CN112969958B - 光学部件的制造方法及光学部件 - Google Patents
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Abstract
本发明包括：成膜工序(S103)，在具有曲面状的光学面的光学基材(11)的所述光学面上形成薄膜(13a)；以及去除工序(S104)，局部去除所述光学面上的所述薄膜(13a)，进行该薄膜的图案化，在所述去除工序(S104)中，利用激光的照射进行所述薄膜(13a)的去除。
Description
技术领域
本发明涉及光学部件的制造方法及光学部件。
背景技术
近年来，作为眼镜镜片，有在镜片基材的光学面上的薄膜(SnO2膜或Cr膜等)实施了规定图案的图案化的镜片。用于得到规定图案的图案化例如以如下方式进行：在光学面上通过喷墨记录法(Inkjet Recording Method)而形成抗蚀剂图案，在其上形成薄膜后，去除抗蚀剂图案且部分剥离薄膜(例如，参照专利文献1)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2018-180168号公报。
发明内容
发明要解决的问题
在眼镜镜片中，由于光学面为曲面状，因此在薄膜的图案化时，需要在曲面形成抗蚀剂图案。在利用喷墨记录法形成抗蚀剂图案时，到达光学面的面内的抗蚀剂会出现偏差，因此无法在光学面上准确地形成抗蚀剂图案，其结果是可能无法进行高精度的图案化。此外，由于需要进行抗蚀剂图案的形成、去除等，所以会导致用于图案化的处理工序的复杂化。
本发明的目的在于提供一种技术，即使在对光学部件的曲面状的光学面上的薄膜进行图案化的情况下，也能够高精度地进行其图案化，而且能够抑制用于图案化的处理工序的复杂化。
用于解决问题的方案
本发明是为了达成上述目的而提出的。
本发明的第一方式是：
光学部件的制造方法，包括：
成膜工序，在具有曲面状的光学面的光学基材的所述光学面上形成薄膜；以及，
去除工序，局部去除所述光学面上的所述薄膜，进行该薄膜的图案化，
在所述去除工序中，利用激光的照射进行所述薄膜的去除。
本发明的第二方式是如第一方式所述的光学部件的制造方法，其中，
在所述去除工序中，使用适用于所述激光的焦点位置的三维控制的激光加工机进行该激光的照射。
本发明的第三方式是如第一或者第二方式所述的光学部件的制造方法，其中，
作为在所述去除工序中照射的激光使用如下波长的激光，该波长属于相对于所述光学基材的透射率与相对于所述薄膜的透射率的差为1％以上的波段。
本发明的第四方式是如第三方式所述的光学部件的制造方法，包括：
非去除膜形成工序，在所述光学基材与所述薄膜之间，形成与所述薄膜不同材料的膜作为非去除膜，
作为在所述去除工序中照射的激光使用如下波长的激光，该波长属于除了相对于所述光学基材的透射率之外，相对于所述非去除膜的透射率与相对于所述薄膜的透射率的差也为1％以上的波段。
本发明的第五方式是如第一至第四任意一方式所述的光学部件的制造方法，其中，
所述光学部件为眼镜镜片。
本发明的第六方式是如第一至第五任意一方式所述的光学部件的制造方法，其中，
所述薄膜是具有吸收性的氧化金属膜或者金属膜。
本发明的第七方式是如第一至第六任意一方式所述的光学部件的制造方法，其中，
通过所述去除工序中的图案化形成的图案部构成为在所述光学面上配置多个相同形状部分，并且各个所述相同形状部分的尺寸偏差为±10％以下。
本发明的第八方式是光学部件，具有：
光学基材，其具有曲面状的光学面；
薄膜，其形成于所述光学基材的所述光学面上；以及，
图案部，其通过局部去除所述薄膜而形成，
所述图案部构成为在所述光学面上配置多个相同形状部分。
本发明的第九方式是如第八方式所述的光学部件，其中，
在所述图案部中，各个所述相同形状部分的尺寸偏差为±10％以下。
本发明的第十方式是如第九方式所述的光学部件，其中，
在所述图案部中，配置于所述光学面的中心附近的所述相同形状部分与配置于所述光学面的周缘附近的所述相同形状部分的尺寸偏差为±10％以下。
本发明的第十一方式是如第八至第十任意一方式所述的光学部件，其中，
所述图案部构成点图案；
所述相同形状部分构成所述点图案中的点。
