CN112503008B

CN112503008B - 一种芯片制造用可防静电的离子风机

Info

Publication number: CN112503008B
Application number: CN202011137405.1A
Authority: CN
Inventors: 乔畅君; 顾大元; 韩玲玲; 胡祖敏
Original assignee: Shenzhen Horb Technology Corp ltd
Current assignee: Shenzhen Horb Technology Corp ltd
Priority date: 2020-10-22
Filing date: 2020-10-22
Publication date: 2023-05-09
Anticipated expiration: 2040-10-22
Also published as: CN112503008A

Abstract

本发明公开了一种芯片制造用可防静电的离子风机，包括箱体、过滤箱、离子圈、支撑块、保护框、支撑腿、垫块、防护杆、无纺布和过滤板，所述箱体的右端铰接有过滤箱，所述箱体的左端的内部固定套接有离子圈，所述箱体的内部固定连接有支撑块，所述箱体的左端的外侧卡接有保护框，所述箱体的下端固定连接有支撑腿，所述过滤箱的下端固定连接有垫块，所述保护框的内部固定连接有防护杆，所述支撑腿的数量为四个，四个所述支撑腿在所述箱体的下端均匀分布，所述支撑腿是由硬质橡胶材料制成。本发明涉及一种芯片制造用可防静电的离子风机，具有可以过滤灰尘与便于清理的特点。

Description

一种芯片制造用可防静电的离子风机

技术领域

本发明属于芯片制造技术领域，具体为一种芯片制造用可防静电的离子风机。

背景技术

集成电路英语：integrated circuit，缩写作IC；或称微电路、微芯片、晶片/芯片在电子学中是一种将电路(主要包括半导体设备，也包括被动组件等)小型化的方式，并时常制造在半导体晶圆表面上。将电路制造在半导体芯片表面上的集成电路又称薄膜(thin-film)集成电路。另有一种厚膜(thick-film)集成电路(hybrid integrated circuit)是由独立半导体设备和被动组件，集成到衬底或线路板所构成的小型化电路。在生产芯片时需要对生产芯片用的机器进行防静电处理，在处理时需要使用离子风扇对机器进行防静电处理，但是目离子风机存在一些问题：1、在使用离子风机对机器进行防静电处理时，因离子风机是通过风将正负离子输送到机器表面对机器表面的电荷进行抵消，但是在向机器吹风时，会伴随着灰尘一起吹向机器，灰尘中的带电离子会将风中的电荷进行抵消，从而降低离子风机的消除静电能力；2、离子针上容易沾染灰尘，导致离子针散发电子效果降低，因此，需要设计一种芯片制造用可防静电的离子风机。

发明内容：

本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种芯片制造用可防静电的离子风机，解决了背景技术中提到的问题。

为了解决上述问题，本发明提供了一种技术方案：

一种芯片制造用可防静电的离子风机，包括箱体、过滤箱、离子圈、支撑块、保护框、支撑腿、垫块、防护杆、无纺布和过滤板，所述箱体的右端铰接有过滤箱，所述箱体的左端的内部固定套接有离子圈，所述箱体的内部固定连接有支撑块，所述箱体的左端的外侧卡接有保护框，所述箱体的下端固定连接有支撑腿，所述过滤箱的下端固定连接有垫块，所述保护框的内部固定连接有防护杆，所述支撑腿的数量为四个，四个所述支撑腿在所述箱体的下端均匀分布，所述支撑腿是由硬质橡胶材料制成。

作为优选，所述过滤箱的右端通过螺栓连接有过滤板，所述过滤板的内部固定连接有过滤网，所述过滤箱的内部固定连接有隔板，所述隔板的下端固定连接有过滤棉，所述过滤箱的内部固定连接有支架，所述支架的左端铰接有固定块，所述固定块上开设有限位槽一，所述限位槽一的内部固定连接有弹簧一，所述支架上开设有限位槽二，所述弹簧一的右端的外侧与所述限位槽二的内部固定连接，所述固定块的右端固定连接有限位杆，所述支架上开设有连接槽，所述限位杆的右端的外侧与所述连接槽的内侧卡接，所述限位杆的外侧套接有无纺布。

