CN112703417A - 控制微振荡反射镜的驱动设备的方法、控制装置和偏转反射镜设备 - Google Patents
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Abstract
描述了一种用于控制微振荡反射镜的驱动装置的方法、控制设备和偏转反射镜设备。在该方法中，生成至少一个致动信号(20)且将其用于控制驱动装置使得驱动装置以振荡的方式驱动微振荡反射镜。捕获表征微振荡反射镜的偏转(22)的至少一个位置信号(26)。基于至少一个位置信号(26)调节至少一个控制信号(20)，使得微振荡反射镜以其共振频率被驱动。将至少一个位置信号(26)的振幅与至少一个阈值连续地比较。在至少一个位置信号(26)通过至少一个阈值的至少两个通行之间的至少一个时间间隔被确定。基于至少一个时间间隔调节至少一个控制信号(20)。例如，控制信号(20)是脉冲宽度调制的信号。在该情况下，单极方波脉冲以周期性间隔生成。控制信号(20)的脉冲控制驱动装置的梳状驱动器，使得微振荡反射镜被激励以振荡。转换为振幅改变的梳状驱动器的梳状电容作为位置信号(26)被输出。为了使控制信号(20)的占空比适配于微振荡反射镜的共振频率，将位置信号(26)与阈值进行比较。在位置信号(26)通过阈值的特定通行之间确定对应的时间间隔。相应地，基于时间间隔调适控制信号(20)的占空比。
Description
技术领域
本发明涉及一种用于控制微振荡反射镜的驱动设备的方法，其中
-生成至少一个致动信号，并由此致动驱动设备，使得其以振荡方式驱动微振荡反射镜，
-感测至少一个位置信号，该至少一个位置信号表征微振荡反射镜的偏转，
-基于至少一个位置信号，闭环控制至少一个致动信号，使得微振荡反射镜以其共振频率被驱动，
此外，本发明涉及一种用于控制微振荡反射镜的至少一个驱动设备的控制装置，该控制装置
-具有至少一个信号生成设备，用于生成至少一个致动信号，用该致动信号可以致动至少一个驱动设备，
-具有至少一个位置感测设备，用该位置感测设备可以感测表征微振荡反射镜的偏转的至少一个位置信号，
-并且具有至少一个设备，其以闭环可控的方式连接到至少一个信号生成设备，使得微振荡反射镜可以以其共振频率被驱动。
此外，本发明涉及一种光学检测装置的偏转反射镜设备，其具有
-至少一个微振荡反射镜，
-用于至少一个微振荡反射镜的至少一个驱动设备，以及
-用于控制至少一个驱动设备的控制装置，
-其中，控制装置具有
-至少一个信号生成设备，用于生成至少一个致动信号，用该致动信号可以致动至少一个驱动设备，
-至少一个位置感测设备，用该位置感测设备可以感测表征微振荡反射镜的偏转的至少一个位置信号，以及
-至少一个设备，其以闭环可控的方式连接到至少一个信号生成设备，使得微振荡反射镜可以以其共振频率被驱动。
背景技术
EP 2514211 B1公开了偏转单元，该偏转单元包括两层万向悬置的微反射镜作为偏转元件。偏转单元或微反射镜通过由致动装置供应的致动信号来驱动，该致动信号针对每个轮轴具有频率fl和f2作为致动频率。这些激励频率f1和f2旨在对应于反射镜的共振频率。所以，反射镜在其共振频率发生变化时可以用来跟踪变化，致动装置具有锁相环路，该锁相环路调整相位并因此调整致动信号的致动频率使得反射镜基本上以共振操作。为了感测相位角，测量装置配备为测量微反射镜的正弦偏转。
本发明基于以下目的：配置在开篇处提及的一类方法、控制装置和偏转反射镜设备，其中可以(特别是以较简单的技术手段)简化对微振荡反射镜的驱动设备的闭环控制。
发明内容
该目的在根据本发明的方法中实现为，将至少一个位置信号的振幅与至少一个阈值连续地比较，并且确定至少一个位置信号通过至少一个阈值的至少两个通行之间的至少一个时间间隔，并且基于至少一个时间间隔闭环控制至少一个致动信号。
根据本发明，微振荡反射镜的偏转的特征在于至少一个位置信号。连续地感测至少一个位置信号，使得至少一个位置信号的振幅的时间进程表征微振荡反射镜的反射镜偏转的时间进程。将至少一个位置信号的振幅与至少一个阈值连续地比较，确定至少一个位置信号通过至少一个阈值的至少两个通行之间的至少一个时间间隔。可以基于至少一个时间间隔来确定振荡微振荡反射镜的振荡频率和/或偏转的振幅。基于至少一个时间间隔闭环控制至少一个致动信号，使得微振荡反射镜通过驱动设备以其共振频率来驱动。
在共振频率，可以有效地驱动微振荡反射镜。
至少一个位置信号的振幅可以有利地与至少两个阈值进行比较。这样，可以改进驱动设备的闭环控制的准确度。
以这种方法可以有利地确定至少一个位置信号通过不同阈值的至少两个通行之间的至少一个时间间隔，可以确定至少一个位置信号的振幅进程的正向梯度。
驱动的微振荡反射镜可以有利地实行正弦振荡。在该情况下，微振荡反射镜可以通过驱动设备在至少一个振荡方向上被有效驱动。微振荡反射镜的有效偏转可以通过驱动设备由至少一个致动信号引起。在该情况下，发生微振荡反射镜的振荡的上升沿。在移除致动信号的脉冲之后，微振荡反射镜由于其惯性而偏转，直到达到最大偏转为止。在微振荡反射镜的有效偏转期间，特别是至少一个重置弹簧形式的弹性重置设备可以被预加应力。重置设备可以是驱动设备的部分。在达到最大偏转之后，可以通过重置设备使微振荡反射镜枢转返回。在该情况下，发生微振荡反射镜的振荡的下降沿。
在微振荡反射镜的振荡的上升沿处，可以感测至少一个位置信号的上升脉冲。在下降沿处，可以感测至少一个位置信号的下降脉冲。由于用驱动设备使微振荡反射镜有效偏转，因此上升脉冲的最大值(也可以被称为最大上升)可以大于下降脉冲的最大值，该下降脉冲的最大值也可以被称为最大下降且最终由重置设备引起。
根据本发明的至少一个位置信号的振幅的最大值涉及至少一个位置信号的零交叉的相同侧。特别是，最大值可以涉及至少一个位置信号的正向侧。替代地，所有阈值和最大值可以相对于至少一个位置信号的零交叉位于负向侧。
微振荡反射镜可以是用于感测物体的光学检测装置的部分。
光学检测装置可以有利地是扫描系统，特别是激光扫描仪。在该情况中，可以用传输信号来感测监测的区域，即被扫描。为此，对应的传输信号(特别是传输光束)可以说是相对于它们在监测的区域之上的传播方向枢转。在该情况中，可以使用至少一个偏转反射镜设备，该偏转反射镜设备可以含有至少一个微振荡反射镜，该微振荡反射镜具有对应的控制装置和对应的驱动设备。
本发明可以用于车辆，特别是机动车辆。本发明可以有利地用于陆地车辆，特别是载客车辆、货车、公共汽车、摩托车等、航空器和/或水运工具。本发明还可以用在自主或至少部分自主的车辆中。
所述检测装置可以有利地连接到车辆的至少一个电子控制装置，特别是驾驶员辅助系统和/或底盘控制系统和/或驾驶员信息设备和/或停车辅助系统等，或者可以是这样的装置、系统或设备的一部分。
在该方法的这样的有利改进方案中，可以将至少一个阈值预先定义为恒定值和/或可以以可变的方式设定至少一个阈值。
可以容易地存储恒定阈值。