本发明的第十二方式是如第八至第十一任意一方式所述的光学部件，其中，
所述图案部在去除所述薄膜而露出的基底面具有激光加工痕迹。
本发明的第十三方式是如第八至第十二任意一方式所述的光学部件，其中，
所述光学部件是眼镜镜片。
本发明的第十四方式是如第八至第十三任意一方式所述的光学部件，其中，
所述薄膜是具有吸收性的氧化金属膜或者金属膜。
发明效果
根据本发明，即使在对光学部件中的曲面状的光学面上的薄膜进行图案化的情况下，也能够高精度地进行其图案化，而且能够抑制用于图案化的处理工序的复杂化。
附图说明
图1是示出本发明的一个实施方式所涉及的眼镜镜片的结构例的俯视图。
图2是示出本发明的一个实施方式所涉及的眼镜镜片的结构例的剖视图。
图3是示出本发明的一个实施方式所涉及的眼镜镜片的制造方法的步骤的一个例子的流程图。
图4是对每个眼镜镜片的结构部件示出激光的波长与透射率的关系的说明图，(a)是示出关于折射率1.50的第一镜片基材的关系的图，(b)是示出关于折射率1.60的第二镜片基材的关系的图，(c)是示出关于折射率1.67的第三镜片基材的关系的图。
图5是示出本发明的一个实施方式所涉及的眼镜镜片中的图案部的一个具体例的局部放大图，(a)是示出本实施方式所涉及的图案部的显微镜观察结果的图，(b)是示出作为比较例的利用喷墨记录法而得到的图案部的显微镜观察结果的图。
图6是示出关于本发明的一个实施方式所涉及的眼镜镜片中的图案部的基于激光显微镜的观察结果的一个具体例的说明图。
具体实施方式
以下，基于附图对本发明的实施方式进行说明。
(1)眼镜镜片的概略结构
首先，关于在本实施方式中例举的眼镜镜片的概略结构进行说明。
图1是表示本实施方式举例的眼镜镜片的结构例的俯视图，图2是其剖视图。
(整体结构)
眼镜镜片10具有作为光学面的物体侧面和眼球侧面。“物体侧面”是指在配戴者配戴具有眼镜镜片10的眼镜时，位于物体侧的表面。“眼球侧面”与之相反，即是指在配戴者配戴具有眼镜镜片10的眼镜时，位于眼球侧的表面。一般来说，物体侧面为凸面而眼球侧面为凹面，即，眼镜镜片10为弯月形透镜。
如图1所示，在本实施方式的眼镜镜片10中，多个微小的点21以各向同性且均匀的方式配置在物体侧面或者眼球侧面中的至少一个面，由该点21形成规定图案。虽然在本实施方式中示出了在眼镜镜片10的整个面形成规定图案的例子，但是也可以部分地形成规定图案。此外，规定图案也可以不由多个微小的点21构成，例如，也可以由文字或图形等构成。
构成规定图案的多个点21分别形成为相同的形状(例如圆形)。这些点21“以各向同性且均匀的方式配置”是指：相邻点21之间的间隔是以定间距P进行配置。
如图2所示，具有这样的规定图案的眼镜镜片10构成为具有：作为光学基材的镜片基材11、在其两面侧(即，包括物体侧面及眼球侧面的每一侧)形成的硬涂膜(HC膜)12、在一侧的面(具体为物体侧面)侧的HC膜12上形成的图案化薄膜13以及在两面侧形成的防反射膜(AR膜)14。在此，虽然例举了图案化薄膜13配置在物体侧面的一侧的情况，但不限于此，只要配置在至少一侧的面即可。此外，在眼镜镜片10中，除HC膜12、图案化薄膜13以及AR膜14以外，也可以是还形成有其他的膜。
(镜片基材)
镜片基材11由用于光学镜片的一般的树脂材料构成，并成型为规定的镜片形状。也就是说，镜片基材11在物体侧面和眼球侧面分别具有用于构成规定的镜片形状的光学面。规定的镜片形状可以为单焦点镜片、多焦点镜片、渐进屈光力镜片等任意一种。无论是哪一种镜片形状的情况下，镜片基材11中的各光学面中至少一侧(一般为两侧)为曲面状。
构成镜片基材11的树脂材料例如使用折射率(nD)为1.50～1.74左右的树脂材料。作为这样的树脂材料，例如为烯丙基二甘醇二碳酸酯、氨酯类树脂、聚碳酸酯、硫代氨酯类树脂以及环硫树脂。另外，镜片基材11也可以不是上述树脂材料构成，而是由能够得到希望的屈光度的其他树脂材料构成，或者也可以由无机玻璃构成。
(HC膜)
HC膜12例如是使用含有硅化合物的固化材料构成，并且形成为3μm～4μm左右厚度的膜。HC膜12的折射率(nD)与上述镜片基材11的材料的折射率相近，例如为1.49～1.74左右，根据镜片基材11的材料来选择膜结构。通过这样的HC膜12的包覆，实现眼镜镜片10的耐久性的提高。