作为优选，所述离子圈的内部固定连接有安装座，所述安装座的内部卡接有离子针，所述离子针的内部开设有固定槽，所述固定槽的内部设置有弹簧二，所述固定槽的内部滑动连接有挡杆，所述挡杆的下端与所述弹簧二的上端固定连接，所述安装座上开设有固定孔，所述固定孔的内部滑动连接有按压块，所述固定孔的内部与所述挡杆的外侧滑动连接，所述挡杆的上端与所述按压块的下端接触连接，所述安装座的内部固定连接有定位块，所述离子针上开设有定位槽，所述定位块的外侧与所述定位槽的内侧接触连接。

作为优选，所述支撑块的内部固定连接有风扇筒，所述风扇筒的内部固定连接有支撑杆，所述支撑杆的内部固定连接有三相电机，所述三相电机的输出轴的末端固定连接有扇叶，所述保护框的上端固定连接有弹片，所述弹片的下端固定连接有卡块，所述箱体上开设有卡槽，所述卡槽的内部与所述卡块的外侧卡接，所述弹片的数量为四个，四个所述弹片在所述保护框的外侧均匀分布，所述保护框是由塑料材料制成，所述风扇筒是由尼龙材料制成。

作为优选，所述固定槽的内部固定连接有限位环一，所述限位环一的内部与所述挡杆的外侧滑动连接。

作为优选，所述固定孔的内部固定连接有限位环二，所述限位环二的内部与所述按压块的外侧滑动连接。

作为优选，所述防护杆是由塑料材料制成，所述防护杆的数量为多个，多个所述防护杆在所述保护框的内部交叉分布。

作为优选，所述过滤板的内部滑动连接有螺杆，所述过滤箱的右端的内部通过螺纹连接有螺杆。

本发明的有益效果是：本发明涉及一种芯片制造用可防静电的离子风机，具有可以过滤灰尘与便于清理的特点，在具体的使用中，与传统的芯片制造用可防静电的离子风机相比较而言，本芯片制造用可防静电的离子风机具有以下两个有益效果：

首先，在箱体的外侧加设过滤箱、过滤棉与无纺布等结构，可以对扇叶转动吸入过滤箱内部的分进行三层过滤，从而可以保证由扇叶吹出的风中没有灰尘，可以保证风中的离子数，而且还可以通过固定板与限位杆等结构对过滤箱的内部进行快速清理；

其次，在离子圈的内部加设安装座、离子针与按压块等结构，可以通过按压动按压块将离子针快速拆卸下来，对其进行清理，清洗后可以快速卡接进安装座的内部，从而可以保证离子针表面的清洁，可以防止离子外侧的灰尘影响离子的发送。

附图说明：

为了易于说明，本发明由下述的具体实施及附图作以详细描述。

图1为本发明的整体结构示意图；

图2为本发明的图1的左视图；

图3为本发明的图1的过滤箱的剖视图；

图4为本发明的图1的离子圈的左视图；

图5为本发明的图1的A部结构放大图；

图6为本发明的图3的B部结构放大图；

图7为本发明的图4的C部结构放大图。

图中：1、箱体；2、过滤箱；3、离子圈；4、支撑块；5、保护框；6、支撑腿；7、垫块；8、防护杆；11、限位杆；12、连接槽；13、无纺布；14、固定孔；21、过滤板；22、螺杆；23、过滤网；24、隔板；25、过滤棉；26、支架；27、固定块；28、限位槽一；29、弹簧一；20、限位槽二；31、安装座；32、离子针；33、固定槽；34、挡杆；35、弹簧二；36、按压块；37、限位环二；38、限位环一；39、定位块；30、定位槽；41、风扇筒；42、支撑杆；43、三相电机；44、扇叶；51、弹片；52、卡块；53、卡槽。

具体实施方式：

如图1-7所示，本具体实施方式采用以下技术方案：

实施例：

一种芯片制造用可防静电的离子风机，包括箱体1、过滤箱2、离子圈3、支撑块4、保护框5、支撑腿6、垫块7、防护杆8、无纺布13和过滤板21，所述箱体1的右端铰接有过滤箱2，所述箱体1的左端的内部固定套接有离子圈3，所述箱体1的内部固定连接有支撑块4，所述箱体1的左端的外侧卡接有保护框5，所述箱体1的下端固定连接有支撑腿6，所述过滤箱2的下端固定连接有垫块7，所述保护框5的内部固定连接有防护杆8，所述支撑腿6的数量为四个，四个所述支撑腿6在所述箱体1的下端均匀分布，所述支撑腿6是由硬质橡胶材料制成。

