CN112863868A - 一种耐高温高湿安全膜的制作方法 - Google Patents
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Abstract
一种耐高温高湿安全膜的制作方法，包括以下步骤：S1、预处理；S2、极化处理；S3、屏蔽处理；S4、金属化处理；S5、保护油膜处理；S6、后处理；本发明通过前处理装置对薄膜进行处理，提高金属镀层在薄面表面的附着力和致密性，使金属化膜金属镀层抗氧化性更好，使金属化耐高温高湿，通过后处理装置，对保护油层进行适当的交联处理，在金属镀层表面形成保护油膜，很好的把金属层和空气中的水汽及氧气隔开，提高金属镀层的抗氧化能力，使金属化膜耐高温，高湿，采用屏蔽带和安全膜图案的设计，使得制作的耐温高温高湿的电容器安全等级提高，具有更好的防爆性，在高温高湿的环境中电容器的容量更加稳定。
Description
技术领域
本发明涉及耐高温高湿安全膜领域，特别涉及一种耐高温高湿安全膜的制作方法。
背景技术
随着薄膜电容器的发展，部分应用领域要求电容器能够在高温高湿的环境中长期稳定运行，而电容器容量不发生大的变化，这就需要提供一种耐高温高湿安全膜，使得电容器中的安全膜能够在高温高湿的环境中使用，确保电容器不会轻易的出现击穿或是着火现象。使用双85试验(85度的温度和85％的湿度)来检测电容器的耐温、耐湿性能，测试后电容器容量变化越小越好，一般要求电容量变化率≤10％。(电容量变化率＝(试验前容量—试验后容量)/试验前容量)，同时还要求电容器具有高的安全等级，但是现有的电容器由于工艺等方面的限制，非常容易出现击穿，发生电容器着火或者炸裂的情况，电容器的使用寿命大大减小。
发明内容
本发明的旨在解决上述问题而提供一种耐高温高湿安全膜的制作方法，解决现有安全膜使用于电容器上容易出现击穿，电容器着火或者炸裂的情况，电容器使用寿命短的问题。
为达此目的，本发明采用以下技术方案：
一种耐高温高湿安全膜的制作方法，包括以下步骤：
S1、预处理，将基膜放入真空装置中进行抽真空处理；
S2、极化处理，将预处理后的基膜在真空状态下转移至前处理装置中，所述的前处理装置内通入惰性气体，且前处理装置接通高压直流电源，通过前处理装置对预处理后的基膜表面进行极化处理；
S3、屏蔽处理，将极化处理后的基膜转移至屏蔽油装置内，通过屏蔽油装置在基膜表面形成部分屏蔽的屏蔽带，所述屏蔽带是由屏蔽油冷凝在基膜上而形成的；再将形成屏蔽带的基膜转移至安全膜图案装置内，安全膜图案装置对屏蔽带压型，使之形成安全膜图案；
S4、金属化处理，将表面含有安全膜图案的基膜经过铝蒸发装置和冷鼓处理，在除安全膜图案之外的基膜表面形成铝金属层，再将基膜经过锌蒸发装置和冷鼓处理，在除安全膜图案之外的基膜表面形成锌铝金属层；
S5、保护油膜处理，将金属化处理后的基膜转移到金属镀层装置内，金属镀层装置内含有保护油，保护油经蒸发后冷凝到锌铝金属层上，在锌铝金属层上形成保护油膜；
S6、后处理，在后处理装置间通入惰性气体，将含有保护油膜的基膜放入后处理装置中，接通高压直流电源，通过交联反应形成更加稳定的保护油膜。
优选的，在步骤S1中，将基膜真空装置内的压强抽至10-2pa以下。
优选的，在步骤S2中，将前处理装置与3kw-5kw的高压直流电源连接，基膜在前处理装置中进行极化处理，惰性气体为氩气。
优选的，在步骤S3中，屏蔽油装置内设有加热装置，通过加热装置将屏蔽油加热至100℃-140℃，屏蔽油蒸发后冷凝到基膜上，在基膜表面形成屏蔽带。
优选的，在步骤S3中，安全膜装置内设有气缸和套筒，在气缸的作用下，带动套筒与覆盖有屏蔽油的基膜表面接触，形成安全膜图案。
