CN112859660A - 一种设备同步控制方法、装置、终端及系统 - Google Patents

Abstract

本发明实施例公开了一种设备同步控制方法、装置、终端及系统，由控制终端执行时，控制终端包括第一时序信号传输接口和第一数据信号传输接口；第一数据信号传输接口的传输速率高于第一时序信号传输接口，该方法包括：通过第一数据信号传输接口接收待控制的至少两个设备终端的第二数据信号传输接口发送的本次功能操作的操作信息；分析操作信息，确定下次功能操作的同步控制标识；通过第一数据信号传输接口向至少两个设备终端的第二数据信号传输接口发送同步控制标识，以控制至少两个设备终端根据第一时序信号传输接口发送的时序信号和同步控制标识，在下一同步周期执行下次功能操作。极大的提高了控制终端对各设备终端的同步控制效率。

Description

一种设备同步控制方法、装置、终端及系统

技术领域

本发明涉及电子技术领域，尤其涉及一种设备同步控制方法、装置、终端及系统。

背景技术

随着自动化技术的发展，由一个控制终端同步控制多个设备终端工作已成为生产制造领域常用的方法，例如，在生产集成电路的过程中，就可以由一个控制终端同步控制多个光刻机同步进行集成电路的制作。

目前的设备同步控制方法是每个设备终端和控制终端之间都通过三对差分传输线完成设备同步控制过程中的数据交互，其中，第一对差分线用来提供同步时钟，另外两对差分线分别用来传输设备终端与控制终端之间的其他交互数据。但是，由于差分线对应的信号传输接口的传输速率较低，最高只能达到10Mb/s，所以传输交互数据时需要耗费较长的时间，从而导致控制终端对各设备终端的同步控制效率极其低下，急需改进。

发明内容

本发明的目的在于，提供了一种设备同步控制方法、装置、终端及系统，极大的提高了控制终端对各设备终端的同步控制效率，为一个控制终端同步控制多个设备终端工作提供了一种新思路。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

第一方面，本发明实施例提供了一种设备同步控制方法，由控制终端执行，所述控制终端包括第一时序信号传输接口和第一数据信号传输接口；所述第一数据信号传输接口的传输速率高于所述第一时序信号传输接口，所述方法包括：

通过所述第一数据信号传输接口接收待控制的至少两个设备终端的第二数据信号传输接口发送的本次功能操作的操作信息；

分析所述操作信息，确定下次功能操作的同步控制标识；

通过所述第一数据信号传输接口向所述至少两个设备终端的第二数据信号传输接口发送所述同步控制标识，以控制所述至少两个设备终端根据所述第一时序信号传输接口发送的时序信号和所述同步控制标识，在下一同步周期执行下次功能操作。

第二方面，本发明实施例提供了一种设备同步控制方法，由设备终端执行，所述设备终端包括第二时序信号传输接口和第二数据信号传输接口；所述第二数据信号传输接口的传输速率高于所述第二时序信号传输接口，所述方法包括：

根据所述第二时序信号传输接口接收到的时序信号和本次功能操作的同步控制标识，执行本次功能操作；所述本次功能操作的同步控制标识是上一同步周期控制终端的第一数据信号传输接口向所述第二数据信号传输接口发送的同步控制标识；

确定本次功能操作过程的操作信息，并通过所述第二数据信号传输接口向所述控制终端的第一数据信号传输接口发送所述操作信息，以使所述控制终端分析所述操作信息，确定下次功能操作的同步控制标识；

通过所述第二数据信号传输接口接收所述控制终端的第一数据信号传输接口发送的下次功能操作的同步控制标识。

第三方面，本发明实施例提供了一种设备同步控制装置，配置于控制终端，所述控制终端包括第一时序信号传输接口和第一数据信号传输接口；所述第一数据信号传输接口的传输速率高于所述第一时序信号传输接口，所述装置包括：

数据接收模块，用于通过所述第一数据信号传输接口接收待控制的至少两个设备终端的第二数据信号传输接口发送的本次功能操作的操作信息；

控制标识确定模块，用于分析所述操作信息，确定下次功能操作的同步控制标识；

数据发送模块，用于通过所述第一数据信号传输接口向所述至少两个设备终端的第二数据信号传输接口发送所述同步控制标识，以控制所述至少两个设备终端根据所述第一时序信号传输接口发送的时序信号和所述同步控制标识，在下一同步周期执行下次功能操作。

第四方面，本发明实施例提供了一种设备同步控制装置，配置于设备终端，所述设备终端包括第二时序信号传输接口和第二数据信号传输接口；所述第二数据信号传输接口的传输速率高于所述第二时序信号传输接口，所述装置包括：

功能操作执行模块，用于根据所述第二时序信号传输接口接收到的时序信号和本次功能操作的同步控制标识，执行本次功能操作；所述本次功能操作的同步控制标识是上一同步周期控制终端的第一数据信号传输接口向所述第二数据信号传输接口发送的同步控制标识；

操作信息确定模块，用于确定本次功能操作过程的操作信息；

信息发送模块，用于通过所述第二数据信号传输接口向所述控制终端的第一数据信号传输接口发送所述操作信息，以使所述控制终端分析所述操作信息，确定下次功能操作的同步控制标识；

信息接收模块，用于通过所述第二数据信号传输接口接收所述控制终端的第一数据信号传输接口发送的下次功能操作的同步控制标识。

第五方面，本发明实施例提供了一种控制终端，所述控制终端包括：第一时序信号传输接口、第一数据信号传输接口和第一设备同步控制装置；

所述第一数据信号传输接口的传输速率高于所述第一时序信号传输接口；

所述第一设备同步控制装置为上述第三方面所述的设备同步控制装置。

第六方面，本发明实施例提供了一种设备终端，所述设备终端包括：第二时序信号传输接口、第二数据信号传输接口、操作执行组件和第二设备同步控制装置；

所述第二数据信号传输接口的传输速率高于所述第二时序信号传输接口；

所述操作执行组件，用于通过所述第二设备同步控制装置的控制执行所述设备终端的功能操作；

所述第二设备同步控制装置为上述第四方面所述的设备同步控制装置。

第七方面，本发明实施例提供了一种设备同步控制系统，所述系统包括：控制终端和至少两个设备终端；

所述控制终端为上述第五方面所述的控制终端；

所述至少两个设备终端为上述第六方面所述的设备终端；

所述控制终端的第一时序信号传输接口与所述至少两个设备终端的第二时序信号传输接口进行通信；所述控制终端的第一数据信号传输接口与所述至少两个设备终端的第二数据信号传输接口进行通信；其中，所述第一数据信号传输接口和所述第二数据信号传输接口的传输速率高于所述第一时序信号传输接口和所述第二时序信号传输接口。

