CN113584435A - 一种防止堵塞的蒸镀设备 - Google Patents
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- 238000001704 evaporation Methods 0.000 title claims abstract description 54
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 title claims abstract description 54
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract description 57
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 claims description 30
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 claims description 21
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 20
- 210000000080 chela (arthropods) Anatomy 0.000 claims description 18
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 claims description 14
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 13
- 238000007790 scraping Methods 0.000 claims description 13
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims description 10
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 10
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 7
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 7
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 7
- 239000013589 supplement Substances 0.000 claims description 6
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 4
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 4
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 claims description 4
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 claims description 4
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 claims description 3
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims 3
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 10
- 239000002699 waste material Substances 0.000 abstract description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 239000003599 detergent Substances 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 5
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 3
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- 239000006260 foam Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- 230000001502 supplementing effect Effects 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/564—Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases
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Abstract
本发明涉及一种蒸镀设备，更具体的说是一种防止堵塞的蒸镀设备，包括清洁上箱体机构、蒸镀下箱体机构、防堵接真空泵机构，设备能够进行清理蒸镀空间，设备能够排出废液，设备能够进行蒸镀，设备能够保证真空泵的良好使用，所述的清洁上箱体机构与蒸镀下箱体机构相连，蒸镀下箱体机构与防堵接真空泵机构相连。
Description
技术领域
本发明涉及一种蒸镀设备，更具体的说是一种防止堵塞的蒸镀设备。
背景技术
在蒸镀的过程中，需要对蒸镀的空间进行清理，传统的清理方式需要人工来进行完成，耗时耗力，干燥慢，配合真空泵使用时，容易造成传统滤芯的堵塞，所以设计了一种防止堵塞的蒸镀设备。
发明内容
本发明主要解决的技术问题是提供一种防止堵塞的蒸镀设备，设备能够进行清理蒸镀空间，设备能够排出废液，设备能够进行蒸镀，设备能够保证真空泵的良好使用。
为解决上述技术问题，本发明涉及一种蒸镀设备，更具体的说是一种防止堵塞的蒸镀设备，包括清洁上箱体机构、蒸镀下箱体机构、防堵接真空泵机构，设备能够进行清理蒸镀空间，设备能够排出废液，设备能够进行蒸镀，设备能够保证真空泵的良好使用。
所述的清洁上箱体机构与蒸镀下箱体机构相连，蒸镀下箱体机构与防堵接真空泵机构相连；
所述的清洁上箱体机构包括气缸架、第一气缸、第一气缸杆、清洁剂箱体、补充口、上箱盖、第二气缸杆、第二气缸、内活塞、转轴、压出通道、叶片、转动臂、引导座、弧形部、压出单向阀、清洁座、基片卡紧座、滑槽、双向螺旋、伺服电机、驱动杆，气缸架与第一气缸相连，第一气缸与第一气缸杆相连，第一气缸杆与清洁剂箱体滑动连接，清洁剂箱体上端连接有气缸架，清洁剂箱体一侧设有补充口，清洁剂箱体与上箱盖相连，上箱盖与第二气缸杆相连，第二气缸杆与第二气缸相连，内活塞滑动连接在清洁剂箱体内，内活塞与第一气缸杆相连，转轴上设有转动臂，转轴和转动臂内均设有压出通道，压出通道内设有压出单向阀，转轴深入清洁剂箱体的部分设有叶片，转轴与上箱盖转动连接，转动臂上设有引导座，引导座上设有弧形部，弧形部设置在压出单向阀的喷出口的正上方，转动臂两端连接有清洁座，基片卡紧座滑动连接在滑槽内，滑槽设置在转动臂的下端面上，双向螺旋转动连接在转动臂内，双向螺旋与基片卡紧座螺纹连接，双向螺旋与伺服电机相连，伺服电机与转动臂相连，两个驱动杆对称连接在转动臂的下端面上。
作为本技术方案的进一步优化，本发明一种防止堵塞的蒸镀设备所述的蒸镀下箱体机构包括被动筒、转动钳锅、第一支撑座、排出管、带抽气管下箱体、第三气缸、第三气缸杆、闸门、配合槽、联轴器、驱动电机、刮动座，被动筒与转动钳锅相连，转动钳锅与带抽气管下箱体转动连接，带抽气管下箱体下方连接有第一支撑座，带抽气管下箱体与排出管相连且连通，第三气缸与带抽气管下箱体相连，第三气缸与第三气缸杆相连，第三气缸杆与闸门相连，闸门与配合槽滑动连接，配合槽设置在带抽气管下箱体上，联轴器与驱动电机相连，驱动电机与带抽气管下箱体相连，联轴器与转动钳锅相连，刮动座与转动钳锅相连，刮动座与带抽气管下箱体内壁相接触，第二气缸杆与带抽气管下箱体滑动连接，第二气缸与带抽气管下箱体相连，上箱盖与带抽气管下箱体相接触，驱动杆与被动筒滑动连接。