(图案化薄膜)
图案化薄膜13隔着薄膜12在镜片基材11的光学面上形成，例如，由数nm～数十nm左右的厚度的薄膜构成。作为构成图案化薄膜13的材料，例如使用具有后述的吸收激光特性的金属或者金属氧化物。即，图案化薄膜13是具有吸收性的金属氧化物膜或者金属膜。作为这样的膜，例如是包括从铬(Cr)、钽(Ta)、铌(Nb)、钛(Ti)、锆(Zr)、金(Au)、银(Ag)、锡(Sn)以及铝(Al)中选择的至少一种金属或者金属氧化物的膜，优选二氧化锡(SnO2)膜或者Cr膜。在以下说明中，主要以图案化薄膜13是SnO2膜或者Cr膜的情况为例进行说明。
此外，图案化薄膜13具有通过局部去除该薄膜而形成的图案部20。图案部20构成上述的规定图案。具体地，图案部20构成为配置有多个相同形状部分21。该相同形状部分21通过局部去除薄膜而形成，相当于上述的点21。
即在本实施方式中，图案部20构成作为规定图案的点图案，相同形状部分21构成点图案的点21。
(AR膜)
AR膜14具有层叠了折射率不同的膜的多层结构，通过干涉作用防止光的反射。但是也不必一定是多层结构，只要能够得到防止光的反射的效果，也可以是单层结构。
在AR膜14为低折射率层和高折射率层的多层结构的情况下，低折射率膜例如由折射率1.43～1.47左右的二氧化硅(SiO2)构成。此外，高折射率膜由具有比低折射率膜高的折射率的材料构成，例如以适当的比例使用氧化铌(Nb2O5)、氧化钽(Ta2O5)、氧化钛(TiO2)、氧化锆(ZrO2)、氧化钇(Y2O3)以及氧化铝(Al2O3)等金属氧化物构成。
通过这样的AR膜14的包覆，能够实现透过眼镜镜片10的像的可视性的提高。
(2)眼镜镜片的制造方法
接下来，关于制造上述结构的眼镜镜片10的步骤，即本实施方式所涉及的眼镜镜片的制造方法的步骤的一个例子，进行具体说明。
图3是示出本实施方式所涉及的制造方法的步骤的一个例子的流程图。
(基本步骤的概要)
在制造眼镜镜片10时，首先作为第一工序，准备作为光学基材的镜片基材11(步骤101，以下将““步骤”简称为“S”)。
然后，当准备了镜片基材11后，接着作为第二工序，进行在镜片基材11的两面侧形成HC膜12的工序(S102)。HC膜12的形成例如可以通过使用了使含有硅化合物的固化材料溶解的溶液的浸渍法(Dipping method)实施。形成的HC膜12不会在后述的工序中被去除。因此，HC膜12的成膜工序相当于“非去除膜形成工序”，即，在镜片基材11与后述的工序中成膜的图案化薄膜13之间，形成与该图案化薄膜13不同材料的膜作为非去除膜。
在形成HC膜12后，接着作为第三工序，在镜片基材11的光学面上隔着HC膜12进行将SnO2膜或者Cr膜的薄膜13a形成为图案化薄膜13的工序(S103)。具体地，对于作为物体侧面的凸面侧，在HC膜12上形成SnO2膜或者Cr膜的薄膜13a。这样的薄膜13a的成膜可以通过例如真空蒸镀或者溅射法实施。该工序相当于“成膜工序”，即，在曲面状的光学面上形成薄膜13a。
在薄膜13a成膜后，接着作为第四工序，进行局部去除薄膜13a而形成图案部20的工序(S104)。该工序相当于“去除工序”，即，通过局部去除薄膜13a而实施该薄膜13a的图案化。在本实施方式中利用激光的照射而进行的薄膜13a的图案化，关于其具体细节在后述说明。当实施该薄膜13a的图案化时，在凸面侧的HC膜12上形成具有图案部20的图案化薄膜13。
然后，在图案化薄膜13形成后，作为第五工序进行用于去除图案化时的残留物、附着物(异物)等的清洗工序(S105)。
然后作为第六工序，进行分别在作为物体侧面的凸面侧以及作为眼球侧面的凹面侧形成AR膜14的工序(S106)。在AR膜14为多层结构的情况下，从下层侧起依次交替层叠低折射率层和高折射率层而成膜。该成膜可以使用例如离子辅助蒸镀进行。
(去除工序的详情)
在此，关于作为第四工序而进行的去除工序(S104)，进行详细说明。