本发明实施例提供了一种设备同步控制方法、装置、终端及系统，待控制的各个设备终端通过高传输速率的数据信号传输接口向控制终端传输本次功能操作的操作信息，控制终端对该操作信息进行分析后确定下次功能操作的同步控制标识，进而再通过高传输速率的数据信号传输接口将该同步控制标识传输给各个设备终端，以使各个设备终端根据控制终端传输的时序信号和该同步控制标识，在下一同步周期执行下次功能操作。本发明实施例的技术方案控制终端和设备终端通过高传输速率的数据信号传输接口传输操作信息和同步控制标识，极大的缩短了操作信息和同步控制标识的传输时间，进而缩短了每一次同步控制所需的同步周期，极大的提高了控制终端对各设备终端的同步控制效率，为一个控制终端同步控制多个设备终端工作提供了一种新思路。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1是本发明实施例一提供的一种设备同步控制方法的流程图；

图2是本发明实施例二提供的一种设备同步控制方法的流程图；

图3是本发明实施例三提供的一种设备同步控制方法的信令图；

图4是本发明实施例三提供的控制终端和四个设备终端的同步控制时序图；

图5是本发明实施例四提供的一种设备同步控制装置的结构框架示意图；

图6是本发明实施例五提供的一种设备同步控制装置的结构框架示意图；

图7是本发明实施例六提供的一种设备终端的结构架构示意图；

图8是本发明实施例七提供的一种控制终端的结构架构示意图；

图9是本发明实施例八提供的一种设备同步控制系统的结构框架示意图；

图10是本发明实施例八提供的另一种设备同步控制系统的结构框架示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部内容。

需要说明的是，在介绍本发明实施例之前，先对本发明实施例的适用场景进行说明，本发明实施例适用于一个控制终端同步控制多个设备终端的情况，且本实施例待控制的设备终端可以有很多，接下来本发明各实施例以待控制的设备终端为光刻机设备为例进行介绍，但是不限于只能控制光刻机设备，还有可以是控制其他的制造设备。

实施例一

图1是本发明实施例一提供的一种设备同步控制方法的流程图，本实施例可适用于一个控制终端同步控制多个设备终端工作的情况，该方法可以由本发明实施例提供的配置于控制终端上的设备同步控制装置来执行，该装置可采用硬件和/或软件的方式实现。该控制终端包括与外界进行通信的第一时序信号传输接口和第一数据信号传输接口；其中，第一时序信号传输接口可以是控制终端上设置的用来传输时序信号的接口，例如，可以是差分电气信号传输接口；第一数据信号传输接口可以是控制终端上设置的用来传输数据信息(如本实施例中的操作信息和同步控制标识)的传输接口。例如，可以是高速串行数据传输接口。可选的，本实施例中第一数据信号传输接口的传输速率高于第一时序信号传输接口。

需要说明的是，本实施例中控制终端是通过其上设置的第一数据信号传输接口和第一时序信号传输接口与待控制的多个设备终端进行控制，所以对于待控制的各个设备终端，其上也需要配置对应的第二数据信号传输接口和第二时序信号传输接口。此外，设备终端上的第二时序信号传输接口与控制终端上的第一时序信号传输接口是同样的接口；设备终端上的第二数据信号传输接口与控制终端上的第一数据信号传输接口是同样的接口。具体的，第一时序信号传输接口和各个第二时序信号传输接口之间可以通过一对差分电信号构成的时序控制线进行通信连接；第一数据信号传输接口和各个第二数据信号传输接口之间可以通过一组高速的串行数据传输线构成的同步数据传输线进行通信连接，其物理形式可为用于走低电压差分信号(Low-Voltage Differential Signaling，LVDS)、正电源发射极耦合逻辑信号(Positive Emitter Coupled Logic，PECL)、最小化传输差分信号((Transition-minimized differential signaling，TMDS)等高速数据传输电平的电信号线或光纤。可选的，第一数据信号传输接口和第二数据信号传输接口进行数据传输可以使用目前通用标准协议实现，也可以使用自定义的协议实现数据传输，对此本实施例不进行限定。

下面结合图1对本实施例的设备同步控制方法进行示意说明，具体可包括如下步骤：

S101：通过第一数据信号传输接口接收待控制的至少两个设备终端的第二数据信号传输接口发送的本次功能操作的操作信息。

其中，本次功能操作是指待控制的设备终端根据控制终端的控制在当前同步周期执行的功能操作，例如，若设备终端为光刻机设备，则光刻机设备可以根据控制终端的控制执行本同步周期需要执行的硅片对准操作。具体的，设备终端如何根据控制终端的控制在当前同步周期执行本次功能操作的过程将在后续实施例进行详细介绍，在此不进行赘述。本次功能操作的操作信息可以是指设备终端执行本次功能操作的精确程度的分析结果，例如，若本次功能操作为光刻机执行硅片对准操作，则本次功能操作的操作信息为本次执行硅片对准操作时，对准结果是否精准。具体的，设备终端如何生成本次功能操作的操作信息的过程将在后续实施例进行详细介绍，在此不进行赘述。

可选的，在本步骤中，当设备终端执行完本次功能操作后生成本次功能操作的操作信息，并通过设备终端本地的信息发送模块将该操作信息通过设备终端的第二数据信号传输接口，采用高速数据传输线，将该操作信息通过控制终端的第一数据信号传输接口传输给控制终端，控制终端中的数据接收模块通过该第一数据信号传输接口接收各个设备终端发送的其本次执行功能操作的操作信息。

S102：分析操作信息，确定下次功能操作的同步控制标识。

其中，下次功能操作可以是指控制终端在下一个同步周期需要控制设备终端执行的操作。同步控制标识可以是用于指示各个设备终端如何执行功能操作的依据，可选的，同步控制标识中可以包括操作标识和参数标识。其中，操作标识对应各设备终端需要执行的功能操作的同步状态码，例如，可以是0x0、0x1、0x2、0x3等，其中不同的操作标识对应不同的操作，例如，0x0代表空闲操作，0x1代表曝光扫描操作、0x2代表硅片对准操作、0x3代表掩膜对准操作等。参数标识为执行各操作标识对应的操作步骤时的操作参数，例如，操作标识0x1对应的参数标识可以包括但不限于：曝光时长、曝光范围、曝光延时等。

可选的，在本步骤中，控制终端根据S101接收到的本次功能操作的操作信息，需要确定的是控制各个设备终端下一次功能操作的同步控制标识，具体的：由于本次功能操作的操作信息是各个设备终端在执行完本次功能操作后，对本次功能操作进行精确程度的分析后生成的本次功能操作实际执行情况是否精准的分析结果，所以本步骤可以是先判断本次功能操作的操作信息是否为操作正常，若操作信息为异常，则不生成下次功能操作的同步控制标识，而是生成包含所述本次功能操作的操作信息的错误指令，上报给控制终端对应的上位机设备。若该操作信息为操作正常，则根据预设的同步控制流程，确定下次功能操作的同步控制标识。

可选的，可以是控制终端中设置有同步控制标识的存储空间，如可以是存储队列或堆栈。该存储空间中存储有生产操作过程中需要执行的每一操作对应的同步控制标识。可选的，各同步控制标识可以是按照其执行顺序依次排序存储。此时若所有设备终端上报的操作信息分析结果都是操作正常，则可以确定下一次功能操作的同步控制标识，具体的，可以是在存储空间中查找排序最前的一个同步控制标识，将其取出作为下一功能操作的同步控制标识。

