CN112599455A - 一种芯片清洗干燥设备 - Google Patents

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CN112599455A CN202110030073.5A CN202110030073A CN112599455A CN 112599455 A CN112599455 A CN 112599455A CN 202110030073 A CN202110030073 A CN 202110030073A CN 112599455 A CN112599455 A CN 112599455A
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邵俊洁
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Abstract

本发明公开的一种芯片清洗干燥设备，包括箱体，所述箱体内设有清洗干燥腔，所述清洗干燥腔内左壁中心处连通有通腔，所述通腔内设有能左右滑动的滑动杆，所述滑动杆上端面且位于所述清洗干燥腔内固定设有芯片，所述清洗干燥腔内后壁中心处设有能转动的转动电机轴，所述转动电机轴前端向前延伸至所述清洗干燥腔内中心处且外圆面固定设有转动杆，本发明通过先夹紧后自转的方式，先将芯片夹紧，再通过自转件转动时进行自转的方式，对芯片进行全方位均匀清洗及气体干燥工作，提高清洗及干燥效率的同时，能避免清洗液及高压气体对芯片长时间相同位置的冲击，防止因冲击力过大对芯片造成的损坏，降低了成本。

Description

一种芯片清洗干燥设备
技术领域
本发明涉及清洗干燥设备技术领域，具体为一种芯片清洗干燥设备。
背景技术
在芯片生产过程中，需要保持芯片表面清洁及干燥的程度，现有的芯片清洗方式一般通过人工利用清洁液体对芯片表面进行冲洗，而清洁液体的流量较高，持续对芯片表面冲洗容易造成芯片表面图案的损坏，同时用高压气体对芯片进行干燥工作的过程中，容易造成芯片的掉落，且芯片表面残留的液体，人眼较难察觉，未完全干燥的芯片容易聚集灰尘，造成影响，本发明阐述的一种芯片清洗干燥设备，能够解决上述问题。
发明内容
为解决上述问题，本例设计了一种芯片清洗干燥设备，本例的一种芯片清洗干燥设备，包括箱体，所述箱体内设有清洗干燥腔，所述清洗干燥腔内左壁中心处连通有通腔，所述通腔内设有能左右滑动的滑动杆，所述滑动杆上端面且位于所述清洗干燥腔内固定设有芯片，所述清洗干燥腔内后壁中心处设有能转动的转动电机轴，所述转动电机轴前端向前延伸至所述清洗干燥腔内中心处且外圆面固定设有转动杆，所述转动电机轴上下两侧且位于所述转动杆后侧对称设有环形齿条，所述环形齿条后端面与所述清洗干燥腔内后壁固定连接，所述转动杆左端外圆面设有能左右滑动的滑动套杆，所述滑动套杆左端面中心转动设有连接轴，所述连接轴左端向左延伸至所述滑动套杆左侧固定连接有能与所述环形齿条前端面齿纹啮合的自转件，所述自转件内设有开口向左的夹持腔，所述夹持腔内上下两壁之间固定设有固定轴，所述固定轴外圆面上下两侧对称且滑动设有夹持杆，所述自转件内且位于所述夹持腔上下两侧对称设有能左右滑动的横向滑动杆，当上下两侧所述横向滑动杆向右滑动时，能带动上下两侧所述横向滑动杆分别向远离所述连接轴方向滑动，将所述芯片放置于上下两侧所述夹持杆之间，当所述滑动套杆向右滑动时，带动