CN112342500A - 一种真空镀膜机用膜废料回收装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种真空镀膜机用膜废料回收装置，包括管体、冷凝管、滑块、承接台、转动丝杆、棘轮装置，所述冷凝管安装设置在所述管体内部，且外部螺纹连接有滑块，所述滑块外周固定连接有环形刮片，所述管体下端设置有排料管，所述排料管下端设置有承接台，所述承接台包括端盖与滑动套，所述滑动套下端套接连接有转动丝杆，且所述转动丝杆与所述滑动套螺纹连接，所述转动丝杆中心轴线贯穿设置有安装孔，所述安装孔内还设置有棘轮装置。本发明提供一种操作简单、使用方便、回收效率高的真空镀膜机用膜废料回收装置。
Description
技术领域
本发明涉及真空镀膜机膜废料回收技术领域，具体的说是一种真空镀膜机用膜废料回收装置。
背景技术
真空镀膜是藉由真空泵抽出腔体内的残余气体，使腔体的内部维持真空状态，接着把待镀物（例如基板）放到腔体内，最后再将蒸镀源加热至汽化升华的状态，使蒸镀源的气体附着至待镀物的表面而形成一层薄膜。真空镀膜多余的镀膜材料会被真空泵从真空室中抽离而排走，若不对多余的镀膜材料进行回收，不但会造成资源的浪费，还会污染环境。
然而，现有的真空镀膜机中的冷凝回收装置需要人为的对装置进行拆卸才能回收材料，操作和使用不方便，不利于采集遇冷凝固在冷凝回收装置内的镀膜材料，冷凝回收效率低。
发明内容
针对现有技术中存在的上述不足之处，本发明目的是提供一种操作简单、使用方便、回收效率高的真空镀膜机用膜废料回收装置。
本发明为实现上述目的所采用的技术方案是：一种真空镀膜机用膜废料回收装置，包括管体、冷凝管、滑块、承接台、转动丝杆、棘轮装置，所述冷凝管安装设置在所述管体内部，且所述冷凝管上端贯穿所述管体顶部中心，并通过一号轴承与所述管体顶部之间转动连接，位于所述管体上端的冷凝管外侧壁上固定连接一号锥齿轮，所述管体上端面固定连接有驱动电机，用于带动述所冷凝管转动，所述驱动电机的转动轴上固定连接有二号锥齿轮，所述一号锥齿轮与所述二号锥齿轮相互啮合连接，用于所述驱动电机的动力传动，位于所述管体内部的冷凝管外侧壁上设置有螺纹槽，所述滑块通过螺纹槽活动链接在所述冷凝管上，且所述滑块外周固定连接有环形刮片，所述环形刮片用于将所述管体内壁的膜废料挂落至所述管体下端，所述环形刮片外周边缘与所述管体内侧壁相贴合，所述管体下端设置有排料管，所述排料管用于膜废料排出，所述排料管与所述管体下端之间通过渐缩管相连接，所述排料管下端设置有承接台，所述承接台包括端盖与滑动套，所述滑动套固定连接在所述端盖下端，且所述端盖上端密封套接在所述排料管下端，用于防止工作时，膜废料洒落到管体外部，造成膜废料浪费，所述滑动套下端套接连接有转动丝杆，且所述转动丝杆与所述滑动套螺纹连接，所述转动丝杆用于控制承接台的上下相对位移，所述转动丝杆中心轴线贯穿设置有安装孔，所述安装孔内侧壁设置有若干沿轴线设置有内轮齿，所述安装孔内还设置有棘轮装置，所述棘轮装置与所述内轮齿啮合连接，所述棘轮装置上端中部固定连接有转动杆，所述转动杆顶端依次穿过端盖、排料管、渐缩管后与所述冷凝管下端部固定连接，所述渐缩管的外部侧壁固定连接有若干安装杆，所述安装杆呈L型结构，所述安装杆下端端末固定连接在二号轴承外周侧壁上，所述转动丝杆固定连接在所述二号轴承内环内。
所述管体内侧壁开设有两组相对对称设置的滑槽，所述滑槽内滑动连接有限位块，所述限位块一端与所述环形刮片外周边缘固定连接，用于防止所述环形刮片在管体内部旋转，进而无法通过所述冷凝管的旋转进行上下位移。
所述滑块的上部与下部分别设置为圆台结构，用于将冷凝管外侧壁的膜废料刮落。
所述冷凝管下端为密封结构，上端转动连接有密封盖，且所述密封盖上端分别固定连接有冷水通管与回水管，所述冷水通管的下端设置在所述冷凝管内腔底部，所述回水管的下端设置在所述冷凝管的内腔上部，所述冷水通管与所述回水管的外部一端与水冷循环系统相连接。
所述转动杆与所述端盖之间固定连接有三号轴承，所述三号轴承为密封轴承，用于防止膜废料从转动杆与端盖之间的间隙处洒落至管体外部。