如已述那样，用于得到规定图案的图案化的方式已知有：在光学面上利用喷墨记录法形成抗蚀剂图案，并利用该抗蚀剂图案实施图案化。但是由于眼镜镜片10的光学面为曲面状，因此在利用喷墨记录法形成抗蚀剂图案的过程中，抗蚀剂图案无法在光学面上正确地形成，其结果可能无法实施高精度的图案化。因此，在本实施方式中，通过利用了激光照射的激光加工进行用于得到规定图案(即，图案部20)的图案化。
具体地，在本实施方式的去除工序(S104)中，在形成图案部20时，只对薄膜13a的应去除部分，选择性地照射激光，利用该激光的能量进行该薄膜13a的局部去除。
(激光焦点位置的三维控制)
使用适用于激光的焦点位置的三维控制的激光加工机而进行此时的该激光的照射。
作为激光加工机，使用使激光振荡的激光振荡器、将来自激光振荡器的激光会聚并照射的激光光学系统以及固定被激光照射的被照射物(本实施方式中形成薄膜后的镜片基材)的基台部的激光加工机。也可以使用激光振荡器与激光光学系统一体化形成激光头的激光加工机。在这样构成的激光加工机中，“适用于激光的焦点位置的三维控制”是指：利用激光光学系统与基台部的相对位置的移动或由激光光学系统进行的光路调整中的至少一种，从而使对被照射物照射的激光的焦点位置不仅在沿着基台部的面内的XY方向上，而且在沿着激光的光轴方向的Z方向上也能改变，并且能够控制其改变的方式。
具体地，激光的焦点位置的三维控制按以下方式进行。首先，获取关于应形成的图案部20的图案数据，以及关于形成该图案部20的镜片基材11的图案形成面的表面数据。然后，根据获取的图案数据使激光的焦点位置在XY方向上能改变，并且根据取得的表面数据使激光的焦点位置在Z方向上也能改变。这样的激光的焦点位置的三维控制，可以使用激光加工机所连接的控制用计算机装置来进行。
如果能适用于这样的激光的焦点位置的三维控制，那么即使在对曲面状的光学面上的薄膜13a进行图案化的情况下，也能够高精度地进行图案化。而且，由于利用激光能够在薄膜13a直接进行图案化，所以能够省去抗蚀剂图案的形成、去除等。
(激光的波长)
然而，在去除工序(S104)中照射的激光是用于局部去除薄膜13a的激光，优选不对薄膜13a以外的镜片基材11以及HC膜12造成因照射而带来的损伤。因此在本实施方式中，在去除工序(S104)中照射激光时，使用如下波长的激光。
图4是示出激光的波长与眼镜镜片结构部件的透射率的关系的说明图。图4的(a)针对在使用折射率1.50的镜片基材(第一镜片基材)11的情况下分别关于单独的镜片基材11(参照图中的黑色虚线)、镜片基材11+HC膜12(参照图中的灰色实线)、镜片基材11+HC膜12+AR膜14(参照图中的黑色圆点虚线)、镜片基材11+薄膜13a(参照图中的黑色实线)的每一个，示出了在使激光的波长进行变化时的透射率变化的一个具体例子。此外，图4的(b)针对在使用折射率1.60的镜片基材(第二镜片基材)11的情况下，分别关于单独的镜片基材11(参照图中的黑色虚线)、镜片基材11+HC膜12(参照图中的灰色实线)、镜片基材11+HC膜12+AR膜14(参照图中的黑色圆点虚线)、镜片基材11+薄膜13a(参照图中的黑色实线)的每一个，示出了在使激光的波长进行变化时的透射率变化的一个具体例子。此外，图4的(c)针对在使用折射率1.67的镜片基材(第三镜片基材)11的情况下，分别关于单独的镜片基材11(参照图中的黑色虚线)、镜片基材11+HC膜12(参照图中的灰色实线)、镜片基材11+HC膜12+AR膜14(参照图中的黑色圆点虚线)、镜片基材11+薄膜13a(参照图中的黑色实线)的每一个，示出了在使激光的波长进行变化时的透射率变化的一个具体例子。
根据图4的(a)～(c)可知，无论在哪一种情况下，都有以下倾向：透射率从激光波长的紫外区域到可见区域急剧增大，在可见区域(例如380nm～780nm)及近红外的一部分的波长区域(例如780nm～1150nm)，镜片基材11+薄膜13a的情况下与单独的镜片基材11或者镜片基材11+HC膜12的情况下透射率的差较大，但是在超过该波长区域时该差变小。
在激光的透射率较大的情况下，即使照射激光，由于激光的能量难以由被照射的部件吸收(即，由于激光容易透射)，所以能够抑制对该部件造成损伤等。另一方面，当透射率较小时，由于照射的激光的能量的吸收率变高，所以能够高效地进行利用吸收该能量的加工等(例如，部件的局部去除)。因此，如果层叠的部件之间的透射率相差较大，则能够实现只对一种部件进行利用激光的加工等。