所述自转件向右滑动进而带动上下两侧所述横向滑动杆复位，上下两侧所述夹持杆将所述芯片夹紧，防止其掉落，所述转动电机轴带动所述转动杆进行逆时针转动，进而带动所述自转件外圆面与下侧所述环形齿条前端面相啮合，此时当所述自转件逆时针转动时，能同时带动所述芯片进行自转，所述清洗干燥腔内上下两壁对称且固定设有固定柱，下侧所述固定柱能对自转的所述芯片进行清洗，当所述自转件与上侧所述环形齿条相啮合时，上侧所述固定柱能对自转的所述芯片进行干燥处理，当所述自转件逆时针转动一周后，通过所述通腔将干净的所述芯片取出。
可优选的，所述滑动套杆内且位于所述连接轴右侧设有开口向右的转动杆腔，所述转动杆左端外圆面与所述转动杆腔内壁滑动连接，所述连接轴与所述转动杆腔之间固定设有固定电机，所述固定电机上下两侧对称设有动力腔，所述固定电机上下两端对称且动力连接有固定电机轴，上下两侧所述固定电机轴分别延伸至上下两侧所述动力腔内固定设有动力锥齿轮，所述动力腔内左壁中心转动设有从动锥齿轮轴，所述从动锥齿轮轴位于所述动力腔内一端固定设有与所述动力锥齿轮相啮合的从动锥齿轮，所述从动锥齿轮轴左端外圆面螺纹连接有内外螺纹套杆，所述滑动套杆左端面且位于所述内外螺纹套杆远离所述连接轴一侧固定设有环形电磁铁。
可优选的，所述自转件右端面且位于所述连接轴上下两侧对称设有开口向右的内外螺纹套杆腔，所述内外螺纹套杆外圆面与所述内外螺纹套杆腔内壁螺纹连接，所述自转件右端面且位于所述内外螺纹套杆腔远离所述连接轴一侧固定设有能与所述环形电磁铁磁性连接的环形磁铁，所述自转件内且位于所述夹持腔上下两侧对称设有开口向左的横向滑动杆腔，所述横向滑动杆能于所述横向滑动杆腔内左右滑动，所述横向滑动杆右端面与所述横向滑动杆腔内右壁之间固定设有横向滑动杆弹簧，所述横向滑动杆靠近所述夹持腔一端面设有开口向所述夹持腔的连接腔，上下两侧所述夹持杆远离所述连接轴一端面分别与所述夹持腔上下两壁之间固定设有夹持杆弹簧，所述夹持腔上下两壁分别与上下两侧所述横向滑动杆腔内靠近所述连接轴一侧内壁之间连通有限位腔，所述限位腔内设有能上下滑动的限位杆，所述限位杆位于所述夹持腔一端与所述夹持杆远离所述连接轴一端面固定连接。
可优选的，所述滑动套杆右侧且位于所述转动杆外圆面固定设有固定块，所述固定块内上端右侧固定设有伸缩电机，所述固定块内且位于所述伸缩电机左侧设有环形的带轮腔，所述带轮腔内环形阵列设有带轮轴，所述带轮轴外圆面固定设有带轮，所述带轮外圆面绕设有同步带，上下两侧所述带轮轴左端分别向左延伸至所述滑动套杆内与所述滑动套杆螺纹连接，上侧所述带轮轴右端向右延伸至所述固定块内与所述伸缩电机左端面动力连接。
可优选的，所述箱体内后端且位于所述转动电机轴后侧固定设有转动电机，所述转动电机轴后端向后延伸至所述箱体内与所述转动电机前端面动力连接，所述转动电机与所述清洗干燥腔之间设有齿轮离合腔，所述转动电机轴位于所述齿轮离合腔内外圆面固定连接有固定锥齿轮，所述箱体内后端且位于所述齿轮离合腔上下两侧对称设有活塞板腔，上下两侧所述活塞板腔内分别设有能左右滑动的活塞板，所述活塞板腔内右端内壁固定设有过滤板，所述活塞板腔内右壁中心固定连接有与外界相连接的进口单向阀，所述活塞板腔内远离所述齿轮离合腔一侧内壁固定连接有出口单向阀。
