CN112706070A - 一种具有过滤功能的芯片生产设备 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种具有过滤功能的芯片生产设备，包括工作台、驱动箱、传动轴和研磨盘，所述驱动箱设置在工作台的上方且与工作台固定连接，所述传动轴竖向设置在驱动箱和工作台之间，所述驱动箱内设有驱动装置，所述驱动装置与传动轴的顶端连接，所述研磨盘与传动轴同轴设置且安装在传动轴的底端，所述研磨盘与工作台之间设有间隙，所述工作台上设有辅助机构和过滤机构，所述过滤机构设置在工作台的底部，所述辅助机构包括固定管、转动环、水管和三个连接组件，该具有过滤功能的芯片生产设备通过辅助机构实现了防止水飞溅的功能，不仅如此，还通过过滤机构实现了过滤水的功能，使水可以重复利用，实现了节水。

Description

一种具有过滤功能的芯片生产设备
技术领域
本发明涉及芯片生产领域，特别涉及一种具有过滤功能的芯片生产设备。
背景技术
芯片是半导体元件产品的统称，又称微电路、微芯片、集成电路，芯片在生产过程中，需要通过研磨机对用于硅晶体进行研磨。
现有的研磨机在使用过程中，为了实现散热，均会在研磨期间实现水冷，而转动状态的研磨盘易使水发生飞溅而导致电子装置受潮损坏，降低了实用性，不仅如此，水冷期间，会使研磨产生的碎屑溶于水中，导致水无法再次使用，造成水资源的浪费。
发明内容
本发明要解决的技术问题是：为了克服现有技术的不足，提供一种具有过滤功能的芯片生产设备。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种具有过滤功能的芯片生产设备，包括工作台、驱动箱、传动轴和研磨盘，所述驱动箱设置在工作台的上方且与工作台固定连接，所述传动轴竖向设置在驱动箱和工作台之间，所述驱动箱内设有驱动装置，所述驱动装置与传动轴的顶端连接，所述研磨盘与传动轴同轴设置且安装在传动轴的底端，所述研磨盘与工作台之间设有间隙，所述工作台上设有辅助机构和过滤机构，所述过滤机构设置在工作台的底部；
所述辅助机构包括固定管、转动环、水管和三个连接组件，所述固定管和转动环均与传动轴同轴设置，所述传动轴穿过转动环，所述传动轴与转动环滑动且密封连接，所述固定管位于研磨盘和工作台之间，所述固定管与工作台密封且固定连接，所述固定管的内径与转动环的外径相等且大于研磨盘的直径，所述水管水平固定在固定管的外壁且与固定管连通，所述连接组件以传动轴的轴线为中心周向均匀分布；
所述连接组件包括第一弹簧、传动杆、固定块、滚珠、搅棒、导孔和通孔，所述通孔设置在工作台上且与固定管的底端连通，所述导孔设置在转动环上，所述传动杆和搅棒均与传动轴平行，所述传动杆穿过导孔，所述传动杆与导孔的内壁滑动且密封连接，所述传动杆的底端与传动轴固定连接，所述转动环的顶部通过第一弹簧与传动杆的顶端连接，所述搅棒位于转动环和固定管之间且固定在转动环的底部，所述固定块和滚珠均设置在固定管内，所述固定块固定在固定管的内壁上，所述固定块的顶部设有凹槽，所述滚珠的球心设置在凹槽内，所述滚珠与凹槽匹配且与凹槽的内壁滑动连接，所述滚珠的球径大于凹槽的槽口宽度，所述滚珠与固定管顶端所在平面之间设有间隙，所述固定块与传动轴轴线之间的距离大于研磨盘的半径；
