CN112934593A - 一种半导体单晶硅提拉机 - Google Patents

一种半导体单晶硅提拉机 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种半导体单晶硅提拉机，其结构包括升降气缸、夹具、溶液槽、架体、安装块，升降气缸安装在架体上，夹具用升降气缸控制，夹具配合在溶液槽内，溶液槽用安装块固定在架体上，溶液槽包括内胆、外胆、槽腔，内胆接触配合在外胆的内壁，溶液槽为长方体结构，外胆与槽腔为一体化结构，本发明溶液槽内设有内胆与外胆，其中内胆设有的内隔板与外隔板之间用连接滑块连接在一起，当夹具伸入到槽腔内部时，连接滑块顺着丝杠向上移动，将内隔板从槽腔中带出，延长整个溶液槽的高度，避免升高的液面在夹具取料时发生意外抖动带来的溶液飞溅问题。

Description

一种半导体单晶硅提拉机
技术领域
本发明涉及半导体加工设备领域，特别的，是一种半导体单晶硅提拉机。
背景技术
晶体硅是硅类半导体和太阳能光伏电池的重要原材料，半导体单晶硅因为材质特殊，实用性强，因此被应用于各个领域，半导体单晶硅在生长中需要在硅片或者圆柱形基片上镀上均匀的薄膜，就是把需要镀膜的基片浸入溶液中，通过预先设置的速度，在一定的温度和空气环境下将基片慢慢提拉出来，提拉过程可以分为5个步骤：
1浸入溶液：将基片以预先设定的速度侵入镀膜溶液中；
2浸泡：让基片在溶液中浸泡一定的时间，然后准备提拉；
3沉积：在提拉的过程中，薄膜会沉积在基片上，提拉速度是膜层厚度一个重要的决定因素，提拉速度越快，膜层厚度越厚；
4溢流：多余的溶液会在提拉的过程中从基片表面上流掉；
5挥发：溶剂从溶液中挥发掉，在基片表面上形成薄膜，易挥发的溶剂如酒精，挥发过程在沉积和溢流的过程中会同时进行；
在提拉过程中，取料夹具需要延伸至溶液内夹取基片，由于夹具具有一定的重量，在伸入到溶液时，溶液液面有所升高，在提拉过程中，若是取料夹具发生意外抖动，溶液搅动容易从容器中飞溅出来，造成物料浪费且污染工作环境。
发明内容
本发明的目的在于提供一种半导体单晶硅提拉机，用以解决在提拉过程中，取料夹具需要延伸至溶液内夹取基片，由于夹具具有一定的重量，在伸入到溶液时，溶液液面有所升高，在提拉过程中，若是取料夹具发生意外抖动，溶液搅动容易从容器中飞溅出来，造成物料浪费且污染工作环境的技术问题。
为了实现上述目的，本发明是通过如下的技术方案来实现：一种半导体单晶硅提拉机，其结构包括升降气缸、夹具、溶液槽、架体、安装块，所述升降气缸安装在架体上，所述夹具用升降气缸控制，所述夹具配合在溶液槽内，所述溶液槽用安装块固定在架体上，所述溶液槽包括内胆、外胆、槽腔，所述内胆接触配合在外胆的内壁，所述溶液槽为长方体结构，外胆与槽腔为一体化结构，所述内胆的底部与槽腔的底面有10-15cm的间隙。
作为本发明优选的，所述内胆与外胆之间配合有外隔板、丝杠、内隔板、连接滑块、橡胶密封层、限位支杆，所述外隔板的内部安装有丝杠，所述丝杠上活动配合有连接滑块，所述连接滑块采用电气驱动，所述橡胶密封层固定在内隔板的底部，所述橡胶密封层与外隔板紧密贴合，所述限位支杆设在外隔板内部。
作为本发明优选的，所述限位支杆为T字形结构，所述限位支杆与内隔板的底部为同一平面。
作为本发明优选的，所述内隔板与外隔板均为空心板。
作为本发明优选的，所述连接滑块与内隔板固定连接。
作为本发明优选的，所述内隔板设有摆片、安装槽、空心轴、实心轴、吸盘、连接转轴，所述摆片与实心轴铰接连接，所述实心轴设在空心轴的内部，所述实心轴的底部与吸盘的表面固定连接，所述吸盘吸附固定有橡胶密封层，所述吸盘的表面侧边与连接转轴机械连接。
作为本发明优选的，所述内隔板与外隔板相向的一侧不接触。
与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：