可变阈值的优点在于，它们可以适配于驱动设备的操作情况。这允许整体上改进闭环控制。还可以在微振荡反射镜操作时调整至少一个阈值。以这种方式，特别地可以补偿驱动设备和/或微振荡反射镜的关于部件和/或关于组件的公差。特别地，当启动微振荡反射镜时，可以通过可变阈值更好地补偿公差。
在方法的其他有利的配置中，至少一个位置信号的零交叉可以被预先定义为阈值。
-和/或至少一个阈值可以被预先定义为至少一个位置信号的振幅的最大值之间，
-和/或至少一个阈值的振幅可以被预先定义为低于至少一个位置信号的不同脉冲的振幅的最大值，
-其中，至少一个位置信号的脉冲的振幅的最大值在至少一个位置信号的周期内以相同的符号出现。
可以容易地确定至少一个位置信号的零交叉，使得可以容易地实现对应的阈值。
在至少一个位置信号的不同脉冲的振幅的两个最大值之间预先定义其振幅的阈值可以用于感测微振荡反射镜的振荡的周期。在该情况中，不同脉冲的最大值具有不同的大小。
最大值中的一个可以有利地对应于至少一个位置信号的两个不同脉冲的振幅，特别是最大值中的较大者可以对应于微振荡反射镜的振荡的上升沿。最大值中的另一个，特别是较小的最大值，可以对应于微振荡反射镜的振荡的下降沿。以这种方法，可以通过至少一个致动信号的脉冲和在该脉冲已经断开之后微振荡反射镜的回摆来感测微振荡反射镜的有效偏转之间的时间间隔。
可以用阈值感测微振荡反射镜的整个振荡周期或仅部分振荡周期，该阈值的振幅被预先定义为低于至少一个位置信号的脉冲的振幅的最大值。至少一个阈值可以被预先定义为低于至少一个位置信号的脉冲的振幅的最大值中的最小的一个。
在方法的其他有利的配置中，在至少一个位置信号通过阈值的通行与在至少一个位置信号的下一个周期至少一个位置信号通过相同阈值的通行之间的时间间隔可以被确定，并且可以由此确定微振荡反射镜的振荡的周期持续时间。以这种方法，可以仅用一个阈值来确定微振荡反射镜的振荡的周期持续时间。
在至少一个位置信号通过阈值的通行与下一个周期中在至少一个位置信号的相同沿(特别是下降沿或上升沿)处通过相同阈值的通行之间的时间间隔可以有利地被确定。以这种方法，时间间隔精确地对应于至少一个位置信号的周期。
在方法的其他有利的改进中，在至少一个位置信号通过第一阈值的通行与通过第二阈值的下一个通行之间的时间间隔可以被确定，并且可以由此确定微振荡反射镜的偏转。以这种方法，可以在至少一个位置信号的脉冲期间使用两个阈值来确定微振荡反射镜的偏转。因此，可以在微振荡反射镜的振荡的相同沿处，特别是在上升沿或下降沿处感测通行。
在此，第一阈值的振幅可以被预先定义为在至少一个位置信号的两个不同脉冲的振幅的最大值之间。第二阈值的振幅可以被预先定义为低于至少一个位置信号的脉冲的振幅的最大值中的最小的一个。
因此，可以在至少一个位置信号的相同沿处，特别是在下降沿或上升沿处有利地感测通行。以这种方法，可以确定至少一个位置信号的进程的正向梯度。
在该方法的另一有利配置中，在至少一个位置信号在至少一个位置信号的下降脉冲处通过阈值的通行与至少一个位置信号在至少一个位置信号的下一个上升脉冲处通过相同阈值的通行之间的时间间隔可以被确定，
-和/或在至少一个位置信号在至少一个位置信号的上升脉冲处通过阈值的通行与至少一个位置信号在至少一个位置信号的下一个下降脉冲处通过相同的阈值的通行之间的时间间隔可以被确定，
-并且可以从至少一个时间间隔确定至少一个致动信号和至少一个位置信号之间的相位关系。
以这种方法，特别是可以从相位关系来调整致动信号的脉冲占空比，使得微振荡反射镜可以以其共振频率操作。
可以有利地确定在通过由最少错误位置信号的零线定义的阈值的通行之间的至少一个时间间隔。
在方法的其他有利配置中，
-在至少一个位置信号的至少一个下降沿中可以感测通过至少一个阈值的至少一个位置信号的至少一个通行，
-和/或在至少一个位置信号的至少一个上升沿中可以感测至少一个位置信号通过至少一个阈值的至少一个通行，以这种方法，可以改进测量的再现性。
在方法的其他有利配置中，至少一个阈值可以用至少一个数字/模拟转换器生成，和/或至少一个阈值可以用至少一个分压器生成。数字/模拟转换器和分压器可以容易地且成本效益高地实现。
在方法的其他有利配置中，可以通过至少一个比较设备将至少一个位置信号与至少一个阈值进行比较。此外，可以用至少一个比较设备来感测对应的时间间隔。至少一个比较设备可以是所谓的比较器。
所谓的多比较器可以有利地用作比较设备。通过多比较器，至少一个位置信号特别是可以同时与多个阈值进行比较。
快速的1比特模拟/数字转换可以有利地用于将至少一个位置信号与至少一个阈值进行比较。以这种方法，可以实现高的时间分辨率。
在该方法的其他有利配置中，至少一个致动信号可以基于至少一个脉冲宽度调制的信号来实现。以这种方式，可以使脉冲宽度调制的信号的脉冲占空比适配于微振荡反射镜的所需角分辨率。因此，可以为微振荡反射镜的驱动设备适当地设定模拟致动电压的振幅的分辨率。
在微振荡反射镜的振荡周期中，可以从微振荡反射镜的共振频率为至少一个致动信号推导脉冲宽度调制的脉冲的数目。因此，微振荡反射镜的偏转角可以由脉冲宽度调制的致动信号的脉冲占空比来设定和闭环控制。微振荡反射镜的振荡频率可以在一个周期内由至少一个致动信号的脉冲宽度调制的脉冲的总数目来设定和闭环控制。从脉冲宽度调制的致动信号的脉冲占空比中获得用于致动驱动设备的驱动电压的振幅。从致动信号的脉冲宽度调制的脉冲的数量中获得驱动电压的频率。
在方法的其他有利配置中，至少一个位置信号可以基于驱动设备的梳状电容(取决于微振荡反射镜的偏转)来实现。以这种方法，可以容易地将电变量确定为至少一个位置信号的基础。微振荡反射镜的这种运动引起驱动设备的梳状结构的电容改变。梳状电容的改变或其中的改变可以被对应地感测且表征微振荡反射镜的反射镜偏转的时间进程。
由于改变的梳状电容，微振荡反射镜的运动可以以充电和放电电流的形式输出，作为关于微振荡反射镜的反射镜偏转的位置信息。梳状电容的改变可以转换为成比例的电压。在该情况中，电压的频率可以对应于微振荡反射镜的振荡频率。振幅的改变可以是微振荡反射镜的偏转的度量。
驱动设备可以有利地具有至少一个所谓的梳状驱动器。以这种方式，梳状驱动的梳状电容可有助于实现至少一个位置信号。
附加地，驱动设备的梳状驱动器可以有利地用作用于感测至少一个位置信号的测量设备。以这种方法，可以省去用于感测位置的附加设备。
附加地或可替代地，可以从与梳状电容不同的测量变量来确定至少一个位置信号，该至少一个位置信号表征微振荡反射镜的偏转。
根据本发明，该目的在控制装置中还借助于以下事实来实现：控制装置具有至少一个比较设备，可以用该比较设备将至少一个位置信号与至少一个阈值连续地比较，可以用控制装置确定至少一个位置信号通过至少一个阈值的至少两个通行之间的至少一个时间间隔，并且可以基于至少一个时间间隔闭环控制至少一个致动信号。
因此，根据本发明，可以省去复杂且昂贵的电子部件，诸如特别是高速模拟/数字转换器。
在一种有利的实施例中，控制装置可以具有至少一个数字/模拟转换器和/或至少一个分压器，用于生成至少一个阈值。数字/模拟转换器和分压器可以容易地且成本收益高地实现。
