CN112555112B - 基于3d增材制造的离子推力器内表面纹理化异形结构阳极 - Google Patents

基于3d增材制造的离子推力器内表面纹理化异形结构阳极 Download PDF

Info

Publication number
CN112555112B
CN112555112B CN202011233343.4A CN202011233343A CN112555112B CN 112555112 B CN112555112 B CN 112555112B CN 202011233343 A CN202011233343 A CN 202011233343A CN 112555112 B CN112555112 B CN 112555112B
Authority
CN
China
Prior art keywords
anode
additive manufacturing
anode cylinder
ion thruster
textured
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202011233343.4A
Other languages
English (en)
Other versions
CN112555112A (zh
Inventor
赵以德
李建鹏
耿海
景兆梅
吴宗海
郭德洲
李娟�
池秀芬
杨福全
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Lanzhou Institute of Physics of Chinese Academy of Space Technology
Original Assignee
Lanzhou Institute of Physics of Chinese Academy of Space Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Lanzhou Institute of Physics of Chinese Academy of Space Technology filed Critical Lanzhou Institute of Physics of Chinese Academy of Space Technology
Priority to CN202011233343.4A priority Critical patent/CN112555112B/zh
Publication of CN112555112A publication Critical patent/CN112555112A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN112555112B publication Critical patent/CN112555112B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F03MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS; WIND, SPRING, OR WEIGHT MOTORS; PRODUCING MECHANICAL POWER OR A REACTIVE PROPULSIVE THRUST, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F03HPRODUCING A REACTIVE PROPULSIVE THRUST, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F03H1/00Using plasma to produce a reactive propulsive thrust
    • F03H1/0006Details applicable to different types of plasma thrusters

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)

Abstract

本发明公开了基于3D增材制造的离子推力器内表面纹理化异形结构阳极,包括锥形阳极筒和柱形阳极筒,所述锥形阳极筒和柱形阳极筒通过3D增材制造技术一体生长制成,并在阳极筒内表面一体制造纹理结构;所述纹理结构为呈正六边形排布,直径和间隙均小于1mm的圆形凸台,正六边形的每个顶角和中心均设置一个圆形凸台;本发明能够免去异形结构阳极分开加工再焊接工序,增加了放电室溅射沉积物与阳极表面的结合力以及可牢固附着沉积层的厚度,从而降低沉积物破裂和脱落的风险。