可选的，存储空间中的同步控制标识可以是由上位机根据各设备终端执行生产操作的过程(如光刻机执行集成电路制作的过程)，预估各设备终端需要执行的每一操作，然后为每一操作确定对应的同步控制标识，并按照执行顺序依次存放在存储空间中。上位机也可以不预先生成本次生产过程所涉及的所有同步控制标识，而是在本次控制终端控制各设备终端执行生产操作的过程中，不断的生成后续需要的同步控制标识并存储在存储空间中，例如，刚开始先预先生成生产过程中前两步骤的同步控制标识存储在存储空间中，若第一步功能操作执行完成后，收到其对应的功能操作的操作信息为操作正常，则上位机再生成后续从第三步功能操作和第四步功能操作对应的同步控制标识写入存储空间中，依次类推，直到将生产过程中的所有操作步骤的同步控制标识都写入存储空间为止。

S103：通过第一数据信号传输接口向至少两个设备终端的第二数据信号传输接口发送同步控制标识，以控制至少两个设备终端根据第一时序信号传输接口发送的时序信号和同步控制标识，在下一同步周期执行下次功能操作。

可选的，控制终端在生成下次功能操作的同步控制标识后，由于该同步控制标识是用来控制设备终端在下一同步周期执行功能操作的，所以需要将生成的该同步控制标识先发送给各个设备终端。具体的，控制终端可以是通过数据发送模块基于内部第一数据信号传输接口，采用高速数据传输线，将该同步控制标识传输给各个设备终端的第二数据信号传输接口，各个设备终端的信息接收模块通过第二数据信号传输接口接收到控制终端发送的下次功能操作的同步控制标识后，将该同步控制标识进行记录，并实时采用设备终端的内部电平检测模块检测控制终端第一时序信号传输接口发送的时序信号，在下一同步周期到来时，根据本步骤接收到的同步控制标识，执行下一同步周期对应的下一次的功能操作。具体的，各个设备终端如果根据第一时序信号传输接口发送的时序信号和同步控制标识，在下一同步周期执行下次功能操作的具体执行过程将在后续实施例进行详细介绍，在此不进行赘述。

可选的，为了节省控制终端的硬件接口资源和便于设备同步控制系统架构的扩展，本发明实施例中，控制终端的第一数据信号传输接口和所述至少两个设备终端的第二数据信号传输接口之间可通过交换机进行通信。具体的，可以是在控制终端上设置一个第一数据信号传输接口，并将该数据信号传接口通过高速数据传输线与交互机的一个接口进行连接，然后再将各个设备终端的第二数据信号传输接口与交换机的其余空闲接口进行连接，此时控制终端和各个设备终端就可以通过交换机实现同步控制标识以及本次操作的操作信息等数据信息的相互传输。这样设置的好处是，无论有多少个待控制的设备终端，在控制终端上只需要设置一个第一数据信号传输接口即可，且即使后续待控制的设备终端增加，也无需对控制终端的第一数据信号传输接口进行调整，只需将新增的设备终端的第二数据信号传输接口通过高速数据传输线连接在交换机的空闲接口即可，解决了现有技术只能支持控制终端与各子设备点对点通信，扩展性较差的问题，节约控制终端接口资源的同时，极大的提高了设备同步控制系统的扩展性。

本发明实施例提供了一种设备同步控制方法，待控制的各个设备终端通过高传输速率的数据信号传输接口向控制终端传输本次功能操作的操作信息，控制终端对该操作信息进行分析后确定下次功能操作的同步控制标识，进而再通过高传输速率的数据信号传输接口将该同步控制标识传输给各个设备终端，以使各个设备终端根据控制终端传输的时序信号和该同步控制标识，在下一同步周期执行下次功能操作。本发明实施例的技术方案控制终端和设备终端通过高传输速率的数据信号传输接口传输操作信息和同步控制标识，极大的缩短了操作信息和同步控制标识的传输时间，进而缩短了每一次同步控制所需的同步周期，极大的提高了控制终端对各设备终端的同步控制效率，为一个控制终端同步控制多个设备终端工作提供了一种新思路。

进一步的，本发明实施例在通过第一数据信号传输接口向至少两个设备终端的第二数据信号传输接口发送同步控制标识之后，还可以包括：通过所述第一数据信号传输接口接收所述至少两个设备终端的第二数据信号传输接口发送的同步控制标识的接收应答消息；若接收到所有设备终端的接收应答消息后，同步控制时长未进入下一同步周期，则将所述第一时序信号传输接口发送的时序信号设置为第一电平；等待所述同步控制时长进入所述下一同步周期，将所述第一时序信号传输接口发送的时序信号设置为第二电平，并对所述同步控制时长执行清零操作。可选的，由于每个设备终端执行生产过程中的每一步骤所需的时间不一定相同，为了保证在一个同步周期内，所有的设备终端都能执行完一次操作过程，同步周期通常设置的时间较为充裕，在控制终端接收到所有设备终端发送的接收应答消息后，本次同步周期通常还没有结束(即当前周期的同步控制时长没有达到下一同步控制)，此时控制终端需要先将时序信号设置为第一电平传输，等到当前周期的同步控制时长达到下一同步周期时，再将时序信号设置为第二电平传输，并将同步控制时长清零，开始重新统计新的同步周期的同步控制时长。如果在控制终端接收到所有设备终端发送的接收应答消息后，同步控制时长已经进入下一同步周期，此时说明上同步周期的控制出现问题，需要停止后续同步控制流程，向上位机上报错误指令。

实施例二

图2为本发明实施例二提供的一种设备同步控制方法的流程图，本实施例可适用于一个控制终端同步控制多个设备终端工作的情况，该方法可以由本发明实施例提供的配置于设备终端上的设备同步控制装置或终端来执行，该设备终端包括与外界进行通信的第二时序信号传输接口和第二数据信号传输接口；其中，第二时序信号传输接口可以是设备终端上设置的用来接收时序信号的接口，例如，可以是差分电气信号传输接口；第二数据信号传输接口可以是设备终端上设置的用来传输数据信息(如本实施例中的操作信息和同步控制标识)的传输接口。例如，可以是高速串行数据传输接口。可选的，本实施例中第二数据信号传输接口的传输速率高于第二时序信号传输接口。具体的，本实施例的第二时序信号传输接口与上述实施例的第一时序信号传输接口类似，第二数据信号传输接口与上述实施例的第一数据信号传输接口类似，在此不进行赘述。

下面结合图2的对本实施例的设备同步控制方法进行示意说明，具体包括如下步骤：

S201，根据第二时序信号传输接口接收到的时序信号和本次功能操作的同步控制标识，执行本次功能操作。

其中，本次功能操作的同步控制标识是上一同步周期控制终端的第一数据信号传输接口向第二数据信号传输接口发送的同步控制标识。具体的，由于控制终端在各设备终端执行完一次功能操作后，会根据各设备终端执行当前次功能操作的操作信息，生成下一次功能操作的同步控制标识发送给各个设备终端，所以本步骤所使用的本次功能操作的同步控制标识就是该设备在上一同步周期执行完上一次功能操作后，接收到的控制终端发送的同步控制标识。

