CN112292597A - 离子传输设备，离子迁移率谱仪和质谱仪 - Google Patents

离子传输设备，离子迁移率谱仪和质谱仪 Download PDF

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安斯加尔·基尔克
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Abstract

本发明涉及一种离子传输设备，所述离子传输设备设计用于借助于电场传输离子，其中离子传输装置具有在其中形成有离子传输室的离子传输通道，其中离子传输装置为了产生电场而具有多个场产生电极，所述场产生电极沿着离子传输通道的纵向延伸依次设置，以便使离子沿传输方向移动穿过离子传输室。本发明还涉及一种离子迁移率谱仪以及一种质谱仪。

Description

离子传输设备，离子迁移率谱仪和质谱仪
技术领域
本发明涉及一种离子传输设备，所述离子传输设备设计用于借助于电场传输离子，其中离子传输装置具有在其中形成有离子传输室的离子传输通道，其中离子传输装置为了产生电场而具有多个场产生电极，所述场产生电极沿着离子传输通道的纵向延伸依次设置，以便使离子沿传输方向移动穿过离子传输室。本发明还涉及一种离子迁移率谱仪以及一种质谱仪。
背景技术
离子迁移率谱仪(IMS)是一种用于快速且灵敏的示踪气体分析的仪器，所述仪器根据离子在漂移电场的影响下穿过中性漂移气体的移动将这些离子彼此分离。离子的这种分离在IMS的所谓的漂移管中发生，在所述漂移管中，经由相应的电极产生漂移场。对于特定的环境，漂移管可以由漂移气体冲洗，并相对于周围环境严密封闭，以便防止周围环境中的杂质进入。例如可以经由电阻分压器来设定用于产生漂移场的各个漂移电极的电势。与之相应地，除了电离空间或反应空间以及探测器之外，限定漂移空间的漂移管是离子迁移率谱仪的主要组件之一。
在质谱仪(MS)的入口处存在部分相似的要求，即离子在那里也应通过电场传输穿过腔。因此，在下文中一般讨论离子传输装置，所述离子传输装置可以在IMS中形成漂移管和在质谱仪中形成离子漏斗(Funnel)。
发明内容
现今，离子迁移率谱仪和质谱仪的提供仍然与高的生产耗费相关联。本发明基于的目的是提出解决方案，借助所述解决方案能够以较少耗费来制造这种设仪器。
所述目的通过开头提到类型的离子传输装置来实现，具有如下特征：
a)离子传输通道具有多个由平坦的板形成的侧壁，所述侧壁包围离子传输室，
b)侧壁由用至少一个第一导体层覆层的电路板形成，
c)场产生电极构成为在环周侧包围离子传输室的中断的环形电极，其中环形电极中的一个、多个或全部环形电极分别由在电路板上通过第一导体层的一部分形成的各个印制导线区段组成，其中环形电极的印制导线区段可以电接触，然而不一定必须电接触，
d)离子传输装置具有至少一个具有多个分压器连接点的第一分压器和至少一个具有多个分压器连接点的第二分压器，
e)其中对于一个、多个或所有环形电极适用：
e1)环形电极的至少一个印制导线区段连接于第一分压器的分压器连接点，
e1)环形电极的与连接于第一分压器的分压器连接点的印制导线区段不同的至少一个另外的印制导线区段连接于第二分压器的分压器连接点。
本发明具有如下优点，离子传输装置可以借助简单的且可低成本提供的组件，即借助商业通用的电路板提供。在此尤其可以通过电路板形成离子传输通道的侧壁，在下面还阐述的改进方案中，IMS或MS的其他元件也可以通过电路板形成，使得制造的总耗费进一步减少。电路板在此能够以常规方式，如从用于电子电路的电路板中已知那样，制造并且置于期望的形状，例如通过铣切、蚀刻或其他形状加工。电路板可以构成为单层的或多层的电路板，即所述电路板可以具有一个或多个导体层。有利地存在至少一个导体层，即之前提到的第一导体层。所述导体层用于形成环形电极。已发现的是，环形电极不必如至今常见那样必须具有圆的环形形状。矩形的、方形的或其他多角形的横截面形状，如其可以由组装的平坦的板形成的那样，同样也是适合的。环形电极由此可以直接通过导体层的区段形成，而不必安装或焊接其他附加的器件以形成环形电极。