所述承接台外侧壁固定连接有环形板，所述环形板上开设有与所述安装杆相对应设置的限位孔，所述安装杆滑动连接在所述限位孔内。
所述棘轮装置包括转动盘、棘爪、固定销、扭簧，所述转动盘上端中部固定连接有所述转动杆，所述转动盘外周边缘处分别开设有若干呈环形阵列分布的活动槽，所述活动槽一侧开设有安装槽，所述安装槽底部中心固定连接有固定销，位于安装槽内的固定销外周套接连接有所述扭簧，所述扭簧一端固定连接在所述安装槽底部，所述扭簧上端固定连接在所述棘爪下端，且所述棘爪一端转动连接在所述活动槽内的固定销上,所述棘爪另一端在扭簧的作用下始终向转动盘外部转动。
所述端盖的盖体内侧边缘处嵌合连接有强磁铁，所述排料管下端固定连接有磁吸环，所述端盖与所述排料管之间通过强磁铁与所述磁吸环磁性吸附。
本发明的有益效果：本发明装置通过驱动电机作为动力进行操作，其操作简单，使用方便，能够实现镀膜废料的自动化收集与回收，并且通过设置有的冷凝管能够加快膜废料的冷凝吸附，回收率较高。
附图说明
图1为本发明整体剖面结构示意图；
图2为本发明冷凝管剖面结构示意图；
图3为图1中A1处剖面结构示意图；
图4为本发明棘轮装置立体结构示意图。
图中：1管体、2冷凝管、3滑块、4承接台、5转动丝杆、6棘轮装置、7一号锥齿轮、8驱动电机、9二号锥齿轮、10螺纹槽、11环形刮片、12排料管、13渐缩管、14内轮齿、15转动杆、16安装杆、17滑槽、18限位块、19密封盖、20冷水通管、21回水管、22环形板、23转动盘、24棘爪、25固定销、26扭簧、27活动槽、28强磁铁、29磁吸环、30安装槽。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-4，一种真空镀膜机用膜废料回收装置，包括管体1、冷凝管2、滑块3、承接台4、转动丝杆5、棘轮装置6，冷凝管2安装设置在管体1内部，且冷凝管2上端贯穿管体1顶部中心，并通过一号轴承与管体1顶部之间转动连接，位于管体1上端的冷凝管2外侧壁上固定连接一号锥齿轮7，管体1上端面固定连接有驱动电机8，用于带动述所冷凝管2转动，驱动电机8的转动轴上固定连接有二号锥齿轮9，一号锥齿轮7与二号锥齿轮9相互啮合连接，用于驱动电机8的动力传动，位于管体1内部的冷凝管2外侧壁上设置有螺纹槽10，滑块3通过螺纹槽10活动链接在冷凝管2上，且滑块3外周固定连接有环形刮片11，环形刮片11用于将管体1内壁的膜废料挂落至管体1下端，环形刮片11外周边缘与管体1内侧壁相贴合，管体1下端设置有排料管12，排料管12用于膜废料排出，排料管12与管体1下端之间通过渐缩管13相连接，排料管12下端设置有承接台4，承接台4包括端盖与滑动套，滑动套固定连接在端盖下端，且端盖上端密封套接在排料管12下端，用于防止工作时，膜废料洒落到管体1外部，造成膜废料浪费，滑动套下端套接连接有转动丝杆5，且转动丝杆5与滑动套螺纹连接，转动丝杆5用于控制承接台4的上下相对位移，转动丝杆5中心轴线贯穿设置有安装孔，安装孔内侧壁设置有若干沿轴线设置有内轮齿14，安装孔内还设置有棘轮装置6，棘轮装置6与内轮齿14啮合连接，棘轮装置6上端中部固定连接有转动杆15，转动杆15顶端依次穿过端盖、排料管12、渐缩管13后与冷凝管2下端部固定连接，渐缩管13的外部侧壁固定连接有若干安装杆16，安装杆16呈L型结构，安装杆16下端端末固定连接在二号轴承外周侧壁上，转动丝杆5固定连接在二号轴承内环内。
本发明中，管体1内侧壁开设有两组相对对称设置的滑槽17，滑槽17内滑动连接有限位块18，限位块18一端与环形刮片11外周边缘固定连接，用于防止环形刮片11在管体1内部旋转，进而无法通过冷凝管2的旋转进行上下位移。
滑块3的上部与下部分别设置为圆台结构，用于将冷凝管2外侧壁的膜废料刮落。
冷凝管2下端为密封结构，上端转动连接有密封盖19，且密封盖19上端分别固定连接有冷水通管20与回水管21，冷水通管20的下端设置在冷凝管2内腔底部，回水管21的下端设置在冷凝管2的内腔上部，冷水通管20与回水管21的外部一端与水冷循环系统相连接；密封盖19与冷凝管2之间固定连接有密封轴承，且密封轴承两侧的密封盖19与冷凝管2之间分别设置有密封圈。