可优选的，所述齿轮离合腔内上下两壁对称且转动设有转动件，所述转动件位于所述齿轮离合腔内一端固定设有能与所述固定锥齿轮相啮合的切换锥齿轮，所述转动件远离所述齿轮离合腔一端且位于所述箱体内设有转动件腔，所述转动件位于所述转动件腔内一端固定设有转动件磁铁，所述转动件腔内远离所述齿轮离合腔一侧内壁固定设有与所述转动件磁铁磁性连接的固定电磁铁，所述转动件内花键连接有花键轴，上下两侧所述花键轴远离所述齿轮离合腔一端分别延伸至上下两侧所述活塞板腔内固定设有转杆，所述转杆远离转动中心一端铰链连接有连杆，所述连杆靠近所述过滤板一端固定与所述活塞板左端面铰链连接。
可优选的，所述滑动杆外圆面且位于所述箱体左侧固定设有滑动杆限位板，所述滑动杆右端面与所述清洗干燥腔内左壁分别固定设有连接固定杆，所述内上下两壁对称且均匀阵列设有固定柱，所述固定柱内靠近所述环形齿条一端固定设有连接管出口，下侧所述连接管出口远离所述环形齿条一侧内壁与下侧所述出口单向阀相连接，上侧所述连接管出口远离所述环形齿条一侧内壁与上侧所述出口单向阀相连接，所述清洗干燥腔内壁且位于所述转动电机轴上端左右两侧对称且固定设有上红外感应器，所述清洗干燥腔内壁且位于所述转动电机轴下端左右两侧对称且固定设有下红外感应器。
本发明的有益效果是：本发明通过先夹紧后自转的方式，先将芯片夹紧，再通过自转件转动时进行自转的方式，对芯片进行全方位均匀清洗及气体干燥工作，提高清洗及干燥效率的同时，能避免清洗液及高压气体对芯片长时间相同位置的冲击，防止因冲击力过大对芯片造成的损坏，降低了成本。
附图说明
为了更清楚地说明发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是本发明的整体结构示意图。
图2是图1中A-A的结构示意图。
图3是图1中B的放大结构示意图。
图4是图3中C-C的结构示意图。
图5是图2中D的放大结构示意图。
具体实施方式
下面结合图1-5对本发明进行详细说明，其中，为叙述方便，现对下文所说的方位规定如下：下文所说的上下左右前后方向与图1本身投影关系的上下左右前后方向一致。
本发明所述的，一种芯片清洗干燥设备，包括箱体11，所述箱体11内设有清洗干燥腔16，所述清洗干燥腔16内左壁中心处连通有通腔71，所述通腔71内设有能左右滑动的滑动杆15，所述滑动杆15上端面且位于所述清洗干燥腔16内固定设有芯片72，所述清洗干燥腔16内后壁中心处设有能转动的转动电机轴22，所述转动电机轴22前端向前延伸至所述清洗干燥腔16内中心处且外圆面固定设有转动杆17，所述转动电机轴22上下两侧且位于所述转动杆17后侧对称设有环形齿条19，所述环形齿条19后端面与所述清洗干燥腔16内后壁固定连接，所述转动杆17左端外圆面设有能左右滑动的滑动套杆50，所述滑动套杆50左端面中心转动设有连接轴53，所述连接轴53左端向左延伸至所述滑动套杆50左侧固定连接有能与所述环形齿条19前端面齿纹啮合的自转件39，所述自转件39内设有开口向左的夹持腔34，所述夹持腔34内上下两壁之间固定设有固定轴46，所述固定轴46外圆面上下两侧对称且滑动设有夹持杆33，所述自转件39内且位于所述夹持腔34上下两侧对称设有能左右滑动的横向滑动杆43，当上下两侧所述横向滑动杆43向右滑动时，能带动上下两侧所述横向滑动杆43分别向远离所述连接轴53方向滑动，将所述芯片72放置于上下两侧所述夹持杆33之间，当所述滑动套杆50向右滑动时，带动所述自转件39向右滑动进而带动上下两侧所述横向滑动杆43复位，上下两侧所述夹持杆33将所述芯片72夹紧，防止其掉落，所述转动电机