CN112802777A - 一种发光二极管的外延片生长装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及二极管的技术领域，特别是涉及一种发光二极管的外延片生长装置，其增加装置内部废气的处理效果，增加装置内部清理的效果，提高实用性；包括底板、反应室、进气管、出气管、风机、第一阀门、第二阀门和真空机构，反应室固定安装在底板上，反应室内部设置有腔室，进气管固定安装在反应室上并与腔室连通，新鲜空气经进气管输送至底板腔室内，出气管固定安装在反应室上并与腔室连通，出气管的输出端与风机的输入端连接，风机固定安装在底板上，风机通过出气管将底板腔室内的废气抽出，风机的输出端与废气回收机构连通，第一阀门固定安装在进气管上，第二阀门固定安装在出气管上，真空装置固定安装在底板上并与反应室连通。
Description
技术领域
本发明涉及二极管的技术领域，特别是涉及一种发光二极管的外延片生长装置。
背景技术
二极管是用半导体材料(硅、硒、锗等)制成的一种电子器件。它具有单向导电性能，即给二极管阳极和阴极加上正向电压时，二极管导通，在制作LED时，需要先制作出外延片，然后将外延片制作成LED芯片。外延片的制作通常在MOCVD设备中进行。外延片的制作需要负压环境，目前通常是采用真空泵形成负压环境，现有的发光二极管的外延片生长装置外延片制作完成后，需对装置内部进行清理，对内部进行换气，产生的废气未进行收集，同时换气效率较低。
发明内容
为解决上述技术问题，本发明提供一种增加装置内部废气的处理效果，增加装置内部清理的效果，提高实用性的一种发光二极管的外延片生长装置。
本发明的一种发光二极管的外延片生长装置，包括底板、反应室、进气管、出气管、风机、第一阀门、第二阀门和真空机构，所述反应室固定安装在底板上，所述反应室内部设置有腔室，所述进气管固定安装在反应室上并与腔室连通，新鲜空气经进气管输送至底板腔室内，所述出气管固定安装在反应室上并与腔室连通，所述出气管的输出端与风机的输入端连接，所述风机固定安装在底板上，所述风机通过出气管将底板腔室内的废气抽出，所述风机的输出端与废气回收机构连通，所述第一阀门固定安装在进气管上，所述第二阀门固定安装在出气管上，所述真空装置固定安装在底板上并与反应室连通，所述真空装置用于反应室腔室内抽真空。
本发明的一种发光二极管的外延片生长装置，真空装置真空泵和真空管，所述真空泵固定安装在底板上，所述真空泵的输入端与真空管的输出端连接，所述真空管的输入端与反应室的输出端连接。
本发明的一种发光二极管的外延片生长装置，还包括第三阀门，所述第三阀门固定安装在真空管上。
本发明的一种发光二极管的外延片生长装置，还包括第一压力表和第二压力表，所述第一压力表固定安装在真空管上，所述第二压力表固定安装在进气管上。
本发明的一种发光二极管的外延片生长装置，还包括铰链和门板，所述铰链安装在反应室上，所述门板通过铰链与反应室转动连接。
本发明的一种发光二极管的外延片生长装置，还包括把手和锁扣，所述把手安装在门板上，所述锁扣安装在把手上。
本发明的一种发光二极管的外延片生长装置，还包括若干组螺栓，若干组所述螺栓安装在反应室上并与底板连接。
本发明的一种发光二极管的外延片生长装置，所述第一阀门、第二阀门和第三阀门均采用单向阀。
与现有技术相比本发明的有益效果为：关闭第一阀门和第二阀门，真空机构对反应室腔室内部抽真空，发光二极管的外延片在反应室腔室内制作，制作完成后，关闭真空机构，打开第一阀门和第二阀门，新鲜空气经进气管进入反应室腔室内部，风机将反应室腔室内部的废气经出气管输送至废气回收机构，增加装置内部废气的处理效果，增加装置内部清理的效果，提高实用性。
附图说明
图1是本发明的结构示意图；
图2是本发明的前视结构示意图；
图3是本发明的左视结构示意图；
附图中标记：1、底板；2、反应室；3、进气管；4、出气管；5、风机；6、第一阀门；7、第二阀门；8、真空泵；9、真空管；10、第三阀门；11、第一压力表；12、第二压力表；13、铰链；14、门板；15、把手；16、锁扣；17、螺栓。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
如图1至图3所示，本发明的一种发光二极管的外延片生长装置，包括底板1、反应室2、进气管3、出气管4、风机5、第一阀门6、第二阀门7和真空机构，反应室2固定安装在底板1上，反应室2内部设置有腔室，进气管3固定安装在反应室2上并与腔室连通，新鲜空气经进气管3输送至底板1腔室内，出气管4固定安装在反应室2上并与腔室连通，出气管4的输出端与风机5的输入端连接，风机5固定安装在底板1上，风机5通过出气管4将底板1腔室内的废气抽出，风机5的输出端与废气回收机构连通，第一阀门6固定安装在进气管3上，第二阀门7固定安装在出气管4上，真空装置固定安装在底板1上并与反应室2连通，真空装置用于反应室2腔室内抽真空；关闭第一阀门6和第二阀门7，真空机构对反应室2腔室内部抽真空，发光二极管的外延片在反应室2腔室内制作，制作完成后，关闭真空机构，打开第一阀门6和第二阀门7，新鲜空气经进气管3进入反应室2腔室内部，风机5将反应室2腔室内部的废气经出气管4输送至废气回收机构，增加装置内部废气的处理效果，增加装置内部清理的效果，提高实用性。