其中，所述过滤箱2的右端通过螺栓连接有过滤板21，所述过滤板21的内部固定连接有过滤网23，所述过滤箱2的内部固定连接有隔板24，所述隔板24的下端固定连接有过滤棉25，所述过滤箱2的内部固定连接有支架26，所述支架26的左端铰接有固定块27，所述固定块27上开设有限位槽一28，所述限位槽一28的内部固定连接有弹簧一29，所述支架26上开设有限位槽二20，所述弹簧一29的右端的外侧与所述限位槽二20的内部固定连接，所述固定块27的右端固定连接有限位杆11，所述支架26上开设有连接槽12，所述限位杆11的右端的外侧与所述连接槽12的内侧卡接，所述限位杆11的外侧套接有无纺布13。

其中，所述离子圈3的内部固定连接有安装座31，所述安装座31的内部卡接有离子针32，所述离子针32的内部开设有固定槽33，所述固定槽33的内部设置有弹簧二35，所述固定槽33的内部滑动连接有挡杆34，所述挡杆34的下端与所述弹簧二35的上端固定连接，所述安装座31上开设有固定孔14，所述固定孔14的内部滑动连接有按压块36，所述固定孔14的内部与所述挡杆34的外侧滑动连接，所述挡杆34的上端与所述按压块36的下端接触连接，所述安装座31的内部固定连接有定位块39，所述离子针32上开设有定位槽30，所述定位块39的外侧与所述定位槽30的内侧接触连接。

其中，所述支撑块4的内部固定连接有风扇筒41，所述风扇筒41的内部固定连接有支撑杆42，所述支撑杆42的内部固定连接有三相电机43，所述三相电机43的输出轴的末端固定连接有扇叶44，所述保护框5的上端固定连接有弹片51，所述弹片51的下端固定连接有卡块52，所述箱体1上开设有卡槽53，所述卡槽53的内部与所述卡块52的外侧卡接，所述弹片51的数量为四个，四个所述弹片51在所述保护框5的外侧均匀分布，所述保护框5是由塑料材料制成，所述风扇筒41是由尼龙材料制成。

其中，所述固定槽33的内部固定连接有限位环一38，所述限位环一38的内部与所述挡杆34的外侧滑动连接。

其中，所述固定孔14的内部固定连接有限位环二37，所述限位环二37的内部与所述按压块36的外侧滑动连接。

其中，所述防护杆8是由塑料材料制成，所述防护杆8的数量为多个，多个所述防护杆8在所述保护框5的内部交叉分布。

其中，所述过滤板21的内部滑动连接有螺杆22，所述过滤箱2的右端的内部通过螺纹连接有螺杆22。

本发明的使用状态为：在使用时，三相电机43带动扇叶44进行转动，扇叶44在转动时会向离子圈3的外侧吹风，在吹风的同时会对过滤箱2的内部产生吸力，风从过滤箱2的右端经过过滤网23的过滤后进入到过滤箱2的内部，然后经过隔板24的导向后吹向过滤棉25，再经过过滤棉25的过滤后吹向无纺布13，经过无纺布13的最后一次过滤后，风内的灰尘基本被过滤干净，然后在扇叶44的引导下吹向离子圈3的内部，离子圈3内部的离子针32释放出电离子，电离子随风飘到仪器的上方，对仪器进行静电消除，在需要对离子针32进行清洗时，拨动弹片51，使卡块52脱离卡槽53的内部，然后将保护框5拆下，然后再按动按压块36，按压块36推动挡杆34，将挡杆34推出固定孔14的内部，然后将离子针32拔出安装座31的内部进行清洗，清洗完毕后将离子针32上的定位槽30对准定位块39，插入到安装座31的内部，在插入的同时使挡杆34卡接进入到固定孔14的内部，从而即可完成固定，在需要对过滤箱2进行清理时，将过滤箱2翻转至垫块7接触到箱体1的外侧，将过滤箱2放置平稳后，按动固定块27，使限位杆11翘起，然后将套接在限位杆11外侧的无纺布13换下，更换完毕后将过滤箱2翻转会原来位置进行固定。