轴22带动所述转动杆17进行逆时针转动，进而带动所述自转件39外圆面与下侧所述环形齿条19前端面相啮合，此时当所述自转件39逆时针转动时，能同时带动所述芯片72进行自转，所述清洗干燥腔16内上下两壁对称且固定设有固定柱21，下侧所述固定柱21能对自转的所述芯片72进行清洗，当所述自转件39与上侧所述环形齿条19相啮合时，上侧所述固定柱21能对自转的所述芯片72进行干燥处理，当所述自转件39逆时针转动一周后，通过所述通腔71将干净的所述芯片72取出。
有益地，所述滑动套杆50内且位于所述连接轴53右侧设有开口向右的转动杆腔58，所述转动杆17左端外圆面与所述转动杆腔58内壁滑动连接，所述连接轴53与所述转动杆腔58之间固定设有固定电机48，所述固定电机48上下两侧对称设有动力腔35，所述固定电机48上下两端对称且动力连接有固定电机轴49，上下两侧所述固定电机轴49分别延伸至上下两侧所述动力腔35内固定设有动力锥齿轮36，所述动力腔35内左壁中心转动设有从动锥齿轮轴52，所述从动锥齿轮轴52位于所述动力腔35内一端固定设有与所述动力锥齿轮36相啮合的从动锥齿轮51，所述从动锥齿轮轴52左端外圆面螺纹连接有内外螺纹套杆44，所述滑动套杆50左端面且位于所述内外螺纹套杆44远离所述连接轴53一侧固定设有环形电磁铁37。
有益地，所述自转件39右端面且位于所述连接轴53上下两侧对称设有开口向右的内外螺纹套杆腔45，所述内外螺纹套杆44外圆面与所述内外螺纹套杆腔45内壁螺纹连接，所述自转件39右端面且位于所述内外螺纹套杆腔45远离所述连接轴53一侧固定设有能与所述环形电磁铁37磁性连接的环形磁铁38，所述自转件39内且位于所述夹持腔34上下两侧对称设有开口向左的横向滑动杆腔40，所述横向滑动杆43能于所述横向滑动杆腔40内左右滑动，所述横向滑动杆43右端面与所述横向滑动杆腔40内右壁之间固定设有横向滑动杆弹簧41，所述横向滑动杆43靠近所述夹持腔34一端面设有开口向所述夹持腔34的连接腔42，上下两侧所述夹持杆33远离所述连接轴53一端面分别与所述夹持腔34上下两壁之间固定设有夹持杆弹簧54，所述夹持腔34上下两壁分别与上下两侧所述横向滑动杆腔40内靠近所述连接轴53一侧内壁之间连通有限位腔31，所述限位腔31内设有能上下滑动的限位杆32，所述限位杆32位于所述夹持腔34一端与所述夹持杆33远离所述连接轴53一端面固定连接。
有益地，所述滑动套杆50右侧且位于所述转动杆17外圆面固定设有固定块56，所述固定块56内上端右侧固定设有伸缩电机55，所述固定块56内且位于所述伸缩电机55左侧设有环形的带轮腔59，所述带轮腔59内环形阵列设有带轮轴60，所述带轮轴60外圆面固定设有带轮57，所述带轮57外圆面绕设有同步带61，上下两侧所述带轮轴60左端分别向左延伸至所述滑动套杆50内与所述滑动套杆50螺纹连接，上侧所述带轮轴60右端向右延伸至所述固定块56内与所述伸缩电机55左端面动力连接。
有益地，所述箱体11内后端且位于所述转动电机轴22后侧固定设有转动电机26，所述转动电机轴22后端向后延伸至所述箱体11内与所述转动电机26前端面动力连接，所述转动电机26与所述清洗干燥腔16之间设有齿轮离合腔69，所述转动电机轴22位于所述齿轮离合腔69内外圆面固定连接有固定锥齿轮62，所述箱体11内后端且位于所述齿轮离合腔69上下两侧对称设有活塞板腔29，上下两侧所述活塞板腔29内分别设有能左右滑动的活塞板24，所述活塞板腔29内右端内壁固定设有过滤板27，所述活塞板腔29内右壁中心固定连接有与外界相连接的进口单向阀28，所述活塞板腔29内远离所述齿轮离合腔69一侧内壁固定连接有出口单向阀30。