所述过滤机构包括收集箱、固定环、连接管、升降盘、排水阀、电磁铁、动力组件和至少两个滤网，所述收集箱的形状为圆柱形，所述收集箱的顶部设有开口，所述收集箱、固定环、收集环和连接管均与传动轴同轴设置，所述收集箱穿过固定环，所述收集箱与固定环密封且固定连接，所述连接管的内径大于收集箱的外径，所述连接管位于固定环和工作台之间，所述连接管的顶端与工作台密封且固定连接，所述连接管的底端与固定环密封且固定连接，所述收集箱与工作台之间设有间隙，所述电磁铁位于工作台和收集箱之间且固定在工作台上，所述升降盘设置在收集箱内，所述升降盘的直径和收集箱的内径均与固定管的内径相等，所述升降盘与收集箱的内壁滑动且密封连接，所述升降盘与收集箱管内的底部之间设有间隙，所述升降盘的顶部与收集箱的顶部所在平面之间设有间隙，所述升降盘的制作材料为铁，所述升降盘与电磁铁正对设置，所述排水阀安装在收集箱的底部，所述升降盘上设有至少两个滤孔，所述滤孔以传动轴的轴线为中心周向均匀分布，所述滤网与滤孔一一对应且安装在滤孔内，所述动力组件设置在升降盘的底部；
所述动力组件包括驱动电机、转动轴、轴承、转动盘和两个传动单元，所述收集箱的底部设有安装孔，所述转动轴和转动盘均与传动轴同轴设置，所述转动轴穿过安装孔，所述转动轴与安装孔的内壁滑动且密封连接，所述驱动电机与转动轴的底端传动连接且与收集箱固定连接，所述转动盘固定在转动轴的顶端，所述轴承的内圈安装在转动轴上，所述轴承的外圈与收集箱固定连接，所述传动单元以转动轴的轴线为中心周向均匀分布；
所述传动单元包括限位块、第二弹簧、动力杆和装配孔，所述装配孔设置在转动盘上，所述动力杆与转动轴平行，所述动力杆与装配孔的内壁滑动连接，所述动力杆固定在升降盘的底部，所述限位块固定在动力杆的底端，所述第二弹簧位于升降盘和转动盘之间，所述升降盘通过第二弹簧与转动盘连接，所述限位块与转动盘之间的距离与升降盘与固定管顶端之间的距离相等。
作为优选，为了提高驱动电机的驱动力，所述驱动电机为伺服电机。
作为优选，为了减小安装孔的内壁与转动轴之间的间隙，所述安装孔的内壁上涂有密封脂。
作为优选，为了便于转动轴的安装，所述转动轴的两端均设有倒角。
作为优选，为了减小传动杆与导孔之间的摩擦力，所述传动杆上涂有润滑油。
作为优选，为了实现缓冲和减振，所述限位块的制作材料为橡胶。
作为优选，为了延长收集箱的使用寿命，所述收集箱上设有防腐镀锌层。
作为优选，为了延长连接管的使用寿命，所述连接管与固定环为一体成型结构。
作为优选，为了降噪，所述转动环的顶部设有三个吸音板，所述吸音板与传动杆一一对应。
作为优选，为了节能，所述驱动箱的顶部设有光伏板。
本发明的有益效果是，该具有过滤功能的芯片生产设备通过辅助机构实现了防止水飞溅的功能，与现有的辅助机构相比，该辅助机构通过转动环与固定环的配合，还可以减小传动轴转动期间产生的径向跳动，提高了研磨的稳定性和精确度，并且，转动环的转动带动搅棒转动，从而可以实现搅拌固定管内水的功能，提高水与硅晶体接触的均匀度，提升散热效果，而且，通过水的搅拌，还可以便于水带动碎屑从通孔排出，防止碎屑发生沉淀，实用性更强，不仅如此，还通过过滤机构实现了过滤水的功能，使水可以重复利用，实现了节水，与现有的过滤机构相比，该过滤机构还可以实现滤网的清洁，实用性更强。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是本发明的具有过滤功能的芯片生产设备的结构示意图；
图2是本发明的具有过滤功能的芯片生产设备的连接组件的结构示意图；
图3是图1的A部放大图；