可选的，本步骤设备终端根据第二时序信号传输接口接收到的时序信号和本次功能操作的同步控制标识，执行本次功能操作具体过程可以包括如下两个子步骤：

S2011，若检测到第二时序信号传输接口接收到的时序信号从第一电平变为第二电平，则根据本次功能操作的同步控制标识，确定操作类型和操作参数。

其中，第一电平为预先设置的，暂停执行功能操作的触发电平，例如，可以是高电平。第二电平为预先设置的执行功能操作的触发电平信号，例如，可以是低电平，即当时序信号从高电平跳变为低电平时，说明进入一个新的同步周期触发设备终端执行本次功能操作过程。

可选的，控制终端在同步控制多个设备终端时，实时通过其第一时序信号传输接口向各个设备终端的第二时序信号传输接口发送时序信号，各个设备终端的电平检测模块会实时检测第二时序信号传输接口接收到的时序信号的电平值，若时序信号的电平值从第一电平变为第二电平(如从高电平跳变为低电平)，则说明新的同步周期到了，需要执行新的同步周期对应的本次功能操作。此时需要先根据本次功能操作的同步控制标识，确定操作类型和操作参数。具体的，各个设备终端本地存储有同步控制标识与操作类型和操作参数的关系表，此时可以以上一同步周期接收到的同步控制标识(即本次功能操作的同步控制标识)为索引，在该关系表中查找该同步控制标识对应的操作类型和操作参数。需要说明的是，对于控制终端控制的多个设备终端来说，各个设备终端的关系表可以相同也可以不同。例如，对于同一个同步控制标识，在不同设备终端的关系表中查找到的操作类型和/或操作参数可以不同。

S2012，根据操作类型和操作参数，执行本次功能操作。

可选的，设备终端在确定出本次执行功能操作的操作类型和操作参数后，可以是生成设备终端的内部同步控制信号(如可以是一个脉冲信号)，并将该内部同步控制信号和确定出的操作类型和操作参数发送至设备终端中的各个操作执行组件(如可以设备中的某些板卡或模块)，以使各个操作执行组件在接收到该内部同步控制信号后，触发采用该操作参数执行该操作类型对应的功能操作。

S202，确定本次功能操作过程的操作信息，并通过第二数据信号传输接口向控制终端的第一数据信号传输接口发送操作信息，以使控制终端分析操作信息，确定下次功能操作的同步控制标识。

可选的，在本步骤中，设备终端在执行本次功能操作的过程中，还需要分析确定出本次功能操作是否操作精准，从而确定出本次功能操作过程的操作信息，具体的确定过程可以包括如下两个子步骤：

S2021，获取本次功能操作过程中的实际操作数据；

具体的，设备终端可以在操作执行组件执行本次功能操作的过程中，通过传感器或其他相关模块采集操作执行组件的实际操作数据，其中，实际操作数据可以与本次功能操作的操作参数相对应，例如，若本次功能操作的参数为：光刻机的曝光时长、曝光延迟、以及曝光范围，则此时的实际操作数据可以是通过计时器采集到的光刻机的曝光执行组件实际执行曝光操作时的实际曝光时长、实际曝光延迟，以及通过光强传感器采集到的实际曝光范围。

S2022，根据实际操作数据和本次功能操作的同步控制标识，分析本次功能操作是否为正常操作，并将分析结果作为本次功能操作的操作信息。

可选的，本子步骤可以是将S2021中获取的实际操作数据与本次功能操作的同步控制标识中操作标识对应的操作类型和参数标识对应的参数信息进行比较，分析本次设备终端实际执行的操作是否为操作标识对应的操作类型，以及本次实际操作数据是否与参数标识对应的参数信息一致，若是，则说明本次功能操作为正常操作，可以将本次操作正常作为本次功能操作的操作信息；否则，则说明本次功能操作为异常操作，可以将本次操作异常作为本次功能操作。可选的，该操作信息中不但可以包括本次功能操作为正常操作或异常操作的分析结果，还可以包括本次功能操作的同步控制标识和/或实际操作数据等，以便控制终端进行相关记录，以及对操作信息进行验证。

可选的，考虑到实际操作过程中可能存在误差，或有些异常可以忽略，所以本实施例也可以是在分析本次设备终端执行的功能操作为异常操作，但是该异常在可接受的误差范围内，或可以忽略的时，同样可以将本次操作的操作信息认为是操作正常。

可选的，设备终端在生成本次操作的操作信息后，可以通过信息发送模块基于第二数据信号传输接口，采用高速数据传输线，将该操作信息通过控制终端的第一数据信号传输接口传输给控制终端，控制终端中的数据接收模块基于其第一数据信号传输接口接收第二数据信号传输接口发送的本次功能操作的操作信息，进而控制终端会根据接收到的该操作信息，确定出设备终端在下一同步周期执行下次功能操作时所需的同步控制标识。需要说明的是，控制终端具体如何确定下次执行操作所需的同步控制标识的过程已在上述实施例进行介绍，在此不进行赘述。

S203，通过第二数据信号传输接口接收控制终端的第一数据信号传输接口发送的下次功能操作的同步控制标识。

可选的，控制终端根据接收到的本次功能操作的操作信息，确定出设备终端在下一同步周期执行下次功能操作时所需的同步控制标识后，会通过数据发送模块基于内部高速的第一数据信号传输接口，采用高速数据传输线，将下次功能操作的同步控制标识通过第一数据信号传输接口传输给设备终端的第二数据信号传输接口，设备终端的信息接收模块基于第二数据信号传输接口接收到控制终端发送的下次功能操作的同步控制标识。

可选的，为了让控制终端准确了解各设备终端是否已经接收到下次功能操作的同步控制标识，本实施例中设备终端在通过第二数据信号传输接口接收控制终端的第一数据信号传输接口发送的下次功能操作的同步控制标识之后，还包括：通过第二数据信号传输接口向控制终端的第一数据信号传输接口发送接收应答消息。可选的，若控制终端在发送下次功能操作的同步控制标识后，预设时间内没有接收到某一设备终端发送的接收应答消息，则控制终端可以再次向该设备终端发送一次下次功能操作的同步控制标识；若再次发送后还是没有收到该设备终端反馈的接收应道消息，则说明此时该设备终端存在问题，停止后续设备同步控制操作，向上位机上报错误指令。

可选的，为了节省控制终端的硬件接口资源和便于设备同步控制系统架构的扩展，本实施例中所述控制终端的第一数据信号传输接口和所述设备终端的第二数据信号传输接口之间通过交换机进行通信。具体的相关内容在上述实施例已经进行了详细介绍，在此不进行赘述。

本实施例提供的设备同步控制方法，待控制的设备终端根据第二时序信号传输接口接收的时序信号，以及上一同步周期通过第二数据信号传输接口接收的同步控制标识，执行本次功能操作，并确定本次功能操作的操作信息，通过高速的第二数据信号传输接口将该操作信息发送给控制终端的高速的第一数据信号传输接口，以使控制终端根据该操作信息生成下次功能操作的同步控制标识，并通过其高速的第一数据信号传输接口向设备终端的高速的第二数据信号传输接口发送该同步控制标识。本发明实施例的技术方案控制终端和设备终端通过高传输速率的数据信号传输接口传输操作信息和同步控制标识，极大的缩短了操作信息和同步控制标识的传输时间，进而缩短了每一次同步控制所需的同步周期，极大的提高了控制终端对各设备终端的同步控制效率，为一个控制终端同步控制多个设备终端工作提供了一种新思路。

