CN112785665A - 光刻图像的生成方法、装置和电子设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种光刻图像的生成方法、装置和电子设备，包括：获取待处理图像的像素矩阵，该像素矩阵中包含有待处理图像中的每个像素点对应的像素值；按照预设规则，将像素矩阵中每个像素点的像素值替换为灰度值；基于预先建立的包含有每个灰度值对应的曲线光栅图的图像集合，将像素矩阵中的灰度值替换为灰度值对应的曲线光栅图；将替换后的像素矩阵对应的待处理图像，确定为光刻图像。该方法通过曲线光栅替换待处理图像中的灰度值，从而避免了现有技术中渐变图案利用直线光栅光刻制版的不连续性和对点光源的依赖性；同时，由于整体光栅的利用率高，增加了整体的亮度，解决了现有直线光栅制造渐变图案的固有缺陷。

Description

光刻图像的生成方法、装置和电子设备

技术领域

本发明涉及全息光学技术领域，尤其是涉及一种光刻图像的生成方法、装置和电子设备。

背景技术

采用全息光学可以制造渐变图案，这一效果也就是能看到一幅图案从没有到逐渐显现的过程。渐变图案原理为利用分点将图案的不同区域填入不同的灰度，灰度代表直线光栅的不同角度，先亮的一部分会拥有更多的灰度。但是现有的点阵直线光栅往往在杂散光下就呈现出多个像的形态，图案模糊，需要点光源的照射才能呈现较好的渐变效果，且连续性不强，光栅利用率不高。

相关技术中，给出了一种无点阵全息曲线光栅计算方法，该方法包括获取立体模型，设置观察角度范围；根据立体模型的模式类型从预存的多种拟合算法中选择出与立体模型的模式类型对应的拟合算法；根据选择出的拟合算法在观察角度范围内对该立体模型进行拟合以得到多组曲线集合，获得多组曲线集合中包含的曲线的切线值相等的点以构成点集，其中，各点集中包含的点构成的区域为立体模型在该点集对应的切线方向的垂直方向上的观察图案。但是这一计算方法只能用于固定的立体模型，且仅能达到不跳帧的连续动画效果，无法实现渐变效果。

发明内容

本发明的目的在于提供一种光刻图像的生成方法、装置和电子设备，以避免传统渐变图案利用直线光栅光刻制版的不连续性和对点光源的依赖性，提高整体光栅的利用率高。

第一方面，本发明提供了一种光刻图像的生成方法，该方法包括：获取待处理图像的像素矩阵；其中，该像素矩阵中包含有待处理图像中的每个像素点对应的像素值；按照预设规则，将像素矩阵中每个像素点的像素值替换为灰度值；基于预先建立的包含有每个灰度值对应的曲线光栅图的图像集合，将像素矩阵中的灰度值替换为灰度值对应的曲线光栅图；将替换后的像素矩阵对应的待处理图像，确定为光刻图像。

在可选的实施方式中，上述按照预设规则，将像素矩阵中每个像素点的像素值替换为灰度值的步骤，包括：按照灰度值从待处理图像的中心向外依次变化的方式，将待处理图像的像素矩阵中每个像素点的像素值替换为相应的灰度值；或者，按照灰度值从待处理图像的边缘变化的方式，将待处理图像的像素矩阵中每个像素点的像素值替换为相应的灰度值。

在可选的实施方式中，上述预设规则包括：像素矩阵中每一行对应的同一灰度值的连续区域的像素个数为第一预设值，且相邻的两个变化的灰度值之间的间隔小于第二预设值。

在可选的实施方式中，上述灰度值的取值范围为0-255；上述图像集合中，每个灰度值对应的曲线光栅图中的曲线光栅的角度不同；其中，曲线光栅的角度跟随灰度值的增大而减小，或者曲线光栅的角度跟随灰度值的减少而增大。

