CN112747689A - 一种面向深孔零件的圆度和直线度误差测量系统 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种面向深孔零件的圆度和直线度误差测量系统,属于深孔零件圆度和直线度误差测量技术领域,包括:支撑单元,包括同轴线设置的前向筒管和后向筒管;驱动单元,包括驱动装置、套管和驱动轴,驱动装置设置于第二腔体内,并与第二腔体的内壁固定连接;驱动轴和套管设置在第一腔体内;测量单元,包括激光位移传感器、二维位敏传感器、角度传感器和激光测距传感器;定心行走单元,定心行走单元分别设置在前向筒管和后向筒管上。本发明是将激光位移传感器、二维位敏传感器和角度传感器统一集成,利用定心行走机构进行定位,将测量坐标系下的样点坐标值统一于绝对坐标系,实现了对深孔零件的圆度和直线度误差精确、定量、同步的测量。

Description

一种面向深孔零件的圆度和直线度误差测量系统
技术领域
本发明属于深孔零件圆度和直线度误差测量技术领域,具体是涉及一种面向深孔零件的圆度和直线度误差测量系统。
背景技术
随着现代装备制造业的飞速发展,高精度深孔零件被广泛应用于航空、船舶、冶金和汽车等各个领域。作为精密零部件,深孔零件的圆度和直线度会直接影响产品的整机性能,例如,发动机气缸的圆度超差会影响轴孔配合的紧密程度,进而造成能量转换效率的损失,轴线弯曲也会使气缸在运动时出现异常的振动与变形,导致运动精度下降,甚至会带来一定的安全隐患;过大的圆度和直线度误差会引起冶金辊子冷却道形状的不规则变化,导致其表面温度出现集中分布的现象,破坏了辊子的冷却性能。因此,对深孔零件的圆度和直线度误差进行准确的测量,是确保零件精度要求和使用性能的重要基础。
由于深孔零件的长径比大、内部空间狭窄,其圆度和直线度误差测量过程有着极大的操作难度,具体表现在测量装置结构、系统定位、驱动方式、信号传输和现场布线等诸多方面。现有技术中的圆度误差测量设备——圆度仪和三坐标测量机等,以及直线度误差测量设备——塞规、量规、千分尺和超声波测厚仪等,都很难准确地、定量地、快速地、同步地实现对深孔零件圆度和直线度误差的测量。
因此,急需一种能够精确、定量、同步地对深孔零件的圆度和直线度形状误差进行的测量的测量系统。
发明内容
本发明的目的在于提供一种能够精确、定量、同步地对深孔零件的圆度和直线度形状误差进行的测量的测量系统,本发明采取了如下技术方案:
一种面向深孔零件的圆度和直线度误差测量系统,包括:
支撑单元,所述支撑单元包括同轴线设置的前向筒管和后向筒管;所述前向筒管和所述后向筒管固定连接;所述后向筒管远离所述前向筒管一端的端部设置有与其固定连接的托架,所述托架上固定连接有防护罩;所述前向筒管内设置有第一腔体和第二腔体;所述第一腔体与所述第二腔体连通,所述第二腔体位于靠近所述后向筒管的一端;所述后向筒管内设置有第三腔体;
驱动单元,所述驱动单元包括驱动装置、套管和驱动轴,所述驱动装置设置于所述第二腔体内,并与所述第二腔体的内壁固定连接;所述驱动轴和所述套管设置在所述第一腔体内;所述驱动轴与所述前向筒管内壁转动连接;所述驱动轴的一端通过所述套管与所述驱动装置的输出端固定连接,另一端延伸至所述前向筒管外侧与法兰盘固定连接;
测量单元,所述测量单元包括激光位移传感器、二维位敏传感器、角度传感器和激光测距传感器;所述二维位敏传感器和所述角度传感器设置在所述防护罩内,并与所述托架固定连接;所述二维位敏传感器与外置的所述激光测距传感器配合得径向的位置偏移量;所述激光位移传感器通过安装板与所述法兰盘固定连接;
定心行走单元,所述定心行走单元分别设置在所述前向筒管和所述后向筒管上,用于所述圆度和直线度误差测量装置在深孔零件内部进行定位和移动。
进一步地,所述定心行走单元包括固定盘和行走机构,所述固定盘用于紧贴待测深孔内壁以实现对待测深孔的圆度和直线度误差的测量定位;所述行走机构用于所述圆度和直线度误差测量装置在深孔零件内部进行移动;
