷射光线至该风刀结构2的侧部反射后，即可藉由该雷射光线的来回时间判断该风刀结构2的侧部与该量测探头131的距离，一般而言，若该风刀结构2的侧部未产生形变时，该雷射光线在该风刀结构2侧部的每一个位置的来回时间都是固定或在误差范围内，当量测探头131接收的雷射光线往返时间大于或小于该误差范围时，即代表该风刀结构2的侧部已发生形变，例如凹洞或凸出等形变。
此外，该量测装置1设置有一分别以电性连接该风速量测单元12的风速计122与该形变量测单元13的量表132的警报装置，当该风速计122与该量表132显示的数值超过一预设数值时，该警报装置发出一警报讯号。
请再次参阅图10所示，为本发明量测装置其一较佳实施例的驱动装置设置示意图，其中该驱动装置14设置于该基座111的一侧部，以驱动该线性移载装置112于该支撑件1111上滑动，带动该风速量测单元12与该形变量测单元13量测该风刀结构2的风速与变形量；也就是说，该驱动装置14包括有一伺服马达141、至少两个连接该伺服马达141的转动轮142，以及一套设于该至少两个转动轮142上且设置于该线性移载装置112下端部的传动皮带143，其中该伺服马达141自动化驱动该转动轮142转动，以带动该传动皮带143转动并带动该线性移载装置112于该支撑件1111上来回滑动，以使该风速量测单元12与该形变量测单元13可以从头到尾量测具有4000mm长的风刀结构2的风速与变形量。
此外，请一并参阅图11所示，为本发明量测方法的步骤流程图，其中本发明的量测方法主要用以量测一风刀结构(2)的风速与变形量，包括有下列步骤：步骤一S1：设置一量测平台11，其中该量测平台11包括有一基座111、二设置于该基座111上的支撑件1111，以及一设置于其中的一该支撑件1111上的线性移载装置112；在本发明其一较佳实施例中，该量测平台11由一基座111、两个支撑件1111与一线性移载装置112所组合而成，其中该基座111用以支撑整体的量测装置1；此外，该基座111的下端部可进一步设置有复数个移动轮1112，该等移动轮1112主要可供一使用者方便移动该量测装置1使用；再者，该基座111的下端部亦可进一步设置有复数个支撑架1113，该等支撑架1113主要平稳该量测装置1，避免因基座111的晃动而影响该风速量测单元12与该形变量测单元13的量测准确性；此外该等支撑件1111设置于该基座111的上表面1114，由于该风刀结构2的风速或形变量的量测对水平的要求极为重要，因此，每一该支撑件1111的上表面1114设置有一龙铣平面114，以提供一水平基准面1141或一垂直基准面1142供该线性移载装置112与该风刀结构2设置，由图2与图3所示，该线性移载装置112设置于左侧的支撑件1111的龙铣平面114上，且该线性移载装置115藉由至少两个滑轨1121于该龙铣平面114上滑动，而该风刀结构2则是设置于右侧的支撑件1111的龙铣平面114上，该风刀结构2与该线性移载装置112皆是藉由该龙铣平面114而达到完全水平或完全垂直的态样。
步骤二S2：设置一驱动装置14连接该线性移载装置112，以驱动于该线性移载装置112于该支撑件1111上来回移动；在本发明其一较佳实施例中，该驱动装置14设置于该基座111的一侧部，以驱动该线性移载装置115于该支撑件1111上滑动，带动该风速量测单元12与该形变量测单元13量测该风刀结构2的风速与变形量；也就是说，该驱动装置14包括有一伺服马达141、至少两个连接该伺服马达141的转动轮142，以及一套设于该至少两个转动轮142上且设置于该线性移载装置112下端部的传动皮带143，其中该伺服马达141自动化驱动该转动轮142转动，以带动该传动皮带143转动并带动该线性移载装置112于该支撑件1111上来回滑动，以使该风速量测单元12与该形变量测单元13可以从头到尾量测具有4000mm长的风刀结构2的风速与变形量。
步骤三S3：设置一风刀结构2于另一该支撑件1111上，其中该风刀结构2包括有一刀口21。
步骤四S4：设置一风速量测单元12于该线性移载装置112上，其中该风速量测单元12的皮托管123的入气接口1231相对该刀口21并相距一距离，而该风速量测单元12的抵靠件124顶抵该风刀结构2。
