CN112833288A - 二维平面位移微型控制平台 - Google Patents

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Abstract

本发明属于精密加工技术领域，涉及一种二维平面位移微型控制平台。一种二维平面位移微型控制平台，包括：支撑框架、载物台、滚动支撑机构、x方向驱动机构和y方向驱动机构；所述载物台位于支撑框架上，滚动支撑机构支撑载物台，x方向驱动机构带动载物台在x方向平移，y方向驱动机构带动载物台在y方向平移；所述载物台上设有弹性平衡机构，所述弹性平衡机构保证载物台处于水平面，以及保证载物台能够跟随x方向和y方向驱动机构中的丝杆螺母往复运动。本发明提出一种二维平面位移微型控制平台，其兼顾了降低厚度、减小摩擦、提高载重、运动稳定、尺寸适应性强、易于扩展等多方面需求。

Description

二维平面位移微型控制平台
技术领域
本发明属于精密加工技术领域，涉及一种二维平面位移微型控制平台。
背景技术
传统的机械传动式微位移装置，主要有如下几种：
1)采用电机为驱动元件，以丝杠作为连接件，以滑动导轨作为支承平台。电机和丝杠的精度直接影响其传动精度性能，导轨的精度直接影响其直线度与承载能力。
2)利用压电陶瓷作为致动元件的微位移装置，其柔性饺链结构形式的限制，这种微位移装置工作范围有限，通常在几微米到几十微米范围内，并且切向无承载能力，应用环境比较严格。
3)直线电机弥补了前两种微位移装置的不足，同时具有高的精度和大的行程。但是直线电机也存在着不足之处，主要体现在以下两个方面：第一、与同容量旋转电机相比，直线电机(主要是感应式直线电机)的效率和功率因数较小，尤其在低速时比较明显。这一方面是因为直线电机的初次级气隙一般都比旋转电机大，因此所需的磁化电流就较大，损耗增加；另一方面，由于直线电机初级铁心两端开断，产生了所谓的端部效应，从而引起波形畸变等问题，其结果也导致损耗增加。但从整个装置或系统来看，采用直线电机可省去中间传动装置，因此系统总效率往往还是比采用旋转电机要高。第二、直线电机特别是直线感应电机的起动推力受电源电压的影响较大，需采取有关措施保证电源的稳定或改变电机的有关特性来减少或消除这种影响。
截至目前，绝大多数实现二维位移精确调整的位移台都是通过一维位移台组合在一起实现精确位移调整，这样极大的增加了二维位移台的体积，特别是高度尺寸，很难应用在对空间尺寸要求严格的场合。例如原子力显微镜设备中的小型密闭空间、光学显微镜的样品台等，对位移平台的高度、尺寸均有限制。
综上所述，亟需研制一种既保证运动精度，又具有最小高度尺寸的新型位移台，以最小的体积实现小空间平面位移及角度、高度等多功能控制。
发明内容
本发明提出一种二维平面位移微型控制平台，其兼顾了降低厚度、减小摩擦、提高载重、运动稳定、尺寸适应性强、易于扩展等多方面需求。
本发明解决上述问题的技术方案是：一种二维平面位移微型控制平台，其特殊之处在于，包括：
支撑框架、载物台、滚动支撑机构、x方向驱动机构和y方向驱动机构；
所述载物台位于支撑框架上，滚动支撑机构支撑载物台，x方向驱动机构带动载物台在x方向平移，y方向驱动机构带动载物台在y方向平移；所述载物台上设有弹性平衡机构，所述弹性平衡机构保证载物台处于水平面，以及保证载物台能够跟随x方向和y方向驱动机构中的丝杆螺母往复运动。
进一步地，上述x方向驱动机构包括第一传动机构和第一动力机构；所述第一动力机构驱动第一传动机构带动载物台沿x方向移动；所述y方向驱动机构包括第二传动机构和第二动力机构；所述第二动力机构驱动第二传动机构带动载物台沿y方向移动。