在其他有利实施例中，至少一个位置感测设备和/或至少一个驱动设备可以用至少一个梳状结构来实现。在梳状结构的情况下，梳状驱动器可以容易地为驱动设备形成。此外，位置感测设备的梳状结构可以具有所谓的梳状电容的电容，该电容可以被感测为微振荡反射镜的偏转的度量。
至少一个位置感测设备和至少一个驱动设备可以有利地以相同的至少一个梳状结构来实现。以这种方法，可以进一步降低技术支出。
至少一个信号生成设备可以有利地适合于生成至少一个脉冲宽度调制的致动信号。使用脉冲宽度调制的控制信号，可以驱动驱动设备，使得微振荡反射镜可以在两个最大偏转之间来回枢转。
可以有利地用所谓的现场可编程门阵列(FPGA)模块来实现控制装置。以这种方法，控制设备可以容易地原位适配。
至少一个比较设备可以有利地被实现为FPGA模块的一部分。这样，可以进一步降低技术支出，特别是部件上的支出。
至少一个比较设备可以有利地被实现为FPGA模块中的比较器。以这种方法，至少一个比较设备也可以原位适配。
根据本发明，该目的在偏转反射镜设备中还借助于以下事实来实现：控制装置具有至少一个比较设备，可以用该比较设备将至少一个位置信号与至少一个阈值连续地比较，可以用控制装置确定至少一个位置信号通过至少一个阈值的至少两个通行之间的至少一个时间间隔，并且可以基于至少一个时间间隔闭环控制至少一个致动信号。根据本发明，偏转反射镜设备以简单的，特别是有成本效益的技术手段来实现。
此外，结合根据本发明的方法、根据本发明的控制装置和根据本发明的偏转反射镜设备所指示的特征和优点及其相应的有利配置在此以相互对应的方式应用，反之亦然。单独特征和优点当然可以彼此组合，其中可以出现超过单独效果之和的其他有利效果。
附图说明
本发明的其他优点、特征和细节将从下面的描述变得显而易见，其中将参考附图更详细地解释本发明的示例性实施例。本领域技术人员还将方便地单独考虑在附图、说明书和权利要求书中已经组合公开的特征，且将它们组合以形成其他有意义的组合。附图中：
图1示出了具有激光扫描仪的车辆的前视图，该激光扫描仪用于在行进的方向上监测车辆前方的监测区域；
图2示出了图1的激光扫描仪的偏转反射镜设备的电路设计，该偏转反射镜设备具有微振荡反射镜和用于该微振荡反射镜的驱动设备的控制装置；
图3示出了振幅/时间图，其具有用于致动驱动设备的致动信号、微振荡反射镜的反射镜偏转、和位置信号的时间进程，该位置信号表征微振荡反射镜的反射镜偏转的时间进程；
图4示出了对应于图3的位置信号的振幅/时间图以及与位置信号比较的三个阈值；以及
图5示出了图4的振幅/时间图在位置信号的脉冲的区域中的细节。
在附图中，相同的结构元件配置为具有相同的附图标记。
具体实施方式
图1以前视图示出了以载客车辆的形式为例的车辆。车辆10包括例如激光扫描仪12形式的扫描光学检测装置。激光扫描仪12作为示例布置在车辆10的前保险杠中。
激光扫描仪12可以在车辆10的行驶方向上在车辆10的前方监测监测区域的物体。为此，可以使用激光扫描仪12以对应的传输信号扫描监测区域。当存在物体时，传输信号被反射并发送回到激光扫描仪12。反射的信号用激光扫描仪12的对应的接收器来接收。
激光扫描仪12根据所谓的传播时间方法进行操作，在该方法中可以感测在传输信号的发射与反射的传输信号的接收之间的传播时间，并且由此可以确定物体相对于车辆10的距离、速度和/或方向。
激光扫描仪12具有用于发射传输信号的发射器，用于接收反射的传输信号的接收器，用于使传输信号偏转的偏转反射镜设备14，以及用于控制发射器、接收器和偏转反射镜设备14且评估接收的信号的控制和评估设备。监测区域中的传输信号的束方向用偏转反射镜设备14枢转，使得可以用传输信号来扫描偏转反射镜设备14。
图2示出了偏转反射镜设备14的示例性电路设计。偏转反射镜设备14包括微振荡反射镜16。微振荡反射镜16被配置为所谓的微系统部件，其被称为微机电系统(MEMS)。微振荡反射镜16绕枢转轴线安装，使得它可以在两个最大偏转之间来回地枢转。
微振荡反射镜16以可驱动的方式连接至驱动设备18。驱动设备18具有所谓的梳状驱动器，用该梳状驱动器可以在驱动振荡方向上驱动微振荡反射镜16。此外，驱动设备18具有例如扭转弹簧的形式的重置设备，用该重置设备可以使微振荡反射镜16逆着驱动振荡方向移动返回。
驱动设备18的梳状驱动器以高压操作。作为示例，梳状驱动器装备有相互作用的梳状结构且可以通过施加如图3所示的致动信号20来致动。
此外，偏转反射镜设备14具有位置感测设备24，用该位置感测设备24可以关于其时间进程来感测反射镜偏转22。为此，位置感测设备24使用驱动设备18的梳状驱动器的梳状结构。在该情况中，由于微振荡反射镜16的振荡，在梳状驱动器的改变的梳状电容中感测到充电和放电电流。电容的改变被转换成比例电压，其中，反射镜振荡的频率的电压的频率和振幅的改变是微振荡反射镜16的偏转的度量。将被转换成振幅的改变的梳状电容输出作为位置信号26，该位置信号26表征在时间进程中微振荡反射镜16的反射镜偏转22。作为示例，图3至5中示出位置信号26。
为了致动驱动设备18，提供控制装置28。使用位置信号26对驱动信号20且因此对驱动设备18进行闭环控制。
作为示例，控制装置28被配置为所谓的FPGA模块30。控制装置28包括信号生成设备32。致动信号20可以用信号生成设备32生成。信号生成设备32具有到驱动设备18的信号传输连接。
此外，FPGA模块30包括连接到在FPGA模块30外部实现的数字/模拟转换器(D/A转换器36)的串行外围接口34(SPI)。作为示例，可以用D/A转换器36生成三个阈值38a、38b和38c，这三个阈值在振幅方面具有位置信号26的数量级。在此，阈值38a、38b和38c可以以可变地可调整的或永久地预先定义的方式被预先定义。还可以用D/A转换器36输出多于三个的阈值38a、38b和38c。
FPGA模块30还具有以多比较器的形式为例的比较设备40，其输入连接到D/A转换器36的输出。阈值38a、38b和38c可以由D/A转换器36馈送到比较设备40。
比较设备40的比较输入连接到位置感测设备24的输出。可以在那里施加位置信号26。
可以使用比较设备40将位置信号26的振幅与阈值38a、38b和38c连续地进行比较。
位置信号26通过对应的阈值38a、38b或38c的对应通行之间的时间间隔42a、42b、42c和42d可以使用比较设备40来确定。可以用FPGA模块30基于时间间隔42a、42b、42c和42d闭环控制致动信号20。
图3示出了致动信号20的时间进程、反射镜偏转22的时间进程和位置信号26的时间进程。在该情况中，为了更加清楚起见，将它们各自的振幅零线彼此叠置。图3中的致动信号20的振幅、反射镜偏转22的振幅与位置信号26的振幅在质量单位和数量级方面不对应。图3仅用于比较相应时间进程。
例如，致动信号20是脉冲宽度调制的信号。在该情况中，以周期性间隔生成单极方波脉冲。脉冲的持续时间小于脉冲之间的暂停的持续时间。脉冲持续时间与周期持续时间的比率被称为脉冲占空比。致动信号20的脉冲占空比可以在信号生成设备32中改变。