根据本发明，离子传输通道由此由各个(首先单独的)电路板构造，所述电路板形成离子传输通道的侧壁。所述各个电路板在连接部位处彼此连接。各个电路板所接合的连接部位在此可以气密地构成。在本发明的一个有利的设计方案中，形成侧壁的各个电路板(并且可能还有离子传输通道的下面阐述的其他部分)，构成为刚性的电路板。这具有如下优点，即通过组装的电路板已经可以形成自承的结构，所述自承的结构形成离子传输通道。
通过离子传输装置的所阐述的电路板构造方式，可以制造紧凑构造的漂移管或离子漏斗，如其尤其对于手持设备是必需的。此外，能够以简单的方式提供大量的薄的且窄的环形电极，以便达到偏移电场的所需的均匀度。这可借助商业通用的电路板以简单的方式实现。此外，电路板能借助于工业的标准方法生产进而非常低成本地制造。通过根据本发明的电路板构造方式也可以提供用于IMS的离子传输装置，所述离子传输装置借助负压和高的电场强度运行。
离子传输设备例如可以包括在离子源和离子探测器之间的共同的区域，即离子可以传输穿过的所有区域，如电离空间、离子门、漂移空间、探测区域，即在孔径栅格(漂移管的封闭部)和探测器之间的空间。
离子传输通道例如可以仅是离子传输装置的一部分，例如沿离子传输装置的纵向方向的一个区段，如下面还阐述的那样。
有利地，所使用的形成侧壁的电路板已经具有用于第一和第二分压器的连接点，使得产生均匀的电场所需要的器件能够以简单的方式接触，以形成分压器。此外，由此可以简化侧壁的安装，因为不强制需要在环形电极的所有印制导线区段之间的电接触。与之相应地，不需要在侧壁之间的电接触。
第一和/或第二分压器例如可以构成为电阻的串联电路，构成为连续的电阻带或构成为其组合。
离子传输装置原则上可以具有在三个至无数个范围内的任意数量的侧壁。生产方面特别有益的是设置四个侧壁，例如具有离子传输通道的方形的或矩形的横截面。然而，在一些应用情况下，其他数量的侧壁，例如三个、五个、六个、七个、八个侧壁也可以是有利的。
在电路板上设置的印制导线区段可以有利地彼此间以均匀的间距设置。同样有利的是，电路板的印制导线区段分别具有相同的宽度。
根据本发明的一个有利的改进方案提出，一个、多个或所有侧壁具有电路板的至少一个平行于第一导体层伸展的第二导体层。与之相应地，可以使用多层电路板，由此可以提高在各个电路板或侧壁上可实现的功能性。使用多层电路板还提供将附加的电子设备直接集成到离子传输装置中的可能性。第一导体层可以是在电路板的表面上或在电路板材料中设置的导体层。第二导体层可以是设置在电路板的另一表面上的导体层或是设置在电路板材料中的导体层。
第二导体层或附加设置的导体层还可以形成系统的屏蔽装置，使得可以提高抗干扰性。
在此有利的是，电路板至少在设置有第一导体层的一侧上构成为不具有附加的覆层，如止焊漆等。由此可以避免离子传输装置的敏感度的不期望的影响。
根据本发明的一个有利的改进方案提出，第一和/或第二分压器设置在第二导体层上。这具有如下优点，形成第一和/或第二分压器的器件可以说可以在现场设置，也就是说在也存在环形电极的地点，使得可以避免不必要长的引线。
根据本发明的一个有利的改进方案提出，第一分压器与多个侧壁和/或第二分压器与多个侧壁相关联。以这种方式可以减小所需的分压器的数量。第一分压器由此可以与环形电极的多个侧壁相关联。第二分压器由此可以与环形电极的多个侧壁相关联。整个离子传输装置例如可以借助仅两个分压器实现。
根据本发明的一个有利的改进方案提出，第一分压器与第一侧壁相关联和/或第二分压器与第一侧壁相关联。这具有如下优点，每个侧壁分配有单个的个体的分压器，使得避免不期望的横向影响。
根据本发明的一个有利的改进方案提出，每个由电路板形成的侧壁关联有自己的分压器。以这种方式，使环形电极的各个区段之间的连接耗费最小化。
