CN112779497B - 磁板组装体 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及有机发光二极管蒸镀机用磁板组装体，尤其，涉及可提高掩膜的附着力及掩膜的附着均匀性的磁板组装体。本发明的磁板组装体的特征在于，包括：安装板，形成有沿着一方向形成的多个安装槽；以及多个磁性体，插入安装于上述安装槽，上述磁性体由四边形部以及在上述四边形部的下侧一体形成的三角形部构成，上述安装槽包括用于插入安装上述三角形部的倾斜槽部，上述倾斜槽部由第一倾斜面和第二倾斜面构成。

Description

磁板组装体
技术领域
本发明涉及有机发光二极管(OLED)蒸镀机用磁板组装体，尤其，涉及可提高掩膜的附着力及掩膜的附着均匀性的磁板组装体。
背景技术
随着有机发光显示装置的大面积化，掩膜的面积也变大，由此，需要提高掩膜附着力的方案，来减少或消除上述阴影效应(shadow effect)，并且，需要均匀地向整个掩膜施加附着力(磁力)的方案，但，目前为止，未提出与此有关的具体方案。
与此相关地，在韩国公开专利公报第10-2019-0077973号提供可在所要的时间接通或断开设置于磁板的磁铁的影响力的新结构的磁板，并提供适用其的校准系统，但具有相关结构及动作复杂的问题。
发明内容
本发明的目的在于，提供可提高掩膜的附着力及掩膜的附着均匀性的磁板组装体。
用于实现如上所述的技术目的的本发明的磁板组装体的特征在于，包括：安装板，形成有沿着一方向形成的多个安装槽；以及多个磁性体，插入安装于上述安装槽，上述磁性体由四边形部以及在上述四边形部的下侧一体形成的三角形部构成，上述安装槽包括用于插入安装上述三角形部的倾斜槽部，上述倾斜槽部由第一倾斜面和第二倾斜面构成。
根据本发明，磁板组装体可提高掩膜的附着力及掩膜的附着均匀性，从而具有可使阴影效应最小化的优点。
附图说明
图1为本发明一实施例的磁板组装体的俯视图。
图2为在图1沿着A-A'切开的剖视图。
图3为图1的部分放大剖视图。
图4示出通过模拟比较图2所示的本发明结构与现有结构的剖面结构。
图5示出以图2所示的本发明结构与现有结构的模拟结果为基础的磁力分布和磁力值。
图6为本发明再一实施例的磁板组装体的剖视图。
图7示出以图6所示的本发明结构与现有结构的位置为基础的的磁力值的分布曲线图。
图8示出以图6所示的本发明结构域现有结构的模拟结果为基础的磁力分布和磁力值。
图9为本发明另一实施例的磁板组装体的剖视图。
图10为示出包括本发明实施例的磁板组装体的蒸镀装置的简要剖面的示意图。
具体实施方式
以下，详细说明与本发明的磁板组装体有关的优选实施例。
如图1至图3所示，本发明实施例的磁板组装体100包括：安装板10，形成有沿着一方向形成的多个安装槽11；以及多个磁性体30，插入安装于上述安装槽11。
上述安装板10呈由SUS材质形成的平板形状，在一面形成有多个安装槽11。上述安装槽11通过在上述安装板10的一面削除规定深度来形成。上述安装槽11分别沿着一方向形成。
本发明的磁性体30并不如以往仅由四边形形状形成，还在四边形形状的下侧包括三角形形状，来增加大小。具体地，本发明的磁性体30由四边形部31以及在上述四边形部31的下侧一体形成的三角形部33构成。上述四边形部31呈六面体形状，上述三角形部33在上述四边形部31的下部面朝向下侧延伸形成，使其剖面呈三角形。构成上述三角形部33的一侧面和另一侧面均为相对于上述四边形部31的垂直侧面倾斜的倾斜面，且各自的末端在最底端相接触。
形成于上述安装板10的各个安装槽11包括用于插入安装上述磁性体30的三角形部33的倾斜槽部17，上述倾斜槽部17由第一倾斜面18和第二倾斜面19构成。即，上述倾斜槽部17呈与上述三角形部33相对应的形状，来插入安装上述磁性体30的三角形部33。
