CN112768337B - 一种离子泵抽口结构 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种离子泵抽口结构，涉及离子泵的技术领域，包括：离子泵泵体，离子泵泵体的泵腔为真空腔体，真空腔体内设有抽气单元，在离子泵泵体顶部向下开设有缺口；短抽气管道，短抽气管道沿竖向装配在离子泵泵体顶部，短抽气管道下端开口与真空腔体相连通，短抽气管道的顶部设有环形凸台；松套法兰，松套法兰可转动的套设在短抽气管道上。本发明的离子泵抽口结构的离子泵泵体上开设缺口，增加了螺栓的操作空间，螺栓能够在缺口内向上插入松套法兰的螺栓孔中，进而能够缩短短抽气管道的长度，同时保证缺口和松套法兰之间的距离足够螺栓摆正螺栓，在缩短短抽气管道的长度后能够大大提高抽气管道的流导，显著提高了离子泵的抽速。
Description
技术领域
本发明涉及离子泵的技术领域，尤其涉及一种离子泵抽口结构。
背景技术
溅射离子泵是一种清洁无油的超高真空泵，广泛应用于现代尖端技术的超高真空领域中。包括原子能、核工业、粒子加速器、航空航天、宇宙模拟、表面物理、电子工业等高技术领域。溅射离子泵的优点是：1、无油、无振动和无噪声；2、使用简单可靠、寿命长和可烘烤；3、不需要冷剂，放置方向不限；4、在超高真空下仍然有较大抽速，极限真空度高(可达到10-9～10-10Pa)。
传统溅射离子泵的抽气管道是呈圆柱形抽气管道，抽气管道的上端连接泵口法兰，在泵口法兰与待抽气的大容器的接口法兰连接时，需要使用螺栓从泵口法兰下方穿过泵口法兰上的螺栓孔，再将泵口法兰和接口法兰紧固连接，因此从泵口法兰下方安装螺栓需要一定的空间(泵口法兰与离子泵泵体之间需要一定的螺栓操作空间)，导致抽气管道的长度无法缩短(当抽气管道长度小于螺栓长度时，螺栓无法从泵口法兰下方穿过泵口法兰上的螺栓孔)，抽气通道的长度过大会导致抽气通道的流导大大降低，使得离子泵的抽速被极大限制。
发明内容
针对上述产生的问题，本发明的目的在于提供一种离子泵抽口结构，解决了抽气通道流导低及离子泵的抽速受限制的技术问题。
为了实现上述目的，本发明采取的技术方案为：
一种离子泵抽口结构，包括：
离子泵泵体，所述离子泵泵体的泵腔为真空腔体，所述真空腔体内设有抽气单元，在所述离子泵泵体顶部一侧向下开设有缺口，所述缺口内能够容纳螺栓；
短抽气管道，所述短抽气管道沿竖向装配在所述离子泵泵体顶部，所述短抽气管道下端开口与真空腔体相连通，所述短抽气管道的顶部设有环形凸台；
松套法兰，所述松套法兰可转动的套设在所述短抽气管道上，所述环形凸台能够卡设在所述松套法兰的圆形凹槽内，所述松套法兰能够沿着所述短抽气管道在所述环形凸台和所述离子泵泵体之间滑动，所述环形凸台能够阻挡所述松套法兰脱离所述短抽气管道，所述松套法兰与待抽气的密闭容器的接口法兰对接，所述缺口内的螺栓能够向上穿过所述松套法兰和所述接口法兰的螺栓孔，将所述松套法兰和所述接口法兰紧固连接。
上述的一种离子泵抽口结构，其中，所述短抽气管道的外形为圆柱形，所述短抽气管道内部为气道，所述气道与所述真空腔体相连通。
上述的一种离子泵抽口结构，其中，所述松套法兰上的若干螺栓孔呈圆周阵列，所述松套法兰围着所述短抽气管道发生旋转时，所述松套法兰上的若干螺栓孔均经过所述缺口的正上方。
上述的一种离子泵抽口结构，其中，所述环形凸台的直径大于所述短抽气管道的直径，使得所述环形凸台和所述短抽气管道之间呈大体T字型布置。
上述的一种离子泵抽口结构，其中，所述环形凸台沉入所述圆形凹槽时，所述环形凸台上端面和所述松套法兰上端面相齐平。
上述的一种离子泵抽口结构，其中，所述缺口不贯穿所述离子泵泵体，所述缺口的形状为半圆柱形或长方形。
优选地，所述离子泵泵体的外形为多面体。
优选地，所述离子泵泵体包括泵壳和内泵体，所述内泵体设于所述泵壳内，所述内泵体的泵腔为所述真空腔体。