基于此情况，在本实施方式中，作为去除工序(S104)中照射的激光使用如下波长的激光，该波长属于相对于镜片基材11的透射率和相对于薄膜13a的透射率的差为1％以上的、优选3％以上的、更优选5％以上的、进一步优选10％以上的波段。进而使用如下波长的激光，该波长除了相对于镜片基材11的透射率之外，还属于相对于作为非去除膜的HC膜12的透射率与相对于薄膜13a的透射率的差也为1％以上的、优选3％以上的、更优选5％以上的、进一步优选10％以上的波段。此外，也可以使用如下波长的激光，该波长属于相对于其他的作为非去除膜的AR膜14的透射率与相对于薄膜13a的透射率的差也为1％以上的、优选3％以上的、更优选5％以上的、进一步优选10％以上的波段。另外，此处所述的镜片基材11、HC膜12以及AR膜14的透射率能够包含这些叠加体的透射率。
作为透射率差为5％以上(即，更优选的透射率差)的波段，在如图4的(a)～(c)所示的具体例的情况下，例如是380nm～1150nm的波段。而且作为波长属于这样的波段的激光，在去除工序(S104)中例如照射波长为1064nm的激光。如果是波长为1064nm的激光，则透射率差为10％以上，相对于镜片基材11以及HC膜12的透射率为90％以上，能够抑制激光对镜片基材11的影响。
如此，由于透射率差至少为1％以上，因此能够实现：在照射激光时，虽然相对于镜片基材11、HC膜12等发生透射(不造成损伤)，但是由于对薄膜13的吸收率高，从而只去除照射部分。也就是说，能够实现利用激光照射直接对薄膜13a实施图案化。此外，如果透射率差优选为3％以上、更优选为5％以上、进一步优选为10％以上，那么能够准确地实施利用激光照射的直接图案化。
另外，考虑到镜片基材11、HC膜12、薄膜13a等均具有光透射性，透射率差的上限为50％左右。
(规定图案)
在此，关于在去除工序(S104)中通过图案化而形成的图案部20，举出具体例进行说明。
如上所述，在图案部20通过激光加工形成，而且该激光加工还通过能适用于激光的焦点位置的三维控制的方式实施。因此，图案部20被高精度地图案化，具体按照以下记载的精度形成。
图5是表示本实施方式的眼镜镜片的图案部的一个具体例的局部放大图。另外，图例中图案部20通过多个点(相同形状部分)21构成的点图案，分别并排地示出了配置在眼镜镜片10的光学面的中心附近的点图案的显微镜观察结果和配置在同一光学面的周缘附近的点图案的显微镜观察结果。此外，在图5的(a)中示出了通过激光加工得到的本实施方式的点图案的例子，另一方面，图5的(b)中示出了作为比较例的利用喷墨记录法得到的点图案的例子。
如图5的(a)所示，作为本实施方式的点图案的图案部20构成为在光学面上配置有点(相同形状部分)21，并且各点21的尺寸偏差均为±10％以下、优选6％以下、更优选2％以下。
此外，即便是构成配置在眼镜镜片10的光学面的中心附近的点图案的点21与构成配置在同一光学面的周缘附近的点图案的点21相比，各自的尺寸偏差也为±10％以下、优选6％以下、更优选2％以下。
这里的“尺寸偏差”是指：(1)俯视时大致正圆形的各点之间的径尺寸的偏差；以及(2)某一点21的长宽的径尺寸(长宽比)的偏差中的至少一者，优选两者。具体地，关于上述(1)，无论在光学面的中心附近还是周缘附近，各点21的径尺寸偏差例如为440±44μm以下、优选440±26μm以下、更优选440±8μm以下。此外，关于上述(2)，各点21的长宽比的偏差例如为440±44μm以下、优选440±26μm以下、更优选440±8μm以下。
另一方面，在图5的(b)中示出的利用喷墨记录法得到的点图案中，各点的尺寸偏差为超过±10％左右，具体为超过440±44μm。此外，尤其在光学面的周缘附近，由于墨水着落的时间差，导致可能产生点之间相连的点连接、在原来的点周围溅射的卫星点(小点)等，使长宽比的偏差变大的倾向较强。