在可选的实施方式中，上述基于预先建立的包含有每个灰度值对应的曲线光栅图的图像集合，将像素矩阵中的灰度值替换为灰度值对应的曲线光栅图的步骤，包括：针对像素矩阵中的每个灰度值，从图像集合中获取当前灰度值对应的曲线光栅图，将当前灰度值替换为当前灰度值对应的曲线光栅图。

在可选的实施方式中，上述曲线光栅的角度范围为80度到145度。

在可选的实施方式中，上述曲线光栅的分布结构为等间距型或者等圆心型。

在可选的实施方式中，上述曲线光栅的光栅结构采用正弦光栅或者闪耀光栅中的一种或者多种。

第二方面，本发明提供了一种光刻图像的生成装置，该装置包括：像素矩阵获取模块，用于获取待处理图像的像素矩阵；其中，该像素矩阵中包含有待处理图像中的每个像素点对应的像素值；灰度值替换模块，用于按照预设规则，将像素矩阵中每个像素点的像素值替换为灰度值；光栅图替换模块，用于基于预先建立的包含有每个灰度值对应的曲线光栅图的图像集合，将像素矩阵中的灰度值替换为灰度值对应的曲线光栅图；图像确定模块，用于将替换后的像素矩阵对应的待处理图像，确定为光刻图像。

第三方面，本发明提供了一种电子设备，该电子设备包括处理器和存储器，该存储器存储有能够被处理器执行的机器可执行指令，该处理器执行机器可执行指令以实现前述实施方式任一项所述的光刻图像的生成方法。

本发明实施例带来了以下有益效果：

本发明提供的一种光刻图像的生成方法、装置和电子设备，首先获取待处理图像的像素矩阵，该像素矩阵中包含有待处理图像中的每个像素点对应的像素值；进而按照预设规则，将像素矩阵中每个像素点的像素值替换为灰度值；然后基于预先建立的包含有每个灰度值对应的曲线光栅图的图像集合，将像素矩阵中的灰度值替换为灰度值对应的曲线光栅图；将替换后的像素矩阵对应的待处理图像，确定为光刻图像。该方法通过曲线光栅替换待处理图像中的灰度值，从而避免了现有技术中渐变图案利用直线光栅光刻制版的不连续性和对点光源的依赖性，增加了待处理图像中图案的均匀性；同时，由于整体光栅的利用率高，增加了整体的亮度，解决了现有直线光栅制造渐变图案的固有缺陷。

本发明的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，或者，部分特征和优点可以从说明书推知或毫无疑义地确定，或者通过实施本发明的上述技术即可得知。

为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施方式，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的一种光刻图像的生成方法的流程图；

图2为本发明实施例提供的一种灰度值为1时对应的曲线光栅图的示意图；

图3为本发明实施例提供的一种灰度值为255时对应的曲线光栅图的示意图；

图4为本发明实施例提供的另一种光刻图像的生成方法的流程图；

图5为本发明实施例提供的一种光刻图像的示意图；

图6为本发明实施例提供的曲线光栅的光栅结构示意图；

图7为本发明实施例提供的子曲线光栅的分布结构示意图；

图8为本发明实施例提供的一种光刻图像的生成装置的结构示意图；

图9为本发明实施例提供的一种电子设备的结构示意图。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

采用全息光学可以制造渐变图案，该渐变图案原理为利用分点将图案的不同区域填入不同的灰度，灰度代表直线光栅的不同角度，先亮的一部分会拥有更多的灰度。但是现有的点阵直线光栅往往在杂散光下就呈现出多个像的形态，图案模糊，需要点光源的照射才能呈现较好的渐变效果，且连续性不强，光栅利用率不高。

基于上述问题，本发明实施例提供了一种光刻图像的生成方法、装置和电子设备，该技术可以应用于各种全息光学的防伪场景中。为了便于对本发明实施例进行理解，首先对本发明实施例提供的一种光刻图像的生成方法进行详细介绍，如图1所示，该方法包括如下具体步骤：