进一步地，上述第一传动机构包括第一丝杆、第一丝杆螺母；所述第一动力机构驱动第一丝杆转动，第一丝杆螺母与第一丝杆配合后，带动载物台沿x方向移动；所述第二传动机构包括第二丝杆、第二丝杆螺母；所述第二动力机构驱动第二丝杆转动，第二丝杆螺母与第二丝杆配合后，带动载物台沿y方向移动；所述载物台在x方向和y方向分别开设有第一条形孔和第二条形孔，第一条形孔和第二条形孔处于不同平面；第一条形孔上设有沿y方向的第一滑槽，第二条形孔上设有沿x方向的第二滑槽；所述第一丝杆穿过第一条形孔，第一丝杆螺母可沿第一滑槽在y方向移动；所述第二丝杆穿过第二条形孔，第二丝杆螺母可沿第二滑槽在x方向移动。
进一步地，上述第一丝杆螺母通过第一滑块沿第一滑槽在y方向移动，第二丝杆螺母通过第二滑块沿第二滑槽在x方向移动。
进一步地，上述第一滑槽、第二滑槽为燕尾槽或T型槽结构。
进一步地，上述所述第一丝杆和第二丝杆的末端通过轴承安装在支撑框架上。
进一步地，上述弹性平衡机构包括设置在支撑框架和载物台之间的第一弹簧、第二弹簧和第三弹簧，第一弹簧和第二弹簧的拉力用于平衡载物台x方向受到的推力，第二弹簧和第三弹簧的拉力用于平衡载物台y方向受到的推力。
进一步地，上述载物台和支撑框架均为矩形结构。
进一步地，上述第一动力机构设置在支撑框架的左侧，第二动力机构设置在支撑框架上的下侧；所述第一弹簧的一端与载物台的左上角相连，另一端与支撑框架的左上角相连；所述第二弹簧的一端与载物台的左下角相连，另一端与支撑框架的左下角相连；所述第三弹簧的一端与载物台的右下角相连，另一端与支撑框架的右下角相连。
进一步地，上述支撑框架上设有限位结构，限位结构用于限定载物台的移动距离。
进一步地，上述支撑框架包括一水平底板，限位结构包括四个棱台，四个棱台分别设置在水平底板的四个边上。
进一步地，上述滚动支撑机构包括设置在载物台底部的多个支撑件，多个支撑件承载载物台并保证载物台处于水平。
进一步地，上述所述支撑件包括四个滚珠，四个滚珠分别设置在载物台的底部。
进一步地，上述所述支撑件包括四个万向轮，四个万向轮分别设置在载物台的底部。
进一步地，上述平衡机构包括设置在载物台底部的多个支撑件，多个支撑件保证载物台处于水平，使得载物台的条形开口与丝杆间有一定的空气间隔，无滑动摩擦作用，消除了传统滑动导轨支撑带来的摩擦和不稳定因素。
进一步地，上述支撑件包括四个滚珠，四个滚珠分别设置在载物台底部的四个角。
进一步地，上述支撑件还可以是万向轮等其它可以起支撑作用的机械结构。
进一步地，为了小型化和操控便捷，上述第一动力机构、第二动力机构为手轮或者摇柄等手动螺旋控制。
进一步地，为了实现小空间的远程操控，上述第一动力机构、第二动力机构均为步进电机或伺服电机。
进一步地，还包括上位机，所述上位机用于控制第一动力机构、第二动力机构的开启和关闭。
本发明的优点：
1)本发明提供了一种二维平面位移微型控制平台，适用于小空间平面位移，属于精密加工技术、光电技术、多功能测试设备领域。
2)本发明整体结构简单，主要部件的生产成本低(没有用于组装的螺孔等复杂结构)；不同配件之间具有灵活的可组合性；同时，本发明还具有尺寸可调性强、厚度低、摩擦小、可载重大、运动稳定、可远程操控等特点，适合于多种光学设备联用，进行多场耦合的物性测试。
3)本发明节省纵向空间并有利于将载物台的位移范围最大化，通过调整本设计中微型步进电机及结构框架的尺寸，可以获得微米到分米级别的平面位移控制。
4)本发明可配合具有角度控制、高度调节、夹持、信号发射等功能的装置，可实现小空间(例如原子力显微镜等仪器腔体内部、显微镜操作台)位置和角度的高精度、机械化、远程控制；进一步可配合光纤等外加信号装置，实现更加复杂的调节和操控效果。
附图说明
图1为本发明二维平面位移微型控制平台的俯视图；
图2为图1中载物台左视图；
图3为图1中载物台前视图；
图4为载物台与丝杆的位置关系图；
图5为本发明二维平面位移微型控制平台结合伺服电机和激光光纤的应用图例。
其中：1、支撑框架，2、载物台，3、第一丝杆，4、第一丝杆螺母，5、第一动力机构，6、第二丝杆，7、第二丝杆螺母，8、第二动力机构，9、第一条形孔，10、第二条形孔，11、第一滑槽，12、第二滑槽，13、滚珠，14、第一弹簧，15、第二弹簧，16、第三弹簧。