优选的，在步骤S4中，铝蒸发装置内的温度为1000℃-1200℃，锌蒸发装置内的温度为400℃-800℃，冷鼓的温度为-20℃-0℃。
优选的，在步骤S4中，锌蒸发装置内设有喷嘴，喷嘴上设有不同大小的间隙，间隙的宽度在0-5mm之间，通过喷嘴控制锌金属化层的厚度，在基膜表面形成金属化膜的加厚区和普通区。
优选的，在步骤S5中，保护油的蒸发温度为100℃-140℃，保护油为硅油。
优选的，在步骤S6中，将后处理装置与5kw-15kw的高压直流电源连接，基膜表面的保护油在后处理装置中进行交联反应，惰性气体为氩气。
本发明的贡献在于：
(1)、本发明通过前处理装置对薄膜进行处理，提高金属镀层在薄面表面的附着力和致密性，使金属化膜金属镀层抗氧化性更好，使金属化耐高温高湿。
(2)、通过后处理装置，对保护油层进行适当的交联处理，在金属镀层表面形成保护油膜，很好的把金属层和空气中的水汽及氧气隔开，提高金属镀层的抗氧化能力，使金属化膜耐高温和高湿。
(3)、采用屏蔽带和安全膜图案的设计，使得制作的耐温高温高湿的电容器安全等级提高，具有更好的防爆性，在高温高湿的环境中电容器的容量更加稳定。
附图说明
图1是本发明方法的制备流程图；
图2是本发明实施例a的金属膜的SEM的10万倍照片；
图3是本发明实施例b的金属膜的SEM的10万倍照片；
图4是本发明实施例c的金属膜的SEM的10万倍照片；
图5是本发明实施例d的金属膜的SEM的10万倍照片；
具体实施方式
下列实施例是对本发明的进一步解释和补充，对本发明不构成任何限制。
如图1-5所示，一种耐高温高湿安全膜的制作方法，包括以下步骤：
S1、预处理，将基膜放入真空装置中进行抽真空处理；
S2、极化处理，将预处理后的基膜在真空状态下转移至前处理装置中，所述的前处理装置内通入惰性气体，且前处理装置接通高压直流电源，通过前处理装置对预处理后的基膜表面进行极化处理；
S3、屏蔽处理，将极化处理后的基膜转移至屏蔽油装置内，通过屏蔽油装置在基膜表面形成部分屏蔽的屏蔽带，所述屏蔽带是由屏蔽油冷凝在基膜上而形成的；再将形成屏蔽带的基膜转移至安全膜图案装置内，安全膜图案装置对屏蔽带压型，使之形成安全膜图案；
S4、金属化处理，将表面含有安全膜图案的基膜经过铝蒸发装置和冷鼓处理，在除安全膜图案之外的基膜表面形成铝金属层，再将基膜经过锌蒸发装置和冷鼓处理，在除安全膜图案之外的基膜表面形成锌铝金属层；
S5、保护油膜处理，将金属化处理后的基膜转移到金属镀层装置内，金属镀层装置内含有保护油，保护油经蒸发后冷凝到锌铝金属层上，在锌铝金属层上形成保护油膜；
S6、后处理，在后处理装置间通入惰性气体，将含有保护油膜的基膜放入后处理装置中，接通高压直流电源，通过交联反应形成更加稳定的保护油膜。
预处理抽真空使得基膜(基膜优选为聚丙烯基膜或聚酯基膜)在真空装置中的压力小于10-2pa，方便后续在基膜表面镀铝，具体的，铝在标准大气压下的蒸发温度为2700度左右，往往需要较高的条件才能实现铝蒸发，需要消耗较多的能耗并且设备的要求也相应的要提高，故而通过预处理真空镀到10-2pa以下，铝的蒸发温度约为1200度左右，大大节约了能耗的设备要求，能够较为方便的对基膜进行预处理。此外如果在非真空状态下，或者真空度不够，铝蒸镀过程中回和空气中的氧气反应，形成不导电的Al2O3，不能得到金属化膜需要的金属层。
极化处理为在前处理装置间通入惰性气体，通过前处理装置对预处理后的基膜表面进行极化处理，更进一步的说明，前处理装置包含阴极和阳极，阳极和高压直流电源(电源功率为3kw-5kw)连接，电极之间通入少量的惰性气体(优选氩气)。在前处理装置之间形成等离子体，等离子体对基膜表面进行处理，达到基膜表面极化处理的目的。