有益地，所述齿轮离合腔69内上下两壁对称且转动设有转动件66，所述转动件66位于所述齿轮离合腔69内一端固定设有能与所述固定锥齿轮62相啮合的切换锥齿轮70，所述转动件66远离所述齿轮离合腔69一端且位于所述箱体11内设有转动件腔67，所述转动件66位于所述转动件腔67内一端固定设有转动件磁铁68，所述转动件腔67内远离所述齿轮离合腔69一侧内壁固定设有与所述转动件磁铁68磁性连接的固定电磁铁63，所述转动件66内花键连接有花键轴65，上下两侧所述花键轴65远离所述齿轮离合腔69一端分别延伸至上下两侧所述活塞板腔29内固定设有转杆25，所述转杆25远离转动中心一端铰链连接有连杆23，所述连杆23靠近所述过滤板27一端固定与所述活塞板24左端面铰链连接。
有益地，所述滑动杆15外圆面且位于所述箱体11左侧固定设有滑动杆限位板14，所述滑动杆15右端面与所述清洗干燥腔16内左壁分别固定设有连接固定杆12，所述16内上下两壁对称且均匀阵列设有固定柱21，所述固定柱21内靠近所述环形齿条19一端固定设有连接管出口18，下侧所述连接管出口18远离所述环形齿条19一侧内壁与下侧所述出口单向阀30相连接，上侧所述连接管出口18远离所述环形齿条19一侧内壁与上侧所述出口单向阀30相连接，所述清洗干燥腔16内壁且位于所述转动电机轴22上端左右两侧对称且固定设有上红外感应器13，所述清洗干燥腔16内壁且位于所述转动电机轴22下端左右两侧对称且固定设有下红外感应器20。
以下结合图1至图5对本文中的一种芯片清洗干燥设备的使用步骤进行详细说明：
初始状态时，需要清洗干燥的芯片72位于滑动杆15上端面，横向滑动杆弹簧41处于自然状态，夹持杆弹簧54处于拉伸状态，内外螺纹套杆44与内外螺纹套杆腔45螺纹连接，转动电机26、固定电机48、及伸缩电机55停止工作，切换锥齿轮70与固定锥齿轮62分离。
工作时，伸缩电机55启动，带动上侧带轮轴60转动，上侧带轮轴60带动上侧带轮57进行转动，上侧带轮57通过同步带61带动其余三个带轮57进行同步转动，进而通过下侧带轮57带动下侧带轮轴60转动，上下两侧带轮轴60同时转动通过螺纹连接带动滑动套杆50向左滑动，滑动套杆50通过连接轴53带动自转件39向左滑动，自转件39通过横向滑动杆弹簧41带动横向滑动杆43向左移动至横向滑动杆43左端面与连接固定杆12右端面相抵，进而通过连接固定杆12带动横向滑动杆43于横向滑动杆腔40内向右滑动，横向滑动杆43带动连接腔42向右滑动至与相邻的限位腔31相连通，限位杆32滑动进入连接腔42内，此时限位杆32不再限制夹持杆33，夹持杆弹簧54带动夹持杆33向远离连接轴53方向移动，将芯片72放入上下两侧夹持杆33之间，伸缩电机55反转，带动自转件39向右滑动至复位，此时连接固定杆12不再与横向滑动杆43相抵，横向滑动杆43通过横向滑动杆弹簧41自身回复力进行向左移动至复位，进而带动限位杆32复位，上下两侧夹持杆33向靠近连接轴53方向滑动，进而将芯片72夹持于上下两侧夹持杆33之间；