具体实施方式
为使本发明实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本发明一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本发明的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施方式。
本发明提供了一种二维平面位移微型控制平台，适用于小空间平面位移及角度控制，属于精密加工技术、光电技术、多功能测试设备领域。
参见图1-图4，一种二维平面位移微型控制平台，包括支撑框架1、载物台2、滚动支撑机构、x方向驱动机构和y方向驱动机构；所述载物台2位于支撑框架1上，滚动支撑机构支撑载物台2，x方向驱动机构带动载物台2在x方向平移，y方向驱动机构带动载物台2在y方向平移；所述载物台2上设有弹性平衡机构，所述弹性平衡机构保证载物台2处于水平面，以及保证载物台2能够跟随x方向和y方向驱动机构中的丝杆螺母往复运动。
作为本发明的一个优选实施例，具体地，所述x方向驱动机构包括第一传动机构和第一动力机构5；所述第一动力机构5驱动第一传动机构带动载物台2沿x方向移动；所述y方向驱动机构包括第二传动机构和第二动力机构8；所述第二动力机构8驱动第二传动机构带动载物台2沿y方向移动。所述第一传动机构包括第一丝杆3、第一丝杆螺母4；所述第一动力机构5驱动第一丝杆3转动，第一丝杆螺母4与第一丝杆3配合后，带动载物台2沿x方向移动；所述第二传动机构包括第二丝杆6、第二丝杆螺母7；所述第二动力机构8驱动第二丝杆6转动，第二丝杆螺母7与第二丝杆6配合后，带动载物台2沿y方向移动。
所述载物台2在x方向和y方向分别开设有第一条形孔9和第二条形孔10，第一条形孔9和第二条形孔10处于不同平面。
第一条形孔9靠近第一动力机构5一侧设有沿y方向的第一滑槽11，第二条形孔10靠近第二动力机构8一侧设有沿x方向的第二滑槽12。
所述第一丝杆3穿过第一条形孔9。第一丝杆螺母4的外表做成滑块或者在第一丝杆螺母4上固定一个滑块，使第一丝杆螺母4可沿第一滑槽11在y方向平移；当第一丝杆螺母4在第一丝杆3的作用下沿x方向平移时，带动载物台2沿x方向移动。
所述第二丝杆6穿过第二条形孔10，第二丝杆螺母7的外表做成滑块或者在第二丝杆螺母7上固定一个滑块，使第二丝杆螺母7可沿第二滑槽12在x方向移动，当第一丝杆螺母4在第一丝杆6的作用下沿y方向平移时，带动载物台2沿y方向移动。
优选地，上述第一滑槽11、第二滑槽12采用燕尾槽或T型槽结构，以保证运动时的平顺性。
作为本发明的一个优选实施例，所述滚动支撑机构包括设置在载物台2底部的多个支撑件，多个支撑件保证载物台2处于水平。
优选地，所述支撑件为四个滚珠13，四个滚珠13分别设置在载物台2底部的四个角，使载物台2处于水平，在载物台的条形孔与丝杆间有一定的空气间隔，载物台与丝杆不接触，避免了滑动摩擦，消除了传统滑动导轨支撑带来的摩擦和不稳定因素。载物台运动时滚珠13与支撑框架的上表面发生滚动摩擦。
当然，支撑件还可以是万向轮等可以起支撑作用的机械结构。
作为本发明的一个优选实施例，所述弹性平衡机构为设置在支撑框架1和载物台2之间的第一弹簧14、第二弹簧15和第三弹簧16，第一弹簧14和第二弹簧15的拉力用于平衡载物台2x方向受到的推力，第二弹簧15和第三弹簧16的拉力用于平衡载物台2y方向受到的推力。
作为本发明的一个优选实施例，参见图1，载物台2和支撑框架1均为矩形结构。
第一动力机构5设置在支撑框架1的左侧，第二动力机构8设置在支撑框架1上的下侧；所述第一弹簧14的一端与载物台2的左上角相连，另一端与支撑框架1的左上角相连；所述第二弹簧15的一端与载物台2的左下角相连，另一端与支撑框架1的左下角相连；所述第三弹簧16的一端与载物台2的右下角相连，另一端与支撑框架1的右下角相连。