图4是本发明的具有过滤功能的芯片生产设备的过滤机构的结构示意图；
图中：1.工作台，2.驱动箱，3.传动轴，4.研磨盘，5.固定管，6.转动环，7.水管，8.第一弹簧，9.传动杆，10.固定块，11.滚珠，12.搅棒，13.收集箱，14.固定环，15.连接管，16.升降盘，17.排水阀，18.电磁铁，19.滤网，20.驱动电机，21.转动轴，22.轴承，23.转动盘，24.限位块，25.第二弹簧，26.动力杆，27.吸音板，28.光伏板。
具体实施方式
现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。
如图1-3所示，一种具有过滤功能的芯片生产设备，包括工作台1、驱动箱2、传动轴3和研磨盘4，所述驱动箱2设置在工作台1的上方且与工作台1固定连接，所述传动轴3竖向设置在驱动箱2和工作台1之间，所述驱动箱2内设有驱动装置，所述驱动装置与传动轴3的顶端连接，所述研磨盘4与传动轴3同轴设置且安装在传动轴3的底端，所述研磨盘4与工作台1之间设有间隙，所述工作台1上设有辅助机构和过滤机构，所述过滤机构设置在工作台1的底部；
所述辅助机构包括固定管5、转动环6、水管7和三个连接组件，所述固定管5和转动环6均与传动轴3同轴设置，所述传动轴3穿过转动环6，所述传动轴3与转动环6滑动且密封连接，所述固定管5位于研磨盘4和工作台1之间，所述固定管5与工作台1密封且固定连接，所述固定管5的内径与转动环6的外径相等且大于研磨盘4的直径，所述水管7水平固定在固定管5的外壁且与固定管5连通，所述连接组件以传动轴3的轴线为中心周向均匀分布；
所述连接组件包括第一弹簧8、传动杆9、固定块10、滚珠11、搅棒12、导孔和通孔，所述通孔设置在工作台1上且与固定管5的底端连通，所述导孔设置在转动环6上，所述传动杆9和搅棒12均与传动轴3平行，所述传动杆9穿过导孔，所述传动杆9与导孔的内壁滑动且密封连接，所述传动杆9的底端与传动轴3固定连接，所述转动环6的顶部通过第一弹簧8与传动杆9的顶端连接，所述搅棒12位于转动环6和固定管5之间且固定在转动环6的底部，所述固定块10和滚珠11均设置在固定管5内，所述固定块10固定在固定管5的内壁上，所述固定块10的顶部设有凹槽，所述滚珠11的球心设置在凹槽内，所述滚珠11与凹槽匹配且与凹槽的内壁滑动连接，所述滚珠11的球径大于凹槽的槽口宽度，所述滚珠11与固定管5顶端所在平面之间设有间隙，所述固定块10与传动轴3轴线之间的距离大于研磨盘4的半径；
该设备使用期间，将硅晶体放置在工作台1上且位于固定管5内，随后，通过驱动装置使传动轴3转动并向下移动，传动轴3的向下移动带动转动环6同步向下移动，当转动环6与滚珠11抵靠时，随着传动轴3的继续下降，使研磨盘4与转动环6之间的距离增大，并使传动杆9与转动环6之间产生相对移动，并使第一弹簧8压缩，当研磨盘4与硅晶体抵靠时，则使传动轴3停止下降，通过研磨盘4在硅晶体上的转动，则可以实现研磨，且将水管7与外接供水装置连接，使水从水管7输送至固定管5内并与硅晶体接触，实现水冷，同时，固定管5内的水带动研磨期间产生的碎屑从通孔排出，这里，通过转动环6与固定管5的配合，可以防止水发生飞溅，而且，传动轴3的转动通过传动杆9带动转动环6转动，且通过转动环6与固定管5的配合，还可以减小传动轴3转动期间产生的径向跳动，提高了研磨的稳定性和精确度，同时，通过滚珠11与转动环6的抵靠，可以使转动环6与固定块10的滑动摩擦转换成转动摩擦，减小了摩擦力，且转动环6的转动带动搅棒12转动，从而可以实现搅拌固定管5内水的功能，提高水与硅晶体接触的均匀度，提升散热效果，而且，通过水的搅拌，还可以便于水带动碎屑从通孔排出，防止碎屑发生沉淀。