构成上述倾斜槽部17的上述第一倾斜面18和第二倾斜面19分别为相对于与上述安装板10的上部面或下部面平行的水平面倾斜规定角度而成的倾斜面，而不是垂直的面。与倾斜面相对应的上述第一倾斜面18和第二倾斜面19的最底端相接触来呈作为与磁性体30的三角形部33相对应的形状的上述倾斜槽部17。
如图3所示，优选地，上述第一倾斜面18与第二倾斜面19相接触的位置(倾斜槽部17的最底端)位于与上述安装槽11宽度的中心相对应的中心线cl，进而，优选地，上述第一倾斜面18与第二倾斜面19所形成的夹角(θ)为90度。若满足如上所述的条件，则通过本发明的磁板组装体形成的磁力在所有位置的均匀性得到提高。最终，提高对于整体基板面的掩膜的附着均匀性，从而使阴影效应最小化。
另一方面，本发明的上述安装槽11可以仅由上述倾斜槽部17形成，还可有垂直槽部13和上述倾斜槽部17构成。图3的(a)部分例示上述安装槽11由上述垂直槽部13和上述倾斜槽部17构成，图3的(b)部分例示上述安装槽11仅由上述倾斜槽部17构成。
在图3的(a)部分的情况下，上述安装槽11不仅可插入安装上述磁性体30的三角形部33，还可插入安装四边形部31。在此情况下，上述安装槽11的垂直槽部13插入安装上述磁性体30的四边形部31的一部分或全部。在图3的(b)部分的情况下，上述安装槽11仅插入安装上述磁性体30的三角形部33。在此情况下，上述磁性体30仅使三角形部33插入安装于与上述安装槽11相对应的倾斜槽部17，上述四边形部31处于从安装槽11突出来露出的状态。
如图4所示，对在简单的长方体形状的磁性体插入安装于安装板来形成的磁板组装体上部附着冷板110的现有结构(在上侧示出的结构)与在磁板组装体上部附着冷板110的本发明结构(在下侧示出的结构)执行模拟，并在图5示出与各个结构的一侧末端部分区域A-1、A-2的磁力分布和磁力值有关的模拟结果。
如图5所示，可知，相比于现有结构，本发明结构的磁力值增加且磁力分布的均匀度得到提高。对形成有80个安装槽11且向各个安装槽11插入安装磁性体的结构的磁板组装体执行模拟。
相比于现有结构，在本发明的结构中，包括磁板组装体的整体区域(包括所有安装槽1～80的区域)在内的中间区域(包括从一侧的第11个至第70个安装槽11～70的区域)的平均磁力值增大，均匀度也得到提高。最终，相比于现有结构，本发明的结构可提高掩膜的附着力及附着均匀性。
另一方面，图7示出本发明结构的磁力曲线图(以实线标记)和现有结构的磁力曲线图(以虚线标记)重叠的状态。由此可知，在现有结构(虚线曲线图)中，磁板组装体的两个末端部分(虚线椭圆)中的磁力值大大提高，使均匀度不良。为提高如上所述的现有的不良均匀度，在本发明中，使向形成于磁板组装体的两侧外围区域，即一侧外围区域sr1和另一侧外围区域sr2的安装槽11中的一部分安装槽11插入安装的磁性体30的宽度可小于向其他安装槽插入安装的磁性体30的宽度。
即，如图6所示，本发明采用具有包括如下的磁性体30的结构，即，向分别形成于上述安装板10的一侧外围区域sr1和另一侧外围区域sr2的多个安装槽11插入安装的多个磁性体30的宽度小于向形成于上述安装板10的中心区域cr的安装槽11插入安装的多个磁性体30的宽度。
具体地，优选地，向分别形成于上述安装板10的一侧外围区域sr1和另一侧外围区域sr2的多个安装槽11中的一部分安装槽11插入安装的多个磁性体(图6中以30-1、30-2、30-4、30-6例示)的宽度小于向其他安装槽11(形成于中心区域cr的安装槽及在一侧外围区域sr1和另一侧外围区域sr2中除上述一部分之外的剩余安装槽(图6中插入安装磁性体30-3、30-5及30-7的多个安装槽))插入安装的磁性体30的宽度。
如上所述，若向分别形成于上述安装板10的一侧外围区域sr1和另一侧外围区域sr2的多个安装槽11中的一部分安装槽11插入安装的多个磁性体的宽度小于向其他安装槽11和形成于上述中心区域cr的多个安装槽插入安装的多个磁性体的宽度，则从图8所示的与磁力值分布有关的模拟结果曲线图中可知，与现有结构(上侧曲线图)不同地，本发明结构(下侧曲线图)在末端部分也具有与其他部分相似的磁力值分布。最终，具有本发明结构的磁板组装体可对于掩膜的总面积发挥均匀的附着力。
上述一侧外围区域sr1为包括形成于上述安装板10的所有安装槽11中的从形成于一侧最外围的安装槽朝向另一侧方向相邻来依次形成的一部分安装槽的区域，优选地，形成于上述一侧外围区域sr1的多个安装槽11占所有安装槽11的10％～15％，最优选地，占12.5％。相同地，上述另一侧外围区域sr2为包括形成于上述安装板10的所有安装槽11中的从形成于另一侧最外围的安装槽向一侧方向相邻来依次形成的一部分安装槽的区域，优选地，形成于上述另一侧外围区域sr2的多个安装槽11占所有安装槽11的10％～15％，最优选地，占12.5％。
并且，优选地，在形成于上述一侧外围区域sr1的多个安装槽11中，向形成于一侧最外围的安装槽、形成于从与此相邻的一侧开始的第二位置的安装槽及形成于从一侧开始的第三位置之后的偶数位置的多个安装槽插入安装的磁性体的宽度小于向其他安装槽11(形成于从一侧开始的第三位置和其之后的奇数位置的多个安装槽及形成于中心区域cr的多个安装槽)插入安装的多个磁性体的宽度。相同地，优选地，在形成于上述另一侧外围区域sr2的多个安装槽11中，向形成于另一侧最外围的安装槽、形成于与此相邻的另一侧开始的第二位置的安装槽及形成于从另一侧开始的第三位置之后的偶数位置的多个安装槽插入安装的磁性体的宽度小于向其他安装槽11(形成于从另一侧开始的第三位置和其之后的奇数位置的多个安装槽及形成于中心区域cr的多个安装槽)插入安装的多个磁性体的宽度。
根据具有以上所说明的结构的本发明的磁板组装体的模拟结果(图8的(b)部分)和现有磁板组装体的模拟结果(图8的(a)部分)的磁力分布和磁力值的比较结果如图8所示。
如图8所示，观察根据向形成于安装板10的所有安装槽1～80插入安装的磁性体的磁力值可知，外围区域中的磁力值均匀度得到提高。最终，本发明的磁板组装体100可对于掩膜的总面积发挥均匀的附着力，由此，可使阴影效应最小化。
另一方面，为了使本发明的磁板组装体提高对于掩膜的附着力均匀度，在本发明中，向形成于磁板组装体的两侧外围区域，即，向形成于一侧外围区域sr1和另一侧外围区域sr2的多个安装槽11中的一部分安装槽11插入安装的多个磁性体30的高度可小于向其他安装槽插入安装的磁性体30的高度。
即，如图9所示，采用具有包括如下的磁性体30的结构，即，向分别形成于上述安装板10的一侧外围区域sr1和另一侧外围区域sr2的多个安装槽11插入安装的多个磁性体30的高度小于向形成于上述安装板10的中心区域cr的多个安装槽11插入安装的多个磁性体30的高度。
具体地，优选地，向分别形成于上述安装板10的一侧外围区域sr1和另一侧外围区域sr2的多个安装槽11中的一部分安装槽11插入安装的多个磁性体(图9中以30-1、30-2、30-4、30-6例示)的高度小于向其他安装槽11(形成于中心区域cr的安装槽及在一侧外围区域sr1和另一侧外围区域sr2中除上述一部分之外的剩余安装槽(图9中插入安装磁性体的多个安装槽30-3、30-5及30-7))插入安装的多个磁性体30的高度。
如上所述，若向分别形成于上述安装板10的一侧外围区域sr1和另一侧外围区域sr2的多个安装槽11中的一部分安装槽11插入安装的多个磁性体的高度小于向其他多个安装槽11和形成于上述中心区域cr的多个安装槽插入安装的多个磁性体的高度，则与现有结构不同地，在两个末端也具有与其他部分相似的磁力值分布。最终，具有本发明结构的磁板组装体可对于掩膜的总面积发挥均匀的附着力。
上述一侧外围区域sr1为包括形成于上述安装板10的所有安装槽11中的从形成于一侧最外围的安装槽朝向另一侧方向相邻来依次形成的一部分安装槽的区域，优选地，形成于上述一侧外围区域sr1的多个安装槽11占所有安装槽11的10％～15％，最优选地，占12.5％。相同地，上述另一侧外围区域sr2为包括形成于上述安装板10的所有安装槽11中的从形成于另一侧最外围的安装槽朝向一侧方向相邻来依次形成的一部分安装槽的区域，优选地，形成于上述另一侧外围区域sr2的多个安装槽11占所有安装槽11的10％～15％，最优选地，占12.5％。
并且，优选地，在形成于上述一侧外围区域sr1的多个安装槽11中，向形成于一侧最外围的安装槽、形成于与此相邻的一侧开始的第二位置的安装槽及形成于从一侧开始的第三位置之后的偶数位置的多个安装槽插入安装的磁性体的高度小于向其他安装槽11(形成于从一侧开始的第三位置和其之后的奇数位置的多个安装槽及形成于中心区域cr的多个安装槽)插入安装的多个磁性体的高度。相同地，优选地，在形成于上述另一侧外围区域sr2的多个安装槽11中，向形成于另一侧最外围的安装槽、形成于与此相邻的另一侧开始的第二位置的安装槽及形成于从另一侧开始的第三位置之后的偶数位置的多个安装槽插入安装的磁性体的高度小于向其他安装槽11(形成于从另一侧开始的第三位置和其之后的奇数位置的多个安装槽及形成于中心区域cr的多个安装槽)插入安装的多个磁性体的高度。由此，两侧外围区域的磁力值均匀度得到提高，最终，本发明的磁板组装体100可对于掩膜的总面积发挥均匀的附着力，由此，可使阴影效应最小化。
图10为示出包括本发明实施例的磁板组装体100的蒸镀装置200的简要剖面的示意图。
本发明的蒸镀装置200可包括：蒸镀源150，向基板s侧释放蒸镀物质；掩膜130，介于上述蒸镀源150与基板s之间来使蒸镀物质通过，从而将蒸镀物质蒸镀到基板s上；以及本发明实施例的磁板组装体100，配置于上述基板s与上述掩膜130相接触的面的相反侧，来向上述掩膜130施加规定磁力。
并且，上述蒸镀装置200还包括冷板110，上述冷板110介于上述基板s与上述磁板组装体100之间来通过自重向上述基板s加压。在磁板组装体100向基板s侧移动来向掩膜130施加磁力之前，上述冷板110起到提高基板s与掩膜130的附着力的作用。
以下，简要说明包括本发明实施例的磁板组装体100的蒸镀装置200的蒸镀方法。
在腔室170内，在基板s的一面配置掩膜130后，在基板s的另一面配置磁板组装体100。之后，从设置于腔室170内的蒸镀源150中蒸发的蒸镀物质通过形成于掩膜130的缝隙(未图示)蒸镀于基板s。
同时，在腔室170内，向基板s的一面配置掩膜130的步骤与在基板s的另一面配置磁板组装体100的之间，还可包括冷板110向磁板组装体100与基板s相接触的面的方向移动来对基板s加压的步骤。
如上所述，若为向基板s紧贴掩膜130而利用本发明一实施例的磁板组装体100，则可通过在沿着安装板10的高度方向形成的磁场配置掩膜130，来改善掩膜130与基板s之间的翘起现象，由此，当进行蒸镀工序时，改善阴影效应，从而可改善蒸镀不良引起的显示器(有机发光二极管)不良。

Claims (1)

1.一种磁板组装体，其特征在于，
包括：
安装板，形成有沿着一方向形成的多个安装槽；以及
多个磁性体，插入安装于上述安装槽，
上述磁性体由四边形部以及在上述四边形部的下侧一体形成的三角形部构成，上述安装槽包括用于插入安装上述三角形部的倾斜槽部，上述倾斜槽部由第一倾斜面和第二倾斜面构成，
向形成于上述一侧外围区域或另一侧外围区域的最外围的安装槽、与上述最外围的安装槽相邻的第二位置的安装槽及从上述最外围的安装槽开始的第三位置之后的偶数位置的多个安装槽插入安装的磁性体的宽度或高度小于向其他安装槽插入安装的磁性体的宽度或高度，
形成于一侧外围区域的安装槽和形成于另一侧外围区域的安装槽分别占所有安装槽的10％～15％。
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