实施例三

图3为本发明实施例三提供的一种设备同步控制方法的信令图，图4为本发明实施例三提供的控制终端和四个设备终端的同步控制时序图。本实施例在上述各实施例的基础上，提供了一种由一个控制终端和多个设备终端相互配合，实现设备同步控制的优选实例，具体的，该设备同步控制方法包括如下步骤：

S301：控制终端初始化处理。

示例性的，在本实施例中，控制终端在上电后，需要执行一系列的初始化操作，具体可以包括：在控制终端上电复位后，先通过控制终端上的配置模块将时序信号设置为第一电平(如高电平)，然后在接收到上位机发送的同步使能信号后，通过电平检测模块检测时序信号是否为第一电平，如果不是，说明控制设备出现问题，执行S318，否则执行S302。

需要说明的是，本实施例中的时序信号为第一电平时，设备终端不工作，时序信号为从第一电平变为第二电平时，设备终端执行一次功能操作。

S302，控制终端将时序信号设置为第二电平，并控制终端通过第一时序信号传输接口向多个设备终端的第二时序信号传输接口发送该时序信号。

示例性的，控制终端通过配置模块将第一时序信号传输接口发送的时序信号设置为第二电平，以及对同步控制时长对应的计数器执行清零操作。同时通过数据传输模块，基于第一时序信号传输接口将此时已经设置为第二电平的时序信号向待控制的多个设备终端的第二时序信号传输接口发送。

S303，多个设备终端检测第二时序信号传输接口接收到的时序信号是否从第一电平变为第二电平，若是，则执行S304，若否，则返回重新执行S303。

示例性的，各个设备终端通过其内部的电平检测模块检测第二时序信号传输接口接收到的时序信号是否从第一电平变为第二电平，如果是，则说明达到新的同步周期，需要执S304根据本次功能操作的同步控制标识，确定操作类型和操作参数，进而完成本次功能操作；如果否，则说当前时刻还没有达到新的同步周期，需要返回继续执行本步骤的操作，直到检测到下一时刻时序信号从第一电平变为第二电平为止。

S304，若检测到第二时序信号传输接口接收到的时序信号从第一电平变为第二电平，则多个设备终端根据本次功能操作的同步控制标识，确定操作类型和操作参数；

其中，本次功能操作的同步控制标识是上一同步周期控制终端的第一数据信号传输接口向各个设备终端的第二数据信号传输接口发送的同步控制标识。

S305，多个设备终端根据操作类型和操作参数，执行本次功能操作。

S306，多个设备终端确定本次功能操作过程的操作信息。

可选的，对于每一个设备终端来说，可以是获取本次功能操作过程中的实际操作数据；根据该实际操作数据和本次功能操作的同步控制标识，分析本次功能操作是否为正常操作，并将分析结果作为本次功能操作的操作信息。

S307，多个设备终端通过第二数据信号传输接口向控制终端的第一数据信号传输接口发送操作信息。

S308，控制终端判断是否接收完所有设备终端发送的本次功能操作的操作信息，若是，则执行S309，若否，则返回继续执行S308。

可选的，控制终端通过第一数据信号传输接口接收待控制的多个设备终端的第二数据信号传输接口发送的本次功能操作的操作信息，并判断是否所有的设备终端都向其发送的本次功能操作的操作信息，如果是，则执行S309，对接收到的所有操作信息进行分析，如果否，则说明有设备终端还没发送执行本次功能操作的操作信息，此时返回继续执行S308直到接收到所有设备终端发送的操作信息为止。

S309，控制终端分析操作信息，确定下次功能操作的同步控制标识。

可选的，本实施例可以是控制标识确定模块来分析操作信息，然后通过同步控制标识生成器来生成下一次功能操作的同步控制标识。

S310，控制终端通过第一数据信号传输接口向多个设备终端的第二数据信号传输接口发送同步控制标识。

S311，多个设备终端通过第二数据信号传输接口向控制终端的第一数据信号传输接口发送接收应答消息。

可选的，多个设备终端通过第二数据信号传输接口接收控制终端的第一数据信号传输接口发送的下次功能操作的同步控制标识后，为了告知控制终端已经接收到本次发送的同步控制标识，各个设备终端会在接收到同步控制标识后，通过第二数据信号传输接口向控制终端的第一数据信号传输接口发送接收应答消息。

S312，控制终端判断是否接收到所有设备终端发送的接收应答消息，若是，则执行S313，否则返回继续执行S312。

示例性的，控制终端在向各个设备终端的第二数据信号传输接口发送同步控制标识后，就等待接收各个设备终端发送的接收应答消息，并且判断是否已经接收到所有设备终端发送的接收应答消息，如果是，则说明所有设备都已经收到下次功能操作的同步控制标识，此时可以执行后续S313的操作，如果否，则说明还有设备终端没有发送接收应答消息，返回S312继续等待接收剩余设备发送接收应答消息。

S313，若通过第一数据信号传输接口接收到所有设备终端的第二数据信号传输接口发送的同步控制标识的接收应答消息，则控制终端判断同步控制时长是否进入下一同步周期，若否，则执行S314，若是执行S316。

示例性的，控制终端需要在其接收到所有的设备终端发送的接收应答消息后，通过查看同步控制时长对应的计数器，判断当前同步控制时长是否进入了下一同步周期，如果是，则说明当前同步周期的同步控制出现问题，需要执行S316向上位机上报错误指令。否则说明当前周期的同步控制正常，且当前周期的同步控制完成，可执行后续S314的操作，通过配置模块将第一时序信号传输接口发送的时序信号设置为第一电平。

S314，若同步控制时长未进入下一同步周期，则控制终端将第一时序信号传输接口发送的时序信号设置为第一电平。

S315，控制终端等待同步控制时长进入下一同步周期，返回执行S302。

示例性的，控制终端在通过配置模块将时序信号设置为第一电平后，继续通过监测同步控制时长对应的计数器，等待同步控制时长达到下一同步周期，此时说明设备同步控制进入下一同步周期，返回S302，按照上述方法执行下一周期对应的设备同步控制操作。

S316，控制终端向上位机上报错误指令。

示例性的，控制终端通过配置模块向上位机上报错误指令，同步流程终止，等待上位机传输的下一次使能信号后从新执行本实施例的S301控制终端初始化处理中的通过电平检测模块检测时序信号是否为第一电平的操作。

可选的，上述S3302-S307，对应图4中的时序信号的S1段，该过程中，设备终端1将其操作信息D111和D112发送至控制终端，设备终端2将其操作信息D121发送至控制终端，设备终端3将其操作信息D131、D132和D133发送至控制终端，设备终端4将其操作信息D141和D142发送至控制终端,对应的S1段，控制终端接收到的操作信息包括上述D111-D142；上述S308-S310对应图4中的时序信号S2段，该过程中，控制终端生成同步控制标识D211，然后将该同步控制标识D211发送至设备终端1-设备终端4，以使设备终端1和设备终端4都接收到该同步控制标识D211；上述S311-S312对应图4中的时序信号S3段，该过程中，设备终端1向控制终端发送接收应答消息D311，设备终端2向控制终端发送接收应答消息D321，设备终端3向控制终端发送接收应答消息D331，设备终端4向控制终端发送接收应答消息D341，对应的控制终端接收到各设备终端的接收应答消息D311-D341。上述S313-S314对应图4中的S4段，该过程中控制终端判断同步控制时长未进入下一同步周期，然后将第一时序信号传输接口发送的时序信号设置为第一电平。上述S315对应图4中的S5段，该过程中控制终端等待同步控制时长达到下一周期，返回执行S302，开启下一个同步周期的控制。