Description

基于3D增材制造的离子推力器内表面纹理化异形结构阳极
技术领域
本发明属于电推进技术领域,具体涉及一种基于3D增材制造的离子推力器内表面纹理化异形结构阳极。
背景技术
电推进技术作为一种先进空间推进技术,已经在空间各个应用领域得到了广泛应用,包括姿态控制、南北位置保持、轨道转移、大气阻尼补偿、深空探测主推进等。尤其在深空探测任务中,电推进技术以其高比冲、长寿命等特点,可以大大节省推进剂携带量,增加航天器有效载荷比例,具有很强的优势。
离子推力器有上百种失效模式,其中放电室溅射沉积物脱落造成电极间短路是离子推力器的主要失效模式之一。前期通过在放电室阳极内表面再焊接一层金属网的方法提高放电室溅射沉积物附着力和可牢固附着沉积层厚度,这种方法一方面由于受阳极结构限制,不能通过扩散焊等能实现大面积焊接的方法使金属网与阳极所有位置都焊接连接,而是通过电阻焊分散点焊接。金属网在未焊接点位置,在推力器开关机和较高工作温度作用下鼓起,造成放电室性能变差;另一方面金属丝网边缘掉丝,成为多余物,造成推力器短路失效。
发明内容
有鉴于此,本发明提供了一种基于3D增材制造的离子推力器内表面纹理化异形结构阳极,能够免去异形结构阳极分开加工再焊接工序,增加了放电室溅射沉积物与阳极表面的结合力以及可牢固附着沉积层的厚度,从而降低沉积物破裂和脱落的风险。
实现本发明的技术方案如下:
基于3D增材制造的离子推力器内表面纹理化异形结构阳极,包括锥形阳极筒和柱形阳极筒,所述锥形阳极筒和柱形阳极筒通过3D增材制造技术一体生长制成,并在阳极筒内表面一体制造纹理结构;所述纹理结构为呈正六边形排布,直径和间隙均小于1mm的圆形凸台,正六边形的每个顶角和中心均设置一个圆形凸台。
进一步地,所述圆形凸台直径为0.8mm。
进一步地,所述圆形凸台高为0.5mm。
进一步地,相邻两个圆形凸台的圆心距为1.6mm。
进一步地,所述锥形阳极筒和柱形阳极筒的材料为钛合金。
有益效果:
本发明的基于3D增材制造的离子推力器内表面纹理化异形结构阳极,首先缩短了加工周期和加工成本,免去了焊接等工序;其次杜绝了传统焊接金属网的方法带来的未焊接点位置金属网鼓起、掉丝等问题;再次可牢固附着沉积层厚度达增加一个数量级,大幅提升了推力器工作可靠性。
附图说明
图1为本发明结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图并举实施例,对本发明进行详细描述。
本发明提供了一种基于3D增材制造的离子推力器内表面纹理化异形结构阳极,如图1所示,包括锥形阳极筒和柱形阳极筒,阳极筒材料为钛合金,所述锥形阳极筒和柱形阳极筒通过3D增材制造技术一体生长制成,并在阳极筒内表面一体制造纹理结构;本发明基于3D增材制造技术将锥形和柱形阳极筒一体生长制成,免去了异形结构阳极分开加工再焊接工序,更为重要的是3D增材制造技术在阳极筒内表面生长了精密纹理化结构,这种纹理化结构一方面增加了放电室溅射沉积物与阳极表面的结合力以及可牢固附着沉积层的厚度,从而降低沉积物破裂和脱落,造成电极短路的风险;另一方面将阳极表面产生的沉积物分隔为尺寸细小的碎片,碎片尺寸小于离子推力器电极最小间隙,控制沉积层脱落时的尺寸,进一步降低放电室内电极间短路风险。外表面发射率大于0.8,能有效降低放电室温度。
所述纹理结构为呈正六边形排布的圆形凸台,正六边形的每个顶角和中心均设置一个圆形凸台。圆形凸台直径为0.8mm,圆形凸台高为0.5mm,相邻两个圆形凸台的圆心距为1.6mm。
实施例:
以下给出我国LIPS-300离子推力器工程样机产品实施例和实施前后对比情况。
1.未实施本发明前,无金属网的阳极情况下,LIPS-300推力器在3kW工况下工作1000h时放电室发现脱落沉积物;焊接金属网的阳极情况下,LIPS-300推力器在5kW工况下完成24h工作后,未焊接点金属网鼓起;
2.本发明实施,将LIPS-300离子推力器阳极通过3D增材制造一体制造完成,并在内表面制造边长为1.6mm的六边形排列,直径为0.8mm高为0.5mm的凸台;
3.本发明实施,将该阳极装配于LIPS-300离子推力器并开展寿命试验,试验至5000h时,放电室仍未发现脱落沉积层或沉积层皲裂现象。相比原先阳极,LIPS-300离子推力器热敏感元件磁钢和接插件温度降低10℃以上。
综上所述,以上仅为本发明的较佳实施例而已,并非用于限定本发明的保护范围。凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (5)

