CN112297259A - 一种用于圆晶倒角的倾斜保护装置 - Google Patents

一种用于圆晶倒角的倾斜保护装置 Download PDF

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Abstract

本发明涉及半导体加工设备技术领域，且公开了一种用于圆晶倒角的倾斜保护装置，包括检测柱，所述检测柱的底部固定连接有液体储存柱，所述检测柱的内侧壁固定连接有液压柱，所述液压柱的内侧壁滑动连接有顶杆，所述顶杆的顶端固定连接有永磁体一，所述永磁体一的顶端固定连接有复位弹簧一；检测支架内的滑动块被横杆带动，向内侧移动，在滑动块向内侧移动时，使滑动块上的连接杆随之移动，使连接杆带动弹性片向上形变，使弹性片上的触点与导电平台上的传输线接触，使检测柱外侧的报警器在通电后，发出警报，提醒人员出现过大的倾斜角度，使该装置可以对倾斜角度自动进行检测，提升装置的使用可靠性。

Description

一种用于圆晶倒角的倾斜保护装置
技术领域
本发明涉及半导体加工设备技术领域，具体为一种用于圆晶倒角的倾斜保护装置。
背景技术
圆晶是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为圆晶。圆晶是生产集成电路所用的载体，一般意义晶圆多指单晶硅圆片。单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了圆晶，目前，为了增加硅切片边缘表面机械强度、减少颗粒污染，通常需要进行倒角处理。
现有技术中，为了使圆晶倒角的倒角更加光滑且对称，通常需要将倒角盘设置成一定的角度，使倒角盘倾斜的对圆晶进行倒角，然而倒角盘在旋转的过程中，产生较大的惯性，因此，倒角盘会根据惯性的作用，倾斜的角度增大，过大的倾斜角度则会导致圆晶过度倒角，使圆晶出现损坏。
发明内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本发明提供了一种用于圆晶倒角的倾斜保护装置，具备自动检测圆晶盘的倾斜角度，且倾斜超过预定值时，自动关闭圆晶盘的输出源的优点，解决了倒角盘在旋转的过程中，产生较大的惯性，因此，倒角盘会根据惯性的作用，倾斜的角度增大，过大的倾斜角度则会导致圆晶过度倒角，使圆晶出现损坏的问题。
(二)技术方案
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种用于圆晶倒角的倾斜保护装置，包括检测柱，所述检测柱的底部固定连接有液体储存柱，所述检测柱的内侧壁固定连接有液压柱，所述液压柱的内侧壁滑动连接有顶杆，所述顶杆的顶端固定连接有永磁体一，所述永磁体一的顶端固定连接有复位弹簧一，所述检测柱的内部中心位置处固定连接有检测支架，所述检测支架的内侧壁滑动连接有滑动块，所述滑动块的一端固定连接有复位弹簧二，所述滑动块的外侧壁铰接有连接杆，所述连接杆的另一端铰接有弹性片，所述弹性片的顶部固定连接有导电平台，所述导电平台的内部固定连接有传输线，所述检测支架的一侧设有滑动轨道，所述滑动轨道的内侧壁滑动连接有横杆，所述横杆的一端与所述滑动块固定连接，所述横杆的另一端固定连接有永磁体二；
所述检测柱的内部固定连接有驱动源，所述驱动源的输出轴固定连接有下离合盘，所述下离合盘的上方活动连接有上离合盘，所述上离合盘的顶部铰接有传动杆，所述传动杆的一端固定连接有电磁铁推杆。
优选的，所述液体储存柱与所述液压柱相互连通，所述液体储存柱的内部填充有液态水，通过设置液态水，使液体储存柱在处于倾斜状态下液态水会由于重力的作用跟随倾斜。
优选的，所述永磁体一由两个磁极组成，所述永磁体一的下端为S极，所述永磁体一的上端为N极。
优选的，所述弹性片的外侧壁固定连接有触点，所述触点共设有两个，两个所述触点参照所述弹性片的中线对称分布触点与传输线接触，形成通路。
优选的，所述永磁体二的磁极为S极，所述永磁体二靠近所述永磁体一的一侧，且所述永磁体二与所述永磁体一相互平行，永磁体一上的S极滑动至靠近永磁体二时，永磁体一与永磁体二相互排斥，永磁体一上的N极滑动至靠近永磁体二时，永磁体一与永磁体二相互吸引。
优选的，所述电磁铁推杆的内部设有两个磁极相同的电磁体，两个电磁体在通电后，相互排斥，使电磁铁推杆的伸缩端向上移动。
优选的，所述上离合盘的输出轴固定连接有倒角盘，所述检测柱的外侧壁固定连接有报警器，上离合盘带动倒角盘旋转，在通电后，报警器发出警报，提醒工作人员。
(三)有益效果
与现有技术相比，本发明提供了一种用于圆晶倒角的倾斜保护装置，具备以下有益效果：
1、该用于圆晶倒角的倾斜保护装置，通过在液体储存柱的上设置与之连通的液压柱，液压柱和液体储存柱内都填充有液态水，当装置发生倾斜时，液体储存柱和液压柱内的水体受重力作用，向倾斜面流动，使水体推动顶杆向外侧移动，使顶杆再带动永磁体一上升，使靠近永磁体一上的S极向上移动，当倾斜角度超过预设值时，液态水在重力的作用下，持续向外带动顶杆移动，使顶杆上永磁体一处的S极移动至靠近永磁体二的一侧，由于永磁体二与永磁体一为同极，因此，永磁体一推动永磁体二上的横杆向靠近检测支架的一侧移动，使检测支架内的滑动块被横杆带动，向内侧移动，在滑动块向内侧移动时，使滑动块上的连接杆随之移动，使连接杆带动弹性片向上形变，使弹性片上的触点与导电平台上的传输线接触，使检测柱外侧的报警器在通电后，发出警报，提醒人员出现过大的倾斜角度，使该装置可以对倾斜角度自动进行检测，提升装置的使用可靠性。
2、该用于圆晶倒角的倾斜保护装置，通过在驱动源与倒角盘之间设置下离合盘和上离合盘，使驱动源通过下离合盘和上离合盘间接带动倒角盘旋转，再通过在上离合盘的一端设置传动杆，传动杆的另一端与电磁铁推杆连接，电磁铁推杆再通过导电与传输线连接，当装置的倾斜角度超过预设值时，检测支架上的弹性片与导电平台接触，使导电平台上的传输线处于通电状态，使传输线为电磁铁推杆提供电源，使电磁铁推杆通电后，向上顶起传动杆，使传动杆带动上离合盘向上移动，使上离合盘与下离合盘分开，使驱动源与倒角盘处于断开状态，使倒角盘在超过预定的倾斜角度时，自动停止工作，进而有效避免了倒角盘过度倒角的现象，从而提升圆晶加工的良品率。
附图说明
图1为本发明中检测柱的结构示意图；
图2为本发明中液压柱的结构示意图，此时，液压柱处于倾斜状态；
图3为本发明中检测支架与滑动轨道的结构示意图，此时，永磁体二与永磁体一相互吸引；
图4为本发明中检测支架与滑动轨道的结构示意图，此时，永磁体二与永磁体一相互排斥；
图5为本发明中图4的A处放大图；
图6为本发明中驱动源与倒角盘的连接关系图，此时，下离合盘和上离合盘相互接触；
图7为本发明中驱动源与倒角盘的连接关系图，此时，下离合盘和上离合盘断开连接。
图中：1、检测柱；2、液体储存柱；21、液压柱；22、顶杆；23、永磁体一；24、复位弹簧一；3、检测支架；31、滑动块；32、复位弹簧二；33、连接杆；34、弹性片；341、触点；35、导电平台；36、传输线；4、滑动轨道；41、横杆；42、永磁体二；5、驱动源；51、下离合盘；52、上离合盘；53、传动杆；54、电磁铁推杆；6、倒角盘；7、报警器。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-7，一种用于圆晶倒角的倾斜保护装置，包括检测柱1，检测柱1的底部固定连接有液体储存柱2，液体储存柱2与液压柱21相互连通，液体储存柱2的内部填充有液态水，通过设置液态水，使液体储存柱2在处于倾斜状态下液态水会由于重力的作用跟随倾斜，检测柱1的内侧壁固定连接有液压柱21，液压柱21的内侧壁滑动连接有顶杆22，顶杆22的顶端固定连接有永磁体一23，永磁体一23由两个磁极组成，永磁体一23的下端为S极，永磁体一23的上端为N极，永磁体一23的顶端固定连接有复位弹簧一24，检测柱1的内部中心位置处固定连接有检测支架3，检测支架3的内侧壁滑动连接有滑动块31，滑动块31的一端固定连接有复位弹簧二32，滑动块31的外侧壁铰接有连接杆33，连接杆33的另一端铰接有弹性片34，弹性片34的外侧壁固定连接有触点341，触点341共设有两个，两个触点341参照弹性片34的中线对称分布触点341与传输线36接触，形成通路，弹性片34的顶部固定连接有导电平台35，导电平台35的内部固定连接有传输线36，检测支架3的一侧设有滑动轨道4，滑动轨道4的内侧壁滑动连接有横杆41，横杆41的一端与滑动块31固定连接，横杆41的另一端固定连接有永磁体二42，永磁体二42的磁极为S极，永磁体二42靠近永磁体一23的一侧，且永磁体二42与永磁体一23相互平行，永磁体一23上的S极滑动至靠近永磁体二42时，永磁体一23与永磁体二42相互排斥，永磁体一23上的N极滑动至靠近永磁体二42时，永磁体一23与永磁体二42相互吸引；
检测柱1的内部固定连接有驱动源5，驱动源5的输出轴固定连接有下离合盘51，下离合盘51的上方活动连接有上离合盘52，上离合盘52的顶部铰接有传动杆53，传动杆53的一端固定连接有电磁铁推杆54，电磁铁推杆54的内部设有两个磁极相同的电磁体，两个电磁体在通电后，相互排斥，使电磁铁推杆54的伸缩端向上移动，上离合盘52的输出轴固定连接有倒角盘6，检测柱1的外侧壁固定连接有报警器7，上离合盘52带动倒角盘6旋转，在通电后，报警器7发出警报，提醒工作人员。