本实施例提供了一种设备同步控制方法，控制终端和设备终端上都设置邮两种信号传输接口，一种是高速的数据信号传输接口，一种是相对低速的时序信号传输接口，由时序信号传输接口实现控制终端向设备终端发送时序信号，由数据信号传输接口实现控制终端和设备终端之间的操作信息、同步控制标识以及接收应答消息的传输。本实施例通过基于控制终端和设备终端的上述硬件，采用上述同步控制方法，极大的提高了控制终端对各设备终端的同步控制效率，为一个控制终端同步控制多个设备终端工作提供了一种新思路。

实施例四

图5为本发明实施例四提供的一种设备同步控制装置的结构框图，该装置可配置于控制终端中，可执行本发明实施例一和实施例三所提供的设备同步控制方法，具备执行方法相应的功能模块和有益效果。所述控制终端包括第一时序信号传输接口和第一数据信号传输接口；所述第一数据信号传输接口的传输速率高于所述第一时序信号传输接口。如图5所示，该装置包括：

数据接收模块501，用于通过所述第一数据信号传输接口接收待控制的至少两个设备终端的第二数据信号传输接口发送的本次功能操作的操作信息；

控制标识确定模块502，用于分析所述操作信息，确定下次功能操作的同步控制标识；

数据发送模块503，用于通过所述第一数据信号传输接口向所述至少两个设备终端的第二数据信号传输接口发送所述同步控制标识，以控制所述至少两个设备终端根据所述第一时序信号传输接口发送的时序信号和所述同步控制标识，在下一同步周期执行下次功能操作。

本实施例提供了一种设备同步控制装置，配置于控制终端中，数据接收模块通过高传输速率的数据信号传输接口接收待控制的各个设备终端向控制终端传输的本次功能操作的操作信息，由控制标识确定模块对该操作信息进行分析后确定下次功能操作的同步控制标识，进而再通过数据发送模块采用高传输速率的数据信号传输接口将该同步控制标识传输给各个设备终端，以使各个设备终端根据控制终端传输的时序信号和该同步控制标识，在下一同步周期执行下次功能操作。本发明实施例的技术方案控制终端和设备终端通过高传输速率的数据信号传输接口传输操作信息和同步控制标识，极大的缩短了操作信息和同步控制标识的传输时间，进而缩短了每一次同步控制所需的同步周期，极大的提高了控制终端对各设备终端的同步控制效率，为一个控制终端同步控制多个设备终端工作提供了一种新思路。

进一步地，上述控制终端的第一数据信号传输接口和所述至少两个设备终端的第二数据信号传输接口之间通过交换机进行通信。

进一步的，控制标识确定模块502具体用于：

若所述操作信息为操作正常，则根据预设的同步控制流程，确定下次功能操作的同步控制标识。

进一步的，上述数据接收模块还用于：

通过所述第一数据信号传输接口接收所述至少两个设备终端的第二数据信号传输接口发送的同步控制标识的接收应答消息；

上述装置还包括：配置模块，该模块具体用于：

若接收到所有设备终端的接收应答消息后，同步控制时长未进入下一同步周期，则将所述第一时序信号传输接口发送的时序信号设置为第一电平；

等待所述同步控制时长进入所述下一同步周期，将所述第一时序信号传输接口发送的时序信号设置为第二电平，并对所述同步控制时长执行清零操作。

实施例五

图6为本发明实施例五提供的一种设备同步控制装置的结构框图，该装置可配置于设备终端中，可执行本发明实施例二和实施例三所提供的设备同步控制方法，具备执行方法相应的功能模块和有益效果。所述设备终端包括第二时序信号传输接口和第二数据信号传输接口；所述第二数据信号传输接口的传输速率高于所述第二时序信号传输接口。如图6所示，该装置包括：

功能操作执行模块601，用于根据所述第二时序信号传输接口接收到的时序信号和本次功能操作的同步控制标识，执行本次功能操作；所述本次功能操作的同步控制标识是上一同步周期控制终端的第一数据信号传输接口向所述第二数据信号传输接口发送的同步控制标识；

操作信息确定模块602，用于确定本次功能操作过程的操作信息；

信息发送模块603，用于通过所述第二数据信号传输接口向所述控制终端的第一数据信号传输接口发送所述操作信息，以使所述控制终端分析所述操作信息，确定下次功能操作的同步控制标识；

信息接收模块604，用于通过所述第二数据信号传输接口接收所述控制终端的第一数据信号传输接口发送的下次功能操作的同步控制标识。

本实施例提供了一种设备同步控制装置，配置于设备终端，由功能操作执行模块根据第二时序信号传输接口接收的时序信号，以及上一同步周期通过第二数据信号传输接口接收的同步控制标识，执行本次功能操作；由操作信息确定模块确定本次功能操作的操作信息，进而通过信息发送模块基于高速的第二数据信号传输接口将该操作信息发送给控制终端的高速的第一数据信号传输接口，以使控制终端根据该操作信息生成下次功能操作的同步控制标识，并通过其高速的第一数据信号传输接口向设备终端的高速的第二数据信号传输接口发送该同步控制标识，由信息接收模块接收该同步控制标识。本发明实施例的技术方案控制终端和设备终端通过高传输速率的数据信号传输接口传输操作信息和同步控制标识，极大的缩短了操作信息和同步控制标识的传输时间，进而缩短了每一次同步控制所需的同步周期，极大的提高了控制终端对各设备终端的同步控制效率，为一个控制终端同步控制多个设备终端工作提供了一种新思路。

进一步的，所述控制终端的第一数据信号传输接口和所述设备终端的第二数据信号传输接口之间通过交换机进行通信。

进一步的，功能操作执行模块601具体用于：

若检测到所述第二时序信号传输接口接收到的时序信号从第一电平变为第二电平，则根据本次功能操作的同步控制标识，确定操作类型和操作参数；

根据所述操作类型和所述操作参数，执行本次功能操作。

进一步的，上述操作信息确定模块602具体包括：

实际数据采集单元，用于获取本次功能操作过程中的实际操作数据；

操作信息分析单元，用于根据所述实际操作数据和本次功能操作的同步控制标识，分析本次功能操作是否为正常操作，并将分析结果作为本次功能操作的操作信息。

进一步的，上述信息发送模块603，还用于：

通过所述第二数据信号传输接口向所述控制终端的第一数据信号传输接口发送接收应答消息。

值得注意的是，上述设备同步控制装置的实施例中，所包括的各个单元和模块只是按照功能逻辑进行划分的，但并不局限于上述的划分，只要能够实现相应的功能即可；例如，上述实施例四中的设备同步控制装置可以仅包括：数据传输模块和控制模块，数据传输模块用于接收操作信息和应答消息、发送同步控制标识和时序信号；控制模块用于生成同步控制标识以及配置时序信号电平值等相关的功能。上述实施例五中的设备同步控制装置可以仅包括：数据传输模块和控制模块，数据传输模块用于发送操作信息和应答消息、接收同步控标识和时序信号；控制模块用于控制操作执行组件执行功能操作、确定操作信息等相关的功能。另外，各功能单元的具体名称也只是为了便于相互区分，并不用于限制本发明的保护范围。