屏蔽处理为将极化处理后的基膜通过屏蔽油装置，在基膜表面形成屏蔽带，再将含有屏蔽带的基膜通过安全膜装置，在基膜表面形成安全膜图案，具体的，屏蔽油装置包括屏蔽油辊，屏蔽油辊中有加热装置，加热装置把屏蔽油(屏蔽油为氟系油)加热到100℃-140℃，屏蔽油蒸发后冷凝到基膜上，在基膜表面形成屏蔽带，再将含有屏蔽带的基膜放入安全膜装置，安全膜装置包括气缸和套筒，在气缸的作用下，带动套筒与覆盖有屏蔽油的基膜表面接触，形成安全膜图案，附着有屏蔽油安全膜图案的位置因为屏蔽油表面张力低，后续金属化膜处理中的铝分子不能附着在屏蔽油上，故而形成没有金属电极的绝缘间隙。
更进一步的说明，安全膜图案即金属化安全膜保险丝结构(也可称为网状薄膜结构，且网格间均有保险丝)是通过在设计有安全膜图案的套筒上涂一层屏蔽油，然后印到基膜上，在基膜上形成屏蔽油图案。蒸镀的时候，金属无法在有屏蔽油的位置附着，该位置不会形成金属层，生产出含有保险丝结构的安全膜。当网状的薄膜发生电弱点击穿时，击穿放电电流使保险丝熔断，击穿点与整体电极隔离，这样会使电容器的使用性能更可靠，更安全。
金属化处理，将表面含有安全膜图案的基膜经过铝蒸发装置和冷鼓处理，在基膜表面形成铝金属层，再将基膜经过锌蒸发装置和冷鼓处理，在基膜表面形成锌铝金属层，更进一步的说明，首先通过铝蒸发装置将金属铝在10-2pa下加热至1000℃-1200℃，形成的铝蒸汽进入冷鼓(冷鼓为圆柱形进行金属辊筒，内部循环通入冷媒，冷鼓的温度为-20℃-0℃)后受冷附着到基膜表面，形成铝金属电极。
通过铝蒸发装置的基膜再通入锌蒸发装置，锌蒸发装置内设有加热装置，锌槽和喷嘴。加热装置将锌的温度加热至400℃-800℃。锌喷嘴上设置有不同大小间隙，所述间隙来控制锌金属层的厚度，间隙大小为0-5mm。锌蒸汽通过锌喷嘴后在冷鼓冷却作用下附着与铝金属层的表面，形成锌铝金属层。
保护油膜处理，将金属化膜处理后的基膜通过金属镀层装置，金属镀层装置内含有保护油，保护油经蒸发后冷凝到金属化膜金属镀层上，在金属镀层上形成保护油膜，具体的，金属镀层装置内含有加热装置，将保护油加热至100℃-140℃，使得保护油形成蒸汽，保护油蒸发后冷凝到金属化膜金属镀层上，在金属镀层上形成保护油膜，其中保护油为硅油。
后处理，在后处理装置间通入惰性气体，将含有保护油膜的基膜放入后处理装置中，通过交联反应形成更加稳定的保护油膜，更进一步的说明，后处理处理装置包含阴极和阳极，阳极和高压直流电源(电源功率为5kw-15kw)连接，电极之间通入少量的惰性气体(优选氩气)，在蒸镀过程时，在后处理装置之间形成等离子体，等离子体对蒸镀后的薄膜表面进行处理，金属层表面的保护油层在后处理的作用下，发生一定程度的交联，形成更加稳定的保护油膜。
本发明的所有步骤中基膜经过的设备均是在真空环境中进行，保证了锌铝金属层不会在金属化处理中发生氧化反应。
本发明通过前处理装置对薄膜进行处理，提高金属镀层在薄面表面的附着力和致密性，使金属化膜金属镀层抗氧化性更好，使金属化耐高温高湿。通过后处理装置，对保护油层进行适当的交联处理，在金属镀层表面形成保护油膜，很好的把金属层和空气中的水汽及氧气隔开，提高金属镀层的抗氧化能力，使金属化膜耐高温，高湿。采用屏蔽带和安全膜图案的设计，使得制作的耐温高温高湿的电容器安全等级提高，具有更好的防爆性，在高温高湿的环境中电容器的容量更加稳定。
更进一步的说明，在步骤S1中，将基膜真空装置内的压强抽至10-2pa以下。
将真空抽至10-2pa以下，是为了后续铝和锌金属化镀层提供便利，无需消耗过多的能源，可以在较低的温度下进行金属的蒸发，实现金属化膜的附着。
更进一步的说明，在步骤S2中，将前处理装置与3kw-5kw的高压直流电源连接，基膜在前处理装置中进行极化处理，惰性气体为氩气。