驱动设备18的梳状驱动器由致动信号20的脉冲来致动，使得微振荡反射镜16被激励以振荡。在此，反射镜偏转22在时间进程上是正弦振荡脉冲。在该情况中，致动信号20的脉冲在驱动振荡方向上带来反射镜偏转22的上升沿44。在致动信号20的脉冲结束之后，微振荡反射镜16在驱动振荡方向上继续振荡到其正向最大偏转。在已经达到正向最大偏转之后，微振荡反射镜16的振荡方向反向。在下降沿46处，微振荡反射镜16与重置设备一起逆着驱动振荡方向返回移动。在图3的底部，微振荡反射镜16进一步振荡直到其负向最大偏转。在已经达到最大负向偏转之后，微振荡反射镜16在随后的上升沿44处再次在驱动振荡方向上振荡。在该情况中，再次用致动信号20的随后脉冲在驱动振荡方向上驱动微振荡反射镜16。本发明的目的是用致动信号20以其共振频率致动微振荡反射镜16。在共振频率处，可以用致动信号20有效地驱动微振荡反射镜16。
在微振荡反射镜16的振荡期间，从驱动设备18的梳状驱动器的梳状电容来确定位置信号26。位置信号26包括两个双极脉冲(下文中称为上升脉冲48和下降脉冲58)，它们周期性地重复。位置信号26的周期性对应于反射镜偏转22的周期性。在反射镜偏转22通过上升沿44时，首先生成具有上升沿52的位置信号26的上升脉冲48。在图3顶部，上升脉冲48在上升沿52的结束时在正向侧具有最大上升50。最大上升50在时间上对应于反射镜偏转22的上升沿44通行穿过微振荡反射镜16的零交叉。
在已经达到最大上升50之后，上升脉冲48改变成下降沿54，通行穿过零线且达到位置信号26的零线下方的最小上升56。最大上升50、上升沿52、下降沿54和最小上升56在时间上位于反射镜偏转22的上升沿44的区域中。
在反射镜偏转52运行到其正向最大偏转时，位置信号26在其零线方向上上升。在零线的区域中，位置信号26具有拐点，该拐点在时间上对应于微振荡反射镜15的正向最大偏转。
微振荡反射镜16在反射镜偏转22的下降沿46处的回摆引起位置信号26的下降脉冲58。位置信号26的下降脉冲58最初具有上升到最大下降62的上升沿60。在最大下降62之后，位置信号26改变为下降脉冲58的下降沿64。下降沿64通行穿过位置信号26的零线，并在最小下降66处结束。最小下降66在时间上对应于反射镜偏转22的下降沿46通行穿过微振荡反射镜16的零交叉。
在最小下降66之后，位置信号26的振幅再次上升到零线。
具有上升沿60、最大下降62、下降沿64和最小下降66的整个下降脉冲58在时间上位于反射镜偏转22的下降沿46内。
上升脉冲48和下降脉冲58以反射镜偏转22的周期性重复。
为了使致动信号20的脉冲占空比适配于微振荡反射镜16的共振频率，将位置信号26与阈值38a、38b和38c进行比较。在位置信号26通过阈值38a、38b和38c的特定通行之间确定对应的时间间隔42a、42b和42c。基于时间间隔42a、42b和42c对应地调整致动信号20的脉冲占空比。
第一阈值38a的振幅被预先定义在位置信号26的最大上升50和最大下降62之间的范围中。第二阈值38b被预先定义为低于位置信号26的最大下降62，即在零线和最大下降62之间。根据位置信号26的零线预先定义第三阈值38c。
在位置信号26在上升脉冲48的下降沿54处通过第一阈值38a的通行与位置信号26在上升脉冲48的下降沿54处通过位置信号26的下一周期中相同的阈值38a的通行之间确定时间间隔42a。从第一时间间隔42a确定微振荡反射镜16的振荡的周期持续时间。
替代地或附加地，可以在位置信号26在上升脉冲48的下降沿54处通过第二阈值38b的通行与位置信号26在上升脉冲48的下降沿54处通过位置信号26的下一周期中相同的阈值38b的通行之间确定第一时间间隔42a。
在位置信号26在上升脉冲48的下降沿54处通过第一阈值38a的通行与在上升脉冲48的相同下降沿54处通过第二阈值38b的下一个通行之间确定第二时间间隔42b。从第二时间间隔42b确定微振荡反射镜16的偏转。
在位置信号26在下降脉冲58的下降沿64处通过第三阈值38c的通行与位置信号26在位置信号26的下一个上升脉冲48的下降沿54处通过相同阈值38c的通行之间确定第三时间间隔42c。从第三时间间隔42c确定致动信号20与位置信号26之间的相位关系。
基于时间间隔42a、42b和42c，即周期持续时间，偏转和相位关系，对应地闭环控制致动信号20，使得微振荡反射镜16以其共振频率被驱动。
阈值38a、38b和38c可以可选地以可变的方式来调适。例如，当偏转反射镜设备14正在操作时，可以在开始阶段调适阈值38a、38b和38c。例如，因此可以更好地补偿微振荡反射镜16处的制造公差。
Claims (15)
1.一种用于控制微振荡反射镜(16)的驱动设备(18)的方法，其中
-生成至少一个致动信号(20)，并由此致动所述驱动设备(18)，使得所述驱动设备(18)以振荡方式驱动所述微振荡反射镜(16)，
-感测至少一个位置信号(26)，所述至少一个位置信号(26)表征所述微振荡反射镜(16)的偏转(22)，
-基于所述至少一个位置信号(26)，闭环控制所述至少一个致动信号(20)，使得所述微振荡反射镜(16)以其共振频率被驱动，
其特征在于，
将所述至少一个位置信号(26)的振幅连续地与至少一个阈值(38a、38b、38c)进行比较，且在所述至少一个位置信号(26)通过至少一个阈值(38a、38b、38c)的至少两个通行之间确定至少一个时间间隔(42a、42b、42c)，并且基于所述至少一个时间间隔(42a、42b、42c)闭环控制所述至少一个致动信号(20)。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，至少一个阈值(38a、38b、38c)被预先定义为恒定值，和/或至少一个阈值(38a、38b、38c)能够以可变方式来设定。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述至少一个位置信号(26)的零交叉被预先定义为阈值(38c)，
-和/或所述至少一个阈值(38a)被预先定义为在所述至少一个位置信号(26)的振幅的最大值(50、62)之间，
-和/或所述至少一个阈值(38b)的振幅被预先定义为低于在所述至少一个位置信号(26)的不同脉冲(48、58)的振幅的最大值(50、62)，
-其中，所述至少一个位置信号(26)的脉冲(48、58)的振幅的最大值(50、62)在所述至少一个位置信号(26)的周期内以相同的符号出现。
4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，在所述至少一个位置信号(26)通过阈值(38a；38b)的通行与所述至少一个位置信号(26)在所述至少一个位置信号(26)的下一个周期中通过相同阈值(38a；38b)的通行之间的时间间隔(42a)被确定，并且由此确定所述微振荡反射镜(16)的振荡的周期持续时间。