实施例六

图7为本发明实施例六提供的一种控制终端的结构示意图。图7显示的控制终端70仅仅是一个示例，如图7所示，该控制终端70可以包括第一时序信号传输接口701、第一数据信号传输接口702和第一设备同步控制装置703；

所述第一数据信号传输接口702的传输速率高于所述第一时序信号传输接口701；所述第一设备同步控制装置703为上述实施例五所述的设备同步控制装置。用于实现上述实施例一和实施例三所述的设备同步控制方法。

本实施例提供了一种控制终端，待控制的各个设备终端通过高传输速率的数据信号传输接口向控制终端传输本次功能操作的操作信息，控制终端对该操作信息进行分析后确定下次功能操作的同步控制标识，进而再通过高传输速率的数据信号传输接口将该同步控制标识传输给各个设备终端，以使各个设备终端根据控制终端传输的时序信号和该同步控制标识，在下一同步周期执行下次功能操作。本发明实施例的技术方案控制终端和设备终端通过高传输速率的数据信号传输接口传输操作信息和同步控制标识，极大的缩短了操作信息和同步控制标识的传输时间，进而缩短了每一次同步控制所需的同步周期，极大的提高了控制终端对各设备终端的同步控制效率，为一个控制终端同步控制多个设备终端工作提供了一种新思路。

实施例七

图8为本发明实施例七提供的一种设备终端的结构示意图。图8显示的设备终端80仅仅是一个示例，如图8所示，该设备终端80可以包括第二时序信号传输接口801、第二数据信号传输接口802、操作执行组件803和第二设备同步控制装置804；

所述第二数据信号传输接口802的传输速率高于所述第二时序信号传输接口801；所述操作执行组件803，用于通过所述第二设备同步控制装置804的控制执行所述设备终端80的功能操作；所述第一设备同步控制装置804为上述实施例六所述的设备同步控制装置。用于实现上述实施例二和实施例三所述的设备同步控制方法。

本实施例提供了一种设备终端，该设备终端根据第二时序信号传输接口接收的时序信号，以及上一同步周期通过第二数据信号传输接口接收的同步控制标识，执行本次功能操作，并确定本次功能操作的操作信息，通过高速的第二数据信号传输接口将该操作信息发送给控制终端的高速的第一数据信号传输接口，以使控制终端根据该操作信息生成下次功能操作的同步控制标识，并通过其高速的第一数据信号传输接口向设备终端的高速的第二数据信号传输接口发送该同步控制标识。本发明实施例的技术方案控制终端和设备终端通过高传输速率的数据信号传输接口传输操作信息和同步控制标识，极大的缩短了操作信息和同步控制标识的传输时间，进而缩短了每一次同步控制所需的同步周期，极大的提高了控制终端对各设备终端的同步控制效率，为一个控制终端同步控制多个设备终端工作提供了一种新思路。

实施例八

图9和图10是本发明实施例八提供的两种设备同步控制系统的结构框架示意图，本系统可适用于对多个设备进行同步控制的情况，如图9所示，该设备同步控制系统包括：控制终端70和至少两个设备终端80。所述控制终端70的第一时序信号传输接口701与所述至少两个设备终端80的第二时序信号传输接口801进行通信；所述控制终端70的第一数据信号传输接口702与所述至少两个设备终端80的第二数据信号传输接口802进行通信；其中，第一数据信号传输接口702和第二数据信号传输接口802的传输速率高于第一时序信号传输接口701和第二时序信号传输接口801。

可选的，控制终端70可以是具有控制功能的终端，其具体为上述实施例六所述的控制终端。示例性的，图9中控制终端70上空心圆点对应的接口为第一时序信号传输接口701，实心圆点对应的接口为第一数据信号传输接口702。设备终端80是指在生产过程中需要执行功能操作的设备，例如，在生产集成电路的过程中，该设备终端80可以是光刻机设备。其具体为上述实施例七所述的设备终端。示例性的，图9中设备终端80上空心圆点对应的接口为第二时序信号传输接口801；实心圆点对应的接口为第二数据信号传输接口802。其中，第一数据信号传输接口702和第二数据信号传输接口802为统一类型的高速数据信号传输接口，第一时序信号传输接口701和第二时序信号传输接口801进为统一类型的时序信号传输接口；时序信号传输接口的传输效率低于数据信号传输接口。

可选的，如图10所示，上述设备同步控制系统还可以包括交换机90。当同步控制系统包括交换机90时，所述交换机90连接于所述控制终端70的第一数据信号传输接口和所述至少两个设备终端80的第二数据信号传输接口之间，用于辅助所述第一数据信号传输接口和所述第二数据信号传输接口进行通信。具体的，交换机90上设置有多个可连接接口901，可选的，该可连接接口901可以是高传输速率的数据信号传输接口，控制终端70的第一数据信号传输接口702和各个设备终端80的第二数据信号传输接口802都与交互机上的任意空闲的可连接接口901通过高速数据传输线连接。控制终端70在同步控制多个设备终端80时，可以通过交互机90实现如同步控制标识、操作信息以及接收应答消息的传输。这样设置的好处在于很好的解决了现有技术只能支持控制终端与各子设备点对点通信，扩展性较差的问题，节约控制终端接口资源的同时，极大的提高了设备同步控制系统的扩展性。

本发明实施例提供了一种设备同步控制系统，待控制的各个设备终端通过高传输速率的数据信号传输接口向控制终端传输本次功能操作的操作信息，控制终端对该操作信息进行分析后确定下次功能操作的同步控制标识，进而再通过高传输速率的数据信号传输接口将该同步控制标识传输给各个设备终端，以使各个设备终端根据控制终端传输的时序信号和该同步控制标识，在下一同步周期执行下次功能操作。本发明实施例的技术方案控制终端和设备终端通过高传输速率的数据信号传输接口传输操作信息和同步控制标识，极大的缩短了操作信息和同步控制标识的传输时间，进而缩短了每一次同步控制所需的同步周期，极大的提高了控制终端对各设备终端的同步控制效率，为一个控制终端同步控制多个设备终端工作提供了一种新思路。

上述实施例序号仅仅为了描述，不代表实施例的优劣。

本领域普通技术人员应该明白，上述的本发明的各模块或各步骤可以用通用的计算装置来实现，它们可以集中在单个计算装置上，或者分布在多个计算装置所组成的网络上，可选地，他们可以用计算机装置可执行的程序代码来实现，从而可以将它们存储在存储装置中由计算装置来执行，或者将它们分别制作成各个集成电路模块，或者将它们中的多个模块或步骤制作成单个集成电路模块来实现。这样，本发明不限制于任何特定的硬件和软件的结合。