步骤S102，获取待处理图像的像素矩阵；其中，该像素矩阵中包含有待处理图像中的每个像素点对应的像素值。

上述待处理图像可以是用户通过画图工具绘制的图像，该图像中可以包含有文字、字母、数字或者其他较为简单的图案(例如，黑白图案)等内容。待处理图像的大小可以根据用户需求设定，一般情况下，待处理图像的大小设置为1000*1000px。在具体实现时，如果上述待处理图像为黑白图像，那么该黑白图像的像素矩阵中每个像素点对应的像素值为灰度值0或者灰度值255。

在具体实现时，需要根据待处理图像中每个像素点对应的像素值，确定像素矩阵，该像素矩阵中每个元素对应的待处理图像中的一个像素值，该像素矩阵中元素位置的排序顺序与待处理图像中像素点的排列顺序相对应。

步骤S104，按照预设规则，将像素矩阵中每个像素点的像素值替换为灰度值。

上述预设规则可以根据用户需求设定，或者根据具体设计选择预设规则。具体地，该预设规则可以是根据待处理图像中每个像素点的位置，为每个像素点填充灰度值，进而将像素矩阵中每个像素点的像素值替换为相应的灰度值，以使待处理图像中填充的灰度值是渐变的；例如，可以从待处理图像的中心开始，向外依次填充均匀变化的灰度值；也可以从待处理图像的一侧开始，向另一侧依次填充均匀变化的灰度值；还可以按照其他顺序向待处理图像中依次填充均匀变化的灰度值。

步骤S106，基于预先建立的包含有每个灰度值对应的曲线光栅图的图像集合，将像素矩阵中的灰度值替换为灰度值对应的曲线光栅图。

在具体实现时，预先建立有不同灰度值对应的曲线光栅图的图像集合，该图像集合中包含有灰度值从0-255的每个灰度值对应的曲线光栅图，而且每幅曲线光栅图中所包含的曲线光栅的角度都不同，且其所包含的角度是随着灰度值的变化而变化的。其中，曲线光栅的角度的变化范围可以根据用户需求设定，例如可以设置为0-180度，也可以设置为45-135度等。例如，图2为灰度值为1时对应的曲线光栅图，图3为灰度值为255时对应的曲线光栅图，此处的图2和图3仅作为简明示例。

根据待处理图像的像素矩阵中每个像素点的灰度值的具体数值，将待处理图像中该灰度值对应的区域替换为该灰度值对应的曲线光栅图，也即是将像素矩阵中的灰度值替换为灰度值对应的曲线光栅图。也可以理解为待处理图像中的不同灰度值，对应不同角度的曲线光栅。

步骤S108，将替换后的像素矩阵对应的待处理图像，确定为光刻图像。

通过曲线光栅图替换待处理图像中的灰度值，能突破现有光刻设备只能根据灰度值填充直线光栅的缺陷，本发明将待处理图像中的灰度值对应的填入曲线光栅图，得到光刻图像，进而可以对该光刻图像进行光刻。最后，可以通过将光刻图像对应的光刻胶进行曝光、显影、电铸、模压等工艺，获得全息动态光学膜，然后对该全息动态光学膜进行批量生产。通过后续生产工艺可将制成的全息动态光学膜转移到要保护的成品上。

在一些实施例中，本发明制备出的光学膜可以在标签、标识、吊牌、证卡或日化包装、烟酒包装等产品上使用，并可以通过各种粘结机理粘在各种物品上，例如通过烫印的方式转移到产品包装上。

本发明实施例提供的一种光刻图像的生成方法，首先获取待处理图像的像素矩阵，该像素矩阵中包含有待处理图像中的每个像素点对应的像素值；进而按照预设规则，将像素矩阵中每个像素点的像素值替换为灰度值；然后基于预先建立的包含有每个灰度值对应的曲线光栅图的图像集合，将像素矩阵中的灰度值替换为灰度值对应的曲线光栅图；将替换后的像素矩阵对应的待处理图像，确定为光刻图像。该方法通过曲线光栅替换待处理图像中的灰度值，从而避免了现有技术中渐变图案利用直线光栅光刻制版的不连续性和对点光源的依赖性，增加了待处理图像中图案的均匀性；同时，由于整体光栅的利用率高，增加了整体的亮度，解决了现有直线光栅制造渐变图案的固有缺陷。