5.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，在所述至少一个位置信号(26)通过第一阈值(38a)的通行与通过第二阈值(38b)的下一个通行之间的时间间隔(42b)被确定，并由此确定所述微振荡反射镜(16)的偏转(22)。
6.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，在所述至少一个位置信号(26)在所述至少一个位置信号(26)的下降脉冲(58)处通过阈值(38c)的通行与所述至少一个位置信号(26)在所述至少一个位置信号(26)的下一个上升脉冲(48)处通过相同的阈值(38c)的通行之间的时间间隔(42c)被确定，
-和/或在所述至少一个位置信号在所述至少一个位置信号的上升脉冲处通过阈值的通行与所述至少一个位置信号在所述至少一个位置信号的下一个下降脉冲处通过相同的阈值的通行之间的时间间隔被确定，
-并且从所述至少一个时间间隔(42c)确定所述至少一个致动信号(20)与所述至少一个位置信号(26)之间的相位关系。
7.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，
-在所述至少一个位置信号(26)的至少一个下降沿(54、64)中感测所述至少一个位置信号(26)通过所述至少一个阈值(38a、38b、38c)的至少一个通行，
-和/或在所述至少一个位置信号的至少一个上升沿中感测所述至少一个位置信号通过所述至少一个阈值的至少一个通行。
8.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，用至少一个数字/模拟转换器生成至少一个阈值(38a、38b、38c)，和/或用至少一个分压器生成至少一个阈值。
9.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，通过至少一个比较设备(40)将至少一个位置信号(26)与至少一个阈值(38a、38b、38c)进行比较。
10.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，所述至少一个致动信号(20)基于至少一个脉冲宽度调制的信号来实现。
11.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其特征在于，至少一个位置信号(26)基于所述驱动设备(18)的梳状电容来实现，所述梳状电容取决于所述微振荡反射镜(16)的偏转(22)。
12.一种控制装置(28)，用于控制微振荡反射镜(16)的至少一个驱动设备(18)，所述控制装置
-具有至少一个信号生成设备(32)，用于生成至少一个致动信号(20)，用所述至少一个致动信号能够致动所述至少一个驱动设备(18)，
-具有至少一个位置感测设备(24)，用所述至少一个位置感测设备(24)能够感测表征所述微振荡反射镜(16)的偏转(22)的至少一个位置信号(26)，
-并且具有至少一个设备(40)，其以闭环可控的方式连接到所述至少一个信号生成设备(32)，使得所述微振荡反射镜(16)能够以其共振频率被驱动，
其特征在于，
所述控制装置(28)具有至少一个比较设备(40)，能够用所述至少一个比较设备(40)将所述至少一个位置信号(26)与至少一个阈值(38a、38b、38c)连续地比较，能够用所述控制装置(28)确定所述至少一个位置信号(26)通过至少一个阈值(38a、38b、38c)的至少两个通行之间的至少一个时间间隔(42a、42b、42c)，并且能够基于所述至少一个时间间隔(42a、42b、42c)闭环控制所述至少一个致动信号(20)。
13.根据权利要求12所述的控制装置，其特征在于，所述控制装置具有至少一个数字/模拟转换器(36)和/或至少一个分压器，用于生成至少一个阈值(38a、38b、38c)。
14.根据权利要求12或13所述的控制装置，其特征在于，至少一个位置感测设备(24)和/或至少一个驱动设备(18)以至少一个梳状结构来实现。
15.一种光学检测装置(12)的偏转反射镜设备(14)，具有
-至少一个微振荡反射镜(16)，
-用于所述至少一个微振荡反射镜(16)的至少一个驱动设备(18)，以及
-用于控制所述至少一个驱动设备(18)的控制装置(28)，
-其中，所述控制装置(28)具有
-至少一个信号生成设备(32)，用于生成至少一个致动信号(20)，用所述至少一个致动信号能够致动所述至少一个驱动设备(18)，
-至少一个位置感测设备(24)，用所述至少一个位置感测设备(24)能够感测表征所述微振荡反射镜(16)的偏转(22)的至少一个位置信号(26)，
-以及至少一个设备(40)，其以闭环可控的方式连接到所述至少一个信号生成设备(32)，使得所述微振荡反射镜(16)能够以其共振频率被驱动，
其特征在于，
所述控制装置(28)具有至少一个比较设备(40)，能够用所述至少一个比较设备(40)将所述至少一个位置信号(26)与至少一个阈值(38a、38b、38c)连续地比较，能够用所述控制装置(28)确定所述至少一个位置信号(26)通过至少一个阈值(38a、38b、38c)的至少两个通行之间的至少一个时间间隔(42a、42b、42c)，并且能够基于所述至少一个时间间隔(42a、42b、42c)闭环控制所述至少一个致动信号(20)。
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|---|---|---|---|
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| DE102018114388.5A DE102018114388A1 (de) | 2018-06-15 | 2018-06-15 | Verfahren zur Steuerung einer Antriebseinrichtung eines Mikroschwingspiegels, Steuervorrichtung und Umlenkspiegeleinrichtung |
| PCT/EP2019/064435 WO2019238467A1 (de) | 2018-06-15 | 2019-06-04 | Verfahren zur steuerung einer antriebseinrichtung eines mikroschwingspiegels, steuervorrichtung und umlenkspiegeleinrichtung |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN112703417A true CN112703417A (zh) | 2021-04-23 |
Family
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201980040268.9A Pending CN112703417A (zh) | 2018-06-15 | 2019-06-04 | 控制微振荡反射镜的驱动设备的方法、控制装置和偏转反射镜设备 |