转动电机26启动，带动转动电机轴22转动，转动电机轴22带动固定锥齿轮62进行转动的同时，通过固定连接带动转动杆17进行逆时针转动，此时固定电机48启动，带动固定电机轴49转动，进而带动动力锥齿轮36进行转动，动力锥齿轮36通过齿轮啮合带动从动锥齿轮51转动，从动锥齿轮51带动从动锥齿轮轴52转动进而通过螺纹连接带动内外螺纹套杆44向右滑动，当内外螺纹套杆44向右移动至滑动套杆50内时，内外螺纹套杆44与内外螺纹套杆腔45内壁脱离螺纹连接状态，此时自转件39不再与滑动套杆50固定，当转动杆17向下转动至自转件39外圆面与环形齿条19前端面相啮合，环形齿条19前端面齿纹能带动自转件39以连接轴53为转动中心进行自转；
当自转件39经过左侧下红外感应器20时，左侧下红外感应器20启动下侧固定电磁铁63，下侧固定电磁铁63通过磁性连接带动下侧转动件磁铁68向齿轮离合腔69方向移动，下侧转动件磁铁68带动下侧转动件66向齿轮离合腔69方向移动至下侧切换锥齿轮70与固定锥齿轮62相啮合，下侧切换锥齿轮70转动带动下侧转动件66进行转动，进而带动下侧花键轴65转动，下侧花键轴65带动下侧转杆25转动进而通过铰链连接带动下侧连杆23转动，下侧连杆23通过铰链连接带动下侧活塞板24不断的左右往复移动，从而带动外界清洁液体通过下侧进口单向阀28进入下侧活塞板腔29内，再将下侧活塞板腔29内液体通过下侧出口单向阀30进入下侧连接管出口18内，对此时自转的芯片72进行全方位清洗工作，当自转件39经过右侧下红外感应器20时，右侧下红外感应器20停止下侧固定电磁铁63工作，进而通过下侧固定电磁铁弹簧64带动下侧转动件66及下侧切换锥齿轮70复位，此时下侧切换锥齿轮70与固定锥齿轮62分离；
当清洗后的自转件39逆时针转动经过右侧上红外感应器13时，右侧上红外感应器13启动上侧固定电磁铁63，上侧固定电磁铁63通过磁性连接带动上侧转动件磁铁68向齿轮离合腔69方向移动，上侧转动件磁铁68带动上侧转动件66向齿轮离合腔69方向移动至上侧切换锥齿轮70与固定锥齿轮62相啮合，上侧切换锥齿轮70转动带动上侧转动件66进行转动，进而带动上侧花键轴65转动，上侧花键轴65带动上侧转杆25转动进而通过铰链连接带动上侧连杆23转动，上侧连杆23通过铰链连接带动上侧活塞板24不断的左右往复移动，从而带动外界干净气体通过上侧进口单向阀28进入上侧活塞板腔29内，再将上侧活塞板腔29内气体通过上侧出口单向阀30进入上侧连接管出口18内，对此时自转的芯片72进行全方位干燥工作，当自转件39经过左侧上红外感应器13时，左侧上红外感应器13停止上侧固定电磁铁63工作，进而通过上侧固定电磁铁弹簧64带动上侧转动件66及上侧切换锥齿轮70复位，此时上侧切换锥齿轮70与固定锥齿轮62分离，此时芯片72经过气体吹干，处于干燥状态，当自转件39经过左侧上红外感应器13时，环形电磁铁37启动，当此时转动杆17自转时带动环形磁铁38与环形电磁铁37相接触，环形电磁铁37通过磁性连接固定环形磁铁38，此时自转件39停止自转，固定电机48反转，带动内外螺纹套杆44向左滑动进入内外螺纹套杆腔45内与内外螺纹套杆腔45内螺纹连接，进而将自转件39与滑动套杆50固定，通过滑动杆15将干净干燥的芯片72通过通腔71取出，完成清洗干燥工作。
本发明的有益效果是：本发明通过先夹紧后自转的方式，先将芯片夹紧，再通过自转件转动时进行自转的方式，对芯片进行全方位均匀清洗及气体干燥工作，提高清洗及干燥效率的同时，能避免清洗液及高压气体对芯片长时间相同位置的冲击，防止因冲击力过大对芯片造成的损坏，降低了成本。