1、本发明溶液槽内设有内胆与外胆，其中内胆设有的内隔板与外隔板之间用连接滑块连接在一起，当夹具伸入到槽腔内部时，连接滑块顺着丝杠向上移动，将内隔板从槽腔中带出，延长整个溶液槽的高度，避免升高的液面在夹具取料时发生意外抖动带来的溶液飞溅问题。
2、本发明内隔板与外隔板之间相向的一侧保留有间隙，使两者之间不接触，在内隔板沿着外隔板向上移动时，避免两者发生刚性接触摩擦。
3、本发明在内隔板的底部设有橡胶密封层，橡胶密封层位于内隔板的底部与外隔板表面紧紧贴合在一起，利用橡胶密封层可避免溶液槽内部溶液流入到内隔板与外隔板之间的间隙中。
4、本发明内隔板中设置有吸盘、连接转轴、摆片、空心轴与实心轴，其中实心轴与摆片铰接在一起，摆片长度为15cm，拨动摆片，使摆片与实心轴成一条直线时，下压摆片，实心轴向下推动吸盘，使吸盘沿着连接转轴做90°旋转，将橡胶密封层由平面式转变成直角式，方便于橡胶密封层的拆装。
附图说明
图1为本发明一种半导体单晶硅提拉机的结构示意图。
图2为本发明溶液槽的结构示意图。
图3为本发明溶液槽中内胆与外胆的配合结构示意图。
图4为本发明溶液槽中伸入夹具时内胆与外胆配合的原理结构示意图。
图5为本发明内隔板的平面结构示意图。
图6为本发明内隔板的立体结构示意图。
图中：升降气缸1、夹具2、溶液槽3、架体4、安装块5、内胆31、外胆32、槽腔33、外隔板310、丝杠311、内隔板312、连接滑块313、橡胶密封层314、限位支杆315、摆片12a、安装槽12b、空心轴12c、实心轴12d、吸盘12e、连接转轴12f。
具体实施方式
需说明的是，当部件被称为“固定于”或“设置于”另一个部件，它可以直接在另一个部件上或者间接在该另一个部件上，当一个部件被称为是“连接于”另一部件，它可以是直接连接到另一个部件或者间接连接至该另一个部件上。
为使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
实施例1
如图1-图6所示，本发明提供一种半导体单晶硅提拉机，其结构包括升降气缸1、夹具2、溶液槽3、架体4、安装块5，所述升降气缸1安装在架体4上，所述夹具2用升降气缸1控制，所述夹具2配合在溶液槽3内，所述溶液槽3用安装块5固定在架体4上，所述溶液槽3包括内胆31、外胆32、槽腔33，所述内胆31接触配合在外胆32的内壁，所述溶液槽3为长方体结构，外胆32与槽腔33为一体化结构，所述内胆31的底部与槽腔33的底面有10-15cm的间隙，所述内胆31与外胆32之间配合有外隔板310、丝杠311、内隔板312、连接滑块313、橡胶密封层314、限位支杆315，所述外隔板310的内部安装有丝杠311，所述丝杠311上活动配合有连接滑块313，所述连接滑块313采用电气驱动，所述橡胶密封层314固定在内隔板312的底部，所述橡胶密封层314与外隔板310紧密贴合，所述限位支杆315设在外隔板310内部，所述限位支杆315为T字形结构，所述限位支杆315与内隔板312的底部为同一平面，所述内隔板312与外隔板310均为空心板，所述连接滑块313与内隔板312固定连接，所述内隔板312设有摆片12a、安装槽12b、空心轴12c、实心轴12d、吸盘12e、连接转轴12f，所述摆片12a与实心轴12d铰接连接，所述实心轴12d设在空心轴12c的内部，所述实心轴12d的底部与吸盘12e的表面固定连接，所述吸盘12e吸附固定有橡胶密封层314，所述吸盘12e的表面侧边与连接转轴12f机械连接，所述内隔板312与外隔板310相向的一侧不接触。
下面对本发明提供的一种半导体单晶硅提拉机的实现进行详细的描述：