以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点，本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内，本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims

1.一种芯片制造用可防静电的离子风机，包括箱体（1）、过滤箱（2）、离子圈（3）、支撑块（4）、保护框（5）、支撑腿（6）、垫块（7）、防护杆（8）、无纺布（13）和过滤板（21），其特征在于：所述箱体（1）的右端铰接有过滤箱（2），所述箱体（1）的左端的内部固定套接有离子圈（3），所述箱体（1）的内部固定连接有支撑块（4），所述箱体（1）的左端的外侧卡接有保护框（5），所述箱体（1）的下端固定连接有支撑腿（6），所述过滤箱（2）的下端固定连接有垫块（7），所述保护框（5）的内部固定连接有防护杆（8），所述支撑腿（6）的数量为四个，四个所述支撑腿（6）在所述箱体（1）的下端均匀分布，所述支撑腿（6）是由硬质橡胶材料制成；

所述过滤箱（2）的右端通过螺栓连接有过滤板（21），所述过滤板（21）的内部固定连接有过滤网（23），所述过滤箱（2）的内部固定连接有隔板（24），所述隔板（24）的下端固定连接有过滤棉（25），所述过滤箱（2）的内部固定连接有支架（26），所述支架（26）的左端铰接有固定块（27），所述固定块（27）上开设有限位槽一（28），所述限位槽一（28）的内部固定连接有弹簧一（29），所述支架（26）上开设有限位槽二（20），所述弹簧一（29）的右端的外侧与所述限位槽二（20）的内部固定连接，所述固定块（27）的右端固定连接有限位杆（11），所述支架（26）上开设有连接槽（12），所述限位杆（11）的右端的外侧与所述连接槽（12）的内侧卡接，所述限位杆（11）的外侧套接有无纺布（13）；

所述离子圈（3）的内部固定连接有安装座（31），所述安装座（31）的内部卡接有离子针（32），所述离子针（32）的内部开设有固定槽（33），所述固定槽（33）的内部设置有弹簧二（35），所述固定槽（33）的内部滑动连接有挡杆（34），所述挡杆（34）的下端与所述弹簧二（35）的上端固定连接，所述安装座（31）上开设有固定孔（14），所述固定孔（14）的内部滑动连接有按压块（36），所述固定孔（14）的内部与所述挡杆（34）的外侧滑动连接，所述挡杆（34）的上端与所述按压块（36）的下端接触连接，所述安装座（31）的内部固定连接有定位块（39），所述离子针（32）上开设有定位槽（30），所述定位块（39）的外侧与所述定位槽（30）的内侧接触连接；

所述固定槽（33）的内部固定连接有限位环一（38），所述限位环一（38）的内部与所述挡杆（34）的外侧滑动连接；

所述固定孔（14）的内部固定连接有限位环二（37），所述限位环二（37）的内部与所述按压块（36）的外侧滑动连接。

2.根据权利要求1所述的一种芯片制造用可防静电的离子风机，其特征在于：所述支撑块（4）的内部固定连接有风扇筒（41），所述风扇筒（41）的内部固定连接有支撑杆（42），所述支撑杆（42）的内部固定连接有三相电机（43），所述三相电机（43）的输出轴的末端固定连接有扇叶（44），所述保护框（5）的上端固定连接有弹片（51），所述弹片（51）的下端固定连接有卡块（52），所述箱体（1）上开设有卡槽（53），所述卡槽（53）的内部与所述卡块（52）的外侧卡接，所述弹片（51）的数量为四个，四个所述弹片（51）在所述保护框（5）的外侧均匀分布，所述保护框（5）是由塑料材料制成，所述风扇筒（41）是由尼龙材料制成。

3.根据权利要求1所述的一种芯片制造用可防静电的离子风机，其特征在于：所述防护杆（8）是由塑料材料制成，所述防护杆（8）的数量为多个，多个所述防护杆（8）在所述保护框（5）的内部交叉分布。

4.根据权利要求1所述的一种芯片制造用可防静电的离子风机，其特征在于：所述过滤板（21）的内部滑动连接有螺杆（22），所述过滤箱（2）的右端的内部通过螺纹连接有螺杆（22）。