Country Status (6)
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|---|---|
| US (1) | US11988826B2 (zh) |
| EP (1) | EP3807672B1 (zh) |
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| ES (1) | ES2944482T3 (zh) |
| WO (1) | WO2019238467A1 (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114176768A (zh) * | 2021-12-10 | 2022-03-15 | 北京市汉华环球科技发展有限责任公司 | 一种点阵激光治疗仪中振镜偏转超时检测方法及装置 |
Citations (26)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| IT7928297A0 (it) * | 1979-01-02 | 1979-12-21 | Polaroid Corp | Macchina cinematografica con messa a fuoco automatica con risposta perfezionata alla messa a fuoco. |
| JP2005011861A (ja) * | 2003-06-17 | 2005-01-13 | Pentax Corp | ビームスポットのサイズを測定可能なパターン描画装置 |
| US20050099153A1 (en) * | 2003-09-10 | 2005-05-12 | Makoto Komatsu | Drive control method, drive control device, belt apparatus, image forming apparatus, image reading apparatus, computer product |
| JP2006006083A (ja) * | 2004-06-21 | 2006-01-05 | Ricoh Co Ltd | 駆動制御装置、駆動制御方法、画像形成装置、画像読取装置及びプログラム |
| JP2006123418A (ja) * | 2004-10-29 | 2006-05-18 | Ricoh Co Ltd | ビーム調整装置及び画像形成装置 |
| CN101361268A (zh) * | 2005-11-15 | 2009-02-04 | 模拟设备股份有限公司 | 定时器电路和方法 |
| CN101384942A (zh) * | 2006-02-13 | 2009-03-11 | 佳能株式会社 | 振荡器装置、光学偏转装置及其控制方法 |
| US20100067890A1 (en) * | 2008-09-13 | 2010-03-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Autofocus apparatus and method for controlling the same |
| US20110320046A1 (en) * | 2010-06-29 | 2011-12-29 | Headway Technologies, Inc. | Drive method for starting and operating a resonant scanning MEMS device at its resonant frequency |
| CN102804024A (zh) * | 2010-03-19 | 2012-11-28 | 船井电机株式会社 | 显示装置及具有投影仪功能的便携式设备 |
| US20120307211A1 (en) * | 2009-12-14 | 2012-12-06 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Deflection device for a projection apparatus, projection apparatus for projecting an image and method for controlling a deflection apparatus for a projection apparatus |
| JP2012252176A (ja) * | 2011-06-03 | 2012-12-20 | Canon Inc | 光学機器 |
| CN103019258A (zh) * | 2012-11-28 | 2013-04-03 | 中国人民解放军装甲兵工程学院 | 一种基于光学相控阵与逆向光学的多目标跟踪指示技术 |
| CN103429526A (zh) * | 2011-01-31 | 2013-12-04 | 英菲尼特斯马有限公司 | 自适应模式扫描探针显微镜 |
| EP2708914A1 (de) * | 2012-09-18 | 2014-03-19 | Sick Ag | Optoelektronischer Sensor und Verfahren zur Erfassung einer Tiefenkarte |
| CN104024883A (zh) * | 2012-01-02 | 2014-09-03 | 罗伯特·博世有限公司 | 用于借助至少一个声学脉冲确定运动辅助装置的周围环境中的至少一个物体的位置和/或运动的方法和周围环境检测设备 |
| GB201413526D0 (en) * | 2014-07-30 | 2014-09-10 | Deep Sea Electronics Plc | Threshold transition detector, RMS measurement and filter |
| CN105103005A (zh) * | 2013-04-08 | 2015-11-25 | 艾尔默斯半导体股份公司 | 尤其是作为泊车辅助的、借助超声波测量的方法，以及超声波测量系统 |
| US20150346484A1 (en) * | 2014-06-02 | 2015-12-03 | Mitsuo Suzuki | Optical scanning device, method of adjusting optical scanning device, and image forming apparatus |
