CN112815009A - 气浮垫组件、气浮导轨组件及所述气浮导轨组件的校对方法 - Google Patents

气浮垫组件、气浮导轨组件及所述气浮导轨组件的校对方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供了一种气浮垫组件，包括具有节流气道的气浮垫、设置在所述气浮垫内节流气道里的第一节流器、设置在所述气浮垫内与所述第一节流器的出气口连通的气腔、设置在所述节流气道出气口处的第二节流器，所述第二节流器的进气口与所述气腔连通。本发明的气浮导轨组件及气浮垫组件，通过设置串联的第一节流器和第二节流器，从而可以提高气浮导轨组件的刚度和稳定性。

Description

气浮垫组件、气浮导轨组件及所述气浮导轨组件的校对方法
技术领域
本发明涉及一种气浮垫组件、气浮导轨组件及所述气浮导轨组件的校对方法。
背景技术
气浮垫产品广泛应用于自动化测量领域，如三坐标测量机、光学测量仪等，以往的安装方式通常依靠工人师傅的经验，先拧紧螺丝将气浮垫与导轨贴合，之后通气，此时会发生气振；然后将螺丝慢慢回拧，直到气振消失。采用这种方法很难保证多个气浮垫气浮间隙的一致性，导致组装精度低，且安装耗时长，效率低。且现有气浮垫的刚度较低，稳定性较差。
有鉴于此，有必要对现有的气浮垫组件予以改进，以解决上述问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种气浮垫组件，以解决现有气浮垫安装困难、刚度较低、稳定性较差的问题。
为实现上述目的，本发明提供一种气浮垫组件，所述气浮垫组件包括具有节流气道的气浮垫、设置在所述气浮垫内节流气道里的第一节流器、设置在所述气浮垫内与所述第一节流器的出气口连通的气腔、设置在所述节流气道出气口处的第二节流器，所述第二节流器的进气口与所述气腔连通。
作为本发明的进一步改进，所述气浮垫组件包括与所述气腔连通用以检测气腔气压的气压检测装置。
作为本发明的进一步改进，所述气腔呈圆柱状。
作为本发明的进一步改进，所述第一节流器与所述气腔间隔设置。
作为本发明的进一步改进，所述第一节流器和所述第二节流器的轴线位于同一直线上。
作为本发明的进一步改进，所述第一节流器、第二节流器和节流气道的直径相同。
本发明还提供一种气浮导轨组件，所述气浮导轨组件包括轨道、如上述的气浮垫组件、与所述气浮垫组件内的气浮垫连通的注气装置，所述气浮垫组件设置在所述轨道的上方，所述气浮垫的节流气道的出气口正对所述轨道。
作为本发明的进一步改进，所述气浮垫组件包括与所述气腔连通用以检测气腔气压的气压检测装置，所述气浮导轨组件还包括控制单元，所述控制单元与所述气压检测装置和所述注气装置电性连接。
本发明还提供一种气浮导轨组件的校对方法，包括如下步骤：
S1：提供如上述的气浮导轨组件：
S2：所述控制单元控制所述注气装置向所述气浮垫组件内注气；
S3：所述气压检测装置检测所述气腔内的气压，提供位移传感器检测轨道和所述气浮垫组件之间的间隙；
S4：逐渐改变所述气浮垫组件和轨道之间的气膜间隙，将与不同间隙对应的气腔压力储存到控制单元。
本发明的有益效果是：本发明的气浮导轨组件及气浮垫组件，通过设置串联的第一节流器和第二节流器，从而可以提高气浮导轨组件的刚度和稳定性。
附图说明
图1是本发明的气浮导轨组件的结构示意图；
图2是本发明的气浮导轨组件的校对方法的流程图。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
如图1所示，本发明的气浮导轨组件100包括轨道1、气浮垫组件2、注气装置3、控制单元4。
所述气浮垫组件2包括具有节流气道22的气浮垫21、设置在所述气浮垫21内节流气道22里的第一节流器23、设置在所述气浮垫21内与所述第一节流器23的出气口连通的气腔24、设置在所述节流气道22出气口处的第二节流器25、与所述气腔24连通用以检测气腔24气压的气压检测装置26。
所述第一节流器23、第二节流器25和节流气道22的直径相同，且在高度方向上自上而下依次排列，且相互连通。所述第一节流器23和所述第二节流器25的轴线位于同一直线上。
所述第一节流器23与所述气腔24间隔设置。
所述气腔24呈圆柱状。
所述第二节流器25的进气口与所述气腔24连通。
所述注气装置3与所述气浮垫组件2内的气浮垫21连通，进一步的，是与所述节流气道22连通。
所述控制单元4与所述气压检测装置26和所述注气装置3电性连接。
所述气浮垫组件2设置在所述轨道1的上方，所述气浮垫21的节流气道22的出气口正对所述轨道1。
本实施例的气浮垫组件2，通过设置第一节流器23和第二节流器25，从而对进入空气进行两次节流，使承载力随间隙的变化更加敏感。又由于刚度是承载力的导数，因而刚度会获得提升。另外，由于在所述节流气道22中产生两次压降，在气腔24中会产生稳压作用，减小了压力波动也减小了第二节流器25出口处的压力梯度，进而可以提高稳定性。
如图2所示，本发明还提供一种气浮导轨组件100的校对方法，包括如下步骤：
S1：提供如上述的气浮导轨组件100：
S2：所述控制单元4控制所述注气装置3向所述气浮垫组件2内注气；
S3：所述气压检测装置26检测所述气腔24内的气压，提供位移传感器检测轨道1和所述气浮垫组件2之间的间隙；
S4：逐渐改变所述气浮垫组件2和轨道1之间的气膜间隙，将与不同间隙对应的气腔压力储存到控制单元4。
本发明的气浮导轨组件100的校对方法，可以将气腔24的压力和间隙之间的对应关系储存到控制单元4内，从而通过监测所述气腔24的压力即可判断间隙的大小。在安装气浮垫21时，可以通过控制气腔24内气压的大小而控制间隙的大小，实现了安装间隙的量化和可视化，并使得安装间隙具有一致性，且安装精度较高。
本发明的气浮导轨组件100及气浮垫组件2，通过设置串联的第一节流器23和第二节流器25，从而可以提高气浮导轨组件100的刚度和稳定性。本发明的气浮导轨组件100的校对方法，可以通过检测气腔24的压力而判断间隙的大小，降低了安装的难度。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (9)