优选地，本发明中，支撑框架1包括一水平底板，限位结构包括四个棱台，四个棱台分别设置在水平底板的四个边上四个棱台用于限定载物台2的移动距离。
优选地，本发明中，所述第一动力机构5、第二动力机构8采用步进电机或伺服电机。
作为本发明的一个优选实施例，本发明一种二维平面位移微型控制平台还包括上位机，上位机为电脑，所述上位机远程控制第一动力机构5、第二动力机构8的开启和关闭，从而实现密闭空间的机械化、自动化操控。
综上所述，载物台2的左右两侧靠近上边缘的位置及前后两侧靠近下边缘的位置，分别开有条形孔，可分别允许X和Y方向的丝杆穿过。载物台2底部四角分别有一个起支撑作用的滚珠13，使得载物台2的条形孔与丝杆间有一定的空气间隔，无滑动摩擦作用，消除了传统滑动导轨支撑带来的摩擦和不稳定因素。载物台2运动时滚珠13与支撑框架1的底面发生滚动摩擦。在两个步进电机的控制下，丝杆上的螺母和弹簧的共同作用下，载物台2可在XY平面内进行大范围的移动。该载物台2的设计使得整个平面位移装置的厚度极大地缩小、摩擦减少、稳定性提升、可移动范围增大。
实施例1
参见图1，一种二维平面位移微型控制平台，包括支撑框架1、载物台2、x方向驱动机构和y方向驱动机构；所述支撑框架1支撑载物台2，x方向驱动机构带动载物台2在x方向平移，y方向驱动机构带动载物台2在y方向平移；所述载物台2底部设有滚动支撑机构，所述滚动支撑机构保证载物台2处于水平面。
载物台2和支撑框架1均为矩形结构，载物台2在其四个角底部安装有滚珠13，滚珠13保证载物台1在支撑框架1内表面处于水平，载物台2在支撑框架1内表面移动时，滚珠13与支撑框架1内表面产生滚动摩擦。
支撑框架1左侧安装第一动力机构5，第一动力机构5为步进电机，步进电机驱动第一丝杆3转动，第一丝杆螺母4与第一丝杆3配合后再与弹性平衡机构共同作用，带动载物台2沿x方向移动。支撑框架1下侧安装第二动力机构8，第二动力机构8为步进电机，步进电机驱动第二丝杆6转动，第二丝杆螺母7与第二丝杆6配合后再与弹性平衡机构共同作用带动载物台2沿y方向移动。所述载物台2在x方向和y方向分别开设有第一条形孔9和第二条形孔10，第一条形孔9所处平面位于第二条形孔10处于平面之上。动力机构采用步进电机，可以实现控制平台平移自动化。
第一条形孔9左侧设有沿y方向的第一滑槽11，第二条形孔10靠近第二动力机构8一侧设有沿x方向的第二滑槽12。所述第一丝杆3穿过第一条形孔9。第一丝杆螺母4的外表做成滑块，第一丝杆螺母4的滑块表面可沿第一滑槽11在y方向平移；当第一丝杆螺母4在第一丝杆3的作用下沿x方向平移时，带动载物台2沿x方向移动。所述第二丝杆6穿过第二条形孔10，第二丝杆螺母7的外表做成滑块结构，使第二丝杆螺母7可沿第二滑槽12在x方向移动，当第一丝杆螺母4在第一丝杆6的作用下沿y方向平移时，带动载物台2沿y方向移动。
滚动支撑机构采用四个滚珠13使载物台2处于水平，在载物台的条形孔与丝杆间有一定的空气间隔，载物台与丝杆不接触，避免了滑动摩擦，消除了传统滑动导轨支撑带来的摩擦和不稳定因素。载物台2运动时滚珠13与支撑框架的上表面发生滚动摩擦。
所述弹性平衡机构包括三根弹簧：第一弹簧14的一端与载物台2的左上角相连，另一端与支撑框架1的左上角相连；所述第二弹簧15的一端与载物台2的左下角相连，另一端与支撑框架1的左下角相连；所述第三弹簧16的一端与载物台2的右下角相连，另一端与支撑框架1的右下角相连。第一弹簧14和第二弹簧15的拉力用于平衡载物台2x方向受到的推力，第二弹簧15和第三弹簧16的拉力用于平衡载物台2y方向受到的推力。
实施例2
本实施例与实施例1不同之处在于：支撑框架1包括一水平底板，限位结构包括四个棱台，四个棱台分别设置在水平底板的四个边上。限位结构用于限定载物台2的移动距离。