通过高压直流电的作用，使得基膜在前处理装置中进行极化处理，使得基膜的表面能够更加容易的附着屏蔽油和金属层，其中氩气为保护气，具体的，所述前处理装置包括阴极和阳极，所述阳极与3kw-5kw的高压直流电源连接，阴极接地，在所述阴极和阳极之间通入惰性气体，基膜从所述前处理装置的阳极和阴极中间的间隙穿过，对基膜进行极化处理。
更进一步的说明，在步骤S3中，屏蔽油装置内设有加热装置，通过加热装置将屏蔽油加热至100℃-140℃，屏蔽油蒸发后冷凝到基膜上，在基膜表面形成屏蔽带。
通过屏蔽油装置将屏蔽油蒸发后再冷凝附着在基膜的表面，形成了屏蔽带，方便后续安全膜装置在屏蔽带上印压图案，具体的，屏蔽油装置还包括油辊和油盖板，所述油盖板上设置有宽度为0.6mm-8mm的开口，所述加热装置在所述油辊内部，通过加热装置将屏蔽油加热至100℃-140℃，屏蔽油蒸发后通过油盖板上的开口喷出，冷凝到基膜上，在基膜表面形成屏蔽带，且所述屏蔽油氟油。
更进一步的说明，在步骤S3中，安全膜装置内设有气缸和套筒，在气缸的作用下，带动套筒与覆盖有屏蔽油的基膜表面接触，形成安全膜图案。
安全膜装置在气缸的作用下，推动套筒在基膜的表面印压形成特定的图案，形成安全膜图案，安全膜图案可根据套筒的改变而改变。
具体的，安全膜装置还包括油辊、陶瓷辊和气胀轴，通过加热装置将屏蔽油加热至100℃-140℃，屏蔽油蒸发后冷凝到油辊上方的陶瓷辊上，在陶瓷辊上形成屏蔽油膜，在气缸的作用下，带动陶瓷辊接触到安全膜套筒上，陶瓷辊上的油膜转到安全膜套筒上，套筒与基膜表面接触，形成安全膜图案。
更进一步的说明，在步骤S4中，铝蒸发装置内的温度为1000℃-1200℃，锌蒸发装置内的温度为400℃-800℃，冷鼓的温度为-20℃-0℃。
在10-2pa以下的真空下，铝的蒸发温度大致在1000℃-1200℃，通过铝蒸发器将铝加热至蒸发状态，蒸发状态的铝蒸汽后续通过冷鼓设备，冷却后附着于基膜的表面。具体的，所述铝蒸发装置包括铝丝输送装置和铝蒸发舟，所述铝蒸发舟的材质为氮化硼，所述蒸发舟的温度为1000℃-1200℃。
更进一步的说明，在步骤S4中，锌蒸发装置内设有喷嘴，喷嘴上设有不同大小的间隙，间隙的宽度在0-5mm之间，通过喷嘴控制锌金属化层的厚度，在基膜表面形成金属化膜的加厚区和普通区。
锌蒸发装置的喷嘴用于控制锌蒸汽的喷射量，通过喷嘴上大小不一的间隙，实现了通过喷嘴控制锌金属化层的厚度，其中加厚区和普通区就是不同厚度的金属化层，用于电容器中，使得不同位置的效果不一样，其中普通区的方阻在100Ω/□-250Ω/□之间，且加厚区的面积远远小于普通区的面积，确保能够提高金属化膜的击穿电压，提高脉冲电容器的储能密度。
更进一步的说明，在步骤S5中，保护油的蒸发温度为100℃-140℃，保护油为硅油。
保护油用于保护基膜上的金属化层不受空气中的水份和氧气的腐蚀，确保基膜能够长时间的使用，确保电容不会受到影响。
更进一步的说明，在步骤S6中，将后处理装置与5kw-15kw的高压直流电源连接，基膜表面的保护油在后处理装置中进行交联反应，惰性气体为氩气。
通过5kw-15kw的高压直流电的作用，使得基膜表面的保护油在蒸镀过程时，在后处理装置之间形成等离子体，金属层表面的保护油层在等离子体的作用下，发生一定程度的交联，形成更加稳定的保护油膜。具体的，所述后处理装置包括阴极和阳极，阳极与5kw-15kw的高压直流电源连接，所述阴极接地。在所述阴极和阳极之间通入氮气，金属化膜从所述后处理装置的阳极和阴极中间的间隙穿过，对金属化膜表面的保护油交联反应。
以下通过实施例进一步说明本发明。