步骤五S5：使用该入气接口1231接收该刀口21的出风量并量测其风速，以传递至一风速计122显示；在本发明其一较佳实施例中，该风速量测单元12由一固定架121、一风速计122、一皮托管123与一抵靠件124所组合而成，其中该固定架121设置于该线性移载装置112上，而该风速计122与该皮托管123同时设置于该固定架121上，且该皮托管123的入气接口1231与该风刀结构2的刀口21相对并相距由一距离，该入气接口1231用以接收由该刀口21吹出的气体并量测其风速以传递至该风速计122显示，而该抵靠件124设置于该固定架121的下端部，并顶抵该风刀结构2的侧部，其中该抵靠件124藉由一设置于该固定架121的调整器1211调整其顶抵该风刀结构2的态样；也就是说，该调整器1211由一调整板12111、一弹性体12112，以及一滑块12113所组合而成，该滑块12113连接该抵靠件124，该调整板12111用以压缩该弹性体12112，以使该抵靠件124贴紧该风刀结构2，若该风刀结构2变形时，该抵靠件124可顺着该风刀结构2外型移动，以使该皮托管123的入气接口1231可与该风刀结构2的刀口21保持相同的距离，而不影响该风速量测单元12的量测。
步骤六S6：设置一形变量测单元13于该线性移载装置112上，其中该形变量测单元13的量测探头131接近该风刀结构2的侧部并量测其变形量，该变形量透过一传送至该量表132显示；在本发明其一较佳实施例中，该形变量测单元13设置于该线性移载装置112上，且位于该风速量测单元12的一端部，该形变量测单元13包括有一量测件130，其中该量测件130进一步更包含有一量测探头131以及一连接该量测探头131的量表132，该量测探头131接近该风刀结构2的侧部并量测其变形量，该变形量透过一传送至该量表132显示，其中该量测探头131发射一讯号，并藉由接收该讯号的反射以计算该风刀结构2的形变量传输至人机界面，其中该讯号为微波或光线等其中的一种讯号，也就是说，该量测探头131主要朝向该风刀结构2的侧部发射一讯号，例如：一雷射光线，当该量测探头131接收该雷射光线至该风刀结构2的侧部反射后，即可藉由该雷射光线的来回时间判断该风刀结构2的侧部与该量测探头131的距离，一般而言，若该风刀结构2的侧部未产生形变时，该雷射光线在该风刀结构2侧部的每一个位置的来回时间都是固定或在误差范围内，当量测探头131接收的雷射光线往返时间大于或小于该误差范围时，即代表该风刀结构2的侧部已发生形变，例如凹洞或凸出等形变。
此外，另请一并参阅图12所示，该量测方法进一步更包含有一步骤七S7：设置一警报装置电性连接该风速计122与该量表132，当该风速计122与该量表132显示的数值超过一预设数值时，该警报装置发出一警报讯号。
再者，在本发明一实施例中，其中该形变量测单元为半自动化或自动化传送量测数值。其中，当该形变量测单元为半自动化的实施例时，该量测装置，藉由该形变量测单元的量测件量测形变量后直接将信息显示于量测件的显示表上，并于形变量测单元旁安排人力实时检核，达到快速且准确的半自动化量测方法。
此外，在本发明另一实施例中，其中，当该形变量测单元为自动化的实施例时，该量测装置，藉由该形变量测单元的量测件量测形变量后直接将信息显示于量测件的显示表上，其中，该量测件为量测量表时，该量测探头发射一讯号，并藉由接收该讯号的反射以计算该风刀结构的形变量，再将形变量信息传送至人机界面，透过人机界面实时检核，达到快速且准确的自动化量测方法。
由上述的实施说明可知，本发明的量测装置及量测方法与现有技术相较之下，本发明具有以下优点。
本发明的量测装置及量测方法主要藉由自动化的驱动装置的硬体设计，有效驱动并乘载风速量测单元与形变量测单元的线性滑座进行长度达4000mm的风刀结构的出风风速与硬体形变量的量测动作，确实达到利用自动化量测方式完成风刀结构的风速与形变量均一性的量测等主要优势。
Claims (22)
1.一种量测装置，用以量测一风刀结构(2)的风速与变形量，其特征在于，该量测装置(1)至少包括有：
一量测平台(11)，包括有一基座(111)，一设于基座(111)上方的线性移载装置(112)以及一设于该线性移载装置(112)的平台(113)；