1.一种气浮垫组件，其特征在于：所述气浮垫组件包括具有节流气道的气浮垫、设置在所述气浮垫内节流气道里的第一节流器、设置在所述气浮垫内与所述第一节流器的出气口连通的气腔、设置在所述节流气道出气口处的第二节流器，所述第二节流器的进气口与所述气腔连通。
2.根据权利要求1所述的气浮垫组件，其特征在于：所述气浮垫组件包括与所述气腔连通用以检测气腔气压的气压检测装置。
3.根据权利要求1所述的气浮垫组件，其特征在于：所述气腔呈圆柱状。
4.根据权利要求1所述的气浮垫组件，其特征在于：所述第一节流器与所述气腔间隔设置。
5.根据权利要求1所述的气浮垫组件，其特征在于：所述第一节流器和所述第二节流器的轴线位于同一直线上。
6.根据权利要求5所述的气浮垫组件，其特征在于：所述第一节流器、第二节流器和节流气道的直径相同。
7.一种气浮导轨组件，其特征在于：所述气浮导轨组件包括轨道、如权利要求1-6任意一项所述的气浮垫组件、与所述气浮垫组件内的气浮垫连通的注气装置，所述气浮垫组件设置在所述轨道的上方，所述气浮垫的节流气道的出气口正对所述轨道。
8.根据权利要求7所述的气浮导轨组件，其特征在于：所述气浮垫组件包括与所述气腔连通用以检测气腔气压的气压检测装置，所述气浮导轨组件还包括控制单元，所述控制单元与所述气压检测装置和所述注气装置电性连接。
9.一种气浮导轨组件的校对方法，包括如下步骤：
S1：提供如权利要求8所述的气浮导轨组件：
S2：所述控制单元控制所述注气装置向所述气浮垫组件内注气；
S3：所述气压检测装置检测所述气腔内的气压，提供位移传感器检测轨道和所述气浮垫组件之间的间隙；
S4：逐渐改变所述气浮垫组件和轨道之间的气膜间隙，将与不同间隙对应的气腔压力储存到控制单元。
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