CN101745734B - 一种大面积靶材与背板的快速焊接方法 - Google Patents
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Citations (5)
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EP0761374A1 (en) * | 1995-09-06 | 1997-03-12 | Daido Tokushuko Kabushiki Kaisha | Methods of and apparatus for bonding titanium and titanium alloy members |
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EP0761374A1 (en) * | 1995-09-06 | 1997-03-12 | Daido Tokushuko Kabushiki Kaisha | Methods of and apparatus for bonding titanium and titanium alloy members |
CN1849408A (zh) * | 2003-09-09 | 2006-10-18 | 普莱克斯S·T·技术有限公司 | 长寿命溅射靶 |
CN101176960A (zh) * | 2006-11-07 | 2008-05-14 | 北京有色金属研究总院 | 一种金属靶材与靶托的连接方法 |
CN101279401A (zh) * | 2008-05-28 | 2008-10-08 | 北京有色金属研究总院 | 一种大面积靶材的压力焊接方法 |
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