本发明由于采用上述技术，使之与现有技术相比具有的积极效果是：
本发明的离子泵抽口结构的离子泵泵体上开设缺口，增加了螺栓的操作空间，螺栓能够在缺口内向上插入松套法兰的螺栓孔中，进而能够缩短短抽气管道的长度，同时保证缺口和松套法兰之间的距离足够螺栓摆正螺栓，在缩短短抽气管道的长度后能够大大提高抽气管道的流导，显著提高了离子泵的抽速。
附图说明
图1是本发明的离子泵抽口结构的结构示意图。
图2是本发明的离子泵抽口结构的俯视示意图。
图3是本发明的松套法兰的示意图。
图4是本发明的短抽气管道的示意图。
附图标记：1、离子泵泵体；11、泵壳；12、内泵体；121、真空腔体；13、缺口；2、抽气单元；3、短抽气管道；31、环形凸台；32、气道；4、松套法兰；41、圆形凹槽；42、螺栓孔；5、螺栓。
具体实施方式
下面将结合本发明的附图和具体实施例，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述、显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
需要指出的是，本文提及的方位词“上”和“下”、“内”和“外”是以本发明的附图中零部件的相对位置为基准定义的，只是为了描述技术方案的清楚及方便，应当理解，此方位词的应用对本申请的保护范围不构成限制。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体式连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
请参阅图1、图2、图3和图4所示，图1是本发明的离子泵抽口结构的结构示意图，图2是本发明的离子泵抽口结构的俯视示意图，图3是本发明的松套法兰的示意图，图4是本发明的短抽气管道的示意图。
本发明实施例提供的一种离子泵抽口结构，包括：离子泵泵体1、短抽气管道3和松套法兰4，其中短抽气管道3指示为长度较短的抽气管道。
离子泵泵体1的泵腔为真空腔体121，真空腔体121内设有抽气单元2，在离子泵泵体1顶部一侧向下开设有缺口13，缺口13内用于容纳螺栓5。
短抽气管道3沿竖向装配在离子泵泵体1顶部，短抽气管道3下端开口与真空腔体121相连通，短抽气管道3的顶部设有环形凸台31。
松套法兰4为圆盘状，松套法兰4的上端面开设有圆形凹槽41，松套法兰4可转动的套设在短抽气管道3上，环形凸台31能够卡设在圆形凹槽41内，沿松套法兰4的外圆开设有若干螺栓孔42，若干螺栓孔42自松套法兰4的一端面贯穿至另一端面，松套法兰4能够沿着短抽气管道3在环形凸台31和离子泵泵体1之间滑动，环形凸台31能够阻挡松套法兰4脱离短抽气管道3，松套法兰4与待抽气的密闭容器的接口法兰对接，缺口13内的螺栓5能够向上穿过松套法兰4和接口法兰的螺栓孔42，将松套法兰4和接口法兰紧固连接。
与现有技术相比，本发明提供的一种离子泵抽口结构，离子泵泵体1顶部开设缺口13，保证缺口13和松套法兰4之间的距离足够螺栓5从松套法兰4下方插入螺栓孔42内，解脱对短抽气管道3的长度限制，在缩短短抽气管道3的长度后，提高了短抽气管道3的流导，显著提高了离子泵的抽速。由此可见，只需在离子泵泵体1顶部开设缺口13，能够去缩短短抽气管道3的长度，结构简单，相较于传统离子泵抽口结构的抽气流导大幅提高，从而使同体积同结构的离子泵抽速显著提高，根据实验表明，根据各种规格形状离子泵的抽口不同，本发明的离子泵抽口结构相较于传统离子泵的抽速会有几倍到十几倍的提高。
进一步，短抽气管道3的外形为圆柱形，短抽气管道3内部为气道32，气道32与真空腔体121相连通，松套法兰4能够沿着短抽气管道3向下运动。