作为本技术方案的进一步优化，本发明一种防止堵塞的蒸镀设备所述的防堵接真空泵机构包括第二支撑座、带法兰外接管、过滤箱、清理电机、开口、转动过滤轮、过滤孔、收集管、第四气缸杆、第四气缸、加固支撑座、清理轮，第二支撑座与过滤箱相连，过滤箱与带法兰外接管相连通，清理电机与过滤箱相连，开口设置在过滤箱上端，开口与带抽气管下箱体相连通，转动过滤轮转动连接在过滤箱内，转动过滤轮上设有数个过滤孔，收集管滑动连接在过滤箱上，收集管与第四气缸杆相连，第四气缸杆与第四气缸相连，第四气缸与加固支撑座相连，加固支撑座连接在过滤箱的一侧，清理轮与过滤孔相啮合，清理轮转动连接在过滤箱内，清理轮与清理电机相连。
作为本技术方案的进一步优化，本发明一种防止堵塞的蒸镀设备所述的补充口设有螺纹塞。
作为本技术方案的进一步优化，本发明一种防止堵塞的蒸镀设备所述的带法兰外接管外接真空泵进行使用。
作为本技术方案的进一步优化，本发明一种防止堵塞的蒸镀设备所述的上箱盖和带抽气管下箱体的接触位置均设有密封材料。
本发明一种防止堵塞的蒸镀设备的有益效果为：
本发明一种防止堵塞的蒸镀设备，设备能够进行清理蒸镀空间，设备能够排出废液，设备能够进行蒸镀，设备能够保证真空泵的良好使用。
附图说明
下面结合附图和具体实施方法对本发明做进一步详细的说明。
图1为本发明一种防止堵塞的蒸镀设备的结构示意图一。
图2为本发明一种防止堵塞的蒸镀设备的结构示意图二。
图3为本发明一种防止堵塞的蒸镀设备的结构示意图三。
图4为本发明一种防止堵塞的蒸镀设备的清洁上箱体机构1的结构示意图一。
图5为本发明一种防止堵塞的蒸镀设备的清洁上箱体机构1的结构示意图二。
图6为本发明一种防止堵塞的蒸镀设备的蒸镀下箱体机构2的结构示意图一。
图7为本发明一种防止堵塞的蒸镀设备的蒸镀下箱体机构2的结构示意图二。
图8为本发明一种防止堵塞的蒸镀设备的防堵接真空泵机构3的结构示意图一。
图9为本发明一种防止堵塞的蒸镀设备的防堵接真空泵机构3的结构示意图二。
图10为本发明一种防止堵塞的蒸镀设备的防堵接真空泵机构3的结构示意图三。
图中：清洁上箱体机构1；气缸架1-1；第一气缸1-2；第一气缸杆1-3；清洁剂箱体1-4；补充口1-5；上箱盖1-6；第二气缸杆1-7；第二气缸1-8；内活塞1-9；转轴1-10；压出通道1-11；叶片1-12；转动臂1-13；引导座1-14；弧形部1-15；压出单向阀1-16；清洁座1-17；基片卡紧座1-18；滑槽1-19；双向螺旋1-20；伺服电机1-21；驱动杆1-22；蒸镀下箱体机构2；被动筒2-1；转动钳锅2-2；第一支撑座2-3；排出管2-4；带抽气管下箱体2-5；第三气缸2-6；第三气缸杆2-7；闸门2-8；配合槽2-9；联轴器2-10；驱动电机2-11；刮动座2-12；防堵接真空泵机构3；第二支撑座3-1；带法兰外接管3-2；过滤箱3-3；清理电机3-4；开口3-5；转动过滤轮3-6；过滤孔3-7；收集管3-8；第四气缸杆3-9；第四气缸3-10；加固支撑座3-11；清理轮3-12。
具体实施方式
具体实施方式一：
下面结合图1、图2、图3、图4、图5、图6、图7、图8、图9、图10说明本实施方式，本发明涉及一种蒸镀设备，更具体的说是一种防止堵塞的蒸镀设备，包括清洁上箱体机构1、蒸镀下箱体机构2、防堵接真空泵机构3，设备能够进行清理蒸镀空间，设备能够排出废液，设备能够进行蒸镀，设备能够保证真空泵的良好使用。
所述的清洁上箱体机构1与蒸镀下箱体机构2相连，蒸镀下箱体机构2与防堵接真空泵机构3相连；
所述的清洁上箱体机构1包括气缸架1-1、第一气缸1-2、第一气缸杆1-3、清洁剂箱体1-4、补充口1-5、上箱盖1-6、第二气缸杆1-7、第二气缸1-8、内活塞1-9、转轴1-10、压出通道1-11、叶片1-12、转动臂1-13、引导座1-14、弧形部1-15、压出单向阀1-16、清洁座1-17、基片卡紧座1-18、滑槽1-19、双向螺旋1-20、伺服电机1-21、驱动杆1-22，气缸架1-1与第一气缸1-2相连，第一气缸1-2与第一气缸杆1-3相连，第一气缸杆1-3与清洁剂箱体1-4滑动连接，清洁剂箱体1-4上端连接有气缸架1-1，清洁剂箱体1-4一侧设有补充口1-5，清洁剂箱体1-4与上箱盖1-6相连，上箱盖1-6与第二气缸杆1-7相连，第二气缸杆1-7与第二气缸1-8相连，内活塞1-9滑动连接在清洁剂箱体1-4内，内活塞1-9与第一气缸杆1-3相连，转轴1-10上设有转动臂1-13，转轴1-10和转动臂1-13内均设有压出通道1-11，压出通道1-11内设有压出单向阀1-16，转轴1-10深入清洁剂箱体1-4的部分设有叶片1-12，转轴1-10与上箱盖1-6转动连接，转动臂1-13上设有引导座1-14，引导座1-14上设有弧形部1-15，弧形部1-15设置在压出单向阀1-16的喷出口的正上方，转动臂1-13两端连接有清洁座1-17，基片卡紧座1-18滑动连接在滑槽1-19内，滑槽1-19设置在转动臂1-13的下端面上，双向螺旋1-20转动连接在转动臂1-13内，双向螺旋1-20与基片卡紧座1-18螺纹连接，双向螺旋1-20与伺服电机1-21相连，伺服电机1-21与转动臂1-13相连，两个驱动杆1-22对称连接在转动臂1-13的下端面上，通过补充口1-5向清洁剂箱体1-4内注入清洁剂，然后用螺纹塞将补充口1-5堵住，然后通过第一气缸1-2带动第一气缸杆1-3向下运动，第一气缸杆1-3会带动内活塞1-9向下运动，对清洁剂箱体1-4内进行加压，使得清洁剂进入压出通道1-11内然后冲开压出单向阀1-16向上喷出，经过弧形部1-15的换向后水平喷出，同时引起一部分飞溅，从而让清洁剂散落在上箱盖1-6和带抽气管下箱体2-5内壁上，而水平喷出的会沿着上箱盖1-6向下流动，同时运转驱动电机2-11带动联轴器2-10进行转动，联轴器2-10会带动转动钳锅2-2转动，转动钳锅2-2会带动刮动座2-12进行转动，刮动座2-12会对带抽气管下箱体2-5内壁进行清理，被动筒2-1会随着转动钳锅2-2进行转动，被动筒2-1会通过驱动杆1-22带动转动臂1-13进行转动，转动臂1-13会带动清洁座1-17进行圆周运动，从而对上箱盖1-6内壁进行清理，在此过程中，转动臂1-13转动时会通过转轴1-10带动叶片1-12进行转动，叶片1-12会保证清洁剂的混合均匀，产生多的泡沫利于清理。
具体实施方式二：
下面结合图1、图2、图3、图4、图5、图6、图7、图8、图9、图10说明本实施方式，本实施方式对实施方式一作进一步说明，所述的蒸镀下箱体机构2包括被动筒2-1、转动钳锅2-2、第一支撑座2-3、排出管2-4、带抽气管下箱体2-5、第三气缸2-6、第三气缸杆2-7、闸门2-8、配合槽2-9、联轴器2-10、驱动电机2-11、刮动座2-12，被动筒2-1与转动钳锅2-2相连，转动钳锅2-2与带抽气管下箱体2-5转动连接，带抽气管下箱体2-5下方连接有第一支撑座2-3，带抽气管下箱体2-5与排出管2-4相连且连通，第三气缸2-6与带抽气管下箱体2-5相连，第三气缸2-6与第三气缸杆2-7相连，第三气缸杆2-7与闸门2-8相连，闸门2-8与配合槽2-9滑动连接，配合槽2-9设置在带抽气管下箱体2-5上，联轴器2-10与驱动电机2-11相连，驱动电机2-11与带抽气管下箱体2-5相连，联轴器2-10与转动钳锅2-2相连，刮动座2-12与转动钳锅2-2相连，刮动座2-12与带抽气管下箱体2-5内壁相接触，第二气缸杆1-7与带抽气管下箱体2-5滑动连接，第二气缸1-8与带抽气管下箱体2-5相连，上箱盖1-6与带抽气管下箱体2-5相接触，驱动杆1-22与被动筒2-1滑动连接，清洁结束后可以