CN112442622A - 一种金属镱靶材的生产工艺 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种金属镱靶材的生产工艺,所述生产工艺包括步骤:S101,将金属镱原料熔炼;S102,将熔炼后的金属镱熔融液倒入锭模内铸造形成镱铸锭;S103,将镱铸锭先后进行车削、热锻、轧制、热处理形成雏形靶材;S104,将雏形靶材进行精加工后清洗、烘干形成金属镱靶材。实施本发明的金属镱靶材的生产工艺时,先将金属镱原料按配比倒入至熔炼炉内进行熔炼,然后将熔炼液倒入锭模内铸成镱铸锭,之后对镱铸锭先后进行车削加工去除表面材料、热锻、轧制、热处理形成雏形靶材,最后对雏形靶材按照所需尺寸及形状进行精加工,之后进行清洗及烘干,形成最终的金属镱靶材。本发明的生产工艺较为简洁,可大大提高成品生成率及生产效率,降低生产成本。
Description
技术领域
本发明涉及一种金属镱靶材的生产工艺。
背景技术
现有的金属镱靶材生产工艺复杂,生产成本较高,影响金属镱靶材的生产及使用。
发明内容
本发明针对现有技术的上述缺陷,提供一种金属镱靶材的生产工艺。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:构造一种金属镱靶材的生产工艺,所述生产工艺包括步骤:
S101,将金属镱原料熔炼;
S102,将熔炼后的金属镱熔融液倒入锭模内铸造形成镱铸锭;
S103,将镱铸锭先后进行车削、热锻、轧制、热处理形成雏形靶材;
S104,将雏形靶材进行精加工后清洗、烘干形成金属镱靶材。
进一步的,所述步骤S101具体为:将金属镱原料倒入熔炼炉内加热至850-1100℃进行熔炼。
进一步的,所述步骤S102具体为:将熔炼后的金属镱熔融液倒入锭模内铸造形成圆形镱铸锭。
进一步的,在所述步骤S102和步骤S103之间还包括:
S1021,对所述镱铸锭进行成分检测,对符合成分要求的镱铸锭执行步骤S103,对不符合成分要求的镱铸锭进行回收。
进一步的,所述步骤S103具体包括:
S1031,对镱铸锭进行车削,削除表面材料;
S1032,对车削后的镱铸锭进行热锻造;
S1033,对热锻造后的镱铸锭进行轧制;
S1034,对轧制后的镱铸锭进行热处理形成雏形靶材。
进一步的,所述步骤S104之后还包括:
S105,对金属镱靶材件尺寸及成分进行再次检测,对尺寸及成分合格的金属镱靶材进行包装,对尺寸或成分不合格的金属镱靶材进行回收。
实施本发明的金属镱靶材的生产工艺,具有以下有益效果:实施本发明的金属镱靶材的生产工艺时,先将金属镱原料按配比倒入至熔炼炉内进行熔炼,然后将熔炼液倒入锭模内铸成镱铸锭,之后对镱铸锭先后进行车削加工去除表面材料、热锻、轧制、热处理形成雏形靶材,最后对雏形靶材按照所需尺寸及形状进行精加工,之后进行清洗及烘干,形成最终的金属镱靶材。本发明的生产工艺较为简洁,可大大提高成品生成率及生产效率,降低生产成本。
附图说明
下面将结合附图及实施例对本发明作进一步说明,附图中:
图1是本发明金属镱靶材的生产工艺第一实施例的流程示意图;
图2是本发明金属镱靶材的生产工艺第一实施例中步骤S103的具体流程示意图;
图3是本发明金属镱靶材的生产工艺第二实施例的流程示意图。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图对本发明实施方式作进一步地详细描述。
如图1所示,在本发明的金属镱靶材的生产工艺第一实施例中,该生产工艺包括步骤:
S101,将金属镱原料熔炼;
S102,将熔炼后的金属镱熔融液倒入锭模内铸造形成镱铸锭;
S103,将镱铸锭先后进行车削、热锻、轧制、热处理形成雏形靶材;
S104,将雏形靶材进行精加工后清洗、烘干形成金属镱靶材。
具体的,该步骤S101具体为:将金属镱原料倒入熔炼炉内加热至850-1100℃进行熔炼。优选的,该将金属镱原料倒入熔炼炉内加热至950℃进行熔炼。