也就是说，在光学面为曲面状的情况下，例如在喷墨记录法中会产生超过±10％左右的尺寸偏差、点形状破坏(长宽比的偏差)等问题。与此相对，如本实施方式所述，如果能够适用于焦点位置的三维控制并照射激光，从而进行图案化，则由此能够将形成的图案部20的尺寸偏差控制在±10％以下、优选6％以下、更优选2％以下。尤其，对于上述(2)的长宽比的偏差，与喷墨记录法的情况相比得到了高度的改善。因此，即使在形成由配置在曲面形状的光学面的多个点21构成的点图案的情况下，也能够以非常高的精度形成该点图案，其结果是能够确保图案化后的镜片部件的品质稳定。
尤其是在光学面为曲面状的情况下，虽然在光学面的中心附近和周缘附近产生最大尺寸偏差的可能性高，但是如本实施方式所述的那样，如果能适用于焦点位置的三维控制并照射激光进行图案化，则能够将该最大尺寸偏差抑制在±2％以下。因此，例如即使在曲面状的光学面的整个面配置点图案的情况下，也能够以非常高的精度形成该点图案，其结果是能够确保眼镜镜片10的品质稳定。
此外，考虑到图案部20是通过激光加工而形成的，所以在去除薄膜13a而露出的基底面具有用激光显微镜观察到的激光加工痕迹。
图6是示出关于本实施方式所涉及的眼镜镜片中的图案部的由激光显微镜产生的观察结果的一个具体例子的说明图。
如图例所示，如果通过激光显微镜观察由激光加工形成的图案部20，那么在去除薄膜13a而露出的基底面，能够看到沿着去除工序(S104)中照射激光时的扫描轨迹存在的激光加工痕迹。也就是说，如果构成图案部20的各点21具有激光加工痕迹，则可以清楚地确认各点21是通过激光的照射局部去除薄膜13a而形成的。
如果是这样的图案部20(即，通过激光加工而形成的点21)，那么，即使在经由对曲面状的光学面上的薄膜13a的图案化而形成的情况下，也能以非常高的精度形成。因此，各点21构成了例如以非常高的精度形成的点图案，其结果是能够确保眼镜镜片10的品质稳定。
另外，在上述说明中，虽然对点21的径尺寸举出具体数值为例，但是并不一定限定于此。
可以考虑的点21的直径DD例如为：0.01mm以上、更优选0.05mm以上、进一步优选0.1mm以上，而且例如为：5.0mm以下、优选2.0mm以下、更优选1.0mm以下、进一步优选0.5mm以下。
此外，可以考虑的从某一点21的中心到相邻的另一点21的中心的间隔AD例如为：0.1mm以上、优选0.2mm以上、更优选0.3mm以上，而且例如为：5.0mm以下、优选3.0mm以下、更优选1.0mm以下。
可以考虑的间隔AD/直径DD的值优选大于1.0、更优选1.1以上、进一步优选1.2以上，而且优选为2.0以下、更优选1.8以下、进一步优选1.5以下。
在任何一种情况下，在本实施方式中的尺寸偏差均被抑制在±10％以下、优选6％以下、更优选2％以下。
(3)本实施方式产生的效果。
根据本实施方式，能得到以下所示的一个或多个效果。
(a)在本实施方式中，在去除工序(S104)中，利用激光进行图案化。因此，能够高精度地对曲面状的光学面上的薄膜13a进行图案化，能够确保制造的眼镜镜片10的品质稳定。此外，由于利用激光能够在薄膜13a直接进行图案化，所以能够省略抗蚀剂图案的形成、去除等。
(b)尤其，如本实施方式中说明的那样，如果用能适用于该激光的焦点位置的三维控制的激光加工机进行激光的照射，则会非常适于对曲面状的光学面上的薄膜13a进行图案化的情况。
(c)在本实施方式中，作为去除工序(S104)中照射的激光，使用波长属于相对于镜片基材11的透射率与相对于薄膜13a的透射率的差为1％以上、优选3％以上、更优选5％以上、进一步优选10％以上的波段的激光。如此，通过将透射率差设置为至少1％以上，从而能够实现：在照射激光时，虽然对于镜片基材11会发生透射(不造成损伤)，但由于薄膜13a吸收率较高从而只去除照射部分。也就是说，能够实现利用激光照射而直接在薄膜13a进行图案化。
(d)此外，在本实施方式中，作为去除工序(S104)中照射的激光使用如下波长的激光，该波长除了相对于镜片基材11的透射率之外，也属于相对于HC膜12的透射率与相对于薄膜13a的透射率的差为1％以上、优选3％以上、更优选5％以上、进一步优选10％以上的波段。由此，即使在镜片基材11的光学面上形成有HC膜12的情况下，也能够实现利用激光照射而直接在薄膜13a进行图案化。
(e)如本实施方式中说明的那样，在光学基材为镜片基材11，光学部件为眼镜镜片10的情况下，该眼镜镜片10一般具有曲面状的光学面，因为即使在此情况下也能够进行高精度的图案化，所以能够确保该眼镜镜片10的品质稳定。