转动杆15与端盖之间固定连接有三号轴承，三号轴承为密封轴承，用于防止膜废料从转动杆15与端盖之间的间隙处洒落至管体1外部。
承接台4外侧壁固定连接有环形板22，环形板22上开设有与安装杆16相对应设置的限位孔，安装杆16滑动连接在限位孔内。
棘轮装置6包括转动盘23、棘爪24、固定销25、扭簧26，转动盘23上端中部固定连接有转动杆15，转动盘23外周边缘处分别开设有若干呈环形阵列分布的活动槽27，活动槽27一侧开设有安装槽30，安装槽30底部中心固定连接有固定销25，位于安装槽30内的固定销25外周套接连接有扭簧26，扭簧26一端固定连接在安装槽30底部，扭簧26上端固定连接在棘爪24下端，且棘爪24一端转动连接在活动槽27内的固定销25上,棘爪24另一端在扭簧26的作用下始终向转动盘23外部转动。
端盖的盖体内侧边缘处嵌合连接有强磁铁28，排料管12下端固定连接有磁吸环29，端盖与排料管12之间通过强磁铁28与磁吸环29磁性吸附。
本发明的工作原理是：使用时，当冷凝管2内废气冷凝结束时，驱动电机8正向转动并带动冷凝管2正向转动，进而通过螺纹槽10使滑块3向下移动，移动过程中，带动环形刮片11向下移动，进而将管体1内侧壁和冷凝管2外侧壁上附着的镀膜废料进行刮落，同时转动杆15也随冷凝管2进行转动，此时承接台4上端的端盖与排料管12下端磁性吸附，并且棘轮装置6上的棘爪24与转动丝杆5内部的内轮齿14处于不啮合状态，及棘轮装置6在转动丝杆5内部进行空转，当膜废料全部刮落后，将驱动电机8反转，进而带动转动杆15反转，使棘爪24与内轮齿14处于啮合状态，从而带动转动丝杆5转动，从而实现承接台4整体向下滑动，即端盖处于打开状态，此时只需要将端盖内堆积的膜废料进行收集即可，当再次需要工作时，再次正向转动驱动电机8，此时棘爪24在扭簧26的作用力下与内轮齿14啮合的力大于滑动套转动的摩擦力，即可带动转动丝杆5转动至端盖与排料管12管口接触，由于滑动套的滑动受阻，其阻力远大于棘爪24与内轮齿14的啮合力，此时棘爪24与内轮齿14再次处于上述的不啮合状态，端盖通过磁力紧密配合于排料管12的管口处。
对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (8)
1.一种真空镀膜机用膜废料回收装置，包括管体（1）、冷凝管（2）、滑块（3）、承接台（4）、转动丝杆（5）、棘轮装置（6），其特征在于：所述冷凝管（2）安装设置在所述管体（1）内部，且所述冷凝管（2）上端贯穿所述管体（1）顶部中心，并通过一号轴承与所述管体（1）顶部之间转动连接，位于所述管体（1）上端的冷凝管（2）外侧壁上固定连接一号锥齿轮（7），所述管体（1）上端面固定连接有驱动电机（8），用于带动述所冷凝管（2）转动，所述驱动电机（8）的转动轴上固定连接有二号锥齿轮（9），所述一号锥齿轮（7）与所述二号锥齿轮（9）相互啮合连接，用于所述驱动电机（8）的动力传动，位于所述管体（1）内部的冷凝管（2）外侧壁上设置有螺纹槽（10），所述滑块（3）通过螺纹槽（10）活动链接在所述冷凝管（2）上，且所述滑块（3）外周固定连接有环形刮片（11），所述环形刮片（11）用于将所述管体（1）内壁的膜废料挂落至所述管体（1）下端，所述环形刮片（11）外周边缘与所述管体（1）内侧壁相贴合，所述管体（1）下端设置有排料管（12），所述排料管（12）用于膜废料排出，所述排料管（12）与所述管体（1）下端之间通过渐缩管（13）相连接，所述排料管（12）下端设置有承接台（4），所述承接台（4）包括端盖与滑动套，所述滑动套固定连接在所述端盖下端，且所述端盖上端密封套接在所述排料管（12）下端，用于防止工作时，膜废料洒落到管体（1）外部，造成膜废料浪费，所述滑动套下端套接连接有转动丝杆（5），且所述转动丝杆（5）与所述滑动套螺纹连接，所述转动丝杆（5）用于控制承接台（4）的上下相对位移，所述转动丝杆（5）中心轴线贯穿设置有安装孔，所述安装孔内侧壁设置有若干沿轴线设置有内轮齿（14），所述安装孔内还设置有棘轮装置（6），所述棘轮装置（6）与所述内轮齿（14）啮合连接，所述棘轮装置（6）上端中部固定连接有转动杆（15），所述转动杆（15）顶端依次穿过端盖、排料管（12）、渐缩管（13）后与所述冷凝管（2）下端部固定连接，所述渐缩管（13）的外部侧壁固定连接有若干安装杆（16），所述安装杆（16）呈L型结构，所述安装杆（16）下端端末固定连接在二号轴承外周侧壁上，所述转动丝杆（5）固定连接在所述二号轴承内环内。