实施本发明的金属镱靶材的生产工艺时,先将金属镱原料按配比倒入至熔炼炉内进行熔炼,然后将熔炼液倒入锭模内铸成镱铸锭,之后对镱铸锭先后进行车削加工去除表面材料、热锻、轧制、热处理形成雏形靶材,最后对雏形靶材按照所需尺寸及形状进行精加工,之后进行清洗及烘干,形成最终的金属镱靶材。本发明的生产工艺较为简洁,可大大提高成品生成率及生产效率,降低生产成本。
进一步的,该步骤S102具体为:将熔炼后的金属镱熔融液倒入锭模内铸造形成圆形镱铸锭。
如图2所示,该步骤S103具体包括:
S1031,对镱铸锭进行车削,削除表面材料;
S1032,对车削后的镱铸锭进行热锻造;
S1033,对热锻造后的镱铸锭进行轧制;
S1034,对轧制后的镱铸锭进行热处理形成雏形靶材。
如图3所示,在本发明的金属镱靶材的生产工艺第二实施例中,在第一实施例的基础上,进一步的,在该步骤S102和步骤S103之间还包括:
S1021,对该镱铸锭进行成分检测,对符合成分要求的镱铸锭执行步骤S103,对不符合成分要求的镱铸锭进行回收。
进一步的,在步骤S104之后还包括:
S105,对金属镱靶材件尺寸及成分进行再次检测,对尺寸及成分合格的金属镱靶材进行包装,对尺寸或成分不合格的金属镱靶材进行回收。
以上所述仅为本发明的实施例,并非因此限制本发明的专利范围,凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换,或直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理包括在本发明的专利保护范围内。
Claims (6)
1.一种金属镱靶材的生产工艺,其特征在于,所述生产工艺包括步骤:
S101,将金属镱原料熔炼;
S102,将熔炼后的金属镱熔融液倒入锭模内铸造形成镱铸锭;
S103,将镱铸锭先后进行车削、热锻、轧制、热处理形成雏形靶材;
S104,将雏形靶材进行精加工后清洗、烘干形成金属镱靶材。
2.根据权利要求1所述的金属镱靶材的生产工艺,其特征在于,所述步骤S101具体为:将金属镱原料倒入熔炼炉内加热至850-1100℃进行熔炼。
3.根据权利要求1所述的金属镱靶材的生产工艺,其特征在于,所述步骤S102具体为:将熔炼后的金属镱熔融液倒入锭模内铸造形成圆形镱铸锭。
4.根据权利要求1所述的金属镱靶材的生产工艺,其特征在于,在所述步骤S102和步骤S103之间还包括:
S1021,对所述镱铸锭进行成分检测,对符合成分要求的镱铸锭执行步骤S103,对不符合成分要求的镱铸锭进行回收。
5.根据权利要求1所述的金属镱靶材的生产工艺,其特征在于,所述步骤S103具体包括:
S1031,对镱铸锭进行车削,削除表面材料;
S1032,对车削后的镱铸锭进行热锻造;
S1033,对热锻造后的镱铸锭进行轧制;
S1034,对轧制后的镱铸锭进行热处理形成雏形靶材。
6.根据权利要求1所述的金属镱靶材的生产工艺,其特征在于,所述步骤S104之后还包括:
S105,对金属镱靶材件尺寸及成分进行再次检测,对尺寸及成分合格的金属镱靶材进行包装,对尺寸或成分不合格的金属镱靶材进行回收。
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---|---|---|---|---|
US20100260640A1 (en) * | 2007-10-23 | 2010-10-14 | Nippon Mining And Metals Co., Ltd. | High Purity Ytterbium, Sputtering Target Made Thereof, Thin Film Containing the Same, and Method of Producing the Same |
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