如图4所示，所述过滤机构包括收集箱13、固定环14、连接管15、升降盘16、排水阀17、电磁铁18、动力组件和至少两个滤网19，所述收集箱13的形状为圆柱形，所述收集箱13的顶部设有开口，所述收集箱13、固定环14、收集环和连接管15均与传动轴3同轴设置，所述收集箱13穿过固定环14，所述收集箱13与固定环14密封且固定连接，所述连接管15的内径大于收集箱13的外径，所述连接管15位于固定环14和工作台1之间，所述连接管15的顶端与工作台1密封且固定连接，所述连接管15的底端与固定环14密封且固定连接，所述收集箱13与工作台1之间设有间隙，所述电磁铁18位于工作台1和收集箱13之间且固定在工作台1上，所述升降盘16设置在收集箱13内，所述升降盘16的直径和收集箱13的内径均与固定管5的内径相等，所述升降盘16与收集箱13的内壁滑动且密封连接，所述升降盘16与收集箱13管内的底部之间设有间隙，所述升降盘16的顶部与收集箱13的顶部所在平面之间设有间隙，所述升降盘16的制作材料为铁，所述升降盘16与电磁铁18正对设置，所述排水阀17安装在收集箱13的底部，所述升降盘16上设有至少两个滤孔，所述滤孔以传动轴3的轴线为中心周向均匀分布，所述滤网19与滤孔一一对应且安装在滤孔内，所述动力组件设置在升降盘16的底部；
所述动力组件包括驱动电机20、转动轴21、轴承22、转动盘23和两个传动单元，所述收集箱13的底部设有安装孔，所述转动轴21和转动盘23均与传动轴3同轴设置，所述转动轴21穿过安装孔，所述转动轴21与安装孔的内壁滑动且密封连接，所述驱动电机20与转动轴21的底端传动连接且与收集箱13固定连接，所述转动盘23固定在转动轴21的顶端，所述轴承22的内圈安装在转动轴21上，所述轴承22的外圈与收集箱13固定连接，所述传动单元以转动轴21的轴线为中心周向均匀分布；
所述传动单元包括限位块24、第二弹簧25、动力杆26和装配孔，所述装配孔设置在转动盘23上，所述动力杆26与转动轴21平行，所述动力杆26与装配孔的内壁滑动连接，所述动力杆26固定在升降盘16的底部，所述限位块24固定在动力杆26的底端，所述第二弹簧25位于升降盘16和转动盘23之间，所述升降盘16通过第二弹簧25与转动盘23连接，所述限位块24与转动盘23之间的距离与升降盘16与固定管5顶端之间的距离相等。
固定管5内的水从通孔排出并掉入升降盘16上，并穿过滤网19进入收集箱13内的底部，且通过滤网19实现水中碎屑的截留，即可以实现过滤水的功能，且打开水阀后，则可以使收集箱13内的水排出并收集后再次利用，当研磨完毕后，电磁铁18通电，使电磁铁18与铁质的升降盘16之间产生相互吸引的作用力，从而使升降盘16上升，并使升降盘16的顶部与收集箱13的顶部处于同一平面，且升降盘16的上升通过动力杆26带动限位块24实现同步移动并与转动盘23抵靠，并使第二弹簧25拉伸，随后，驱动电机20启动，使转动轴21在轴承22的支撑作用下带动转动盘23转动，转动盘23的转动带动传动杆9带动升降盘16和滤网19转动，使滤网19上截留的碎屑向着远离转动轴21轴线方向移动并掉落至固定环14的顶部，即可以实现清洁滤网19的功能，防止滤网19堵塞而影响过滤效率，滤网19清洁完毕后，电磁铁18断电并使驱动电机20停止启动，在第二弹簧25的弹性作用下使升降盘16复位即可。