1.基于3D增材制造的离子推力器内表面纹理化异形结构阳极,其特征在于,包括锥形阳极筒和柱形阳极筒,所述锥形阳极筒和柱形阳极筒通过3D增材制造技术一体生长制成,并在阳极筒内表面一体制造纹理结构;所述纹理结构为呈正六边形排布,直径和间隙均小于1mm的圆形凸台,正六边形的每个顶角和中心均设置一个圆形凸台。
2.如权利要求1所述的基于3D增材制造的离子推力器内表面纹理化异形结构阳极,其特征在于,所述圆形凸台直径为0.8mm。
3.如权利要求1所述的基于3D增材制造的离子推力器内表面纹理化异形结构阳极,其特征在于,所述圆形凸台高为0.5mm。
4.如权利要求1所述的基于3D增材制造的离子推力器内表面纹理化异形结构阳极,其特征在于,相邻两个圆形凸台的圆心距为1.6mm。
5.如权利要求1所述的基于3D增材制造的离子推力器内表面纹理化异形结构阳极,其特征在于,所述锥形阳极筒和柱形阳极筒的材料为钛合金。
CN202011233343.4A 2020-11-06 2020-11-06 基于3d增材制造的离子推力器内表面纹理化异形结构阳极 Active CN112555112B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202011233343.4A CN112555112B (zh) 2020-11-06 2020-11-06 基于3d增材制造的离子推力器内表面纹理化异形结构阳极

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202011233343.4A CN112555112B (zh) 2020-11-06 2020-11-06 基于3d增材制造的离子推力器内表面纹理化异形结构阳极

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN112555112A CN112555112A (zh) 2021-03-26
CN112555112B true CN112555112B (zh) 2022-06-14

Family

ID=75041897

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202011233343.4A Active CN112555112B (zh) 2020-11-06 2020-11-06 基于3d增材制造的离子推力器内表面纹理化异形结构阳极

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN112555112B (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113236516B (zh) * 2021-06-30 2022-03-04 哈尔滨工业大学 微型离子推力器放电室防沉积的结构
CN115286477A (zh) * 2022-06-30 2022-11-04 湖北航天化学技术研究所 一种固体推进剂/包覆层一体化增材制造界面结构

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5641375A (en) * 1979-09-13 1981-04-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd Sputtering apparatus
US5837057A (en) * 1992-12-21 1998-11-17 Canon Kabushiki Kaisha Film forming apparatus with particle prevention plate
EP2037721A1 (en) * 2006-06-23 2009-03-18 Sharp Kabushiki Kaisha Plasma processing apparatus, plasma processing method and photoelectric conversion element
CN103465525A (zh) * 2006-12-27 2013-12-25 日立化成工业株式会社 凹版和使用该凹版的带有导体层图形的基材
CN105020112A (zh) * 2015-07-13 2015-11-04 兰州空间技术物理研究所 一种高热稳定的离子推力器屏栅筒
CN105072792A (zh) * 2015-07-13 2015-11-18 兰州空间技术物理研究所 一种柱形磁铁四级环尖离子推力器磁场
CN106968906A (zh) * 2017-04-27 2017-07-21 河南理工大学 一种等离子体推进装置
CN109075008A (zh) * 2016-04-27 2018-12-21 应用材料公司 与介电沉积一起使用的非消失的阳极
CN109751977A (zh) * 2018-12-06 2019-05-14 兰州空间技术物理研究所 一种离子推力器放电室内部沉积溅射的测量方法
CN110527967A (zh) * 2019-09-23 2019-12-03 上海陛通半导体能源科技股份有限公司 物理气相沉积设备
TW202012668A (zh) * 2018-07-23 2020-04-01 美商應用材料股份有限公司 預先調節腔室元件

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8866367B2 (en) * 2011-10-17 2014-10-21 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Thermally oxidized seed layers for the production of {001} textured electrodes and PZT devices and method of making
WO2014146008A2 (en) * 2013-03-15 2014-09-18 Starfire Industries Llc Scalable multi-role surface-wave plasma generator
US9596892B1 (en) * 2016-02-25 2017-03-21 honey cloudz LLC Method and apparatus for textured bra insert