第一动力机构5、第二动力机构8分别设置在相邻的两个棱台上。第一丝杆3和第二丝杆6的一端分别与第一动力机构5、第二动力机构8的动力输出端连接，另一端分别与通过轴承安装在相邻的两个棱台上。
实施例3
本实施例与实施例2不同之处在于：还包括远程控制装置，远程控制装置为电脑，所述电脑远程控制两个步进电机的开启和关闭，从而实现本发明二维平面位移微型控制平台在密闭空间的机械化、自动化操控。
实施例4
本实施例与实施例1不同之处在于：
所述滚动支撑机构为设置在载物台2四个角底部安装有万向轮，万向轮保证载物台1在支撑框架1内表面处于水平，载物台2在支撑框架1内表面移动时，万向轮与支撑框架1内表面产生滚动摩擦。
所述第一动力机构5、第二动力机构8采用手轮或者摇柄结构，通过手动控制，实现第一丝杆3、第二丝杆6的转动，实现本发明的微信控制平台小型化和操控便捷。
本发明的工作原理：
以实施例1的结构为例，当需要载物台2在x方向运动时，控制第一动力机构5开启，带动第一丝杆3转动，从而驱动第一丝杆螺母4沿x方向移动，第一丝杆螺母4带动载物台2在x方向平移，载物台2底部的四个滚珠13在支撑框架1上表面滑动，第一弹簧14、第二弹簧15、第三弹簧16的作用是在第一丝杆螺母4沿x负方向移动时，使载物台2受到沿x负方向的作用力，从而跟随第一丝杆螺母4一起沿x负方向运动。此过程中，第二丝杆螺母7并未移动，第二滑槽12只与第二丝杆螺母7在x方向产生相对位移。
当需要载物台2在y方向运动时，控制第二动力机构8开启，带动第二丝杆6转动，从而驱动第二丝杆螺母7沿y方向移动，第二丝杆螺母7带动载物台2在y方向平移，载物台2底部的四个滚珠13在支撑框架1上表面滑动，第一弹簧14、第二弹簧15、第三弹簧16的作用是在第二丝杆螺母7沿y负方向移动时，使载物台2受到沿y负方向的作用力，从而跟随第二丝杆螺母7一起沿y负方向运动。此过程中，第一丝杆螺母4并未移动，第一滑槽11只与第一丝杆螺母4在y方向产生相对位移。
本发明中的载物台能够适应X和Y方向两个十字交叉放置的丝杆结构，在载物台四角下的滚珠稳定支撑下，载物台既可以有较大的承重又避免与丝杆发生摩擦。在步进电机及丝杆上安装的滑块的推动下，载物台可发生X和Y方向的自由位移。步进电机可由电脑远程控制，从而实现密闭空间的机械化、自动化操控。
利用本发明提出的二维平面位移微型控制平台，参见图5，结合伺服电机和激光光纤，在原子力显微镜的测试腔内进行光纤的角度和位置的精确微调，可实现太阳能电池光电流测量、红外热释电效应测量、变频光谱响应测量等实验的多场调控原位测量。
以上所述仅为本发明的实施例，并非以此限制本发明的保护范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的系统领域，均同理包括在本发明的保护范围内。

Claims (17)

1.一种二维平面位移微型控制平台，其特征在于：
包括支撑框架(1)、载物台(2)、滚动支撑机构、x方向驱动机构和y方向驱动机构；
所述载物台(2)位于支撑框架(1)上，滚动支撑机构支撑载物台(2)，x方向驱动机构带动载物台(2)在x方向平移，y方向驱动机构带动载物台(2)在y方向平移；
所述载物台(2)上设有弹性平衡机构，所述弹性平衡机构保证载物台(2)处于水平面，以及保证载物台(2)能够跟随x方向和y方向驱动机构中的丝杆螺母往复运动。
2.根据权利要求1所述的一种二维平面位移微型控制平台，其特征在于：
所述x方向驱动机构包括第一传动机构和第一动力机构(5)；所述第一动力机构(5)驱动第一传动机构带动载物台(2)沿x方向移动；
所述y方向驱动机构包括第二传动机构和第二动力机构(8)；所述第二动力机构(8)驱动第二传动机构带动载物台(2)沿y方向移动。
3.根据权利要求2所述的一种二维平面位移微型控制平台，其特征在于：
所述第一传动机构包括第一丝杆(3)、第一丝杆螺母(4)；所述第一动力机构(5)驱动第一丝杆(3)转动，第一丝杆螺母(4)与第一丝杆(3)配合后，带动载物台(2)沿x方向移动；
