CN112808661A - 一种等离子蚀刻装置及其方法 - Google Patents

Abstract

一种等离子蚀刻装置，包括工作箱以及夹持杆，所述工作箱内置工作空腔，所述工作空腔前端设置密封门，所述工作空腔侧壁前后两侧侧壁中间位置设置定位块，所述定位块上下两侧分别设置定位柱，所述夹持杆一端分别与定位柱转动连接，所述工作空腔右侧侧壁设置液压杆，所述液压杆输出端设置定位板，所述定位板两端的上下两侧分别设置固定柱，所述固定柱分别转动连接第一传递杆，所述第一传递杆与夹持杆靠近定位柱一端分别铰接第二传递杆，通过夹持杆、第一传递杆、第二传递杆以及定位板的设置，便于对蚀刻板进行夹持固定。通过横杆、驱动电机以及支撑块的设置，便于控制气液两用喷头在蚀刻板范围内进行移动，使清洗更加均匀，清洗效果好。

Description

一种等离子蚀刻装置及其方法

技术领域

本发明涉及等离子蚀刻技术领域，具体为一种等离子蚀刻装置及其方法。

背景技术

现有的蚀刻过程中，涂敷感光胶方法是将加工好的蚀刻片直接放入涂敷机的滚轮上，滚轮转动后将感光胶直接涂敷在蚀刻片上，这种方法的主要缺点是：直接加工好的蚀刻片表面通常存在加工屑和各类灰尘，如果将蚀刻片直接放入涂敷机的滚轮上，将感光胶直接涂敷在蚀刻板上，蚀刻片表面原有的加工屑和各类灰尘，就会同感光胶一起固着在蚀刻板表面上。这些加工屑和各类灰尘存在于感光胶中，影响感光胶的涂敷质量，导致在蚀刻时出现各类蚀刻缺陷。

现有的设备中，存在一种蚀刻前清洁装置，这种装置主要通过将蚀刻板通过具有粘性的滚轮，清楚蚀刻板上的灰尘。这种装置虽然能够清楚蚀刻板上的灰尘，但是也存在以下几个问题：首先蚀刻板表面的灰尘有的附着比较牢固，有的附着并不牢固，如果全部通过粘性薄膜除去，会导致粘性薄膜频繁的更换，如果不及时更换就会影响清洁效果，加大了粘性薄膜的用量，也降低了清洁效率；其次原有的清洁设备中没有涉及蚀刻板的运送装置，也没有蚀刻板夹具等结构，蚀刻板的运送效率较低，清洁效率也低。

发明内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种清洁效果好的等离子蚀刻装置及其方法。

(二)技术方案

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种等离子蚀刻装置，包括工作箱以及夹持杆，所述工作箱内置工作空腔，所述工作空腔前端设置密封门，所述工作空腔侧壁前后两侧侧壁中间位置设置定位块，所述定位块上下两侧分别设置定位柱，所述夹持杆一端分别与定位柱转动连接，所述工作空腔右侧侧壁设置液压杆，所述液压杆输出端设置定位板，所述定位板两端的上下两侧分别设置固定柱，所述固定柱分别转动连接第一传递杆，所述第一传递杆与夹持杆靠近定位柱一端分别铰接第二传递杆，所述夹持杆远离定位柱一端设置夹持块，所述夹持块与定位块中间位置对应位置设置夹持槽，所述工作箱顶端设置驱动电机，所述驱动电机输出端伸入工作空腔内，所述驱动电机输出端设置横杆，所述横杆底端设置调节置物槽，所述调节置物槽内转动设置螺纹杆，所述横杆远离驱动电机一端设置调节电机，所述调节电机输出端与螺纹杆连接，所述调节置物槽内滑动设置支撑块，所述支撑块设置螺纹孔，所述螺纹杆穿过螺纹孔，所述支撑块底端设置气液两用喷头，所述工作箱左侧设置清洁箱，所述清洁箱顶端左侧设置水泵，所述水泵输入端与清洁箱连接，所述清洁箱内设置清洗液，所述水泵输出端与气液两用喷头连接，所述工作箱顶端右侧设置气泵，所述气泵输出端与气液两用喷头连接。

为了便于对清洗液进行回收，本发明改进有，所述工作空腔底端设置回收槽。

为了便于对清洗过后的蚀刻板进行快速烘干，本发明改进有，所述工作空腔侧壁设置加热板。

为了便于提升工作空腔的散热性能，本发明改进有，所述工作空腔侧壁设置透气孔。

为了防止外界环境中的杂质进入工作空腔，本发明改进有，透气孔内设置过滤网。

为了便于观察清洁过程，本发明改进有，所述密封门设置观察窗。

为了减少夹持块与蚀刻板之间的磨损，本发明改进有，所述夹持槽内设置橡胶垫。

本发明进一步提供了一种等离子蚀刻方法，包括：

步骤1、将蚀刻板防止在夹持块之间的夹持槽内，之后操作人员控制液压杆工作，液压杆输出端带动定位板移动，从而带动第一传导杆以及第二传导杆进行角度的偏移，从而带动夹持杆角度进行偏移，从而使夹持块夹紧蚀刻板，从而将蚀刻板固定在工作空腔内；