| US20160100139A1 (en) * | 2014-10-02 | 2016-04-07 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Method for activating a deflection device for a projection device, a deflection device for a projection device, and a projection device |
| US20160259058A1 (en) * | 2015-03-05 | 2016-09-08 | Optech Incorporated | Laser scanning apparatus and method |
| CN106461394A (zh) * | 2014-06-26 | 2017-02-22 | 路梅戴尼科技公司 | 用于从非线性周期信号确定旋转的系统和方法 |
| US20170117110A1 (en) * | 2015-10-22 | 2017-04-27 | General Electric Company | Micro-electromechanical system relay circuit |
| CN106679608A (zh) * | 2017-02-27 | 2017-05-17 | 北京市汉华环球科技发展有限责任公司 | 振镜扫描系统中振镜电机偏转到位的检测方法和装置 |
| CN106713738A (zh) * | 2015-11-12 | 2017-05-24 | Lg电子株式会社 | 移动终端及其控制方法 |
| JP2022062738A (ja) * | 2020-10-09 | 2022-04-21 | ビアメカニクス株式会社 | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6879428B2 (en) | 2001-12-26 | 2005-04-12 | Intermec Ip Corp. | Frame grabbing with laser scanner with sweeping by silicon planar electrostatics actuator |
| IL201811A0 (en) * | 2009-10-29 | 2010-06-16 | Btendo Ltd | Method and device for monitoring movement of mirrors in a mems device |
| DE102017117697A1 (de) * | 2017-08-04 | 2019-02-07 | Valeo Schalter Und Sensoren Gmbh | Verfahren zum Betreiben einer Ablenkeinrichtung einer optischen Sensorvorrichtung eines Kraftfahrzeugs, Ablenkeinrichtung, optische Sensorvorrichtung sowie Kraftfahrzeug |
-
2018
- 2018-06-15 DE DE102018114388.5A patent/DE102018114388A1/de active Pending
-
2019
- 2019-06-04 CN CN201980040268.9A patent/CN112703417A/zh active Pending
- 2019-06-04 EP EP19733955.9A patent/EP3807672B1/de active Active
- 2019-06-04 US US16/973,199 patent/US11988826B2/en active Active
- 2019-06-04 WO PCT/EP2019/064435 patent/WO2019238467A1/de active Application Filing
- 2019-06-04 ES ES19733955T patent/ES2944482T3/es active Active
Patent Citations (28)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| IT7928297A0 (it) * | 1979-01-02 | 1979-12-21 | Polaroid Corp | Macchina cinematografica con messa a fuoco automatica con risposta perfezionata alla messa a fuoco. |
| JP2005011861A (ja) * | 2003-06-17 | 2005-01-13 | Pentax Corp | ビームスポットのサイズを測定可能なパターン描画装置 |
| US20050099153A1 (en) * | 2003-09-10 | 2005-05-12 | Makoto Komatsu | Drive control method, drive control device, belt apparatus, image forming apparatus, image reading apparatus, computer product |
| JP2006006083A (ja) * | 2004-06-21 | 2006-01-05 | Ricoh Co Ltd | 駆動制御装置、駆動制御方法、画像形成装置、画像読取装置及びプログラム |
| JP2006123418A (ja) * | 2004-10-29 | 2006-05-18 | Ricoh Co Ltd | ビーム調整装置及び画像形成装置 |
| CN101361268A (zh) * | 2005-11-15 | 2009-02-04 | 模拟设备股份有限公司 | 定时器电路和方法 |
| CN101384942A (zh) * | 2006-02-13 | 2009-03-11 | 佳能株式会社 | 振荡器装置、光学偏转装置及其控制方法 |
| US20100067890A1 (en) * | 2008-09-13 | 2010-03-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Autofocus apparatus and method for controlling the same |
| US20120307211A1 (en) * | 2009-12-14 | 2012-12-06 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Deflection device for a projection apparatus, projection apparatus for projecting an image and method for controlling a deflection apparatus for a projection apparatus |