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5641375A (en) * 1979-09-13 1981-04-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd Sputtering apparatus
US5837057A (en) * 1992-12-21 1998-11-17 Canon Kabushiki Kaisha Film forming apparatus with particle prevention plate
EP2037721A1 (en) * 2006-06-23 2009-03-18 Sharp Kabushiki Kaisha Plasma processing apparatus, plasma processing method and photoelectric conversion element
CN103465525A (zh) * 2006-12-27 2013-12-25 日立化成工业株式会社 凹版和使用该凹版的带有导体层图形的基材
CN105020112A (zh) * 2015-07-13 2015-11-04 兰州空间技术物理研究所 一种高热稳定的离子推力器屏栅筒
CN105072792A (zh) * 2015-07-13 2015-11-18 兰州空间技术物理研究所 一种柱形磁铁四级环尖离子推力器磁场
CN109075008A (zh) * 2016-04-27 2018-12-21 应用材料公司 与介电沉积一起使用的非消失的阳极
CN106968906A (zh) * 2017-04-27 2017-07-21 河南理工大学 一种等离子体推进装置
TW202012668A (zh) * 2018-07-23 2020-04-01 美商應用材料股份有限公司 預先調節腔室元件
CN109751977A (zh) * 2018-12-06 2019-05-14 兰州空间技术物理研究所 一种离子推力器放电室内部沉积溅射的测量方法
CN110527967A (zh) * 2019-09-23 2019-12-03 上海陛通半导体能源科技股份有限公司 物理气相沉积设备

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
SELECTIVE DEPOSITION OF TITANIUM SILICIDE FILMS BY PLASMA-ENHANCED CHEMICAL VAPOR DEPOSITION AND RELATED PROCESSES FOR SILICIDE-CLAD SILICON ELECTRODE FORMATION.;SAITO K.等;《DENKI KAGAKU》;19950601;第63卷;全文 *
低功率氮气电弧加热推力器稳定性的实验研究;侯凌云等;《宇航学报》;20071130;第28卷(第06期);全文 *
环型离子推力器研制发展综述;杨浩等;《真空与低温》;20160229;第22卷(第01期);全文 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN112555112A (zh) 2021-03-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN112555112B (zh) 基于3d增材制造的离子推力器内表面纹理化异形结构阳极
CN104259644B (zh) 一种钨钛合金靶材焊接方法
CN1198191A (zh) 溅射靶/底板组件的制造方法
CN102165092A (zh) 圆筒形溅镀靶及其制造方法
CN102500908A (zh) 钨靶材组件的焊接方法
WO2011062002A1 (ja) スパッタリングターゲット-バッキングプレート接合体及びその製造方法
CN101745734B (zh) 一种大面积靶材与背板的快速焊接方法
CN103639585B (zh) 厚复层锆/钛/钢复合板爆炸复合中雷管区的控制方法
CN112676782B (zh) 一种钛靶材与铜背板的装配方法
CN1757266A (zh) 被成形用于物理气相沉积室中的线圈构造和形成线圈构造的方法
CN109127764B (zh) 双复合法生产薄规格复合钢板的方法
CN204760350U (zh) 一种适用于双辉等离子处理的新型源极结构
CN100552247C (zh) 具有扩散层pvd轴瓦的生产方法
CN102677050A (zh) 一种金属工件表面熔覆耐磨耐蚀陶瓷硬质合金涂层的方法
CN103264219A (zh) 一种复合金属材料的制备方法
CN109536870B (zh) 一种激光防护涂层及其制备方法
CN106376167B (zh) 一种抑制脱落及控制沉积物脱落尺寸的离子推力器阳极筒
CN102251206A (zh) 金刚石磨粒层的电火花沉积制备方法
CN112846651B (zh) 一种钛靶材与铝背板的装配方法
CN110453185B (zh) 多弧离子镀的复合结构靶及其制造方法
CN102441731B (zh) 一种提高铝合金点焊电极寿命的方法
JPH08109472A (ja) スパッタリング用ターゲットおよびその製造方法
CN102383127A (zh) 一种在蒙乃尔合金表面制备激光改性层的复合工艺方法
CN101876061B (zh) 一种形成强结合热障涂层的方法
CN203156224U (zh) 电子束焊接变速器齿轮自动化系统

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant