CN112768615B - 薄膜封装结构及其制作方法和显示装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了薄膜封装结构及其制作方法和显示装置，薄膜封装结构包括：至少两层无机层和至少一层第一有机层，第一有机层位于相邻的两层无机层之间，其中，第一有机层内分散设置有纤维材料。根据本发明实施例的薄膜封装结构，于第一有机层内分散纤维材料，纤维材料可以对第一有机层进行纤维增强，当受到外力时，纤维材料作为主要受力物质可以吸收较高的外力而保持微小形变，可以有效提高第一有机层的韧性和强度，防止第一有机层内部裂纹的生成和裂纹的进一步发展，阻隔水氧在第一有机层内部的扩散，从而提高薄膜封装结构的抗开裂性能和抗水氧性能。

Description

薄膜封装结构及其制作方法和显示装置

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别是涉及薄膜封装结构及其制作方法和显示装置。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)显示装置具有全固态、主动发光、高对比度、超薄、低成本、低功耗、无视角限制、工作温度范围宽等诸多优点，在显示领域被广泛的应用。但是OLED器件对水蒸汽和氧气非常敏感，渗透进入OLED器件内部的水蒸汽和氧气会导致OLED器件的发光效率变差，且是影响OLED器件寿命的重要因素，因此，封装技术对OLED显示装置非常重要。

目前对OLED器件的封装主要包括刚性封装技术和薄膜封装(Thin-FilmEncapsulation，TFE)技术，其中刚性封装技术可以是采用四周涂覆玻璃胶的玻璃基板封装刚性器件，其中，固态的玻璃胶对水氧的阻隔性能较低，导致刚性封装效果较差，且对柔性有要求的OLED器件并不适用，一般采用薄膜封装技术代替刚性封装技术。虽然薄膜封装技术可以在一定程度上阻挡水氧，但是采用薄膜封装的器件的寿命仍然较短，在一定情况下不能满足商业化的需求。

发明内容

本发明提供薄膜封装结构及其制作方法和显示装置，提高薄膜封装结构阻隔水氧的能力。

一方面，本发明实施例提供了一种薄膜封装结构，其包括：至少两层无机层和至少一层第一有机层，第一有机层位于相邻的两层无机层之间，第一有机层内分散设置有纤维材料。

另一方面，基于同一发明构思，本发明实施例还提供一种显示装置，包括：阵列基板和显示器件层，显示器件层设置在阵列基板上；以及如一方面任一实施方式薄膜封装结构，薄膜封装结构覆盖显示器件层。

再一方面，基于同一发明构思，本发明实施例还提供一种薄膜封装结构的制作方法，包括：在待封装体上形成第一无机层；

在第一无机层上方形成第一有机层，其中第一有机层内分散设置有纤维材料；以及

在第一有机层上方形成第二无机层。

根据本发明实施例的薄膜封装结构，于第一有机层中填充纤维材料，当受到外力时，外力传递至纤维材料上，纤维材料可以吸收较高的拉应力而保持微小形变，以此提高第一有机层的力学性能，防止第一有机层因拉力或应力导致产生裂纹的现象，阻隔水氧在第一有机层内部扩散，从而提高薄膜封装结构的抗开裂性能和抗水氧性能，延长薄膜封装结构使用寿命。

附图说明

下面将参考附图来描述本发明示例性实施例的特征、优点和技术效果。

图1是本发明实施例提供的一种薄膜封装结构的层结构示意图；

图2是图1沿A-A方向的剖视图；

图3是本发明实施例提供的又一种薄膜封装结构的层结构示意图；

图4是本发明实施例提供的再一种薄膜封装结构的层结构示意图；

图5是图4沿B-B方向的剖视图；

图6是本发明实施例提供的再一种薄膜封装结构的层结构示意图；

图7是图6沿C-C方向的剖视图；

图8是本发明实施例提供的再一种薄膜封装结构的层结构示意图；

图9是本发明实施例提供的再一种薄膜封装结构的层结构示意图；

图10是本发明实施例提供的再一种薄膜封装结构的层结构示意图；

图11是本发明实施例提供的再一种薄膜封装结构的层结构示意图；

图12是本发明实施例提供的再一种薄膜封装结构的层结构示意图；

图13是本发明实施例提供的再一种薄膜封装结构的层结构示意图；

图14是本发明实施例提供的一种显示装置的结构示意图；

图15是本发明实施例提供的一种薄膜封装结构的制作工艺流程示意图；

图16是本发明实施例提供的又一种显示装置的结构示意图；

图17是本发明实施例提供的又一种薄膜封装结构的制作工艺流程示意图；

在附图中，附图未必按照实际的比例绘制。

其中，图中各附图标记：

1000-薄膜封装结构；

100-无机层；110-第一无机层；120-第二无机层；

200-第一有机层；210-纤维材料；211-第一纤维层；212-第二纤维层；300-第二有机层；

1-显示器件层；2-阵列基板。

具体实施方式

下面将详细描述本发明的各个方面的特征和示例性实施例，为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及具体实施例，本发明进行进一步详细描述。应理解，此处所描述的具体实施例仅被配置为解释本发明，并不被配置为限定本发明。对于本领域技术人员来说，本发明可以在不需要这些具体细节中的一些细节的情况下实施。下面对实施例的描述仅仅是为了通过示出本发明的示例来提供对本发明更好的理解。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

应当理解，在描述部件的结构时，当将一层、一个区域称为位于另一层、另一个区域“上面”或“上方”时，可以指直接位于另一层、另一个区域上面，或者在其与另一层、另一个区域之间还包含其它的层或区域。并且，如果将部件翻转，该一层、一个区域将位于另一层、另一个区域“下面”或“下方”。

在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在本发明中能进行各种修改和变化，这对于本领域技术人员来说是显而易见的。因而，本发明意在覆盖落入所附权利要求(要求保护的技术方案)及其等同物范围内的本发明的修改和变化。需要说明的是，本发明实施例所提供的实施方式，在不矛盾的情况可以相互组合。

薄膜封装(Thin-Film Encapsulation，TFE)是一种广泛应用于柔性OLED显示装置制作中的封装方法。发明人在研发应用于柔性产品的封装结构时发现，无机、有机和无机叠层设置的薄膜封装结构阻隔水氧的能力更强。其中，有机层一般使用光固化树脂，成链交联的聚合物因自由体积的存在对外界水氧的阻隔能力有限，因此有机层主要起到粘结无机层，并为无机层提供光滑表面的作用；无机层是薄膜封装结构阻隔水氧的主要因素；有机和无机叠层设置的结构可以有效延长水和氧分子在无机层内缺陷间扩散的路径，提升薄膜封装结构阻隔水氧的能力。而柔性产品在使用过程中会频繁受压和受拉，在此过程中，薄膜封装结构中的有机层内部容易产生不可逆的银纹，甚至会导致有机层内部开裂。

发明人从提升薄膜封装结构的整体力学性能的角度出发，于薄膜封装结构中添加金属层等，金属层可以设置于相邻的无机层之间，或是设置于有机层和无机层之间，再或者是设置于有机层的表面等。但是发明人发现，虽然金属层可以增强薄膜封装结构的整体力学性能，但是并未改变有机层内部的力学性能，在受压或受拉时，其内部仍然会产生裂纹；裂纹的产生将会降低薄膜封装结构阻隔水氧的能力。

基于发明人发现的上述问题，发明人从提升有机层本身的力学性能出发，提供了一种薄膜封装结构，下面对本发明实施例进行进一步描述。

本发明实施例提供一种薄膜封装结构1000，薄膜封装结构1000可以应用于显示装置中。显示装置可以是有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)显示装置，包含多个OLED发光元件，其中OLED发光元件对外界水汽、氧气等因素较为敏感，薄膜封装结构1000用于为显示装置的发光元件提供一定的对水汽、氧气等的阻隔能力。

图1是根据本发明第一实施例提供的薄膜封装结构1000的层结构示意图，图2是图1沿A-A方向的剖视图，薄膜封装结构1000包括至少两层无机层100和至少一层第一有机层200。每层第一有机层200夹设于两层无机层100之间。第一有机层200内分散设置有纤维材料210。

第一有机层200作为高分子材料基底，主要提供粘结作用和基础力学性能，于第一有机层200内分散设置纤维材料210，得到纤维增强高分子材料。纤维材料210可以弥补高分子材料中的空隙，对第一有机层200进行纤维增强，明显提高高分子材料的强度和韧性。当第一有机层200受到外力时，外力传递至纤维材料210，纤维材料210作为第一有机层200中的主要受力物质，纤维材料210可以吸收较大应力而保持微小形变，可以有效提高第一有机层200强度和韧性，防止第一有机层200内部裂纹的生成和裂纹的进一步发展，阻隔水氧在第一有机层200内部的扩散，从而提高薄膜封装结构1000的抗开裂性能和抗水氧性能。

在一些可选的实施方式中，将纤维材料210分散至第一有机层200中时，纤维材料210不同的分散方式可以从不同方面提升薄膜封装结构1000的性能。

在一可选的实施方式中，可以设置多层纤维材料210，以此增加第一有机层200的力学性能。纤维材料210可以形成纤维材料层，纤维材料210分散于第一有机层200内的方向为分散方向。多层纤维材料210分别形成的纤维材料层的分散方向可以相同或不同。

例如，第一纤维材料层211可以分层设置，或者斜拉贯穿设置，又或者交叉设置等；在此并不对分散方向进行限定。当第一纤维材料层211和第二纤维材料层212的分散方向相同时，可以进一步增加第一有机层200于同一方向的强度和韧性。当第一纤维材料层211和第二纤维材料层212的分散方向不同时，可以增强第一有机层200于不同方向的受拉和受压性能，从而提升薄膜封装结构1000的整体力学性能。

如图3，第一有机层200可以包括第一纤维材料层211和第二纤维材料层212，第一纤维材料层211和第二纤维材料层212分层设置，分散方向相同。

如图4和图5，图5是图4沿B-B方向的剖视图，第一有机层200可以包括第一纤维材料层211和第二纤维材料层212，第一纤维材料层211和第二纤维材料层212分层设置，分散方向不同。

如图6和图7，图7是图6沿C-C方向的剖视图，第一有机层200可以包括第一纤维材料层211和第二纤维材料层212，第一纤维材料层211和第二纤维材料层212的交叉分散。

当然，第一有机层200内还可以包括第三纤维材料层，第三纤维材料层的分散方向与第一纤维材料层和第二纤维材料层的分散方向可以相同或不同。可选地，第一有机层200内还可以包括更多层数的纤维材料210，例如第四纤维材料层、第五纤维材料等。增加更多层数的纤维材料210，可以进一步提升第一有机层200的力学性能，在此并不对纤维材料210的层数作具体限定。

在另一可选的实施方式中，纤维材料210的端部位置和第一有机层200的表面的相对位置的不同设置，可以从不同方面提升薄膜封装结构1000的性能。

例如，纤维材料210的端部可以平齐于第一有机层200的表面，纤维材料210的纤维长度更长，可以提高第一有机层200的力学性能。

又例如，第一有机层200可以包覆纤维材料210，以使纤维材料210完全嵌入第一有机层200中，第一有机层200保留有光滑表面，光滑表面可以给无机层100提供良好的结合面，可以减少第一有机层200和无机层100之间脱开的可能性，避免因纤维材料210的引入而增加层分离的风险。

在上述各实施方式中，纤维材料210可以选自有机纤维和无机纤维中的至少一种。纤维的受力形变小，可以吸收较大应力而保持微小形变，提高第一有机层200抵抗拉力和应力的能力。

例如，有机纤维可以选自聚乙烯纤维和聚乙烯醇纤维中的至少一种，有机纤维与第一有机层200具有良好的润湿性，有机纤维和第一有机层200可以良好地复合和分布均匀。

例如，无机纤维可以选自金属纤维、金属氧化物纤维和碳纤维中的至少一种。相比于有机纤维，无机纤维的性能更稳定。优选地，无机纤维选自金属纤维和/或金属氧化物纤维，金属纤维和/或金属氧化物纤维具有高断裂比强度、拉伸比模量，存在一定的延展性，能够有效抵抗拉力和应力，增强第一有机层200的力学性能。且金属纤维可以吸收外界渗透进来的水汽和氧气，反应生成金属氧化物，从而提高薄膜封装对水氧的抵抗能力。

其中，金属纤维可以选自铝、锌、铁和铜中的至少一种，可以经过多次集束拉拔、退火处理等工艺制备，制备的金属纤维成品的直径可以达到10μm以下。金属氧化物纤维可以选自氧化铝和氧化锌中的至少一种，可以采用金属的固体、熔体或气体为原料，采用熔融盐电解法或者气相沉积法制得，金属氧化物纤维的直径可以达到10um以下。金属纤维和金属氧化物纤维的材质并不限制于上述举例。

碳纤维，可以采用粘胶纤维、聚丙腈纤维或沥青纤维在保护气氛如氮气下热处理碳化成为含碳量90％～99％的纤维。

在一些可选的实施方式中，第一有机层200可以设置为多层，例如两层、三层或四层等。每层第一有机层200设置于两层无机层100之间。通过增加分散有纤维材料210的第一有机层200的层数，以提高薄膜封装结构1000的整体力学性能。每层第一有机层200中的纤维材料210单独设置分散方式，每层第一有机层200中的纤维材料210的分散方式不受其他第一有机层200中的纤维材料210的分散方式的限制。多层第一有机层200中的纤维材料210的分散设置的方式可以相同或者不同。多层第一有机层200中的纤维材料210的分散方向/方式相同时，可以进一步增加第一有机层200于同一方向的受压和受拉性能。多层第一有机层200中的纤维材料210的分散方向/方式不同时，可以增强第一有机层200于不同方向的受拉和受压性能，从而提升薄膜封装结构1000的整体力学性能。

例如，第一有机层200设置为两层，两层第一有机层200的纤维材料210均可以沿第一方向分散设置或者采用相同的设置方式，第一方向可以是无机层100的厚度方向，第一方向也可以是与无机层100的厚度方向呈一定夹角的方向。又例如，第一有机层200设置为两层，其中一层第一有机层200的纤维材料210可以斜拉设置，另一层第一有机层200的纤维材料可以交叉设置。再例如，其中一层第一有机层200的纤维材料210分层设置为两层，另一层第一有机层200的纤维材料210交叉设置为一层。

如图8，第一有机层200设置为两层，两层第一有机层200相邻设置，无机层100设置为两层，每层第一有机层200设置于无机层100之间。两层第一有机层200中的纤维材料210的分散设置的方向相同。

如图9，第一有机层200设置为两层，两层第一有机层200相邻设置，无机层100设置为两层，每层第一有机层200设置于无机层100之间。两层第一有机层200中的纤维材料210的分散设置的方向不同。

如图10，第一有机层200设置为两层，无机层100设置为三层，第一有机层200和无机层100交替层叠设置，且每层第一有机层200设置于相邻无机层100之间。两层第一有机层200中的纤维材料210的分散设置的方向可以相同或者不同。

再例如，第一有机层200可以设置为三层，无机层100设置为四层，无机层100、第一有机层200、无机层100、第一有机层200、无机层100、第一有机层200和无机层100依次交替层叠设置，各层第一有机层200中的纤维材料210的分散设置的方向可以相同或不同。

在一些可选的实施方式中，薄膜封装结构1000还可以包括至少一层第二有机层300，例如一层第二有机层300、两层第二有机层300或三层第二有机层300等。第二有机层300位于两层无机层100之间。即使水氧可以通过第二有机层300，水氧扩散至第一有机层100依旧会被阻断。因此于第一有机层100已满足力学性能的情况下，可以添加至少一层第二有机层300，第二有机层300可以提供给无机层100光滑的粘结表面，通过第二有机层300连接无机层100，增加无机层100的层数，增加的无机层100可以进一步延长水氧扩散的路径，从而提升薄膜封装结构1000阻隔水氧的能力。

如图11，作为一可选的实施方式中，第一有机层200和第二有机层300之间具有至少一层无机层100，例如第一有机层200、无机层100和第二有机层300可以交替层叠设置，第一有机层200与第二有机层300之间具有至少一层无机层100。三者交替层叠设置可以通过增加的第二有机层300，连接更多的无机层100，提高对水氧阻隔的能力。

作为又一可选的实施方式中，无机层100、第一有机层200和第二有机层300可以交替层叠设置，第二有机层200相当于增加第一有机层200中有机树脂的厚度，将纤维材料210完全包覆于有机树脂中，不会凸出有机树脂，为无机层100的粘合提供光滑的树脂表面，增加粘结力。

如图12，作为再一可选的实施方式中，至少一层第一有机层200位于第二有机层300靠近外界水氧的一侧。至少一层第一有机层200更贴近外界的水氧，第一有机层200和无机层100起到阻隔水氧的主要作用，防止水和氧分子进入第二有机层300，第二有机层300可以主要起到连接无机层100的作用，从而延长第二有机层300的使用寿命，进而提升薄膜封装结构1000的整体使用寿命。

例如，薄膜封装结构1000可以包括两层无机层100、一层第一有机层200和一层第二有机层300，无机层100、第一有机层200、第二有机层300和无机层100依次交替层叠设置。

如图11，又例如，薄膜封装结构1000包括三层无机层100、一层第一有机层200和一层第二有机层300，无机层100、第一有机层200、无机层100、第二有机层300和无机层100依次交替层叠设置。

如图12，再例如，薄膜封装结构1000可以包括四层无机层100、两层第一有机层200和一层第二有机层300，无机层100、第一有机层200、无机层100、第二有机层300、无机层200、第一有机层200和无机层200依次交替层叠设置。

如图13，再例如，薄膜封装结构1000可以包括四层无机层100、两层第一有机层200和一层第二有机层300，无机层100、第一有机层200、无机层100、第一有机层200、无机层200、第二有机层300和无机层200依次交替层叠设置。

再例如，薄膜封装结构1000可以包括四层无机层100、一层第一有机层200和两层第二有机层300，无机层100、第一有机层200、无机层100、第二有机层300、无机层200、第二有机层300和无机层200依次交替层叠设置。可选的，第二有机层300内不设置有纤维材料210。

本发明实施例还提供一种显示装置，其包括上述任一实施方式的薄膜封装结构1000。

如图14，根据本发明第二实施例的显示装置的结构示意图。显示装置，包括阵列基板2、显示器件层1，显示器件层1设置在阵列基板2上；以及上述任一实施方式的薄膜封装结构1000，薄膜封装结构1000覆盖显示器件层1。其中，OLED器件层1可以包括阴极、阳极以及设置在二者之间的有机发光层。

根据本发明实施例的显示装置，其包括的薄膜封装结构1000在至少两层无机层100之间设置至少一层第一有机层200，层叠的无机层100对水汽、氧气等的阻隔能力相较于第一有机层200更强；于第一有机层200内分散设置纤维材料210，纤维材料210可以提高第一有机层200的力学性能，防止第一有机层200内部产生裂纹以及裂纹的进一步发展，从而提高第一有机层200阻隔水汽、氧气的能力，以此提高薄膜封装结构1000对水汽、氧气等的阻隔能力，能够提高对薄膜封装结构1000所覆盖结构的保护能力。

如图15，根据本发明第三实施例的薄膜封装结构1000的制作工艺流程示意图。以下将以上述实施例的薄膜封装结构1000的制作过程为例对薄膜封装结构1000的制作方法进行说明。薄膜封装结构1000的制作方法可以包括以下步骤：

S100，在待封装体上形成第一无机层110；

S200，在第一无机层110上方形成第一有机层200，其中第一有机层200内分散设置有纤维材料210；

S300，在第一有机层200上方形成第二无机层120。

如图16，图16是根据本发明第三实施例的薄膜封装结构1000的制作方法制成的薄膜封装结构1000。待封装体可以是显示装置中显示器件层1，在该待封装体上可以依次形成薄膜封装结构1000的各层，对显示器件层1进行防护。

第一无机层110、第二无机层120的材质可以是透光的氧化物层、氮化物层等。第一无机层110和第二无机层120的材质可以相同或者不同。可以通过CVD形成第一无机层110或第二无机层120，提高膜层的致密性。第一有机层200可以是通过喷墨打印等方式形成，并可以通过紫外进行固化。纤维材料210可以选取自有机纤维和无机纤维中的至少一种，纤维材料210的分散方式可以相同或者不同。

如图17，在一些可选的实施方式中，步骤S200，可以包括以下步骤：

S210，在第一无机层110上喷涂第一树脂材料层；

S220，通过预设掩膜板在第一树脂材料层上放置分散设置的纤维材料210；

S230，在第一树脂材料层以及纤维材料210上喷涂第二树脂材料层；

S240，固化第一树脂材料层以及第二树脂材料层，得到第一有机层200。

可以在第一无机层110上喷墨打印第一树脂材料层，第一树脂材料层的厚度例如1μm～5μm。然后将纤维材料210通过预设掩膜板Mask(例如每隔50mm设置空隙)，向第一树脂材料层中放置纤维材料210，可以根据具体的工艺要求，设置不同含量的纤维材料210，纤维材料210的含量可以按照体积分数确定。放置纤维材料210完成后，继续采用喷墨打印第二树脂材料层至完全覆盖纤维材料210，第二树脂材料层的厚度例如5μm～10μm。对第一树脂材料层和第二树脂材料层进行紫外固化，得到第一有机层200。

本实施例中，纤维材料210可以完全包覆于第一有机层200中，防止纤维材料210的端部凸出第一有机层200的表面，以使第一有机层200保留有光滑表面，光滑表面可以给无机层100提供良好的结合面，纤维材料210的添加并不会对有机树脂和无机层100的粘结力产生影响，第一有机层200和无机层100之间仍具有良好的粘结力。

在另一些可选的实施方式中，薄膜封装结构1000的制作方法，还可以包括以下步骤：

S400，重复在第一无机层110上方形成第一有机层200，并于第一有机层200中分散纤维材料210的步骤。

本实施例中，形成多层第一有机层200，可以提高薄膜封装结构1000阻隔水氧的能力。尤其是，多层第一有机层200中的纤维材料210的分散方向可以不同，不同分散方向的纤维材料210可以增强多层第一有机层200于不同方向的抵抗拉力和应力的能力，防止各层第一有机层200中产生裂纹，以此提高薄膜封装结构1000的整体力学性能和阻隔水氧的能力。

在又一些可选的实施方式中，薄膜封装结构1000的制作方法，还可以包括以下步骤：在第一无机层110上形成第二有机层300，并于第二有机层300上再形成第一无机层110。

本实施例中，增加第二有机层300，通过第二有机层300粘合更多的第一无机层110，更多层数的第一无机层110可以提高薄膜封装结构1000阻隔水氧的能力。

虽然已经参考优选实施例对本发明进行了描述，但在不脱离本发明的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件，尤其是，只要不存在结构冲突，各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本发明并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。

Claims (10)

1.一种薄膜封装结构，其特征在于，包括：

至少两层无机层；以及

多层第一有机层，每层所述第一有机层位于相邻的两层所述无机层之间，其中，所述第一有机层内分散设置有纤维材料，且相邻两层所述第一有机层中的所述纤维材料的分散方向不同。

2.根据权利要求1所述的薄膜封装结构，其特征在于，所述第一有机层包括第一纤维材料层和第二纤维材料层，所述第一纤维材料层和第二纤维材料层分散方向相同或者不同。

3.根据权利要求1或2所述的薄膜封装结构，其特征在于，还包括至少一层第二有机层，所述第二有机层位于两层所述无机层之间。

4.根据权利要求3所述的薄膜封装结构，其特征在于，所述第一有机层、所述无机层和所述第二有机层交替层叠设置，所述第一有机层与第二有机层之间具有至少一层所述无机层。

5.根据权利要求1或2所述的薄膜封装结构，其特征在于，所述第一有机层包覆所述纤维材料。

6.根据权利要求1所述的薄膜封装结构，其特征在于，所述纤维材料为有机纤维和无机纤维中的至少一种。

7.根据权利要求6所述的薄膜封装结构，其特征在于，所述无机纤维为金属纤维、金属氧化物纤维和碳纤维中的至少一种。

8.一种显示装置，其特征在于，包括：

阵列基板；

显示器件层，所述显示器件层设置在所述阵列基板上；以及

如权利要求1~7任一项所述的薄膜封装结构，所述薄膜封装结构覆盖所述显示器件层。

9.一种薄膜封装结构的制作方法，其特征在于，包括：

在待封装体上形成第一无机层；

在所述第一无机层上方形成第一有机层，其中所述第一有机层内分散设置有纤维材料；以及

在所述第一有机层上方形成第二无机层；

其中，重复在所述第一无机层上方形成所述第一有机层，并于所述第一有机层内分散所述纤维材料，以及在所述第一有机层上方形成第二无机层的步骤；

相邻两层所述第一有机层中的所述纤维材料的分散方向不同。

10.根据权利要求9所述的薄膜封装结构的制作方法，其特征在于，所述在所述第一无机层上方形成第一有机层包括：

在所述第一无机层上方喷涂第一树脂材料层；

通过预设掩膜板在所述第一树脂材料层上分散设置纤维材料；

在所述第一树脂材料层以及所述纤维材料上喷涂第二树脂材料层；以及

固化所述第一树脂材料层以及第二树脂材料层，得到所述第一有机层。

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