作为上述实施例的优选，真空装置真空泵8和真空管9，真空泵8固定安装在底板1上，真空泵8的输入端与真空管9的输出端连接，真空管9的输入端与反应室2的输出端连接；通过以上设置，增加装置内部抽真空的效果，提高实用性。
作为上述实施例的优选，还包括第三阀门10，第三阀门10固定安装在真空管9上；通过以上设置，第三阀门10对经真空管9抽出的空气起控制作用，增加腔室密闭性，提高实用性。
作为上述实施例的优选，还包括第一压力表11和第二压力表12，第一压力表11固定安装在真空管9上，第二压力表12固定安装在进气管3上；通过以上设置，第一压力表11对真空管9内的压力起监测作用，第二压力表12对进气管3内压力起监测作用，增加便利性，提高实用性。
作为上述实施例的优选，还包括铰链13和门板14，铰链13安装在反应室2上，门板14通过铰链13与反应室2转动连接；通过以上设置，便于向反应室2腔室内放置发光二极管的外延片，增加便利性，提高实用性。
作为上述实施例的优选，还包括把手15和锁扣16，把手15安装在门板14上，锁扣16安装在把手15上；通过以上设置，便于通过把手15打开门板14，锁扣16对门板14起锁紧作用，增加腔室密闭性，提高实用性。
作为上述实施例的优选，还包括若干组螺栓17，若干组螺栓17安装在反应室2上并与底板1连接；通过以上设置，增加底板1与反应室2之间的连接效果，便于反应室2的安装与拆卸，增加便利性，提高实用性。
作为上述实施例的优选，第一阀门6、第二阀门7和第三阀门10均采用单向阀；通过以上设置，防止气体倒流，增加装置内部的清洁效果，提高实用性。
本发明的一种发光二极管的外延片生长装置，其在工作时，关闭第一阀门6和第二阀门7，真空机构对反应室2腔室内部抽真空，发光二极管的外延片在反应室2腔室内制作，制作完成后，关闭真空机构，打开第一阀门6和第二阀门7，新鲜空气经进气管3进入反应室2腔室内部，风机5将反应室2腔室内部的废气经出气管4输送至废气回收机构，增加装置内部废气的处理效果，增加装置内部清理的效果，提高实用性。
本发明的一种发光二极管的外延片生长装置，其安装方式、连接方式或设置方式均为常见机械方式，只要能够达成其有益效果的均可进行实施；本发明的一种发光二极管的外延片生长装置的风机5、第一阀门6、第二阀门7、真空泵8、第三阀门10、第一压力表11、第二压力表12和锁扣16为市面上采购，本行业内技术人员只需按照其附带的使用说明书进行安装和操作即可。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本发明的保护范围。
Claims (8)
1.一种发光二极管的外延片生长装置，其特征在于，包括底板（1）、反应室（2）、进气管（3）、出气管（4）、风机（5）、第一阀门（6）、第二阀门（7）和真空机构，所述反应室（2）固定安装在底板（1）上，所述反应室（2）内部设置有腔室，所述进气管（3）固定安装在反应室（2）上并与腔室连通，新鲜空气经进气管（3）输送至底板（1）腔室内，所述出气管（4）固定安装在反应室（2）上并与腔室连通，所述出气管（4）的输出端与风机（5）的输入端连接，所述风机（5）固定安装在底板（1）上，所述风机（5）通过出气管（4）将底板（1）腔室内的废气抽出，所述风机（5）的输出端与废气回收机构连通，所述第一阀门（6）固定安装在进气管（3）上，所述第二阀门（7）固定安装在出气管（4）上，所述真空装置固定安装在底板（1）上并与反应室（2）连通，所述真空装置用于反应室（2）腔室内抽真空。
2.如权利要求1所述的一种发光二极管的外延片生长装置，其特征在于，真空装置真空泵（8）和真空管（9），所述真空泵（8）固定安装在底板（1）上，所述真空泵（8）的输入端与真空管（9）的输出端连接，所述真空管（9）的输入端与反应室（2）的输出端连接。
3.如权利要求1所述的一种发光二极管的外延片生长装置，其特征在于，还包括第三阀门（10），所述第三阀门（10）固定安装在真空管（9）上。
4.如权利要求2所述的一种发光二极管的外延片生长装置，其特征在于，还包括第一压力表（11）和第二压力表（12），所述第一压力表（11）固定安装在真空管（9）上，所述第二压力表（12）固定安装在进气管（3）上。
5.如权利要求1所述的一种发光二极管的外延片生长装置，其特征在于，还包括铰链（13）和门板（14），所述铰链（13）安装在反应室（2）上，所述门板（14）通过铰链（13）与反应室（2）转动连接。
6.如权利要求5所述的一种发光二极管的外延片生长装置，其特征在于，还包括把手（15）和锁扣（16），所述把手（15）安装在门板（14）上，所述锁扣（16）安装在把手（15）上。
7.如权利要求1所述的一种发光二极管的外延片生长装置，其特征在于，还包括若干组螺栓（17），若干组所述螺栓（17）安装在反应室（2）上并与底板（1）连接。
8.如权利要求3所述的一种发光二极管的外延片生长装置，其特征在于，所述第一阀门（6）、第二阀门（7）和第三阀门（10）均采用单向阀。
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