CN112442622A - 一种金属镱靶材的生产工艺 - Google Patents

一种金属镱靶材的生产工艺 Download PDF

Info

Publication number
CN112442622A
CN112442622A CN201910819483.0A CN201910819483A CN112442622A CN 112442622 A CN112442622 A CN 112442622A CN 201910819483 A CN201910819483 A CN 201910819483A CN 112442622 A CN112442622 A CN 112442622A
Authority
CN
China
Prior art keywords
ytterbium
metal
ingot
target
target material
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201910819483.0A
Other languages
English (en)
Inventor
黄振
黄松
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Suzhou Dongchen Xianrui New Material Technology Co ltd
Original Assignee
Suzhou Dongchen Xianrui New Material Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Suzhou Dongchen Xianrui New Material Technology Co ltd filed Critical Suzhou Dongchen Xianrui New Material Technology Co ltd
Priority to CN201910819483.0A priority Critical patent/CN112442622A/zh
Publication of CN112442622A publication Critical patent/CN112442622A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22CALLOYS
    • C22C28/00Alloys based on a metal not provided for in groups C22C5/00 - C22C27/00
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22DCASTING OF METALS; CASTING OF OTHER SUBSTANCES BY THE SAME PROCESSES OR DEVICES
    • B22D7/00Casting ingots, e.g. from ferrous metals
    • B22D7/005Casting ingots, e.g. from ferrous metals from non-ferrous metals
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22CALLOYS
    • C22C1/00Making non-ferrous alloys
    • C22C1/02Making non-ferrous alloys by melting
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C22METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22FCHANGING THE PHYSICAL STRUCTURE OF NON-FERROUS METALS AND NON-FERROUS ALLOYS
    • C22F1/00Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working
    • C22F1/16Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working of other metals or alloys based thereon

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Forging (AREA)

Abstract

本发明公开了一种金属镱靶材的生产工艺,所述生产工艺包括步骤:S101,将金属镱原料熔炼;S102,将熔炼后的金属镱熔融液倒入锭模内铸造形成镱铸锭;S103,将镱铸锭先后进行车削、热锻、轧制、热处理形成雏形靶材;S104,将雏形靶材进行精加工后清洗、烘干形成金属镱靶材。实施本发明的金属镱靶材的生产工艺时,先将金属镱原料按配比倒入至熔炼炉内进行熔炼,然后将熔炼液倒入锭模内铸成镱铸锭,之后对镱铸锭先后进行车削加工去除表面材料、热锻、轧制、热处理形成雏形靶材,最后对雏形靶材按照所需尺寸及形状进行精加工,之后进行清洗及烘干,形成最终的金属镱靶材。本发明的生产工艺较为简洁,可大大提高成品生成率及生产效率,降低生产成本。