通过第三气缸2-6带动第三气缸杆2-7去拉动闸门2-8，从而使废液从排出管2-4处排走，转动臂1-13的继续转动有利于气体流动，便于干燥，通过第二气缸1-8带动第二气缸杆1-7将上箱盖1-6向上顶起，然后向装置内通入清水对上箱盖1-6和带抽气管下箱体2-5内壁冲洗，同样将废液排出，伺服电机1-21运转会带动双向螺旋1-20进行转动，双向螺旋1-20会带动基片卡紧座1-18相互靠近然后将基片夹在基片卡紧座1-18之间，完成对基片的固定，然后将蒸镀材料放在转动钳锅2-2内，然后通过第二气缸1-8带动上箱盖1-6复位，然后利用外接真空泵来对上箱盖1-6和带抽气管下箱体2-5形成的密闭腔进行抽真空，转动钳锅2-2进行加热，来完成对基片的蒸镀。
具体实施方式三：
下面结合图1、图2、图3、图4、图5、图6、图7、图8、图9、图10说明本实施方式，本实施方式对实施方式一作进一步说明，所述的防堵接真空泵机构3包括第二支撑座3-1、带法兰外接管3-2、过滤箱3-3、清理电机3-4、开口3-5、转动过滤轮3-6、过滤孔3-7、收集管3-8、第四气缸杆3-9、第四气缸3-10、加固支撑座3-11、清理轮3-12，第二支撑座3-1与过滤箱3-3相连，过滤箱3-3与带法兰外接管3-2相连通，清理电机3-4与过滤箱3-3相连，开口3-5设置在过滤箱3-3上端，开口3-5与带抽气管下箱体2-5相连通，转动过滤轮3-6转动连接在过滤箱3-3内，转动过滤轮3-6上设有数个过滤孔3-7，收集管3-8滑动连接在过滤箱3-3上，收集管3-8与第四气缸杆3-9相连，第四气缸杆3-9与第四气缸3-10相连，第四气缸3-10与加固支撑座3-11相连，加固支撑座3-11连接在过滤箱3-3的一侧，清理轮3-12与过滤孔3-7相啮合，清理轮3-12转动连接在过滤箱3-3内，清理轮3-12与清理电机3-4相连，在抽真空的过程中，上箱盖1-6和带抽气管下箱体2-5形成的密闭腔内空气会从开口3-5进入到过滤箱3-3内，运转清理电机3-4带动清理轮3-12进行转动，清理轮3-12会通过与过滤孔3-7啮合带动转动过滤轮3-6转动，转动过滤轮3-6会不断更换对气体的过滤孔3-7的使用，完成对气体的过滤，清理轮3-12与过滤孔3-7啮合的过程中，就会将过滤孔3-7内的阻塞物清理出来，由于气体向带法兰外接管3-2处流动，这样可以让清理下来的阻塞物顺着气流向下运动时直接进入到收集管3-8内，然后第四气缸3-10带动第四气缸杆3-9将收集管3-8拉出过滤箱3-3，便于将垃圾取出。
具体实施方式四：
下面结合图1、图2、图3、图4、图5、图6、图7、图8、图9、图10说明本实施方式，本实施方式对实施方式一作进一步说明，所述的补充口1-5设有螺纹塞。
具体实施方式五：
下面结合图1、图2、图3、图4、图5、图6、图7、图8、图9、图10说明本实施方式，本实施方式对实施方式一作进一步说明，所述的带法兰外接管3-2外接真空泵进行使用。
具体实施方式六：
下面结合图1、图2、图3、图4、图5、图6、图7、图8、图9、图10说明本实施方式，本实施方式对实施方式一作进一步说明，所述的上箱盖1-6和带抽气管下箱体2-5的接触位置均设有密封材料。
本设备的工作原理是：设备能够进行清理蒸镀空间，通过补充口1-5向清洁剂箱体1-4内注入清洁剂，然后用螺纹塞将补充口1-5堵住，然后通过第一气缸1-2带动第一气缸杆1-3向下运动，第一气缸杆1-3会带动内活塞1-9向下运动，对清洁剂箱体1-4内进行加压，使得清洁剂进入压出通道1-11内然后冲开压出单向阀1-16向上喷出，经过弧形部1-15的换向后水平喷出，同时引起一部分飞溅，从而让清洁剂散落在上箱盖1-6和带抽气管下箱体2-5内壁上，而水平喷出的会沿着上箱盖1-6向下流动，同时运转驱动电机2-11带动联轴器2-10进行转动，联轴器2-10会带动转动钳锅2-2转动，转动钳锅2-2会带动刮动座2-12进行转动，刮动座2-12会对带抽气管下箱体2-5内壁进行清理，被动筒2-1会随着转动钳锅2-2进行转动，被动筒2-1会通过驱动杆1-22带动转动臂1-13进行转动，转动臂1-13会带动清洁座1-17进行圆周运动，从而对上箱盖1-6内壁进行清理，在此过程中，转动臂1-13转动时会通过转轴1-10带动叶片1-12进行转动，叶片1-12会保证清洁剂的混合均匀，产生多的泡沫利于清理；设备能够排出废液，清洁结束后可以通过第三气缸2-6带动第三气缸杆2-7去拉动闸门2-8，从而使废液从排出管2-4处排走，转动臂1-13的继续转动有利于气体流动，便于干燥，通过第二气缸1-8带动第二气缸杆1-7将上箱盖1-6向上顶起，然后向装置内通入清水对上箱盖1-6和带抽气管下箱体2-5内壁冲洗，同样将废液排出；设备能够进行蒸镀，伺服电机1-21运转会带动双向螺旋1-20进行转动，双向螺旋1-20会带动基片卡紧座1-18相互靠近然后将基片夹在基片卡紧座1-18之间，完成对基片的固定，然后将蒸镀材料放在转动钳锅2-2内，然后通过第二气缸1-8带动上箱盖1-6复位，然后利用外接真空泵来对上箱盖1-6和带抽气管下箱体2-5形成的密闭腔进行抽真空，转动钳锅2-2进行加热，来完成对基片的蒸镀；设备能够保证真空泵的良好使用，在抽真空的过程中，上箱盖1-6和带抽气管下箱体2-5形成的密闭腔内空气会从开口3-5进入到过滤箱3-3内，运转清理电机3-4带动清理轮3-12进行转动，清理轮3-12会通过与过滤孔3-7啮合带动转动过滤轮3-6转动，转动过滤轮3-6会不断更换对气体的过滤孔3-7的使用，完成对气体的过滤，清理轮3-12与过滤孔3-7啮合的过程中，就会将过滤孔3-7内的阻塞物清理出来，由于气体向带法兰外接管3-2处流动，这样可以让清理下来的阻塞物顺着气流向下运动时直接进入到收集管3-8内，然后第四气缸3-10带动第四气缸杆3-9将收集管3-8拉出过滤箱3-3，便于将垃圾取出。
当然，上述说明并非对本发明的限制，本发明也不仅限于上述举例，本技术领域的普通技术人员在本发明的实质范围内所做出的变化、改型、添加或替换，也属于本发明的保护范围。
Claims (6)
1.一种防止堵塞的蒸镀设备，包括清洁上箱体机构(1)、蒸镀下箱体机构(2)、防堵接真空泵机构(3)，其特征在于：所述的清洁上箱体机构(1)与蒸镀下箱体机构(2)相连，蒸镀下箱体机构(2)与防堵接真空泵机构(3)相连；
所述的清洁上箱体机构(1)包括气缸架(1-1)、第一气缸(1-2)、第一气缸杆(1-3)、清洁剂箱体(1-4)、补充口(1-5)、上箱盖(1-6)、第二气缸杆(1-7)、第二气缸(1-8)、内活塞(1-9)、转轴(1-10)、压出通道(1-11)、叶片(1-12)、转动臂(1-13)、引导座(1-14)、弧形部(1-15)、压出单向阀(1-16)、清洁座(1-17)、基片卡紧座(1-18)、滑槽(1-19)、双向螺旋(1-20)、伺服电机(1-21)、驱动杆(1-22)，气缸架(1-1)与第一气缸(1-2)相连，第一气缸(1-2)与第一气缸杆(1-3)相连，第一气缸杆(1-3)与清洁剂箱体(1-4)滑动连接，清洁剂箱体(1-4)上端连接有气缸架(1-1)，清洁剂箱体(1-4)一侧设有补充口(1-5)，清洁剂箱体(1-4)与上箱盖(1-6)相连，上箱盖(1-6)与第二气缸杆(1-7)相连，第二气缸杆(1-7)与第二气缸(1-8)相连，内活塞(1-9)滑动连接在清洁剂箱体(1-4)内，内活塞(1-9)与第一气缸杆(1-3)相连，转轴(1-10)上设有转动臂(1-13)，转轴(1-10)和转动臂(1-13)内均设有压出通道(1-11)，压出通道(1-11)内设有压出单向阀(1-16)，转轴(1-10)深入清洁剂箱体(1-4)的部分设有叶片(1-12)，转轴(1-10)与上箱盖(1-6)转动连接，转动臂(1-13)上设有引导座(1-14)，引导座(1-14)上设有弧形部(1-15)，弧形部(1-15)设置在压出单向阀(1-16)的喷出口的正上方，转动臂(1-13)两端连接有清洁座(1-17)，基片卡紧座(1-18)滑动连接在滑槽(1-19)内，滑槽(1-19)设置在转动臂(1-13)的下端面上，双向螺旋(1-20)转动连接在转动臂(1-13)内，双向螺旋(1-20)与基片卡紧座(1-18)螺纹连接，双向螺旋(1-20)与伺服电机(1-21)相连，伺服电机(1-21)与转动臂(1-13)相连，两个驱动杆(1-22)对称连接在转动臂(1-13)的下端面上。
2.根据权利要求1所述的一种防止堵塞的蒸镀设备，其特征在于：所述的蒸镀下箱体机构(2)包括被动筒(2-1)、转动钳锅(2-2)、第一支撑座(2-3)、排出管(2-4)、带抽气管下箱体(2-5)、第三气缸(2-6)、第三气缸杆(2-7)、闸门(2-8)、配合槽(2-9)、联轴器(2-10)、驱动电机(2-11)、刮动座(2-12)，被动筒(2-1)与转动钳锅(2-2)相连，转动钳锅(2-2)与带抽气管下箱体(2-5)转动连接，带抽气管下箱体(2-5)下方连接有第一支撑座(2-3)，带抽气管下箱体(2-5)与排出管(2-4)相连且连通，第三气缸(2-6)与带抽气管下箱体(2-5)相连，第三气缸(2-6)与第三气缸杆(2-7)相连，第三气缸杆(2-7)与闸门(2-8)相连，闸门(2-8)与配合槽(2-9)滑动连接，配合槽(2-9)设置在带抽气管下箱体(2-5)上，联轴器(2-10)与驱动电机(2-11)相连，驱动电机(2-11)与带抽气管下箱体(2-5)相连，联轴器(2-10)与转动钳锅(2-2)相连，刮动座(2-12)与转动钳锅(2-2)相连，刮动座(2-12)与带抽气管下箱体(2-5)内壁相接触，第二气缸杆(1-7)与带抽气管下箱体(2-5)滑动连接，第二气缸(1-8)与带抽气管下箱体(2-5)相连，上箱盖(1-6)与带抽气管下箱体(2-5)相接触，驱动杆(1-22)与被动筒(2-1)滑动连接。
3.根据权利要求2所述的一种防止堵塞的蒸镀设备，其特征在于：所述的防堵接真空泵机构(3)包括第二支撑座(3-1)、带法兰外接管(3-2)、过滤箱(3-3)、清理电机(3-4)、开口(3-5)、转动过滤轮(3-6)、过滤孔(3-7)、收集管(3-8)、第四气缸杆(3-9)、第四气缸(3-10)、加固支撑座(3-11)、清理轮(3-12)，第二支撑座(3-1)与过滤箱(3-3)相连，过滤箱(3-3)与带法兰外接管(3-2)相连通，清理电机(3-4)与过滤箱(3-3)相连，开口(3-5)设置在过滤箱(3-3)上端，开口(3-5)与带抽气管下箱体(2-5)相连通，转动过滤轮(3-6)转动连接在过滤箱(3-3)内，转动过滤轮(3-6)上设有数个过滤孔(3-7)，收集管(3-8)滑动连接在过滤箱(3-3)上，收集管(3-8)与第四气缸杆(3-9)相连，第四气缸杆(3-9)与第四气缸(3-10)相连，第四气缸(3-10)与加固支撑座(3-11)相连，加固支撑座(3-11)连接在过滤箱(3-3)的一侧，清理轮(3-12)与过滤孔(3-7)相啮合，清理轮(3-12)转动连接在过滤箱(3-3)内，清理轮(3-12)与清理电机(3-4)相连。
4.根据权利要求1-3任一项所述的一种防止堵塞的蒸镀设备，其特征在于：所述的补充口(1-5)设有螺纹塞。
5.根据权利要求3所述的一种防止堵塞的蒸镀设备，其特征在于：所述的带法兰外接管(3-2)外接真空泵进行使用。
6.根据权利要求2或3所述的一种防止堵塞的蒸镀设备，其特征在于：所述的上箱盖(1-6)和带抽气管下箱体(2-5)的接触位置均设有密封材料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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Family
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN113584435A (zh) |
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