作为优选，为了提高驱动电机20的驱动力，所述驱动电机20为伺服电机。
作为优选，为了减小安装孔的内壁与转动轴21之间的间隙，所述安装孔的内壁上涂有密封脂。
作为优选，为了便于转动轴21的安装，所述转动轴21的两端均设有倒角。
作为优选，为了减小传动杆9与导孔之间的摩擦力，所述传动杆9上涂有润滑油。
作为优选，为了实现缓冲和减振，所述限位块24的制作材料为橡胶。
作为优选，为了延长收集箱13的使用寿命，所述收集箱13上设有防腐镀锌层。
作为优选，为了延长连接管15的使用寿命，所述连接管15与固定环14为一体成型结构。
作为优选，为了降噪，所述转动环6的顶部设有三个吸音板27，所述吸音板27与传动杆9一一对应。
作为优选，为了节能，所述驱动箱2的顶部设有光伏板28。
该设备使用期间，将硅晶体放置在工作台1上且位于固定管5内，随后，通过驱动装置使传动轴3转动并向下移动，传动轴3的向下移动带动转动环6同步向下移动，当转动环6与滚珠11抵靠时，随着传动轴3的继续下降，使研磨盘4与转动环6之间的距离增大，并使传动杆9与转动环6之间产生相对移动，并使第一弹簧8压缩，当研磨盘4与硅晶体抵靠时，则使传动轴3停止下降，通过研磨盘4在硅晶体上的转动，则可以实现研磨，且将水管7与外接供水装置连接，使水从水管7输送至固定管5内并与硅晶体接触，实现水冷，同时，固定管5内的水带动研磨期间产生的碎屑从通孔排出，这里，通过转动环6与固定管5的配合，可以防止水发生飞溅，而且，传动轴3的转动通过传动杆9带动转动环6转动，且通过转动环6与固定管5的配合，还可以减小传动轴3转动期间产生的径向跳动，提高了研磨的稳定性和精确度，同时，通过滚珠11与转动环6的抵靠，可以使转动环6与固定块10的滑动摩擦转换成转动摩擦，减小了摩擦力，且转动环6的转动带动搅棒12转动，从而可以实现搅拌固定管5内水的功能，提高水与硅晶体接触的均匀度，提升散热效果，而且，通过水的搅拌，还可以便于水带动碎屑从通孔排出，防止碎屑发生沉淀，固定管5内的水从通孔排出并掉入升降盘16上，并穿过滤网19进入收集箱13内的底部，且通过滤网19实现水中碎屑的截留，即可以实现过滤水的功能，且打开水阀后，则可以使收集箱13内的水排出并收集后再次利用，当研磨完毕后，电磁铁18通电，使电磁铁18与铁质的升降盘16之间产生相互吸引的作用力，从而使升降盘16上升，并使升降盘16的顶部与收集箱13的顶部处于同一平面，且升降盘16的上升通过动力杆26带动限位块24实现同步移动并与转动盘23抵靠，并使第二弹簧25拉伸，随后，驱动电机20启动，使转动轴21在轴承22的支撑作用下带动转动盘23转动，转动盘23的转动带动传动杆9带动升降盘16和滤网19转动，使滤网19上截留的碎屑向着远离转动轴21轴线方向移动并掉落至固定环14的顶部，即可以实现清洁滤网19的功能，防止滤网19堵塞而影响过滤效率，滤网19清洁完毕后，电磁铁18断电并使驱动电机20停止启动，在第二弹簧25的弹性作用下使升降盘16复位即可。