所述固定盘包括前向固定盘和后向固定盘,并分别套设在所述前向筒管远离两者连接处的一端周向外侧和所述后向筒管远离两者连接处的一端周向外侧;在所述前向固定盘和所述后向固定盘之间,所述前向筒管和所述后向筒管的周向外表面分别设置有多个所述行走机构。
进一步地,所述行走机构包括半齿轮、固定套、滑移套和圆齿条套,所述圆齿条套套设在所述前向筒管或所述后向筒管外表面;所述固定套固定连接在所述圆齿条套外表面,所述滑移套可滑动地设置在所述圆齿条套外表面,所述固定套与所述滑移套之间设置有压簧;所述半齿轮的一端设置有齿轮,并通过第一转轴转动连接在所述滑移套上,所述半齿轮的另一端设置有可相对其转动的滚轮;所述圆齿条套上设置有与所述齿轮啮合配合的齿条。
进一步地,所述半齿轮的中心线延长后汇聚于同一点,且该点位于所述圆齿条套的轴线上。
进一步地,所述第二腔体的直径大于所述第一腔体的直径。
进一步地,所述驱动装置包括驱动电机和驱动减速器,所述驱动电机的输出轴与所述驱动减速器的输入端连接,所述驱动减速器的输出轴通过所述套管与所述驱动轴固定连接。
进一步地,所述前向筒管的轴线与所述第一腔体的轴线、所述第二腔体的轴线、所述第三腔体的轴线、所述驱动电机的输出轴的轴线、所述驱动减速器的输出轴的轴线重合。
进一步地,还包括控制模块,所述控制模块用于输入控制指令;所述驱动电机为伺服电机,并通过伺服驱动器、脉冲发射盒与所述控制模块信号连接;所述激光位移传感器、所述二维位敏传感器、所述角度传感器以及外置的所述激光测距传感器均与所述控制模块信号相连。
有益效果:
本发明提供的一种面向深孔零件的圆度和直线度误差测量系统,是基于多传感器集成模式,将激光位移传感器、二维位敏传感器和角度传感器统一集成于机械结构上,利用定心行走机构对测量装置进行定位,采用新颖的电机控制模式解决了存在的线缆缠绕和减速器背隙等问题,将测量坐标系下的样点坐标值统一于绝对坐标系,结构简单、成本低廉、使用便捷,可以实现对深孔零件的圆度和直线度误差精确、定量、同步的测量,是深孔测量技术上的重大突破。
附图说明
图1为本发明的圆度和直线度误差测量系统的三维结构模型;
图2为本发明的圆度和直线度误差测量系统的具体结构示意图;
图3为行走机构的三维结构模型;
图4为伺服驱动电机控制模式的示意图;
图5为激光位移传感器的测量原理示意图;
图6为测量坐标系与绝对坐标系变换原理的示意图;
其中;1、安装板;2、激光位移传感器;3、法兰盘;4、前向固定盘;5、止转螺钉;6、半齿轮;7、压簧;8、固定套;9、前向筒管;10、驱动电机;11、后向筒管;12、托架;13、防护罩;14、二维位敏传感器;15、角度传感器;16、后向固定盘;17、驱动减速器;18、间隔隔套;19、套管;20、锁紧环;21、滑移套;22、圆齿条套;23、内隔套;24、外隔套;25、驱动轴;26、角接触球轴承组;27、螺圈。
具体实施方式
实施例1
一种面向深孔零件的圆度和直线度误差测量系统,包括:支撑单元、驱动单元、测量单元和多组定心行走单元。
支撑单元,支撑单元包括同轴线设置的前向筒管9和后向筒管11;前向筒管9和后向筒管11固定连接;后向筒管11远离前向筒管9一端的端部设置有与其固定连接的托架12,托架12上固定连接有防护罩13;前向筒管9内设置有第一腔体和第二腔体;第一腔体与第二腔体连通,第二腔体位于靠近后向筒管11的一端;后向筒管11内设置有第三腔体。
其中,第二腔体的直径大于第一腔体的直径。
驱动单元,驱动单元包括驱动装置、套管19和驱动轴25,驱动装置设置于第二腔体内,并与第二腔体的内壁固定连接;驱动轴25和套管19设置在第一腔体内;驱动轴25与第一腔体的内壁转动连接;驱动轴25的一端通过套管19与驱动装置的输出端固定连接,另一端延伸至前向筒管9外侧与法兰盘3固定连接;其中,法兰盘3设置有凹槽,凹槽的内端面通过螺钉前向筒管9固定连接,凹槽的侧壁与前向筒管9间隙配合。