步骤2、操作人员控制驱动电机工作，驱动电机输出端带动横杆进行旋转，之后操作人员控制调节电机工作，调节电机输出端带动螺纹杆进行旋转，从而带动支撑块沿螺纹杆方向移动，从而使气液两用喷头在蚀刻板范围之内移动；

步骤3、操作人员控制水泵工作，通过气液两用喷头向蚀刻板喷射清洗液对蚀刻板进行清洗；

步骤4、操作人员控制气泵工作，气泵输出端通过气液两用喷头向蚀刻板表面喷射高压气体，从而将蚀刻板表面的清洗液冲干净，同时控制加热板工作，对蚀刻板进行快速烘干，方便对蚀刻板进行蚀刻。

(三)有益效果

与现有技术相比，本发明提供了一种等离子蚀刻装置及其方法，具备以下有益效果：

该等离子蚀刻装置及其方法，通过夹持杆、第一传递杆、第二传递杆以及定位板的设置，便于对蚀刻板进行夹持固定。通过横杆、驱动电机以及支撑块的设置，便于控制气液两用喷头在蚀刻板范围内进行移动，使清洗更加均匀，清洗效果好。通过气泵以及加热板的设置，便于对清洗过后的蚀刻板进行快速烘干。

附图说明

图1为本发明结构示意图；

图2为本发明俯视结构示意图；

图3为本发明主视图；

图中：1、工作箱；2、夹持杆；3、工作空腔；4、密封门；5、定位块；6、定位柱；7、液压杆；8、定位板；9、固定柱；10、第一传递杆；11、第二传递杆；12、夹持块；13、驱动电机；14、横杆；15、调节置物槽；16、螺纹杆；17、调节电机；18、支撑块；19、气液两用喷头；20、清洁箱；21、水泵；22、气泵；23、加热板；24、透气孔；25、观察窗。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1-3，一种等离子蚀刻装置，包括工作箱1以及夹持杆2，所述工作箱1内置工作空腔3，所述工作空腔3前端设置密封门4，所述工作空腔3侧壁前后两侧侧壁中间位置设置定位块5，所述定位块5上下两侧分别设置定位柱6，所述夹持杆2一端分别与定位柱6转动连接，所述工作空腔3右侧侧壁设置液压杆7，所述液压杆7输出端设置定位板8，所述定位板8两端的上下两侧分别设置固定柱9，所述固定柱9分别转动连接第一传递杆10，所述第一传递杆10与夹持杆2靠近定位柱6一端分别铰接第二传递杆11，所述夹持杆2远离定位柱6一端设置夹持块12，所述夹持块12与定位块5中间位置对应位置设置夹持槽，所述工作箱1顶端设置驱动电机13，所述驱动电机13输出端伸入工作空腔3内，所述驱动电机13输出端设置横杆14，所述横杆14底端设置调节置物槽15，所述调节置物槽15内转动设置螺纹杆16，所述横杆14远离驱动电机13一端设置调节电机17，所述调节电机17输出端与螺纹杆16连接，所述调节置物槽15内滑动设置支撑块18，所述支撑块18设置螺纹孔，所述螺纹杆16穿过螺纹孔，所述支撑块18底端设置气液两用喷头19，所述工作箱1左侧设置清洁箱20，所述清洁箱20顶端左侧设置水泵21，所述水泵21输入端与清洁箱20连接，所述清洁箱20内设置清洗液，所述水泵21输出端与气液两用喷头19连接，所述工作箱1顶端右侧设置气泵22，所述气泵22输出端与气液两用喷头19连接。

所述工作空腔3底端设置回收槽，便于对清洗液进行回收。

所述工作空腔3侧壁设置加热板23，便于对清洗过后的蚀刻板进行快速烘干。

所述工作空腔3侧壁设置透气孔24，便于提升工作空腔3的散热性能。

透气孔24内设置过滤网，可以防止外界环境中的杂质进入工作空腔3。

所述密封门4设置观察窗25，便于观察清洁过程。

所述夹持槽内设置橡胶垫，可以减少夹持块12与蚀刻板之间的磨损。

具体的操作流程如下，一种等离子蚀刻方法，包括：

步骤1、将蚀刻板防止在夹持块12之间的夹持槽内，之后操作人员控制液压杆7工作，液压杆7输出端带动定位板8移动，从而带动第一传导杆以及第二传导杆进行角度的偏移，从而带动夹持杆2角度进行偏移，从而使夹持块12夹紧蚀刻板，从而将蚀刻板固定在工作空腔3内；