与现有技术相比，该具有过滤功能的芯片生产设备通过辅助机构实现了防止水飞溅的功能，与现有的辅助机构相比，该辅助机构通过转动环6与固定环14的配合，还可以减小传动轴3转动期间产生的径向跳动，提高了研磨的稳定性和精确度，并且，转动环6的转动带动搅棒12转动，从而可以实现搅拌固定管5内水的功能，提高水与硅晶体接触的均匀度，提升散热效果，而且，通过水的搅拌，还可以便于水带动碎屑从通孔排出，防止碎屑发生沉淀，实用性更强，不仅如此，还通过过滤机构实现了过滤水的功能，使水可以重复利用，实现了节水，与现有的过滤机构相比，该过滤机构还可以实现滤网19的清洁，实用性更强。
以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (10)

1.一种具有过滤功能的芯片生产设备，包括工作台(1)、驱动箱(2)、传动轴(3)和研磨盘(4)，所述驱动箱(2)设置在工作台(1)的上方且与工作台(1)固定连接，所述传动轴(3)竖向设置在驱动箱(2)和工作台(1)之间，所述驱动箱(2)内设有驱动装置，所述驱动装置与传动轴(3)的顶端连接，所述研磨盘(4)与传动轴(3)同轴设置且安装在传动轴(3)的底端，所述研磨盘(4)与工作台(1)之间设有间隙，其特征在于，所述工作台(1)上设有辅助机构和过滤机构，所述过滤机构设置在工作台(1)的底部；
所述辅助机构包括固定管(5)、转动环(6)、水管(7)和三个连接组件，所述固定管(5)和转动环(6)均与传动轴(3)同轴设置，所述传动轴(3)穿过转动环(6)，所述传动轴(3)与转动环(6)滑动且密封连接，所述固定管(5)位于研磨盘(4)和工作台(1)之间，所述固定管(5)与工作台(1)密封且固定连接，所述固定管(5)的内径与转动环(6)的外径相等且大于研磨盘(4)的直径，所述水管(7)水平固定在固定管(5)的外壁且与固定管(5)连通，所述连接组件以传动轴(3)的轴线为中心周向均匀分布；
所述连接组件包括第一弹簧(8)、传动杆(9)、固定块(10)、滚珠(11)、搅棒(12)、导孔和通孔，所述通孔设置在工作台(1)上且与固定管(5)的底端连通，所述导孔设置在转动环(6)上，所述传动杆(9)和搅棒(12)均与传动轴(3)平行，所述传动杆(9)穿过导孔，所述传动杆(9)与导孔的内壁滑动且密封连接，所述传动杆(9)的底端与传动轴(3)固定连接，所述转动环(6)的顶部通过第一弹簧(8)与传动杆(9)的顶端连接，所述搅棒(12)位于转动环(6)和固定管(5)之间且固定在转动环(6)的底部，所述固定块(10)和滚珠(11)均设置在固定管(5)内，所述固定块(10)固定在固定管(5)的内壁上，所述固定块(10)的顶部设有凹槽，所述滚珠(11)的球心设置在凹槽内，所述滚珠(11)与凹槽匹配且与凹槽的内壁滑动连接，所述滚珠(11)的球径大于凹槽的槽口宽度，所述滚珠(11)与固定管(5)顶端所在平面之间设有间隙，所述固定块(10)与传动轴(3)轴线之间的距离大于研磨盘(4)的半径；
所述过滤机构包括收集箱(13)、固定环(14)、连接管(15)、升降盘(16)、排水阀(17)、电磁铁(18)、动力组件和至少两个滤网(19)，所述收集箱(13)的形状为圆柱形，所述收集箱(13)的顶部设有开口，所述收集箱(13)、固定环(14)、收集环和连接管(15)均与传动轴(3)同轴设置，所述收集箱(13)穿过固定环(14)，所述收集箱(13)与固定环(14)密封且固定连接，所述连接管(15)的内径大于收集箱(13)的外径，所述连接管(15)位于固定环(14)和工作台(1)之间，所述连接管(15)的顶端与工作