本发明实施例还提供了另一种光刻图像的生成方法，该方法在上述实施例方法的基础上实现；该方法重点描述按照预设规则，将像素矩阵中每个像素点的像素值替换为灰度值的具体过程(通过下述步骤S404实现)，以及基于预先建立的包含有每个灰度值对应的曲线光栅图的图像集合，将像素矩阵中的灰度值替换为灰度值对应的曲线光栅图(通过下述步骤S406实现)；如图4所示，该方法包括如下步骤：

步骤S402，获取待处理图像的像素矩阵；其中，该像素矩阵中包含有待处理图像中的每个像素点对应的像素值。

步骤S404，按照预设规则，将像素矩阵中每个像素点的像素值替换为灰度值；其中，该预设规则包括：像素矩阵中每一行对应的同一灰度值的连续区域的像素个数为第一预设值，且相邻的两个变化的灰度值之间的间隔小于第二预设值。

上述像素矩阵中的灰度值的取值范围在0至255之间，为了保证待处理图像中图案的均匀性，将像素矩阵中每一行对应的同一个像素值的连续区域的像素个数设置第一预设值，且相邻的两个变化的灰度值之间的间隔设置为小于第二预设值的固定值。上述第一预设值和第二预设值可以根据具体的设计进行设定。在具体实现时，像素矩阵中的灰度值最好应均匀的分布在0到254这一区间范围内，能够充分利用到灰度值，除此之外，灰度值的间隔也应该小于5(其中5相当于上述第二预设值)，能保证渐变过程中的均匀性，不会跳帧。

在一些实施例中，对于1000*1000px的曲线光栅图，其实际光刻尺寸固定为230*230微米，因此待处理图像的光刻尺寸的大小需考虑到曲线光栅图实际光刻尺寸的大小，为保证待处理图像对应像素上的曲线光栅中的图案能够被完整的光刻出来，对于实际光刻尺寸大小为2*2厘米的待处理图像，将设置为1000*1000px的待处理图像中的同一灰度值连续区域设置为12(其中12相当于上述第一预设值)，可以使得曲线光栅图能完整的光刻出来。

在具体实现时，上述步骤S404可以通过下述两种方式实现：

方式一，按照灰度值从待处理图像的中心向外依次变化的方式，将待处理图像的像素矩阵中每个像素点的像素值替换为相应的灰度值。

方式二，按照灰度值从待处理图像的边缘变化的方式，将待处理图像的像素矩阵中每个像素点的像素值替换为相应的灰度值。

步骤S406，针对像素矩阵中的每个灰度值，从图像集合中获取当前灰度值对应的曲线光栅图，将当前灰度值替换为当前灰度值对应的曲线光栅图。

在具体实现时，上述图像集合中，每个灰度值对应的曲线光栅图中的曲线光栅的角度不同；其中，曲线光栅的角度跟随灰度值的增大而减小，或者曲线光栅的角度跟随灰度值的减少而增大。

在一些实施例中，当灰度值逐渐变大，曲线光栅所包含的角度是逐渐减少的，所以包含角度越多的曲线光栅的待处理图像保持亮起的次数会越多，包含角度越少的曲线光栅的待处理图像保持亮起的次数会越少。将一幅待处理图像填充成从前往后灰度值越变越小的像素矩阵，将待处理图像中的灰度值替换为该灰度值对应的曲线光栅图后，就是角度从多到少的光栅矩阵，所以光照时，前面灰度值小角度多的光栅会先亮起，通过旋转，后面灰度值大角度少的光栅会后亮起，但于此同时，前面灰度值小角度多的光栅继续保持亮起，因此可以达到渐变效果。如图5所示为一种光刻图像的示意图，该光刻图像为待处理图像填充成从前往后灰度值越变越小的像素矩阵后，将灰度值替换为灰度值对应的曲线光栅图后的光刻图像。