一风速量测单元(12)，包括有一设置于该线性移载装置(112)上的该平台(113)的固定架(121)、一设置于该固定架(121)上端部的风速计(122)、一组设于该固定架(121)上端部并连接该风速计(122)的皮托管(123)，以及一设置于该固定架(121)下端部且抵靠该风刀结构(2)的抵靠件(124)，其中该皮托管(123)的一入气接口(1231)与该风刀结构(2)的一刀口(21)相对设置并相距一距离，以量测该刀口(21)出风的风速值，并将该风速值传送至该风速计(122)显示，而该抵靠件(124)藉由一设置于该固定架(121)的调整器(1211)调整以顶抵该风刀结构(2)；
一形变量测单元(13)，设置于该线性移载装置(112)上，且位于该风速量测单元(12)的一端部，该形变量测单元(13)包括有一量测件(130)，且该量测件(130)接近该风刀结构(2)的侧部并量测其变形量；以及
一驱动装置(14)，驱动该线性移载装置(112)于该基座(111)上滑动，以带动该风速量测单元(12)与该形变量测单元(13)量测该风刀结构(2)的风速与变形量。
2.如权利要求1所述的量测装置，其特征在于，该基座(111)上依序设置有两个支撑件(1111)，且一该支撑件(1111)其中的一端上设置有该线性移载装置(112)，且另一该支撑件(1111)上则设置有该风刀结构(2)。
3.如权利要求2所述的量测装置，其特征在于，该支撑件(1111)的一上表面(1114)设置有一龙铣平面(114)，以提供一水平基准面(1141)或一垂直基准面(1142)。
4.如权利要求3所述的量测装置，其特征在于，该线性移载装置(112)藉由至少两个滑轨(1121)于该龙铣平面(114)上滑动。
5.如权利要求3所述的量测装置，其特征在于，该龙铣平面(114)上设置有一具有一斜平面(1151)以固定该风刀结构(2)的角度固定块(115)。
6.如权利要求1所述的量测装置，其特征在于，该固定架(121)设置有一角度固定器(1212)，以调整该皮托管(123)的该入气接口(1231)对准该风刀结构(2)的该刀口(21)的角度。
7.如权利要求1所述的量测装置，其特征在于，该量测件(130)为量测量表、光学位移计、雷射位移计其中之一。
8.如权利要求1所述的量测装置，其特征在于，该量测件(130)为量测量表，该量测量表包含有一量测探头(131)以及一连接该量测探头(131)的量表(132)，该量测探头(131)接近该风刀结构(2)的侧部并量测其变形量。
9.如权利要求1所述的量测装置，其特征在于，该量测装置(1)设置有一分别以电性连接该风速量测单元(12)的该风速计(122)与该形变量测单元(13)的该量测件(130)的警报装置，当该风速计(122)与该量测件(130)显示的数值超过一预设数值时，该警报装置发出一警报讯号。
10.如权利要求1所述的量测装置，其特征在于，该驱动装置(14)为一伺服马达(141)、一滑轨、一皮带或一滚珠螺杆中的任一种。
11.如权利要求1所述的量测装置，其特征在于，该驱动装置(14)包括有一伺服马达(141)、至少两个转动轮(142)以及一传动皮带(143)，该至少两个转动轮(142)连接该伺服马达(141)，该传动皮带(143)套设于该至少两个转动轮(142)上且设置于该线性移载装置(112)下端部，该伺服马达(141)驱动该转动轮(142)转动，以带动该传动皮带(143)转动并带动该线性移载装置(112)于一支撑件(1111)上来回滑动。
12.如权利要求1所述的量测装置，其特征在于，该量测装置(1)包含人机界面。
13.如权利要求12所述的量测装置，其特征在于，该量测件(130)为量测量表，该量测量表包含有一量测探头(131)以及一连接该量测探头(131)的量表(132)，该量测探头(131)接近该风刀结构(2)的侧部并量测其变形量。
14.如权利要求13所述的量测装置，其特征在于，该量测探头(131)发射一讯号，并藉由接收该讯号的反射以计算该风刀结构(2)的形变量传输至人机界面。
15.如权利要求14所述的量测装置，其特征在于，该讯号为微波或光线。
16.如权利要求12所述的量测装置，其特征在于，该驱动装置(14)包括有一伺服马达(141)、至少两个转动轮(142)以及一传动皮带(143)，该至少两个转动轮(142)连接该伺服马达(141)，该传动皮带(143)套设于该至少两个转动轮(142)上且设置于该线性移载装置(112)下端部的，该伺服马达(141)驱动该转动轮(142)转动，以带动该传动皮带(143)转动并带动该线性移载装置(112)于一支撑件(1111)上来回滑动。