台(1)密封且固定连接，所述连接管(15)的底端与固定环(14)密封且固定连接，所述收集箱(13)与工作台(1)之间设有间隙，所述电磁铁(18)位于工作台(1)和收集箱(13)之间且固定在工作台(1)上，所述升降盘(16)设置在收集箱(13)内，所述升降盘(16)的直径和收集箱(13)的内径均与固定管(5)的内径相等，所述升降盘(16)与收集箱(13)的内壁滑动且密封连接，所述升降盘(16)与收集箱(13)管内的底部之间设有间隙，所述升降盘(16)的顶部与收集箱(13)的顶部所在平面之间设有间隙，所述升降盘(16)的制作材料为铁，所述升降盘(16)与电磁铁(18)正对设置，所述排水阀(17)安装在收集箱(13)的底部，所述升降盘(16)上设有至少两个滤孔，所述滤孔以传动轴(3)的轴线为中心周向均匀分布，所述滤网(19)与滤孔一一对应且安装在滤孔内，所述动力组件设置在升降盘(16)的底部；
所述动力组件包括驱动电机(20)、转动轴(21)、轴承(22)、转动盘(23)和两个传动单元，所述收集箱(13)的底部设有安装孔，所述转动轴(21)和转动盘(23)均与传动轴(3)同轴设置，所述转动轴(21)穿过安装孔，所述转动轴(21)与安装孔的内壁滑动且密封连接，所述驱动电机(20)与转动轴(21)的底端传动连接且与收集箱(13)固定连接，所述转动盘(23)固定在转动轴(21)的顶端，所述轴承(22)的内圈安装在转动轴(21)上，所述轴承(22)的外圈与收集箱(13)固定连接，所述传动单元以转动轴(21)的轴线为中心周向均匀分布；
所述传动单元包括限位块(24)、第二弹簧(25)、动力杆(26)和装配孔，所述装配孔设置在转动盘(23)上，所述动力杆(26)与转动轴(21)平行，所述动力杆(26)与装配孔的内壁滑动连接，所述动力杆(26)固定在升降盘(16)的底部，所述限位块(24)固定在动力杆(26)的底端，所述第二弹簧(25)位于升降盘(16)和转动盘(23)之间，所述升降盘(16)通过第二弹簧(25)与转动盘(23)连接，所述限位块(24)与转动盘(23)之间的距离与升降盘(16)与固定管(5)顶端之间的距离相等。
2.如权利要求1所述的具有过滤功能的芯片生产设备，其特征在于，所述驱动电机(20)为伺服电机。
3.如权利要求1所述的具有过滤功能的芯片生产设备，其特征在于，所述安装孔的内壁上涂有密封脂。
4.如权利要求1所述的具有过滤功能的芯片生产设备，其特征在于，所述转动轴(21)的两端均设有倒角。
5.如权利要求1所述的具有过滤功能的芯片生产设备，其特征在于，所述传动杆(9)上涂有润滑油。
6.如权利要求1所述的具有过滤功能的芯片生产设备，其特征在于，所述限位块(24)的制作材料为橡胶。
7.如权利要求1所述的具有过滤功能的芯片生产设备，其特征在于，所述收集箱(13)上设有防腐镀锌层。
8.如权利要求1所述的具有过滤功能的芯片生产设备，其特征在于，所述连接管(15)与固定环(14)为一体成型结构。
9.如权利要求1所述的具有过滤功能的芯片生产设备，其特征在于，所述转动环(6)的顶部设有三个吸音板(27)，所述吸音板(27)与传动杆(9)一一对应。
10.如权利要求1所述的具有过滤功能的芯片生产设备，其特征在于，所述驱动箱(2)的顶部设有光伏板(28)。
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