(f)如本实施方式中说明的那样，如果薄膜13a为SnO2膜或Cr膜，则能够在确保光学部件的光透过性的同时，实现图案化的效果(确保规定图案的可视性等)，尤其优选适用于应用在眼镜镜片10的情况。但是，薄膜13a不限定于SnO2膜或Cr膜，只要是具有吸收的氧化金属膜或金属膜，则即使是其他的氧化金属膜或金属膜，也能够完全相同地进行应用，并且在该情况下也能够得到同样的效果。
(g)在由本实施方式的制造方法得到的眼镜镜片10中，分别以大致相同的形状及尺寸高精度地形成作为构成图案部20的多个相同形状部分的点21。也就是说，即使光学面为曲面状，也可以进行高精度的图案化。因此，能够确保眼镜镜片10的品质稳定。
(h)在由本实施方式的制造方法得到的眼镜镜片10中，图案部20的构成该图案部20的各点21的尺寸偏差为±10％以下、优选6％以下、更优选2％以下。在光学面为曲面状的情况下，虽然例如在喷墨记录法中会产生超过±10％左右的尺寸偏差，但是如果能适用于焦点位置的三维控制并照射激光进行图案化，则能够将尺寸偏差控制在±10％以下、优选6％以下、更优选2％以下。因此，即使是配置多个点21而构成的图案部20，也能够高精度地实施该图案化。
尤其在光学面为曲面状的情况下，虽然在光学面的中心附近和周缘附近产生最大尺寸偏差的可能性较高，但是通过将该最大尺寸偏差抑制在±10％以下、优选6％以下、更优选2％以下，从而实现薄膜13a的图案化的高精度化，并且在确保眼镜镜片10的品质稳定方面也是非常优选的。
(i)在本实施方式的制造方法得到的眼镜镜片10中，图案部20构成点图案。关于点图案，在实现作为该点图案的效果(例如，透射光量抑制效果)的基础上，各点的均匀性也非常重要。即使在此情况下，如本实施方式中说明的那样，如果各点的尺寸偏差为±10％以下，则能可靠地实现作为该点图案的效果。
(j)在由本实施方式的制造方法得到的眼镜镜片10中，图案部20在去除薄膜13a而露出的基底面具有激光加工痕迹。如果图案部20具有激光加工痕迹，那么可知该图案部20是通过激光的照射并局部去除薄膜13a而形成的。如果是利用激光而形成的图案部20，则凭借在照射激光时能适用于焦点位置的三维控制，即使在对曲面状的光学面上的薄膜13a进行图案化的情况下，也能够高精度地进行图案化。因此，在确保眼镜镜片10的品质稳定方面是非常优选的。
(4)变形例等
虽然上述说明了本发明的实施方式，但是上述公开内容是表示本发明的示例性的实施方式的内容。即，本发明的技术范围不限于上述示例性的实施方式，能够在不脱离其主旨的范围内进行各种变更。
在上述实施方式中，例举了在HC膜12上形成图案化薄膜13的情况，但是本发明不限于此。也就是说，图案化薄膜13例如可以不隔着HC膜12，直接在镜片基材11上形成，或者也可以是隔着HC膜12以外的其他种类的膜而形成。
此外在上述实施方式中，虽然以图案部20是由多个点(相同形状部分)21构成点图案的情况为例进行说明，但是本发明不限于此。也就是说，图案部20例如也可以不是由点21构成，例如也可以由文字或图形等构成。此外，图案部20可以不是眼镜镜片10的光学面的整个面，也可以部分地形成。此外，也可以将微小的点聚集并构成文字或图形等。
附图标记说明
10：眼镜镜片(光学部件)；11：镜片基材(光学基材)；12：HC膜(非去除膜)；13：图案化薄膜；13a：薄膜；14：AR膜；20：图案部；21：点(相同形状部分)。
Claims (25)
1.一种光学部件的制造方法，包括：
成膜工序，在具有曲面状的光学面的光学基材的所述光学面上，或在所述光学基材上形成的非去除膜上形成薄膜；
去除工序，局部去除所述光学面上或所述非去除膜上的所述薄膜，进行该薄膜的图案化；以及，
对防反射膜进行成膜的工序，所述防反射膜覆盖图案化后的所述薄膜，
在所述去除工序中，利用激光的照射进行所述薄膜的去除，
作为在所述去除工序中照射的激光使用如下波长的激光，该波长属于380nm～1150nm的波段，并且该波长属于相对于所述光学基材或在所述光学基材与所述薄膜之间形成的所述非去除膜的透射率与相对于所述薄膜的透射率的差为1％以上的波段。