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用膜废料回收装置，其特征在于：所述管体（1）内侧壁开设有两组相对对称设置的滑槽（17），所述滑槽（17）内滑动连接有限位块（18），所述限位块（18）一端与所述环形刮片（11）外周边缘固定连接，用于防止所述环形刮片（11）在管体（1）内部旋转，进而无法通过所述冷凝管（2）的旋转进行上下位移。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用膜废料回收装置，其特征在于：所述滑块（3）的上部与下部分别设置为圆台结构，用于将冷凝管（2）外侧壁的膜废料刮落。
4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用膜废料回收装置，其特征在于：所述冷凝管（2）下端为密封结构，上端转动连接有密封盖（19），且所述密封盖（19）上端分别固定连接有冷水通管（20）与回水管（21），所述冷水通管（20）的下端设置在所述冷凝管（2）内腔底部，所述回水管（21）的下端设置在所述冷凝管（2）的内腔上部，所述冷水通管（20）与所述回水管（21）的外部一端与水冷循环系统相连接。
5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用膜废料回收装置，其特征在于：所述转动杆（15）与所述端盖之间固定连接有三号轴承，所述三号轴承为密封轴承，用于防止膜废料从转动杆（15）与端盖之间的间隙处洒落至管体（1）外部。
6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用膜废料回收装置，其特征在于：所述承接台（4）外侧壁固定连接有环形板（22），所述环形板（22）上开设有与所述安装杆（16）相对应设置的限位孔，所述安装杆（16）滑动连接在所述限位孔内。
7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用膜废料回收装置，其特征在于：所述棘轮装置（6）包括转动盘（23）、棘爪（24）、固定销（25）、扭簧（26），所述转动盘（23）上端中部固定连接有所述转动杆（15），所述转动盘（23）外周边缘处分别开设有若干呈环形阵列分布的活动槽（27），所述活动槽（27）一侧开设有安装槽（30），所述安装槽（30）底部中心固定连接有固定销（25），位于安装槽（30）内的固定销（25）外周套接连接有所述扭簧（26），所述扭簧（26）一端固定连接在所述安装槽（30）底部，所述扭簧（26）上端固定连接在所述棘爪（24）下端，且所述棘爪（24）一端转动连接在所述活动槽（27）内的固定销（25）上,所述棘爪（24）另一端在扭簧（26）的作用下始终向转动盘（23）外部转动。
8.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用膜废料回收装置，其特征在于：所述端盖的盖体内侧边缘处嵌合连接有强磁铁（28），所述排料管（12）下端固定连接有磁吸环（29），所述端盖与所述排料管（12）之间通过强磁铁（28）与所述磁吸环（29）磁性吸附。
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2020
- 2020-10-23 CN CN202011150385.1A patent/CN112342500A/zh active Pending
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