Description

一种金属镱靶材的生产工艺
技术领域
本发明涉及一种金属镱靶材的生产工艺。
背景技术
现有的金属镱靶材生产工艺复杂,生产成本较高,影响金属镱靶材的生产及使用。
发明内容
本发明针对现有技术的上述缺陷,提供一种金属镱靶材的生产工艺。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:构造一种金属镱靶材的生产工艺,所述生产工艺包括步骤:
S101,将金属镱原料熔炼;
S102,将熔炼后的金属镱熔融液倒入锭模内铸造形成镱铸锭;
S103,将镱铸锭先后进行车削、热锻、轧制、热处理形成雏形靶材;
S104,将雏形靶材进行精加工后清洗、烘干形成金属镱靶材。
进一步的,所述步骤S101具体为:将金属镱原料倒入熔炼炉内加热至850-1100℃进行熔炼。
进一步的,所述步骤S102具体为:将熔炼后的金属镱熔融液倒入锭模内铸造形成圆形镱铸锭。
进一步的,在所述步骤S102和步骤S103之间还包括:
S1021,对所述镱铸锭进行成分检测,对符合成分要求的镱铸锭执行步骤S103,对不符合成分要求的镱铸锭进行回收。
进一步的,所述步骤S103具体包括:
S1031,对镱铸锭进行车削,削除表面材料;
S1032,对车削后的镱铸锭进行热锻造;
S1033,对热锻造后的镱铸锭进行轧制;
S1034,对轧制后的镱铸锭进行热处理形成雏形靶材。
进一步的,所述步骤S104之后还包括:
S105,对金属镱靶材件尺寸及成分进行再次检测,对尺寸及成分合格的金属镱靶材进行包装,对尺寸或成分不合格的金属镱靶材进行回收。
实施本发明的金属镱靶材的生产工艺,具有以下有益效果:实施本发明的金属镱靶材的生产工艺时,先将金属镱原料按配比倒入至熔炼炉内进行熔炼,然后将熔炼液倒入锭模内铸成镱铸锭,之后对镱铸锭先后进行车削加工去除表面材料、热锻、轧制、热处理形成雏形靶材,最后对雏形靶材按照所需尺寸及形状进行精加工,之后进行清洗及烘干,形成最终的金属镱靶材。本发明的生产工艺较为简洁,可大大提高成品生成率及生产效率,降低生产成本。
附图说明
下面将结合附图及实施例对本发明作进一步说明,附图中:
图1是本发明金属镱靶材的生产工艺第一实施例的流程示意图;
图2是本发明金属镱靶材的生产工艺第一实施例中步骤S103的具体流程示意图;
图3是本发明金属镱靶材的生产工艺第二实施例的流程示意图。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图对本发明实施方式作进一步地详细描述。
如图1所示,在本发明的金属镱靶材的生产工艺第一实施例中,该生产工艺包括步骤:
S101,将金属镱原料熔炼;
S102,将熔炼后的金属镱熔融液倒入锭模内铸造形成镱铸锭;
S103,将镱铸锭先后进行车削、热锻、轧制、热处理形成雏形靶材;
S104,将雏形靶材进行精加工后清洗、烘干形成金属镱靶材。
具体的,该步骤S101具体为:将金属镱原料倒入熔炼炉内加热至850-1100℃进行熔炼。优选的,该将金属镱原料倒入熔炼炉内加热至950℃进行熔炼。
实施本发明的金属镱靶材的生产工艺时,先将金属镱原料按配比倒入至熔炼炉内进行熔炼,然后将熔炼液倒入锭模内铸成镱铸锭,之后对镱铸锭先后进行车削加工去除表面材料、热锻、轧制、热处理形成雏形靶材,最后对雏形靶材按照所需尺寸及形状进行精加工,之后进行清洗及烘干,形成最终的金属镱靶材。本发明的生产工艺较为简洁,可大大提高成品生成率及生产效率,降低生产成本。
进一步的,该步骤S102具体为:将熔炼后的金属镱熔融液倒入锭模内铸造形成圆形镱铸锭。
如图2所示,该步骤S103具体包括:
S1031,对镱铸锭进行车削,削除表面材料;
S1032,对车削后的镱铸锭进行热锻造;
S1033,对热锻造后的镱铸锭进行轧制;
S1034,对轧制后的镱铸锭进行热处理形成雏形靶材。
如图3所示,在本发明的金属镱靶材的生产工艺第二实施例中,在第一实施例的基础上,进一步的,在该步骤S102和步骤S103之间还包括:
S1021,对该镱铸锭进行成分检测,对符合成分要求的镱铸锭执行步骤S103,对不符合成分要求的镱铸锭进行回收。
进一步的,在步骤S104之后还包括:
S105,对金属镱靶材件尺寸及成分进行再次检测,对尺寸及成分合格的金属镱靶材进行包装,对尺寸或成分不合格的金属镱靶材进行回收。
以上所述仅为本发明的实施例,并非因此限制本发明的专利范围,凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换,或直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (6)

1.一种金属镱靶材的生产工艺,其特征在于,所述生产工艺包括步骤:
S101,将金属镱原料熔炼;
S102,将熔炼后的金属镱熔融液倒入锭模内铸造形成镱铸锭;
S103,将镱铸锭先后进行车削、热锻、轧制、热处理形成雏形靶材;
S104,将雏形靶材进行精加工后清洗、烘干形成金属镱靶材。
2.根据权利要求1所述的金属镱靶材的生产工艺,其特征在于,所述步骤S101具体为:将金属镱原料倒入熔炼炉内加热至850-1100℃进行熔炼。
3.根据权利要求1所述的金属镱靶材的生产工艺,其特征在于,所述步骤S102具体为:将熔炼后的金属镱熔融液倒入锭模内铸造形成圆形镱铸锭。
4.根据权利要求1所述的金属镱靶材的生产工艺,其特征在于,在所述步骤S102和步骤S103之间还包括:
S1021,对所述镱铸锭进行成分检测,对符合成分要求的镱铸锭执行步骤S103,对不符合成分要求的镱铸锭进行回收。
5.根据权利要求1所述的金属镱靶材的生产工艺,其特征在于,所述步骤S103具体包括:
S1031,对镱铸锭进行车削,削除表面材料;
S1032,对车削后的镱铸锭进行热锻造;
S1033,对热锻造后的镱铸锭进行轧制;
S1034,对轧制后的镱铸锭进行热处理形成雏形靶材。
6.根据权利要求1所述的金属镱靶材的生产工艺,其特征在于,所述步骤S104之后还包括:
S105,对金属镱靶材件尺寸及成分进行再次检测,对尺寸及成分合格的金属镱靶材进行包装,对尺寸或成分不合格的金属镱靶材进行回收。
CN201910819483.0A 2019-08-31 2019-08-31 一种金属镱靶材的生产工艺 Pending CN112442622A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910819483.0A CN112442622A (zh) 2019-08-31 2019-08-31 一种金属镱靶材的生产工艺