实施例1-6中的一种耐高温高湿安全膜的制备方法，均包括以下步骤：
S1、预处理，将基膜放入真空装置中进行抽真空处理；
极化处理，将预处理后的基膜在真空状态下转移至前处理装置中，所述的前处理装置内通入惰性气体，且前处理装置接通高压直流电源，通过前处理装置对预处理后的基膜表面进行极化处理；
S3、屏蔽处理，将极化处理后的基膜转移至屏蔽油装置内，通过屏蔽油装置在基膜表面形成部分屏蔽的屏蔽带，所述屏蔽带是由屏蔽油冷凝在基膜上而形成的；再将形成屏蔽带的基膜转移至安全膜图案装置内，安全膜图案装置对屏蔽带压型，使之形成安全膜图案；
S4、金属化处理，将表面含有安全膜图案的基膜经过铝蒸发装置和冷鼓处理，在除安全膜图案之外的基膜表面形成铝金属层，再将基膜经过锌蒸发装置和冷鼓处理，在除安全膜图案之外的基膜表面形成锌铝金属层；
S5、保护油膜处理，将金属化处理后的基膜转移到金属镀层装置内，金属镀层装置内含有保护油，保护油经蒸发后冷凝到锌铝金属层上，在锌铝金属层上形成保护油膜；
S6、后处理，在后处理装置间通入惰性气体，将含有保护油膜的基膜放入后处理装置中，接通高压直流电源，通过交联反应形成更加稳定的保护油膜。
在步骤S2中，将前处理装置与3kw-5kw的高压直流电源连接，惰性气体为氩气，在步骤S3中，将屏蔽油加热至100℃-140℃，在步骤S4中，铝蒸发装置内的温度为1000℃-1200℃，锌蒸发装置内的温度为400℃-800℃，冷鼓的温度为-20℃-0℃，在步骤S6中，将后处理装置与5kw-15kw的高压直流电源连接，惰性气体为氩气。
实施例1-6的不同点在于步骤S1中抽取真空压力不同，其余步骤和参数均一致，将制得的安全膜制得电容器后试验所得数据如下。
本发明中安全膜制成电容器后均采用双85试验进行测试，双85试验测得的具体操作如下：调整试验箱温湿度设置，使温湿度条件转换为(85±2)℃，(85±3)％湿度。待试验箱内温度、湿度稳定后，施加343V.AC的电压，试验500-1000小时。试验后，样品在室温放置24小时后再端子间(电容器的正负极)通入直流耐压4.3UR电压持续10s，测得电容器的电容量变化率和DF。
通过实施例1-6可以看出，在不同的真空抽压力下，所得的安全膜制得的电容器的电容量变化率和DF(电容损耗)也不一样，其中实施例5电容器的电容量变化率和DF变化值均为最佳，当真空抽的压力小于0.010pa时，所得的电容器的电容量变化率均小于0.0028％，且随着真空抽的压力越小，所得的电容量变化率也越小，效果越好，相应的其DF变化值也越小，当真空抽的压力大于0.010pa时，所得的电容器的电容量变化率均大于0.0028％，且随着真空抽的压力越大，其电容器的电容量变化率和DF变化值越大。
实施例7-12的步骤均与实施例4的步骤一致，不同点在于冷鼓操作中的温度不一样，其测试结果如下表所示。
通过实施例7-12可以得出，实施例12的电容器的效果最好，其电容量变化率和DF变化值均为最低，且当冷鼓温度在-15℃-0℃间所制得的电容器的电容量变化率均小于5％，且DF变化值均小于0.0030at/1kHz，具有较好的效果，当冷鼓的温度大于0℃时，得到的电容器的效果不佳。
实施例13-18为采用本发明方法制得的安全膜。并将安全膜进行双85试验测试后的数据，结果如下表所示。
通过实施例13-18可知，所得电容器在双85试验测试所得的结果为，耐久测试在500-1000小时内电容器变化率在5.0％以内，DF变化值在0.0008-0.0023at/1kHz之间，均具有良好的电容器变化率和DF变化值。
实施例a-d的步骤均与实施例4的步骤一致，不同点在于是否经过极化处理和后处理，其结果如下表所示。