2.根据权利要求1所述的光学部件的制造方法，其中，
在所述去除工序中，使用适用于所述激光的焦点位置的三维控制的激光加工机进行该激光的照射。
3.根据权利要求1所述的光学部件的制造方法，其中，
使用如下波长的激光，该波长属于相对于所述光学基材的透射率与相对于所述薄膜的透射率的差为3％以上的波段。
4.根据权利要求3所述的光学部件的制造方法，其中，
使用如下波长的激光，该波长属于相对于所述光学基材的透射率与相对于所述薄膜的透射率的差为5％以上的波段。
5.根据权利要求4所述的光学部件的制造方法，其中，
使用如下波长的激光，该波长属于相对于所述光学基材的透射率与相对于所述薄膜的透射率的差为10％以上的波段。
6.根据权利要求1所述的光学部件的制造方法，其中，
形成所述非去除膜的工序是在所述光学基材与所述薄膜之间，形成与所述薄膜不同材料的膜作为非去除膜。
7.根据权利要求6所述的光学部件的制造方法，包括：
使用如下波长的激光，该波长属于相对于所述非去除膜的透射率与相对于所述薄膜的透射率的差为3％以上的波段。
8.根据权利要求7所述的光学部件的制造方法，包括：
使用如下波长的激光，该波长属于相对于所述非去除膜的透射率与相对于所述薄膜的透射率的差为5％以上的波段。
9.根据权利要求8所述的光学部件的制造方法，包括：
使用如下波长的激光，该波长属于相对于所述非去除膜的透射率与相对于所述薄膜的透射率的差为10％以上的波段。
10.根据权利要求1所述的光学部件的制造方法，其中，
所述光学部件是眼镜镜片。
11.根据权利要求1所述的光学部件的制造方法，其中，
所述薄膜是具有吸收性的氧化金属膜或者金属膜。
12.根据权利要求1所述的光学部件的制造方法，其中，
通过所述去除工序中的图案化形成的图案部构成为在所述光学面上配置多个相同形状部分，并且各个所述相同形状部分的尺寸偏差为±10％以下。
13.根据权利要求12所述的光学部件的制造方法，其中，
各个所述相同形状部分的尺寸偏差为±6％以下。
14.根据权利要求13所述的光学部件的制造方法，其中，
各个所述相同形状部分的尺寸偏差为±2％以下。
15.一种光学部件，具有：
光学基材，其具有曲面状的光学面；
薄膜，其形成于所述光学基材的所述光学面上或在所述光学基材上形成的非去除膜上；
图案部，其通过使用如下波长的激光局部去除所述薄膜而形成，该波长属于380nm～1150nm的波段，并且该波长属于相对于所述光学基材或在所述光学基材与所述薄膜之间形成的所述非去除膜的透射率与相对于所述薄膜的透射率的差为1％以上的波段；以及，
覆盖所述图案部的防反射膜，
所述图案部构成为在所述光学面上配置多个相同形状部分。
16.根据权利要求15所述的光学部件，其中，
在所述图案部中，各个所述相同形状部分的尺寸偏差为±10％以下。
17.根据权利要求16所述的光学部件的制造方法，其中，
各个所述相同形状部分的尺寸偏差为±6％以下。
18.根据权利要求17所述的光学部件的制造方法，其中，
各个所述相同形状部分的尺寸偏差为±2％以下。
19.根据权利要求16所述的光学部件，其中，
在所述图案部中，配置于所述光学面的中心附近的所述相同形状部分与配置于所述光学面的周缘附近的所述相同形状部分的尺寸偏差为±10％以下。
20.根据权利要求19所述的光学部件，其中，
所述配置于所述光学面的中心附近的所述相同形状部分与配置于所述光学面的周缘附近的所述相同形状部分的尺寸偏差为±6％以下。
21.根据权利要求20所述的光学部件，其中，
所述配置于所述光学面的中心附近的所述相同形状部分与配置于所述光学面的周缘附近的所述相同形状部分的尺寸偏差为±2％以下。
22.根据权利要求15所述的光学部件，其中，
所述图案部构成点图案；
所述相同形状部分构成所述点图案中的点。
23.根据权利要求15所述的光学部件，其中，
所述图案部在去除所述薄膜而露出的基底面具有激光加工痕迹。
24.根据权利要求15所述的光学部件，其中，
所述光学部件是眼镜镜片。
25.根据权利要求15所述的光学部件，其中，
所述薄膜是具有吸收性的氧化金属膜或者金属膜。
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