工作原理：在初始状态下，永磁体二42靠近永磁体一23上的N极，使永磁体一23与永磁体二42相互吸引，同时，弹性片34处于伸展状态，使弹性片34上的触点不与导电平台35上的传输线36接触，此外，上离合盘52与下离合盘51相互接触。
上述结构及过程请参阅图1、图3和图6。
当装置发生倾斜时，液体储存柱2和液压柱21内的水体受重力作用，向倾斜面流动，使水体推动顶杆22向外侧移动，使顶杆22再带动永磁体一23上升，使靠近永磁体一23上的S极向上移动，当倾斜角度超过预设值时，液态水在重力的作用下，持续向外带动顶杆22移动，使顶杆22上永磁体一23处的S极移动至靠近永磁体二42的一侧，由于永磁体二42与永磁体一23为同极，因此，永磁体一23推动永磁体二42上的横杆41向靠近检测支架3的一侧移动，使检测支架3内的滑动块31被横杆41带动，向内侧移动，在滑动块31向内侧移动时，使滑动块31上的连接杆33随之移动，使连接杆33带动弹性片34向上形变，使弹性片34上的触点341与导电平台35上的传输线36接触，使检测柱1外侧的报警器7在通电后，发出警报，提醒人员出现过大的倾斜角度，使该装置可以对倾斜角度自动进行检测，提升装置的使用可靠性。
上述结构及过程请参阅图1至图5。
同时，当装置的倾斜角度超过预设值时，检测支架3上的弹性片34与导电平台35接触，使导电平台35上的传输线36处于通电状态，使传输线36为电磁铁推杆54提供电源，使电磁铁推杆54通电后，向上顶起传动杆53，使传动杆53带动上离合盘52向上移动，使上离合盘52与下离合盘51分开，使驱动源5与倒角盘6处于断开状态，使倒角盘6在超过预定的倾斜角度时，自动停止工作，进而有效避免了倒角盘过度倒角的现象。
上述结构及过程请参阅图6和图7。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种用于圆晶倒角的倾斜保护装置，包括检测柱(1)，其特征在于：所述检测柱(1)的底部固定连接有液体储存柱(2)，所述检测柱(1)的内侧壁固定连接有液压柱(21)，所述液压柱(21)的内侧壁滑动连接有顶杆(22)，所述顶杆(22)的顶端固定连接有永磁体一(23)，所述永磁体一(23)的顶端固定连接有复位弹簧一(24)，所述检测柱(1)的内部中心位置处固定连接有检测支架(3)，所述检测支架(3)的内侧壁滑动连接有滑动块(31)，所述滑动块(31)的一端固定连接有复位弹簧二(32)，所述滑动块(31)的外侧壁铰接有连接杆(33)，所述连接杆(33)的另一端铰接有弹性片(34)，所述弹性片(34)的顶部固定连接有导电平台(35)，所述导电平台(35)的内部固定连接有传输线(36)，所述检测支架(3)的一侧设有滑动轨道(4)，所述滑动轨道(4)的内侧壁滑动连接有横杆(41)，所述横杆(41)的一端与所述滑动块(31)固定连接，所述横杆(41)的另一端固定连接有永磁体二(42)；
所述检测柱(1)的内部固定连接有驱动源(5)，所述驱动源(5)的输出轴固定连接有下离合盘(51)，所述下离合盘(51)的上方活动连接有上离合盘(52)，所述上离合盘(52)的顶部铰接有传动杆(53)，所述传动杆(53)的一端固定连接有电磁铁推杆(54)。
2.根据权利要求1所述的一种用于圆晶倒角的倾斜保护装置，其特征在于：所述液体储存柱(2)与所述液压柱(21)相互连通，所述液体储存柱(2)的内部填充有液态水。
3.根据权利要求1所述的一种用于圆晶倒角的倾斜保护装置，其特征在于：所述永磁体一(23)由两个磁极组成，所述永磁体一(23)的下端为S极，所述永磁体一(23)的上端为N极。
4.根据权利要求1所述的一种用于圆晶倒角的倾斜保护装置，其特征在于：所述弹性片(34)的外侧壁固定连接有触点(341)，所述触点(341)共设有两个，两个所述触点(341)参照所述弹性片(34)的中线对称分布。
5.根据权利要求1所述的一种用于圆晶倒角的倾斜保护装置，其特征在于：所述永磁体二(42)的磁极为S极，所述永磁体二(42)靠近所述永磁体一(23)的一侧，且所述永磁体二(42)与所述永磁体一(23)相互平行。
6.根据权利要求1所述的一种用于圆晶倒角的倾斜保护装置，其特征在于：所述电磁铁推杆(54)的内部设有两个磁极相同的电磁体。
7.根据权利要求1所述的一种用于圆晶倒角的倾斜保护装置，其特征在于：所述上离合盘(52)的输出轴固定连接有倒角盘(6)，所述检测柱(1)的外侧壁固定连接有报警器(7)。
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