步骤2、操作人员控制驱动电机13工作，驱动电机13输出端带动横杆14进行旋转，之后操作人员控制调节电机17工作，调节电机17输出端带动螺纹杆16进行旋转，从而带动支撑块18沿螺纹杆16方向移动，从而使气液两用喷头19在蚀刻板范围之内移动；

步骤3、操作人员控制水泵21工作，通过气液两用喷头19向蚀刻板喷射清洗液对蚀刻板进行清洗；

步骤4、操作人员控制气泵22工作，气泵22输出端通过气液两用喷头19向蚀刻板表面喷射高压气体，从而将蚀刻板表面的清洗液冲干净，同时控制加热板23工作，对蚀刻板进行快速烘干，方便对蚀刻板进行蚀刻。

该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220V市电电连接，并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备。

在该文中的描述中，需要说明的是，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (8)

1.一种等离子蚀刻装置，包括工作箱(1)以及夹持杆(2)，其特征在于：所述工作箱(1)内置工作空腔(3)，所述工作空腔(3)前端设置密封门(4)，所述工作空腔(3)侧壁前后两侧侧壁中间位置设置定位块(5)，所述定位块(5)上下两侧分别设置定位柱(6)，所述夹持杆(2)一端分别与定位柱(6)转动连接，所述工作空腔(3)右侧侧壁设置液压杆(7)，所述液压杆(7)输出端设置定位板(8)，所述定位板(8)两端的上下两侧分别设置固定柱(9)，所述固定柱(9)分别转动连接第一传递杆(10)，所述第一传递杆(10)与夹持杆(2)靠近定位柱(6)一端分别铰接第二传递杆(11)，所述夹持杆(2)远离定位柱(6)一端设置夹持块(12)，所述夹持块(12)与定位块(5)中间位置对应位置设置夹持槽，所述工作箱(1)顶端设置驱动电机(13)，所述驱动电机(13)输出端伸入工作空腔(3)内，所述驱动电机(13)输出端设置横杆(14)，所述横杆(14)底端设置调节置物槽(15)，所述调节置物槽(15)内转动设置螺纹杆(16)，所述横杆(14)远离驱动电机(13)一端设置调节电机(17)，所述调节电机(17)输出端与螺纹杆(16)连接，所述调节置物槽(15)内滑动设置支撑块(18)，所述支撑块(18)设置螺纹孔，所述螺纹杆(16)穿过螺纹孔，所述支撑块(18)底端设置气液两用喷头(19)，所述工作箱(1)左侧设置清洁箱(20)，所述清洁箱(20)顶端左侧设置水泵(21)，所述水泵(21)输入端与清洁箱(20)连接，所述清洁箱(20)内设置清洗液，所述水泵(21)输出端与气液两用喷头(19)连接，所述工作箱(1)顶端右侧设置气泵(22)，所述气泵(22)输出端与气液两用喷头(19)连接。

2.根据权利要求1所述的一种等离子蚀刻装置，其特征在于：所述工作空腔(3)底端设置回收槽。

3.根据权利要求1所述的一种等离子蚀刻装置，其特征在于：所述工作空腔(3)侧壁设置加热板(23)。

4.根据权利要求1所述的一种等离子蚀刻装置，其特征在于：所述工作空腔(3)侧壁设置透气孔(24)。

5.根据权利要求4所述的一种等离子蚀刻装置，其特征在于：透气孔(24)内设置过滤网。

6.根据权利要求1所述的一种等离子蚀刻装置，其特征在于：所述密封门(4)设置观察窗(25)。

7.根据权利要求1所述的一种等离子蚀刻装置，其特征在于：所述夹持槽内设置橡胶垫。

8.一种等离子蚀刻方法，其特征在于，包括：

步骤1、将蚀刻板防止在夹持块(12)之间的夹持槽内，之后操作人员控制液压杆(7)工作，液压杆(7)输出端带动定位板(8)移动，从而带动第一传导杆以及第二传导杆进行角度的偏移，从而带动夹持杆(2)角度进行偏移，从而使夹持块(12)夹紧蚀刻板，从而将蚀刻板固定在工作空腔(3)内；

步骤2、操作人员控制驱动电机(13)工作，驱动电机(13)输出端带动横杆(14)进行旋转，之后操作人员控制调节电机(17)工作，调节电机(17)输出端带动螺纹杆(16)进行旋转，从而带动固定块沿螺纹杆(16)方向移动，从而使气液两用喷头(19)在蚀刻板范围之内移动；

步骤3、操作人员控制水泵(21)工作，通过气液两用喷头(19)向蚀刻板喷射清洗液对蚀刻板进行清洗；

步骤4、操作人员控制气泵(22)工作，气泵(22)输出端通过气液两用喷头(19)向蚀刻板表面喷射高压气体，从而将蚀刻板表面的清洗液冲干净，同时控制加热板(23)工作，对蚀刻板进行快速烘干，方便对蚀刻板进行蚀刻。

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