在具体实现时，上述曲线光栅的角度范围为80度到145度，这样可以保证变化范围较大但又不至于出现表观观察时较明显的跳帧现象。

在具体实现时，上述曲线光栅的光栅结构(相当于曲线光栅的具体形状)可以采用正弦光栅或者闪耀光栅中的一种或者多种。也即是曲线光栅的光栅结构可以仅采用正弦光栅，也可以仅采用闪耀光栅，还可以采用正弦光栅和闪耀光栅二者的结合。其中，图6为曲线光栅的光栅结构示意图，图6中的a为正弦光栅，图6中的b为闪耀光栅。当进行光刻时，会根据光刻图案曝光出具有凸起和凹槽的立体光栅条纹，便于后续电镀模压等大规模生产的进行。光栅是由一组周期性的、间距为α的狭槽构成的。入射光以相对于光栅表面法线的入射角θi入射，出射光相对光栅表面法线的出射角为θm。光栅效率，光栅效率是衍射到给定级次的单色光与入射单色光的比值。光栅效率愈高，信号损失愈小。为提高此效率，同时避免普通矩形光栅会带来的光刻扫痕以及其他规律细节的莫尔放大效应，故而采用这两种形状的光栅。另外，闪耀光栅能加强反射效果，具有更高的亮度。

在一些实施例中，上述曲线光栅的分布结构可以为等间距型或者等圆心型。参考图7为曲线光栅的分布结构示意图，其中，图7中的a表示为等圆心型，这种结构在任何角度光栅的间距都一致，会有更好的连续性和整体感，符合动态效果。图7中的b表示为等间距型，这种结构在不同角度光栅的间距是变化的，在正视角效果会更突出，其他区域则区分度更强，因此具有不同视角更好的区分度。在进行制版设计时，可根据实际需求选择这两种分布结构中的一种。

在具体实现时，实际光刻时的曲线光栅的周期在微米级别，在小于3微米以下时会有较为明显的衍射效果，而且加入斜面形状后会带来反射效果。

步骤S408，将替换后的像素矩阵对应的待处理图像，确定为光刻图像。

上述光刻图像的生成方法，采用曲线光栅后，不再像传统的直线光栅进行分点填充的方式达到渐变效果，因此能大大改进现有技术的不足之处，主要有以下两点：一是不再需要依赖于点光源的照射，在环境光源复杂的杂散光情况下就能达到渐变效果，也就是具有较强的抗干扰性；二是直线光栅的分点填充达到渐进效果时需要将某些点空余出来才能使整幅图达到均匀性，但采用曲线光栅后，每一个图案的区域都被充分的利用，因此整体光栅的利用率高，也整体的亮度也更强。

对应于上述方法实施例，本发明实施例提供了一种光刻图像的生成装置，如图8所示，该装置包括：

像素矩阵获取模块80，用于获取待处理图像的像素矩阵；其中，该像素矩阵中包含有待处理图像中的每个像素点对应的像素值。

灰度值替换模块81，用于按照预设规则，将像素矩阵中每个像素点的像素值替换为灰度值。

光栅图替换模块82，用于基于预先建立的包含有每个灰度值对应的曲线光栅图的图像集合，将像素矩阵中的灰度值替换为灰度值对应的曲线光栅图。

图像确定模块83，用于将替换后的像素矩阵对应的待处理图像，确定为光刻图像。

上述光刻图像的生成装置，首先获取待处理图像的像素矩阵，该像素矩阵中包含有待处理图像中的每个像素点对应的像素值；进而按照预设规则，将像素矩阵中每个像素点的像素值替换为灰度值；然后基于预先建立的包含有每个灰度值对应的曲线光栅图的图像集合，将像素矩阵中的灰度值替换为灰度值对应的曲线光栅图；将替换后的像素矩阵对应的待处理图像，确定为光刻图像。该方法通过曲线光栅替换待处理图像中的灰度值，从而避免了现有技术中渐变图案利用直线光栅光刻制版的不连续性和对点光源的依赖性，增加了待处理图像中图案的均匀性；同时，由于整体光栅的利用率高，增加了整体的亮度，解决了现有直线光栅制造渐变图案的固有缺陷。