上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此领域技术的人士能够了解本发明内容并加以实施，并不能以此限制本发明的保护范围。凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围内。

Claims (7)

1.一种芯片清洗干燥设备，包括箱体，其特征在于：所述箱体内设有清洗干燥腔，所述清洗干燥腔内左壁中心处连通有通腔，所述通腔内设有能左右滑动的滑动杆，所述滑动杆上端面且位于所述清洗干燥腔内固定设有芯片，所述清洗干燥腔内后壁中心处设有能转动的转动电机轴，所述转动电机轴前端向前延伸至所述清洗干燥腔内中心处且外圆面固定设有转动杆，所述转动电机轴上下两侧且位于所述转动杆后侧对称设有环形齿条，所述环形齿条后端面与所述清洗干燥腔内后壁固定连接，所述转动杆左端外圆面设有能左右滑动的滑动套杆，所述滑动套杆左端面中心转动设有连接轴，所述连接轴左端向左延伸至所述滑动套杆左侧固定连接有能与所述环形齿条前端面齿纹啮合的自转件，所述自转件内设有开口向左的夹持腔，所述夹持腔内上下两壁之间固定设有固定轴，所述固定轴外圆面上下两侧对称且滑动设有夹持杆，所述自转件内且位于所述夹持腔上下两侧对称设有能左右滑动的横向滑动杆，当上下两侧所述横向滑动杆向右滑动时，能带动上下两侧所述横向滑动杆分别向远离所述连接轴方向滑动，将所述芯片放置于上下两侧所述夹持杆之间，当所述滑动套杆向右滑动时，带动所述自转件向右滑动进而带动上下两侧所述横向滑动杆复位，上下两侧所述夹持杆将所述芯片夹紧，防止其掉落，所述转动电机轴带动所述转动杆进行逆时针转动，进而带动所述自转件外圆面与下侧所述环形齿条前端面相啮合，此时当所述自转件逆时针转动时，能同时带动所述芯片进行自转，所述清洗干燥腔内上下两壁对称且固定设有固定柱，下侧所述固定柱能对自转的所述芯片进行清洗，当所述自转件与上侧所述环形齿条相啮合时，上侧所述固定柱能对自转的所述芯片进行干燥处理，当所述自转件逆时针转动一周后，通过所述通腔将干净的所述芯片取出。
2.如权利要求1所述的一种芯片清洗干燥设备，其特征在于：所述滑动套杆内且位于所述连接轴右侧设有开口向右的转动杆腔，所述转动杆左端外圆面与所述转动杆腔内壁滑动连接，所述连接轴与所述转动杆腔之间固定设有固定电机，所述固定电机上下两侧对称设有动力腔，所述固定电机上下两端对称且动力连接有固定电机轴，上下两侧所述固定电机轴分别延伸至上下两侧所述动力腔内固定设有动力锥齿轮，所述动力腔内左壁中心转动设有从动锥齿轮轴，所述从动锥齿轮轴位于所述动力腔内一端固定设有与所述动力锥齿轮相啮合的从动锥齿轮，所述从动锥齿轮轴左端外圆面螺纹连接有内外螺纹套杆，所述滑动套杆左端面且位于所述内外螺纹套杆远离所述连接轴一侧固定设有环形电磁铁。
3.如权利要求1所述的一种芯片清洗干燥设备，其特征在于：所述自转件右端面且位于所述连接轴上下两侧对称设有开口向右的内外螺纹套杆腔，所述内外螺纹套杆外圆面与所述内外螺纹套杆腔内壁螺纹连接，所述自转件右端面且位于所述内外螺纹套杆腔远离所述连接轴一侧固定设有能与所述环形电磁铁磁性连接的环形磁铁，所述自转件内且位于所述夹持腔上下两侧对称设有开口向左的横向滑动杆腔，所述横向滑动杆能于所述横向滑动杆腔内左右滑动，所述横向滑动杆右端面与所述横向滑动杆腔内右壁之间固定设有横向滑动杆弹簧，所述横向滑动杆靠近所述夹持腔一端面设有开口向所述夹持腔的连接腔，上下两侧所述夹持杆远离所述连接轴一端面分别与所述夹持腔上下两壁之间固定设有夹持杆弹簧，所述夹持腔上下两壁分别与上下两侧所述横向滑动杆腔内靠近所述连接轴一侧内壁之间连通有限位腔，所述限位腔内设有能上下滑动的限位杆，所述限位杆位于所述夹持腔一端与所述夹持杆远离所述连接轴一端面固定连接。