所述第二传动机构包括第二丝杆(6)、第二丝杆螺母(7)；所述第二动力机构(8)驱动第二丝杆(6)转动，第二丝杆螺母(7)与第二丝杆(6)配合后，带动载物台(2)沿y方向移动；
所述载物台(2)在x方向和y方向分别开设有第一条形孔(9)和第二条形孔(10)，第一条形孔(9)和第二条形孔(10)处于不同平面；第一条形孔(9)上设有沿y方向的第一滑槽(11)，第二条形孔(10)上设有沿x方向的第二滑槽(12)；
所述第一丝杆(3)穿过第一条形孔(9)，第一丝杆螺母(4)可沿第一滑槽(11)在y方向移动；所述第二丝杆(6)穿过第二条形孔(10)，第二丝杆螺母(7)可沿第二滑槽(12)在x方向移动。
4.根据权利要求3所述的一种二维平面位移微型控制平台，其特征在于：
所述第一丝杆螺母(4)通过第一滑块沿第一滑槽(11)在y方向移动，第二丝杆螺母(7)通过第二滑块沿第二滑槽(12)在x方向移动。
5.根据权利要求4所述的一种二维平面位移微型控制平台，其特征在于：
所述第一滑槽(11)、第二滑槽(12)为燕尾槽或T型槽结构。
6.根据权利要求3所述的一种二维平面位移微型控制平台，其特征在于：
所述第一丝杆(3)和第二丝杆(6)的末端通过轴承安装在支撑框架(1)上。
7.根据权利要求1-6任一所述的一种二维平面位移微型控制平台，其特征在于：
所述弹性平衡机构包括设置在支撑框架(1)和载物台(2)之间的第一弹簧(14)、第二弹簧(15)和第三弹簧(16)，第一弹簧(14)和第二弹簧(15)的拉力用于平衡载物台(2)在x方向受到的推力，第二弹簧(15)和第三弹簧(16)的拉力用于平衡载物台(2)在y方向受到的推力。
8.根据权利要求7所述的一种二维平面位移微型控制平台，其特征在于：
所述载物台(2)和支撑框架(1)均为矩形结构。
9.根据权利要求8所述的一种二维平面位移微型控制平台，其特征在于：
所述第一动力机构(5)设置在支撑框架(1)的左侧，第二动力机构(8)设置在支撑框架(1)上的下侧；
所述第一弹簧(14)的一端与载物台(2)的左上角相连，另一端与支撑框架(1)的左上角相连；
所述第二弹簧(15)的一端与载物台(2)的左下角相连，另一端与支撑框架(1)的左下角相连；
所述第三弹簧(16)的一端与载物台(2)的右下角相连，另一端与支撑框架(1)的右下角相连。
10.根据权利要求9所述的一种二维平面位移微型控制平台，其特征在于：
所述支撑框架(1)上设有限位结构，限位结构用于限定载物台(2)的移动距离。
11.根据权利要求10所述的一种二维平面位移微型控制平台，其特征在于：
所述支撑框架(1)包括一水平底板，限位结构包括四个棱台，四个棱台分别设置在水平底板的四个边上。
12.根据权利要求1-6任一所述的一种二维平面位移微型控制平台，其特征在于：
所述滚动支撑机构包括设置在载物台(2)底部的多个支撑件，多个支撑件承载载物台(2)并保证载物台(2)处于水平。
13.根据权利要求12所述的一种二维平面位移微型控制平台，其特征在于：
所述支撑件包括四个滚珠(13)，四个滚珠(13)分别设置在载物台(2)的底部。
14.根据权利要求13所述的一种二维平面位移微型控制平台，其特征在于：
所述支撑件包括四个万向轮，四个万向轮分别设置在载物台(2)的底部。
15.根据权利要求1-6任一所述的一种二维平面位移微型控制平台，其特征在于：
所述第一动力机构(5)、第二动力机构(8)为步进电机或伺服电机。
16.根据权利要求15所述的一种二维平面位移微型控制平台，其特征在于：
还包括上位机，所述上位机用于控制第一动力机构(5)、第二动力机构(8)的开启和关闭。
17.根据权利要求1-6任一所述的一种二维平面位移微型控制平台，其特征在于：
所述第一动力机构(5)、第二动力机构(8)为手轮或者摇柄。
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