进一步优化上述技术方案，松套法兰4上的若干螺栓孔42呈圆周阵列，松套法兰4围着短抽气管道3发生旋转时，松套法兰4上的若干螺栓孔42均经过缺口13的正上方，当松套法兰4的其中一个螺栓孔42插入螺栓5后，需要将松套法兰4转动一定角度，使松套法兰4上的另一个螺栓孔42与缺口13相正对，进而可以在此螺栓孔42中插入螺栓5，可以实现一个缺口13即可向松套法兰4的若干螺栓孔42插装螺栓5。
还有，环形凸台31的直径大于短抽气管道3的直径，使得环形凸台31和短抽气管道3之间呈大体T字型布置，松套法兰4内的内槽与圆形凹槽41叶大体呈T字型布置，使得松套法兰4只能沿短抽气管道3向下运动但不能向上脱离短抽气管道3，减轻松套法兰4与待抽气的大容器的接口法兰之间的装配难度。
当环形凸台31沉入圆形凹槽41时，环形凸台31上端面和松套法兰4上端面相齐平，松套法兰4能够与待抽气的大容器的接口法兰之间紧密贴合，便于使用螺栓5将两者紧固在一起。
进一步，缺口13不贯穿离子泵泵体1，缺口13不能影响离子泵泵体1内的真空腔体121，在本实施例中缺口13的形状为半圆柱形或长方形，且缺口13内底部与松套法兰4下端面的距离大于螺栓5的长度。
还有，离子泵泵体1包括泵壳11和内泵体12，内泵体12设于泵壳11内，内泵体12的泵腔为真空腔体121。
本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。
对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此本发明将不会限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
Claims (5)
1.一种离子泵新型短抽口结构，其特征在于，包括：
离子泵泵体(1)，所述离子泵泵体(1)的泵腔为真空腔体(121)，所述真空腔体(121)内设有抽气单元(2)，在所述离子泵泵体(1)顶部一侧向下开设有缺口(13)，所述缺口(13)内能够容纳螺栓(5)；
短抽气管道(3)，所述短抽气管道(3)沿竖向装配在所述离子泵泵体(1)顶部，所述短抽气管道(3)下端开口与真空腔体(121)相连通，所述短抽气管道(3)的顶部设有环形凸台(31)；
松套法兰(4)，所述松套法兰(4)可转动的套设在所述短抽气管道(3)上，所述环形凸台(31)能够卡设在所述松套法兰(4)的圆形凹槽(41)内，所述松套法兰(4)能够沿着所述短抽气管道(3)在所述环形凸台(31)和所述离子泵泵体(1)之间滑动，所述环形凸台(31)能够阻挡所述松套法兰(4)脱离所述短抽气管道(3)，所述松套法兰(4)与待抽气的密闭容器的接口法兰对接，所述缺口(13)内的螺栓(5)能够向上穿过所述松套法兰(4)和所述接口法兰的螺栓孔(42)，将所述松套法兰(4)和所述接口法兰紧固连接；
所述松套法兰(4)上的若干螺栓孔(42)呈圆周阵列，所述松套法兰(4)围着所述短抽气管道(3)发生旋转时，所述松套法兰(4)上的若干螺栓孔(42)均能够经过所述缺口(13)的正上方。
2.根据权利要求1所述的离子泵新型短抽口结构，其特征在于，所述短抽气管道(3)的外形为圆柱形，所述短抽气管道(3)内部为气道(32)，所述气道(32)与所述真空腔体(121)相连通。
3.根据权利要求1所述的离子泵新型短抽口结构，其特征在于，所述环形凸台(31)的直径大于所述短抽气管道(3)的直径，使得所述环形凸台(31)和所述短抽气管道(3)之间呈大体T字型布置。
4.根据权利要求3所述的离子泵新型短抽口结构，其特征在于，所述环形凸台(31)沉入所述圆形凹槽(41)时，所述环形凸台(31)上端面和所述松套法兰(4)上端面相齐平。
5.根据权利要求1所述的离子泵新型短抽口结构，其特征在于，所述缺口(13)不贯穿所述离子泵泵体(1)。
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