本发明溶液槽内设有内胆31与外胆32，其中内胆31设有的内隔板312与外隔板310之间用连接滑块313连接在一起，当夹具2伸入到槽腔33内部时，连接滑块313启动，沿着丝杠311向上移动，将内隔板312从槽腔33中带出，延长整个溶液槽3的高度，避免升高的液面在夹具2取料时发生意外抖动带来的溶液飞溅问题，在内隔板312的底部设有橡胶密封层314，橡胶密封层314位于内隔板312的底部与外隔板310表面紧紧贴合在一起，通过橡胶密封层314可避免溶液槽3内部溶液流入到内隔板312与外隔板310之间的间隙中；
由于橡胶密封层314长期接触到外隔板310，为保证该密封性，需要定期的更换橡胶密封层314，其中橡胶密封层314采用吸盘12e固定，在更换时，内隔板312再次上升，将橡胶密封层314与液面分离，但是不脱离溶液槽3，因为橡胶密封层314位于内隔板312的底部，在拆装时，特别是装上新的橡胶密封层314在夹持位置的对位较不准确，因此，橡胶密封层314用于固定的吸盘12e表面上端与实心轴12d连接在一起，而侧边与连接转轴12f连接，在更换时，操作者只需要掰起与实心轴12d铰接的摆片12a，使摆片12a与实心轴12d呈一条直线，随后向下按压摆片12a，实心轴12d下压中带动吸盘12e朝向连接转轴12f的一侧旋转，也就是橡胶密封层314由开始的直线式转换成直角式，此时的橡胶密封层314与内隔板312呈向内垂直的，让操作者更加直观的看到橡胶密封层314的夹持位置，既方便橡胶密封层314的更换，同时安装也更加的准确。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (7)

1.一种半导体单晶硅提拉机，其特征在于：其结构包括升降气缸(1)、夹具(2)、溶液槽(3)、架体(4)、安装块(5)，所述升降气缸(1)安装在架体(4)上，所述夹具(2)用升降气缸(1)控制，所述夹具(2)配合在溶液槽(3)内，所述溶液槽(3)用安装块(5)固定在架体(4)上，所述溶液槽(3)包括内胆(31)、外胆(32)、槽腔(33)，所述内胆(31)接触配合在外胆(32)的内壁，所述溶液槽(3)为长方体结构，外胆(32)与槽腔(33)为一体化结构，所述内胆(31)的底部与槽腔(33)的底面有10-15cm的间隙。
2.根据权利要求1所述的一种半导体单晶硅提拉机，其特征在于：所述内胆(31)与外胆(32)之间配合有外隔板(310)、丝杠(311)、内隔板(312)、连接滑块(313)、橡胶密封层(314)、限位支杆(315)，所述外隔板(310)的内部安装有丝杠(311)，所述丝杠(311)上活动配合有连接滑块(313)，所述连接滑块(313)采用电气驱动，所述橡胶密封层(314)固定在内隔板(312)的底部，所述橡胶密封层(314)与外隔板(310)紧密贴合，所述限位支杆(315)设在外隔板(310)内部。
3.根据权利要求2所述的一种半导体单晶硅提拉机，其特征在于：所述限位支杆(315)为T字形结构，所述限位支杆(315)与内隔板(312)的底部为同一平面。
4.根据权利要求2所述的一种半导体单晶硅提拉机，其特征在于：所述内隔板(312)与外隔板(310)均为空心板。
5.根据权利要求2所述的一种半导体单晶硅提拉机，其特征在于：所述连接滑块(313)与内隔板(312)固定连接。
6.根据权利要求2所述的一种半导体单晶硅提拉机，其特征在于：所述内隔板(312)设有摆片(12a)、安装槽(12b)、空心轴(12c)、实心轴(12d)、吸盘(12e)、连接转轴(12f)，所述摆片(12a)与实心轴(12d)铰接连接，所述实心轴(12d)设在空心轴(12c)的内部，所述实心轴(12d)的底部与吸盘(12e)的表面固定连接，所述吸盘(12e)吸附固定有橡胶密封层(314)，所述吸盘(12e)的表面侧边与连接转轴(12f)机械连接。
7.根据权利要求2所述的一种半导体单晶硅提拉机，其特征在于：所述内隔板(312)与外隔板(310)相向的一侧不接触。
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