本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间的相同或相似的部分互相参见即可。

以上所述仅为本发明的优选实施例，并不用于限制本发明，对于本领域技术人员而言，本发明可以有各种改动和变化。凡在本发明的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (15)

1.一种设备同步控制方法，其特征在于，由控制终端执行，所述控制终端包括第一时序信号传输接口和第一数据信号传输接口；所述第一数据信号传输接口的传输速率高于所述第一时序信号传输接口，所述方法包括：

通过所述第一数据信号传输接口接收待控制的至少两个设备终端的第二数据信号传输接口发送的本次功能操作的操作信息；

分析所述操作信息，确定下次功能操作的同步控制标识；

通过所述第一数据信号传输接口向所述至少两个设备终端的第二数据信号传输接口发送所述同步控制标识，以控制所述至少两个设备终端根据所述第一时序信号传输接口发送的时序信号和所述同步控制标识，在下一同步周期执行下次功能操作。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述控制终端的第一数据信号传输接口和所述至少两个设备终端的第二数据信号传输接口之间通过交换机进行通信。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，分析所述操作信息，确定下次功能操作的同步控制标识，包括：

若所述操作信息为操作正常，则根据预设的同步控制流程，确定下次功能操作的同步控制标识。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，通过所述第一数据信号传输接口向所述至少两个设备终端的第二数据信号传输接口发送所述同步控制标识之后，还包括：

通过所述第一数据信号传输接口接收所述至少两个设备终端的第二数据信号传输接口发送的同步控制标识的接收应答消息；

若接收到所有设备终端的接收应答消息后，同步控制时长未进入下一同步周期，则将所述第一时序信号传输接口发送的时序信号设置为第一电平；

等待所述同步控制时长进入所述下一同步周期，将所述第一时序信号传输接口发送的时序信号设置为第二电平，并对所述同步控制时长执行清零操作。

5.一种设备同步控制方法，其特征在于，由设备终端执行，所述设备终端包括第二时序信号传输接口和第二数据信号传输接口；所述第二数据信号传输接口的传输速率高于所述第二时序信号传输接口，所述方法包括：

根据所述第二时序信号传输接口接收到的时序信号和本次功能操作的同步控制标识，执行本次功能操作；所述本次功能操作的同步控制标识是上一同步周期控制终端的第一数据信号传输接口向所述第二数据信号传输接口发送的同步控制标识；

确定本次功能操作过程的操作信息，并通过所述第二数据信号传输接口向所述控制终端的第一数据信号传输接口发送所述操作信息，以使所述控制终端分析所述操作信息，确定下次功能操作的同步控制标识；

通过所述第二数据信号传输接口接收所述控制终端的第一数据信号传输接口发送的下次功能操作的同步控制标识。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述控制终端的第一数据信号传输接口和所述设备终端的第二数据信号传输接口之间通过交换机进行通信。

7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，根据所述第二时序信号传输接口接收到的时序信号和本次功能操作的同步控制标识，执行本次功能操作，包括：

若检测到所述第二时序信号传输接口接收到的时序信号从第一电平变为第二电平，则根据本次功能操作的同步控制标识，确定操作类型和操作参数；

根据所述操作类型和所述操作参数，执行本次功能操作。

8.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，确定本次功能操作过程的操作信息，包括：

获取本次功能操作过程中的实际操作数据；

根据所述实际操作数据和本次功能操作的同步控制标识，分析本次功能操作是否为正常操作，并将分析结果作为本次功能操作的操作信息。

9.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，通过所述第二数据信号传输接口接收所述控制终端的第一数据信号传输接口发送的下次功能操作的同步控制标识之后，还包括：

通过所述第二数据信号传输接口向所述控制终端的第一数据信号传输接口发送接收应答消息。

10.一种设备同步控制装置，其特征在于，配置于控制终端，所述控制终端包括第一时序信号传输接口和第一数据信号传输接口；所述第一数据信号传输接口的传输速率高于所述第一时序信号传输接口，所述装置包括：

数据接收模块，用于通过所述第一数据信号传输接口接收待控制的至少两个设备终端的第二数据信号传输接口发送的本次功能操作的操作信息；

控制标识确定模块，用于分析所述操作信息，确定下次功能操作的同步控制标识；

数据发送模块，用于通过所述第一数据信号传输接口向所述至少两个设备终端的第二数据信号传输接口发送所述同步控制标识，以控制所述至少两个设备终端根据所述第一时序信号传输接口发送的时序信号和所述同步控制标识，在下一同步周期执行下次功能操作。

11.一种设备同步控制装置，其特征在于，配置于设备终端，所述设备终端包括第二时序信号传输接口和第二数据信号传输接口；所述第二数据信号传输接口的传输速率高于所述第二时序信号传输接口，所述装置包括：

功能操作执行模块，用于根据所述第二时序信号传输接口接收到的时序信号和本次功能操作的同步控制标识，执行本次功能操作；所述本次功能操作的同步控制标识是上一同步周期控制终端的第一数据信号传输接口向所述第二数据信号传输接口发送的同步控制标识；

操作信息确定模块，用于确定本次功能操作过程的操作信息；

信息发送模块，用于通过所述第二数据信号传输接口向所述控制终端的第一数据信号传输接口发送所述操作信息，以使所述控制终端分析所述操作信息，确定下次功能操作的同步控制标识；

信息接收模块，用于通过所述第二数据信号传输接口接收所述控制终端的第一数据信号传输接口发送的下次功能操作的同步控制标识。

12.一种控制终端，其特征在于，所述控制终端包括：第一时序信号传输接口、第一数据信号传输接口和第一设备同步控制装置；

所述第一数据信号传输接口的传输速率高于所述第一时序信号传输接口；

所述第一设备同步控制装置为权利要求10所述的设备同步控制装置。

13.一种设备终端，其特征在于，所述设备终端包括：第二时序信号传输接口、第二数据信号传输接口、操作执行组件和第二设备同步控制装置；

所述第二数据信号传输接口的传输速率高于所述第二时序信号传输接口；

所述操作执行组件，用于通过所述第二设备同步控制装置的控制执行所述设备终端的功能操作；

所述第二设备同步控制装置为权利要求11所述的设备同步控制装置。

14.一种设备同步控制系统，其特征在于，所述系统包括：控制终端和至少两个设备终端；

所述控制终端为权利要求12所述的控制终端；

所述至少两个设备终端为权利要求13所述的设备终端；

所述控制终端的第一时序信号传输接口与所述至少两个设备终端的第二时序信号传输接口进行通信；所述控制终端的第一数据信号传输接口与所述至少两个设备终端的第二数据信号传输接口进行通信；其中，所述第一数据信号传输接口和所述第二数据信号传输接口的传输速率高于所述第一时序信号传输接口和所述第二时序信号传输接口。

15.根据权利要求14所述的系统，其特征在于，所述系统还包括：交换机；

所述交换机连接于所述控制终端的第一数据信号传输接口和所述至少两个设备终端的第二数据信号传输接口之间，用于辅助所述第一数据信号传输接口和所述第二数据信号传输接口进行通信。

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