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910819483.0A CN112442622A (zh) 2019-08-31 2019-08-31 一种金属镱靶材的生产工艺

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN112442622A true CN112442622A (zh) 2021-03-05

Family

ID=74734150

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910819483.0A Pending CN112442622A (zh) 2019-08-31 2019-08-31 一种金属镱靶材的生产工艺

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN112442622A (zh)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20100260640A1 (en) * 2007-10-23 2010-10-14 Nippon Mining And Metals Co., Ltd. High Purity Ytterbium, Sputtering Target Made Thereof, Thin Film Containing the Same, and Method of Producing the Same
CN104846341A (zh) * 2015-05-11 2015-08-19 基迈克材料科技(苏州)有限公司 难熔金属旋转靶材等温挤压生产方法
CN105525263A (zh) * 2015-12-23 2016-04-27 有研亿金新材料有限公司 一种高性能钽溅射靶材制备方法
CN106637100A (zh) * 2015-10-30 2017-05-10 有研稀土新材料股份有限公司 稀土金属靶材及其制备方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20100260640A1 (en) * 2007-10-23 2010-10-14 Nippon Mining And Metals Co., Ltd. High Purity Ytterbium, Sputtering Target Made Thereof, Thin Film Containing the Same, and Method of Producing the Same
CN104846341A (zh) * 2015-05-11 2015-08-19 基迈克材料科技(苏州)有限公司 难熔金属旋转靶材等温挤压生产方法
CN106637100A (zh) * 2015-10-30 2017-05-10 有研稀土新材料股份有限公司 稀土金属靶材及其制备方法
CN105525263A (zh) * 2015-12-23 2016-04-27 有研亿金新材料有限公司 一种高性能钽溅射靶材制备方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101823197B (zh) 一种利用铸坯辗扩成形大型环件的方法
CN103173597B (zh) 提高大型h13钢热挤压模具使用性能的方法
CN103521715A (zh) 一种含细长内腔的钛及钛合金精密铸件的制备方法
CN103706743A (zh) 一种钛合金鼓筒锻件的模锻成型工艺
CN107855448A (zh) 铝合金壳体的制造方法
CN105063416A (zh) 一种环保节约型铜合金线材及其加工方法
CN103521732A (zh) 一种铝青铜瓷套法兰离心铸造的浇铸工艺
CN105195541B (zh) 超临界电站汽轮机叶片用gh4738合金细晶坯制备方法
CN104015012A (zh) Al-Mg-Si合金轮毂的制造方法
CN102873096B (zh) 一种制备金属复合板带材的固态/半固态复合成形装置和方法
CN104368621A (zh) 一种金属板材的制造方法
CN104550755A (zh) 石墨型-陶瓷芯钛合金精密铸造方法
CN109822021A (zh) C形截面锻件一次碾轧成型方法
CN112442622A (zh) 一种金属镱靶材的生产工艺
CN105215276A (zh) 一种陶瓷芯熔模铸造方法
CN105618701B (zh) 一种耐磨钢件的精密铸造方法
CN102909527A (zh) 42CrMo钢环件铸辗连续成形的工艺流程
CN108580574B (zh) 一种三通零件坯件三向近固态压力成形的方法
CN104889695B (zh) 一种大型复合材料曲面工装去应力的工艺方法
CN102794328A (zh) 一种无缝不锈钢管的加工方法
CN103526137B (zh) 一种镁合金型材的生产方法及其采用的生产线
CN105127369A (zh) 一种空调轴承内套的铸造工艺
CN108405644B (zh) 一种三通零件坯件单向近固态压力成形的方法
CN104014734A (zh) 金属制品的融模铸造工艺
CN108405645B (zh) 一种三通零件坯件双向近固态压力成形的方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20210305

RJ01 Rejection of invention patent application after publication