| CN102804024A (zh) * | 2010-03-19 | 2012-11-28 | 船井电机株式会社 | 显示装置及具有投影仪功能的便携式设备 |
| US20110320046A1 (en) * | 2010-06-29 | 2011-12-29 | Headway Technologies, Inc. | Drive method for starting and operating a resonant scanning MEMS device at its resonant frequency |
| CN103429526A (zh) * | 2011-01-31 | 2013-12-04 | 英菲尼特斯马有限公司 | 自适应模式扫描探针显微镜 |
| JP2012252176A (ja) * | 2011-06-03 | 2012-12-20 | Canon Inc | 光学機器 |
| CN104024883A (zh) * | 2012-01-02 | 2014-09-03 | 罗伯特·博世有限公司 | 用于借助至少一个声学脉冲确定运动辅助装置的周围环境中的至少一个物体的位置和/或运动的方法和周围环境检测设备 |
| EP2708914A1 (de) * | 2012-09-18 | 2014-03-19 | Sick Ag | Optoelektronischer Sensor und Verfahren zur Erfassung einer Tiefenkarte |
| CN103019258A (zh) * | 2012-11-28 | 2013-04-03 | 中国人民解放军装甲兵工程学院 | 一种基于光学相控阵与逆向光学的多目标跟踪指示技术 |
| CN105103005A (zh) * | 2013-04-08 | 2015-11-25 | 艾尔默斯半导体股份公司 | 尤其是作为泊车辅助的、借助超声波测量的方法，以及超声波测量系统 |
| US20150346484A1 (en) * | 2014-06-02 | 2015-12-03 | Mitsuo Suzuki | Optical scanning device, method of adjusting optical scanning device, and image forming apparatus |
| CN106461394A (zh) * | 2014-06-26 | 2017-02-22 | 路梅戴尼科技公司 | 用于从非线性周期信号确定旋转的系统和方法 |
| GB201413526D0 (en) * | 2014-07-30 | 2014-09-10 | Deep Sea Electronics Plc | Threshold transition detector, RMS measurement and filter |
| US20160100139A1 (en) * | 2014-10-02 | 2016-04-07 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Method for activating a deflection device for a projection device, a deflection device for a projection device, and a projection device |
| CN105487224A (zh) * | 2014-10-02 | 2016-04-13 | 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 | 激活投影装置的偏转装置的方法、投影装置及其偏转装置 |
| US20160259058A1 (en) * | 2015-03-05 | 2016-09-08 | Optech Incorporated | Laser scanning apparatus and method |
| CN107533127A (zh) * | 2015-03-05 | 2018-01-02 | 特雷达欧谱泰科有限公司 | 改善的激光扫描的装置和方法 |
| US20170117110A1 (en) * | 2015-10-22 | 2017-04-27 | General Electric Company | Micro-electromechanical system relay circuit |
| CN106713738A (zh) * | 2015-11-12 | 2017-05-24 | Lg电子株式会社 | 移动终端及其控制方法 |
| CN106679608A (zh) * | 2017-02-27 | 2017-05-17 | 北京市汉华环球科技发展有限责任公司 | 振镜扫描系统中振镜电机偏转到位的检测方法和装置 |
| JP2022062738A (ja) * | 2020-10-09 | 2022-04-21 | ビアメカニクス株式会社 | レーザ加工装置及びレーザ加工方法 |
Non-Patent Citations (3)
| Title |
|---|
| 张丽杰;常佶;: "小型飞行器MEMS姿态测量系统", 振动.测试与诊断, no. 06, 15 December 2010 (2010-12-15) * |
| 柳强, 王月珠, 姚宝权, 王骐: "脉冲内腔光学参变振荡器的研究", 光学学报, no. 10, 5 October 2001 (2001-10-05) * |
| 陈明惠;范云平;张浩;陶建峰;田甜;郑刚;: "基于声光调谐的扫频光源", 光学精密工程, no. 11, 15 November 2016 (2016-11-15) * |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114176768A (zh) * | 2021-12-10 | 2022-03-15 | 北京市汉华环球科技发展有限责任公司 | 一种点阵激光治疗仪中振镜偏转超时检测方法及装置 |
| CN114176768B (zh) * | 2021-12-10 | 2024-01-30 | 北京市汉华环球科技发展有限责任公司 | 一种点阵激光治疗仪中振镜偏转超时检测方法及装置 |
Also Published As
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| US11988826B2 (en) | 2024-05-21 |
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