驱动装置包括驱动电机10和驱动减速器17,驱动电机10的输出轴与驱动减速器17的输入端连接。在本实施例中,驱动电机10为伺服电机。
其中,伺服驱动电机10的输出轴与驱动减速器17的输入端连接,驱动减速器17的输出轴通过套管19与驱动轴25固定连接,套管19的两端设置有锁紧环20,锁紧环20用于锁紧套管19与驱动减速器17的输出轴、驱动轴25的相对位置。
在驱动轴25与第一腔体内壁之间,周向分置有两组角接触球轴承组26、内隔套23、外隔套24,既可以降低驱动轴25在旋转过程中所受的摩擦影响,也可以对驱动轴25进行一定程度的保护,提升零件的使用寿命;并在驱动轴25两端放置垫圈和螺母,在对驱动轴25进行支撑的同时,也对角接触球轴承组26和内隔套23、外隔套24进行了轴向定位。
在本实施例中,驱动轴25周向依次设置螺圈27、角接触球轴承组26、内隔套23、外隔套24、角接触球轴承组26以及M15×1型螺母,螺圈27和M15×1型螺母通过左右两端的紧固作用实现了对驱动轴25周向各零件的轴向定位,内隔套23和外隔套24可以对驱动轴25结构进行有效保护。
其中,角接触球轴承组26采用背对背的安装模式,以增加轴承的支承角度刚性,降低驱动轴25变形对测量精确性的影响。
在本实施例中,前向筒管9的轴线与第一腔体的轴线、第二腔体的轴线、第三腔体的轴线、驱动电机10的输出轴的轴线、驱动减速器17的输出轴的轴线重合。
测量单元,测量单元包括激光位移传感器2、二维位敏传感器14、角度传感器15和激光测距传感器;二维位敏传感器14和角度传感器15设置在防护罩13内,并与托架12固定连接;二维位敏传感器14与外置的激光测距传感器配合得径向的位置偏移量;激光位移传感器2通过安装板1与法兰盘3固定连接。
在本实施例中,前向筒管9、法兰盘3和安装板1通过紧固螺钉实现固定连接。激光位移传感器2固定在安装板1上,通过调整安装板1高度,并尽可能地使激光位移传感器2所发射的激光线和本实施例提供的测量系统轴线位于同一水平高度上,可以有效提升测量精度。置于前向筒管9中且固定于法兰盘3上的驱动轴25起到了将减速器与激光位移传感器2连接起来的作用,可以将驱动电机10产生的扭矩平稳传递到激光位移传感器2上,从而带动后者进行回转运动;此外,驱动轴25使得激光位移传感器2实现了轴向固定,在一定程度上减少了轴向振动给传感器测量结果带来的影响。
后向筒管11一端通过紧固螺钉与前向筒管9末端进行连接,另一端通过螺钉与托架12实现固定。调整安装位置,使前向筒管9的轴线、后向筒管11的轴线和托架12的轴线位于同一水平直线上。
将二维位敏传感器14和角度传感器15固定在托架12上,通过调整托架12高度,使二维位敏传感器14的感光平面中心与测量系统的轴线位于同一水平直线上,并保证角度传感器15在固定后不会对二维位敏传感器14的感光平面造成遮挡。
在本实施例中,通过上述一系列的调整措施,使得所有关键零件的轴线均位于同一水平直线上,即测量系统中前向筒管9的轴线,既可以在最大程度上减少由于测量系统的轴线偏移给测量结果带来的误差,也可以方便后续的数据处理和评定过程。
在托架12上设置的防护罩13,能够避免灰尘、油污等杂质侵入二维位敏传感器14和角度传感器15,以保证精密仪器的使用精度和使用寿命。
定心行走单元,定心行走单元分别设置在前向筒管9和后向筒管11上,用于圆度和直线度误差测量装置在深孔零件内部进行定位和移动。
定心行走单元包括固定盘和行走机构,固定盘用于紧贴待测深孔内壁以实现对待测深孔的圆度和直线度误差的测量定位;行走机构用于圆度和直线度误差测量装置在深孔零件内部进行移动;
固定盘包括前向固定盘4和后向固定盘16,并分别套设在前向筒管9远离两者连接处的一端周向外侧和后向筒管11远离两者连接处的一端周向外侧;在前向固定盘4和后向固定盘16之间,前向筒管9和后向筒管11的周向外表面分别设置有多个行走机构。
在本实施例中,行走机构为8组,在前向筒管9和后向筒管11周向分别设置了4组行走机构。
其中,固定盘依靠三个不同型号的螺母实现对行走机构的轴向定位。固定盘可以根据深孔零件的公称直径进行选择,使其在使用时可以紧贴深孔内壁,从而使测试系统的轴线与深孔轴线保持一致;通过更换不同直径的固定盘,可以实现对一定范围内不同公称直径的深孔零件的圆度和直线度误差的测量过程。
在本实施例中,行走机构包括半齿轮6、固定套8、滑移套21和圆齿条套22,圆齿条套22套设在前向筒管9或后向筒管11外表面;固定套8固定连接在圆齿条套22外表面,滑移套21可滑动地设置在圆齿条套22外表面,固定套8与滑移套21之间设置有压簧7;半齿轮6的一端设置有齿轮,并通过第一转轴转动连接在滑移套21上,半齿轮6的另一端设置有可相对其转动的滚轮;圆齿条套22上设置有与齿轮啮合配合的齿条。
滑移套21与圆齿条套22设置有防止滑移套21相对圆齿条套22转动的止转螺钉5。
其中,半齿轮6的中心线延长后汇聚于同一点,且该点位于圆齿条套22的轴线上,能够在最大程度上减少了测量系统的轴线偏移,从而有助于提升测量精确性以及降低后续数据处理的复杂程度(参见图3)。
本实施例提供的测量系统未工作时,压簧7处于自然松弛状态,测量系统的最大宽度始终大于深孔零件的公称直径,以确保工作状态下压簧7始终处于压缩状态;当测量系统沿深孔内壁行走时,半齿轮6受深孔内壁挤压后,发生前向或后向旋转,通过带动滑移套21引起压簧7产生弹性形变,使得半齿轮6末端滚轮始终与深孔内壁保持接触,滚轮由于特殊结构可以减少行走过程对深孔内表面的划伤程度。
在本实施例中,前向筒管9对应第二腔体的外壁设置凸缘,凸缘与固定套8之间设置有M55×1.5型螺母和间隔隔套18。
在本实施例提供的一种面向深孔零件的圆度和直线度误差测量系统还包括控制模块,控制模块用于输入控制指令;驱动电机10为伺服电机,并通过伺服驱动器、脉冲发射盒与控制模块信号连接;激光位移传感器2、二维位敏传感器、角度传感器15以及外置的激光测距传感器均与控制模块信号相连。
其中,伺服驱动电机10接受控制脉冲信号,驱动减速器17、驱动轴25和激光位移传感器2做回转运动,激光位移传感器2在测量截面进行等角度采样,该采样模式既可以使同一截面相邻样点间的角度相等化,从而提升测量精度;也可以保证各测量截面的样点数量相同,便于后续评定。
在测量时,在第一个截面上,以水平轴方向为第一个测点,逆时针旋转,每隔一定角度进行一次采样。每次采样均额外转30°,然后在数据处理时去除多余样点。在第二个截面上,从第一次测量过程的终止位置开始,顺时针旋转30°后开始进行采样,结束时同样额外转过30°。以此类推,逆顺交替,完成对多个截面的测量过程。该控制模式下,逆顺交替的方法可以避免测量过程中电缆出现缠绕;额外采样并去除多余样点的方法可以避免装置旋向变化过程中由于减速器背隙引起的测点遗漏或缺失。
激光位移传感器2在测量截面进行旋转,利用激光对截面轮廓进行扫描,得到位移测量值。经过校准与标定,可以获得激光发射孔与回转轴线的距离值a和由于加工或者装配误差带来的回转轴线与激光发射孔间的偏心值b;并可根据电机角度控制参数得到激光束与水平轴的夹角。以激光位移传感器2的回转中心为原点、水平轴为x轴建立直角坐标系,根据相关公式可以解算出采样点在测量坐标系下的直角坐标。
二维位敏传感器14感光面通过接收外置的、经校准过的激光测距传感器所发射的激光,得到测量装置在径向的位置偏移量;此外,激光测距传感器可以直观反应出与二维位敏传感器14感光面的轴向距离。角度传感器15可以记录测量装置的欧拉角。根据坐标变换原理,可以将测量坐标系下的采样点直角坐标转换为绝对坐标系下的直角坐标,这有助于后续的误差评定。
在本实施例中,控制模块为安装在计算机中的操控系统。
本实施例的工作原理:
圆度误差测量原理:采用激光位移传感器2获得某一测量截面上的采样点直角坐标,并根据二维位敏传感器和角度传感器15分别记录的位置偏移量和欧拉角,将测量坐标系下的样点坐标值转换为绝对坐标系下的坐标值。以此作为数据基础,利用相关圆度评定算法对测量截面轮廓进行拟合,最终得到圆度误差值。
直线度误差原理:推动测量装置,以获取多个测量截面,依靠外置的激光位移传感器2记录测量截面位置。得到各测量截面的采样点在绝对坐标系下的坐标值后,利用相关算法对截面圆心进行拟合,从而得到各截面圆心的空间坐标以及空间位置关系。将各截面圆心的连线视为深孔的实际轴线,利用直线度评定算法拟合出直径最小且包含实际轴线的圆柱,该圆柱的直径即为深孔零件的直线度。
图4为伺服驱动电机10控制模式的示意图,根据测量截面所需采样点个数以及所设定的激光位移传感器2的采样频率和存储周期,对伺服驱动电机10的转速进行设置。采样方式采用等角度采样,既使同一截面相邻样点间的角度相等化,从而提升测量精度;也保证各测量截面的样点数量相同,便于后续评定。测量时,在第一个截面上,以水平轴方向为第一个测点,逆时针旋转,每隔一定角度进行一次采样。为防止装置旋向变化过程中,减速器背隙引起的测点遗漏或缺失,每次采样均额外转30°,然后在数据处理时去除多余样点。在第二个截面上,从第一次测量过程的终止位置开始,顺时针旋转30°后开始进行采样,结束时同样额外转过30°。以此类推,逆顺交替,以避免测量过程中电缆出现缠绕。
图5为激光位移传感器2的测量原理示意图,被测截面圆心为O,以传感器的回转中心O'为原点、水平轴为x轴建立直角坐标系。设经校准标定后激光发射孔与回转轴线的距离为a,由于加工或者装配误差带来的回转轴线与激光发射孔间的偏心值为b,第i个测量点的测量值为ri,激光束与x轴的夹角为θi,若传感器逆时针旋转,则第i个测量点的直角坐标表示为((ri+a)cosθi-bsinθi,(ri+a)sinθi+bcosθi),若转向为顺时针,则第i个测量点的直角坐标表示为((ri+a)cosθi+bsinθi,-(ri+a)sinθi+bcosθi)。
图6为测量坐标系与绝对坐标系变换原理的示意图,以测量装置二维位敏传感器14感光面中心为原点建立的测量坐标系为o'-x'y'z',绝对坐标系为o-xyz,初始状态下,坐标系o'-x'y'z'与o-xyz重合。角度传感器15得到装置的欧拉角,其旋转顺序为z-y-x,即测量坐标系o'-x'y'z'首先绕自身的z轴旋转角度
Figure BDA0002861308790000102
随后绕自身的y轴旋转角度θ,最后绕自身的x轴旋转角度ψ,达到最终的姿态。由二维位敏传感器14记录的装置的位移变动量为(a,b),沿轴线方向移动的距离为c,二维位敏传感器14感光面中心与激光位移传感器2上激光发射孔的水平距离为l。设激光位移传感器2在测量坐标系o'-x'y'z'中测得轮廓的点坐标为(x',y',z'),测量点对应在绝对坐标系o-xyz中的坐标为(x,y,z)。根据o'-x'y'z'的位姿变换关系,(x,y,z)可以由下式1)求得。
Figure BDA0002861308790000101
本发明的工作原理:推拉本实施例提供的测量系统,使其在深孔零件内部进行移动,定心行走机构保证移动过程的稳定性,依靠外置的激光测距传感器得到测量装置在轴向上的移动距离。每隔一定距离,装置停止移动,依靠伺服驱动电机10带动激光传感器在测量截面做回转运动,对截面轮廓进行等角度采样,并采用二维位敏传感器14和角度传感器15记录测量装置的空间位置以及空间姿态。根据激光位移传感器2的测量原理将测量得到位移数据转换为直角坐标系下的点坐标,然后将测量坐标系向绝对坐标系进行变换,最终得到绝对坐标系下的测点坐标。测量完成后,在各测量截面内,利用相关评定算法对截面圆度进行求解;并求解出各截面圆心坐标,对这些空间位置点进行直线拟合,可以得到深孔零件的直线度误差。
以上所述,仅是本发明较佳实施例而已,并非对本发明的技术范围作任何限制,故凡是依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何细微修改、等同变化与修饰,均仍属于本发明技术方案的范围的。

Claims (8)

1.一种面向深孔零件的圆度和直线度误差测量系统,其特征在于,包括:
支撑单元,所述支撑单元包括同轴线设置的前向筒管和后向筒管;所述前向筒管和所述后向筒管固定连接;所述后向筒管远离所述前向筒管一端的端部设置有与其固定连接的托架,所述托架上固定连接有防护罩;所述前向筒管内设置有第一腔体和第二腔体;所述第一腔体与所述第二腔体连通,所述第二腔体位于靠近所述后向筒管的一端;所述后向筒管内设置有第三腔体;
驱动单元,所述驱动单元包括驱动装置、套管和驱动轴,所述驱动装置设置于所述第二腔体内,并与所述第二腔体的内壁固定连接;所述驱动轴和所述套管设置在所述第一腔体内;所述驱动轴与所述前向筒管内壁转动连接;所述驱动轴的一端通过所述套管与所述驱动装置的输出端固定连接,另一端延伸至所述前向筒管外侧与法兰盘固定连接;
测量单元,所述测量单元包括激光位移传感器、二维位敏传感器、角度传感器和激光测距传感器;所述二维位敏传感器和所述角度传感器设置在所述防护罩内,并与所述托架固定连接;所述二维位敏传感器与外置的所述激光测距传感器配合得径向的位置偏移量;所述激光位移传感器通过安装板与所述法兰盘固定连接;
定心行走单元,所述定心行走单元分别设置在所述前向筒管和所述后向筒管上,用于所述圆度和直线度误差测量装置在深孔零件内部进行定位和移动。
2.根据权利要求1所述的一种面向深孔零件的圆度和直线度误差测量系统,其特征在于,所述定心行走单元包括固定盘和行走机构,所述固定盘用于紧贴待测深孔内壁以实现对待测深孔的圆度和直线度误差的测量定位;所述行走机构用于所述圆度和直线度误差测量装置在深孔零件内部进行移动;
所述固定盘包括前向固定盘和后向固定盘,并分别套设在所述前向筒管远离两者连接处的一端周向外侧和所述后向筒管远离两者连接处的一端周向外侧;在所述前向固定盘和所述后向固定盘之间,所述前向筒管和所述后向筒管的周向外表面分别设置有多个所述行走机构。
3.根据权利要求2所述的一种面向深孔零件的圆度和直线度误差测量系统,其特征在于,所述行走机构包括半齿轮、固定套、滑移套和圆齿条套,所述圆齿条套套设在所述前向筒管或所述后向筒管外表面;所述固定套固定连接在所述圆齿条套外表面,所述滑移套可滑动地设置在所述圆齿条套外表面,所述固定套与所述滑移套之间设置有压簧;所述半齿轮的一端设置有齿轮,并通过第一转轴转动连接在所述滑移套上,所述半齿轮的另一端设置有可相对其转动的滚轮;所述圆齿条套上设置有与所述齿轮啮合配合的齿条。
4.根据权利要求3所述的一种面向深孔零件的圆度和直线度误差测量系统,其特征在于,所述半齿轮的中心线延长后汇聚于同一点,且该点位于所述圆齿条套的轴线上。
5.根据权利要求1所述的一种面向深孔零件的圆度和直线度误差测量系统,其特征在于,所述第二腔体的直径大于所述第一腔体的直径。
6.根据权利要求5所述的一种面向深孔零件的圆度和直线度误差测量系统,其特征在于,所述驱动装置包括驱动电机和驱动减速器,所述驱动电机的输出轴与所述驱动减速器的输入端连接,所述驱动减速器的输出轴通过所述套管与所述驱动轴固定连接。
7.根据权利要求6所述的一种面向深孔零件的圆度和直线度误差测量系统,其特征在于,所述前向筒管的轴线与所述第一腔体的轴线、所述第二腔体的轴线、所述第三腔体的轴线、所述驱动电机的输出轴的轴线、所述驱动减速器的输出轴的轴线重合。
8.根据权利要求7所述的一种面向深孔零件的圆度和直线度误差测量系统,其特征在于,还包括控制模块,所述控制模块用于输入控制指令;所述驱动电机为伺服电机,并通过伺服驱动器、脉冲发射盒与所述控制模块信号连接;所述激光位移传感器、所述二维位敏传感器、所述角度传感器以及外置的所述激光测距传感器均与所述控制模块信号相连。
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