17.如权利要求1所述的量测装置，其特征在于，该量测装置(1)包含供气过滤装置(3)。
18.如权利要求1所述的量测装置，其特征在于，该线性移载装置(112)为线性滑座或滚珠螺杆。
19.如权利要求1所述的量测装置，其特征在于，该抵靠件(124)为滚轮、滑块中的任一种。
20.一种量测方法，用以量测一风刀结构(2)的风速与变形量，其特征在于，该量测方法包括有下列步骤：
步骤一(S1)：设置一量测平台(11)，其中该量测平台(11)包括有一基座(111)、两个支撑件(1111)与一线性移载装置(112)，其中该两个支撑件(1111)设置于该基座(111)上，以及该线性移载装置(112)设置于该两个支撑件(1111)其中的一个上；
步骤二(S2)：设置一驱动装置(14)连接该线性移载装置(112)，以驱动于该线性移载装置(112)于该两个支撑件(1111)上来回移动；
步骤三(S3)：设置一风刀结构(2)于另一该支撑件(1111)上，其中该风刀结构(2)包括有一刀口(21)；
步骤四(S4)：设置一风速量测单元(12)于该线性移载装置(112)上，其中该风速量测单元(12)的皮托管(123)的一入气接口(1231)相对该刀口(21)并相距一距离，而该风速量测单元(12)的抵靠件(124)顶抵该风刀结构(2)；
步骤五(S5)：使用该入气接口(1231)接收该刀口(21)的出风量并量测其风速，以传递至一风速计(122)显示；以及
步骤六(S6)：设置一形变量测单元(13)于该线性移载装置(112)上，其中该形变量测单元(13)的量测探头(131)接近该风刀结构(2)的侧部并量测其变形量，并将变形量传送至一量表(132)显示。
21.如权利要求20所述的量测方法，其特征在于，进一步包含以下步骤：步骤七(S7)：设置一警报装置电性连接该风速计(122)与该量表(132)，当该风速计(122)与该量表(132)显示的数值超过一预设数值时，该警报装置发出一警报讯号。
22.如权利要求20所述的量测方法，其特征在于，进一步包含以下步骤：其中该形变量测单元为半自动化或自动化传送量测数值。
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Citations (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0566497A1 (fr) * | 1992-04-17 | 1993-10-20 | Clecim | Dispositif à lame d'air pour réguler un dépôt métallique |
| JPH07103848A (ja) * | 1993-09-30 | 1995-04-21 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 風洞試験装置 |
| EP2037284A1 (fr) * | 2007-09-11 | 2009-03-18 | Manitowoc Crane Group France | Procédé et dispositif pour vérifier le bon fonctionnement d'un anémomètre |
| JP2011089844A (ja) * | 2009-10-21 | 2011-05-06 | Tokyo Electric Power Co Inc:The | 風向風速計測装置および風向風速計測システム |
| TWM465969U (zh) * | 2013-05-21 | 2013-11-21 | Chih Chong V Entpr Co Ltd | 風刀結構 |
| TWM490007U (en) * | 2014-08-07 | 2014-11-11 | China Steel Corp | Device for quickly measuring wind speed |