4.如权利要求1所述的一种芯片清洗干燥设备，其特征在于：所述滑动套杆右侧且位于所述转动杆外圆面固定设有固定块，所述固定块内上端右侧固定设有伸缩电机，所述固定块内且位于所述伸缩电机左侧设有环形的带轮腔，所述带轮腔内环形阵列设有带轮轴，所述带轮轴外圆面固定设有带轮，所述带轮外圆面绕设有同步带，上下两侧所述带轮轴左端分别向左延伸至所述滑动套杆内与所述滑动套杆螺纹连接，上侧所述带轮轴右端向右延伸至所述固定块内与所述伸缩电机左端面动力连接。
5.如权利要求1所述的一种芯片清洗干燥设备，其特征在于：所述箱体内后端且位于所述转动电机轴后侧固定设有转动电机，所述转动电机轴后端向后延伸至所述箱体内与所述转动电机前端面动力连接，所述转动电机与所述清洗干燥腔之间设有齿轮离合腔，所述转动电机轴位于所述齿轮离合腔内外圆面固定连接有固定锥齿轮，所述箱体内后端且位于所述齿轮离合腔上下两侧对称设有活塞板腔，上下两侧所述活塞板腔内分别设有能左右滑动的活塞板，所述活塞板腔内右端内壁固定设有过滤板，所述活塞板腔内右壁中心固定连接有与外界相连接的进口单向阀，所述活塞板腔内远离所述齿轮离合腔一侧内壁固定连接有出口单向阀。
6.如权利要求5所述的一种芯片清洗干燥设备，其特征在于：所述齿轮离合腔内上下两壁对称且转动设有转动件，所述转动件位于所述齿轮离合腔内一端固定设有能与所述固定锥齿轮相啮合的切换锥齿轮，所述转动件远离所述齿轮离合腔一端且位于所述箱体内设有转动件腔，所述转动件位于所述转动件腔内一端固定设有转动件磁铁，所述转动件腔内远离所述齿轮离合腔一侧内壁固定设有与所述转动件磁铁磁性连接的固定电磁铁，所述转动件内花键连接有花键轴，上下两侧所述花键轴远离所述齿轮离合腔一端分别延伸至上下两侧所述活塞板腔内固定设有转杆，所述转杆远离转动中心一端铰链连接有连杆，所述连杆靠近所述过滤板一端固定与所述活塞板左端面铰链连接。
7.如权利要求6所述的一种芯片清洗干燥设备，其特征在于：所述滑动杆外圆面且位于所述箱体左侧固定设有滑动杆限位板，所述滑动杆右端面与所述清洗干燥腔内左壁分别固定设有连接固定杆，所述内上下两壁对称且均匀阵列设有固定柱，所述固定柱内靠近所述环形齿条一端固定设有连接管出口，下侧所述连接管出口远离所述环形齿条一侧内壁与下侧所述出口单向阀相连接，上侧所述连接管出口远离所述环形齿条一侧内壁与上侧所述出口单向阀相连接，所述清洗干燥腔内壁且位于所述转动电机轴上端左右两侧对称且固定设有上红外感应器，所述清洗干燥腔内壁且位于所述转动电机轴下端左右两侧对称且固定设有下红外感应器。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN115684609A (zh) * 2022-12-30 2023-02-03 港龙生物技术（深圳）有限公司 生物芯片前处理操作系统及方法

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