进一步地，上述灰度值替换模块81，用于：按照灰度值从待处理图像的中心向外依次变化的方式，将待处理图像的像素矩阵中每个像素点的像素值替换为相应的灰度值；或者，按照灰度值从待处理图像的边缘变化的方式，将待处理图像的像素矩阵中每个像素点的像素值替换为相应的灰度值。

具体地，上述预设规则包括：像素矩阵中每一行对应的同一灰度值的连续区域的像素个数为第一预设值，且相邻的两个变化的灰度值之间的间隔小于第二预设值。

在具体实现时，上述灰度值的取值范围为0-255；该图像集合中，每个灰度值对应的曲线光栅图中的曲线光栅的角度不同；其中，曲线光栅的角度跟随灰度值的增大而减小，或者曲线光栅的角度跟随灰度值的减少而增大。

进一步地，上述光栅图替换模块82，用于：针对像素矩阵中的每个灰度值，从图像集合中获取当前灰度值对应的曲线光栅图，将当前灰度值替换为当前灰度值对应的曲线光栅图。

具体地，上述曲线光栅的角度范围为80度到145度。

在具体实现时，上述曲线光栅的分布结构为等间距型或者等圆心型。上述曲线光栅的光栅结构采用正弦光栅或者闪耀光栅中的一种或者多种。

本发明实施例所提供的光刻图像的生成装置，其实现原理及产生的技术效果和前述方法实施例相同，为简要描述，装置实施例部分未提及之处，可参考前述方法实施例中相应内容。

本发明实施例还提供了一种电子设备，参见图9所示，该电子设备包括处理器101和存储器100，该存储器100存储有能够被处理器101执行的机器可执行指令，该处理器101执行机器可执行指令以实现上述光刻图像的生成方法。

进一步地，图9所示的电子设备还包括总线102和通信接口103，处理器101、通信接口103和存储器100通过总线102连接。

其中，存储器100可能包含高速随机存取存储器(RAM，RandomAccessMemory)，也可能还包括非不稳定的存储器(non-volatilememory)，例如至少一个磁盘存储器。通过至少一个通信接口103(可以是有线或者无线)实现该系统网元与至少一个其他网元之间的通信连接，可以使用互联网，广域网，本地网，城域网等。总线102可以是ISA总线、PCI总线或EISA总线等。所述总线可以分为地址总线、数据总线、控制总线等。为便于表示，图9中仅用一个双向箭头表示，但并不表示仅有一根总线或一种类型的总线。

处理器101可能是一种集成电路芯片，具有信号的处理能力。在实现过程中，上述方法的各步骤可以通过处理器101中的硬件的集成逻辑电路或者软件形式的指令完成。上述的处理器101可以是通用处理器，包括中央处理器(CentralProcessingUnit，简称CPU)、网络处理器(NetworkProcessor，简称NP)等；还可以是数字信号处理器(Digital SignalProcessing，简称DSP)、专用集成电路(Application Specific Integrated Circuit，简称ASIC)、现成可编程门阵列(Field-Programmable Gate Array，简称FPGA)或者其他可编程逻辑器件、分立门或者晶体管逻辑器件、分立硬件组件。可以实现或者执行本发明实施例中的公开的各方法、步骤及逻辑框图。通用处理器可以是微处理器或者该处理器也可以是任何常规的处理器等。结合本发明实施例所公开的方法的步骤可以直接体现为硬件译码处理器执行完成，或者用译码处理器中的硬件及软件模块组合执行完成。软件模块可以位于随机存储器，闪存、只读存储器，可编程只读存储器或者电可擦写可编程存储器、寄存器等本领域成熟的存储介质中。该存储介质位于存储器100，处理器101读取存储器100中的信息，结合其硬件完成前述实施例的方法的步骤。