| CN204188643U (zh) * | 2014-10-22 | 2015-03-04 | 国家电网公司 | 皮托管一次风速自动测量装置 |
| CN105137507A (zh) * | 2015-09-10 | 2015-12-09 | 中环天仪（天津）气象仪器有限公司 | 一种测量杯式风速传感器起动及风速特性的自动化系统 |
| CN107817102A (zh) * | 2017-10-31 | 2018-03-20 | 山东电力研究院 | 一种一次风速调平自动测量装置 |
| CN208795760U (zh) * | 2018-06-04 | 2019-04-26 | 黄山华达铝塑门窗有限公司 | 一种中空玻璃清洗吹风段风速检测装置 |
| CN109940850A (zh) * | 2019-03-05 | 2019-06-28 | 桂林电器科学研究院有限公司 | 塑料薄膜生产线的铸片装置及气刀 |
| CN210894402U (zh) * | 2019-12-17 | 2020-06-30 | 亚智科技股份有限公司 | 量测装置 |
-
2019
- 2019-12-17 CN CN201911297503.9A patent/CN112986615B/zh active Active
Patent Citations (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0566497A1 (fr) * | 1992-04-17 | 1993-10-20 | Clecim | Dispositif à lame d'air pour réguler un dépôt métallique |
| JPH07103848A (ja) * | 1993-09-30 | 1995-04-21 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 風洞試験装置 |
| EP2037284A1 (fr) * | 2007-09-11 | 2009-03-18 | Manitowoc Crane Group France | Procédé et dispositif pour vérifier le bon fonctionnement d'un anémomètre |
| JP2011089844A (ja) * | 2009-10-21 | 2011-05-06 | Tokyo Electric Power Co Inc:The | 風向風速計測装置および風向風速計測システム |
| TWM465969U (zh) * | 2013-05-21 | 2013-11-21 | Chih Chong V Entpr Co Ltd | 風刀結構 |
| TWM490007U (en) * | 2014-08-07 | 2014-11-11 | China Steel Corp | Device for quickly measuring wind speed |
| CN204188643U (zh) * | 2014-10-22 | 2015-03-04 | 国家电网公司 | 皮托管一次风速自动测量装置 |
| CN105137507A (zh) * | 2015-09-10 | 2015-12-09 | 中环天仪（天津）气象仪器有限公司 | 一种测量杯式风速传感器起动及风速特性的自动化系统 |
| CN107817102A (zh) * | 2017-10-31 | 2018-03-20 | 山东电力研究院 | 一种一次风速调平自动测量装置 |
| CN208795760U (zh) * | 2018-06-04 | 2019-04-26 | 黄山华达铝塑门窗有限公司 | 一种中空玻璃清洗吹风段风速检测装置 |
| CN109940850A (zh) * | 2019-03-05 | 2019-06-28 | 桂林电器科学研究院有限公司 | 塑料薄膜生产线的铸片装置及气刀 |
| CN210894402U (zh) * | 2019-12-17 | 2020-06-30 | 亚智科技股份有限公司 | 量测装置 |
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