通过实施例a-d可知，实施例a的金属膜具有较好的平整致密性，且其制得的电容器的电容变化率和DF变化值均为最小，说明其电容器的效果最好，实施例d为未经过极化处理和后处理的金属膜的平整致密性极差，且其制得的电容器的电容变化率和DF变化值均为最大，说明其电容器的性能不好，实施例b和实施例c均处于实施例a和实施例d之间，说明通过极化处理和后处理的金属膜和其制得的电容器均有较好的表现。
尽管通过以上实施例对本发明进行了揭示，但本发明的保护范围并不局限于此，在不偏离本发明构思的条件下，对以上各构件所做的变形、替换等均将落入本发明的权利要求范围内。
Claims (9)
1.一种耐高温高湿安全膜的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、预处理，将基膜放入真空装置中进行抽真空处理；
S2、极化处理，将预处理后的基膜在真空状态下转移至前处理装置中，所述的前处理装置内通入惰性气体，且前处理装置接通高压直流电源，通过前处理装置对预处理后的基膜表面进行极化处理；
S3、屏蔽处理，将极化处理后的基膜转移至屏蔽油装置内，通过屏蔽油装置在基膜表面形成部分屏蔽的屏蔽带，所述屏蔽带是由屏蔽油冷凝在基膜上而形成的；再将形成屏蔽带的基膜转移至安全膜图案装置内，安全膜图案装置对屏蔽带压型，使之形成安全膜图案；
S4、金属化处理，将表面含有安全膜图案的基膜经过铝蒸发装置和冷鼓处理，在除安全膜图案之外的基膜表面形成铝金属层，再将基膜经过锌蒸发装置和冷鼓处理，在除安全膜图案之外的基膜表面形成锌铝金属层；
S5、保护油膜处理，将金属化处理后的基膜转移到金属镀层装置内，金属镀层装置内含有保护油，保护油经蒸发后冷凝到锌铝金属层上，在锌铝金属层上形成保护油膜；
S6、后处理，在后处理装置间通入惰性气体，将含有保护油膜的基膜放入后处理装置中，接通高压直流电源，通过交联反应形成更加稳定的保护油膜。
2.根据权利要求1所述的一种耐高温高湿安全膜的制作方法，其特征在于：在步骤S1中，将基膜真空装置内的压强抽至10-2pa以下。
3.根据权利要求1所述的一种耐高温高湿安全膜的制作方法，其特征在于：在步骤S2中，将前处理装置与3kw-5kw的高压直流电源连接，基膜在前处理装置中进行极化处理，惰性气体为氩气。
4.根据权利要求1所述的一种耐高温高湿安全膜的制作方法，其特征在于：在步骤S3中，屏蔽油装置内设有加热装置，通过加热装置将屏蔽油加热至100-140℃，屏蔽油蒸发后冷凝到基膜上，在基膜表面形成屏蔽带。
5.根据权利要求1所述的一种耐高温高湿安全膜的制作方法，其特征在于：在步骤S3中，安全膜装置内设有气缸和套筒，在气缸的作用下，带动套筒与覆盖有屏蔽油的基膜表面接触压型，形成安全膜图案。
6.根据权利要求1所述的一种耐高温高湿安全膜的制作方法，其特征在于：在步骤S4中，铝蒸发装置内的温度为1000℃-1200℃，锌蒸发装置内的温度为400℃-800℃，冷鼓的温度为-20℃-0℃。
7.根据权利要求1所述的一种耐高温高湿安全膜的制作方法，其特征在于，在步骤S4中，锌蒸发装置内设有喷嘴，喷嘴上设有不同大小的间隙，间隙的宽度在0-5mm之间，通过喷嘴控制锌金属化层的厚度，在基膜表面形成金属化膜的加厚区和普通区。
8.根据权利要求1所述的一种耐高温高湿安全膜的制作方法，其特征在于，在步骤S5中，保护油的蒸发温度为100℃-140℃，保护油为硅油。
9.根据权利要求1所述的一种耐高温高湿安全膜的制作方法，其特征在于，在步骤S6中，将后处理装置与5kw-15kw的高压直流电源连接，基膜表面的保护油在后处理装置中进行交联反应，惰性气体为氩气。
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