本发明实施例还提供了一种机器可读存储介质，该机器可读存储介质存储有机器可执行指令，该机器可执行指令在被处理器调用和执行时，该机器可执行指令促使处理器实现上述光刻图像的生成方法，具体实现可参见方法实施例，在此不再赘述。

本发明实施例所提供的光刻图像的生成方法、装置和电子设备的计算机程序产品，包括存储了程序代码的计算机可读存储介质，所述程序代码包括的指令可用于执行前面方法实施例中所述的方法，具体实现可参见方法实施例，在此不再赘述。

所述功能如果以软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本发明的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，电子设备，或者网络设备等)执行本发明各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：U盘、移动硬盘、只读存储器(ROM，Read-Only Memory)、随机存取存储器(RAM，Random Access Memory)、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。

最后应说明的是：以上所述实施例，仅为本发明的具体实施方式，用以说明本发明的技术方案，而非对其限制，本发明的保护范围并不局限于此，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改或可轻易想到变化，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改、变化或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明实施例技术方案的精神和范围，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种光刻图像的生成方法，其特征在于，所述方法包括：

获取待处理图像的像素矩阵；其中，所述像素矩阵中包含有所述待处理图像中的每个像素点对应的像素值；

按照预设规则，将所述像素矩阵中每个像素点的像素值替换为灰度值；

基于预先建立的包含有每个灰度值对应的曲线光栅图的图像集合，将所述像素矩阵中的灰度值替换为所述灰度值对应的曲线光栅图；

将替换后的所述像素矩阵对应的所述待处理图像，确定为光刻图像。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述按照预设规则，将所述像素矩阵中每个像素点的像素值替换为灰度值的步骤，包括：

按照所述灰度值从所述待处理图像的中心向外依次变化的方式，将所述待处理图像的像素矩阵中每个像素点的像素值替换为相应的灰度值；

或者，按照所述灰度值从所述待处理图像的边缘变化的方式，将所述待处理图像的像素矩阵中每个像素点的像素值替换为相应的灰度值。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述预设规则包括：所述像素矩阵中每一行对应的同一灰度值的连续区域的像素个数为第一预设值，且相邻的两个变化的灰度值之间的间隔小于第二预设值。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述灰度值的取值范围为0-255；所述图像集合中，每个灰度值对应的曲线光栅图中的曲线光栅的角度不同；其中，所述曲线光栅的角度跟随所述灰度值的增大而减小，或者所述曲线光栅的角度跟随所述灰度值的减少而增大。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于预先建立的包含有每个灰度值对应的曲线光栅图的图像集合，将所述像素矩阵中的灰度值替换为所述灰度值对应的曲线光栅图的步骤，包括：

针对所述像素矩阵中的每个灰度值，从所述图像集合中获取当前灰度值对应的曲线光栅图，将所述当前灰度值替换为所述当前灰度值对应的曲线光栅图。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述曲线光栅的角度范围为80度到145度。

7.根据权利要求5或6所述的方法，其特征在于，所述曲线光栅的分布结构为等间距型或者等圆心型。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述曲线光栅的光栅结构采用正弦光栅或者闪耀光栅中的一种或者多种。

9.一种光刻图像的生成装置，其特征在于，所述装置包括：

像素矩阵获取模块，用于获取待处理图像的像素矩阵；其中，所述像素矩阵中包含有所述待处理图像中的每个像素点对应的像素值；

灰度值替换模块，用于按照预设规则，将所述像素矩阵中每个像素点的像素值替换为灰度值；

光栅图替换模块，用于基于预先建立的包含有每个灰度值对应的曲线光栅图的图像集合，将所述像素矩阵中的灰度值替换为所述灰度值对应的曲线光栅图；

图像确定模块，用于将替换后的所述像素矩阵对应的所述待处理图像，确定为光刻图像。

10.一种电子设备，其特征在于，所述电子设备包括处理器和存储器，所述存储器存储有能够被所述处理器执行的机器可执行指令，所述处理器执行所述机器可执行指令以实现权利要求1-8任一项所述的光刻图像的生成方法。

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