根据本发明的一个有利的改进方案提出，离子传输装置具有耦合电容器网，通过所述耦合电容器网，环形电极能够与电信号源连接，其中一个、多个或所有耦合电容器通过一个或多个由电路板形成的侧壁的导体层的一部分形成。这具有如下优点，用于MS的漏斗可以特别简单地且低成本地提供。这些应用所需要的耦合电容器由此可以直接通过电路板的导体层形成，使得可以使离散的器件的安装尽可能最小化。
根据本发明的一个有利的改进方案提出，离子传输装置具有至少一个加热丝，所述加热丝用于加热离子传输通道，其中加热丝通过一个或多个由电路板形成的侧壁的导体层的一部分形成。这具有如下优点，即不需要特定器件来形成加热装置。更确切地说，所需要的加热丝可以直接通过导体层的一部分在一个或多个电路板上构成。加热丝例如可以通过导体层在一个电路板或多个电路板上的蜿蜒形的伸展形成。
根据本发明的一个有利的改进方案提出，场产生电极的一部分或全部在电路板的内层上实现。这具有如下优点，即每长度单位的场产生电极的数量能进一步提高。尤其是，以这种方式可以通过电路板的内层实现环形电极的区段。应视为电路板的内层的在此是如下导体层，所述导体层不贴靠在外表面上，而是位于外部的导体层之间。
根据本发明的一个有利的改进方案提出，离子传输装置具有离子探测器，所述离子探测器设置在离子传输通道的一个端部处，其中离子探测器通过电路板的导体层或通过蚀刻的金属栅格形成，所述金属栅格通过至少一个电路板机械固定以及电接触。这具有如下优点，即进一步简化离子传输装置的提供，因为对于提供所需要的离子探测器也不需要附加的、复杂的器件。更确切地说，离子探测器也可以通过电路板的导体层形成，所述电路板例如是作为离子传输通道的封闭板固定在其上的电路板。替选地，离子探测器或可选地一个、多个或所有下面提到的电极可以构成为这种蚀刻的金属栅格。有利地，蚀刻的金属栅格通过电路板机械固定以及电接触。
根据本发明的一个有利的改进方案提出，离子传输装置在离子传输通道的至少一个端部处具有离子门，其中离子门的至少一个电极通过电路板的导体层或通过蚀刻的金属栅格形成，所述金属栅格通过至少一个电路板机械固定以及电接触。这具有如下优点，即进一步简化离子传输装置的提供，因为对于提供所需要的离子门也不需要附加的、复杂的器件。更确切地说，离子门或其至少一部分也可以通过电路板的导体层形成，所述电路板例如是作为离子传输通道的封闭板固定在其上的电路板。
根据本发明的一个有利的改进方案提出，电路板中的至少一个电路板具有至少一个槽状留空部，至少一个另外的电路板形状配合地插入到所述槽状留空部中。这具有如下优点，离子传输装置可由各个电路板特别简单地组成，因为通过槽状留空部提供形状配合的连接机构，这简化器件的组装和器件彼此间的固定。
组成离子传输装置的各个电路板例如可以用粘接剂或焊料力配合地、形状配合地或摩擦配合地彼此连接。在通过焊料机械连接时，例如可以使用导体层的一部分，以便形成固定点。
根据本发明的一个有利的改进方案提出，通过印制导线区段形成的环形电极构成为多角形的环形电极，所述环形电极的角部的数量对应于侧壁的数量。IMS或MS的常见的环形电极构成为封闭的圆环形的导电结构。这种电极结构连同电路板然而难于制造。在此提出的构造将每个环形电极分为多个区段，所述区段平坦地位于电路板上，因为所述区段同时也形成离子传输通道的壁部。
由此，所有环形电极的区段可以在各一个电路板上安置，这大程度地减小了制造中的耗费。根据电路板的设置方式和数量产生不同形状的环形电极，如三角形的、四角形的，尤其矩形的或正方形的或多角形的环形电极。已证实的是，通过环形电极的这种造型不会使IMS或MS的性能变差。
根据本发明的一个有利的改进方案提出，环形电极的印制导线区段的宽度与高度(＝导体层的厚度)的比值大于1，尤其大于5。由此可以在构成均匀的电场时实现环形电极的高的效率。此外，通过印制导线区段仅产生少量的干扰电容。
根据本发明的一个有利的改进方案提出，相邻的环形电极的相邻的印制导线区段的宽度与横向间距的比值大于0.5，尤其大于1或大于3。由此可以在构成均匀的电场时实现环形电极的高的效率。
根据本发明的一个有利的改进方案提出，离子传输装置沿传输方向分段为区段。通过也可以称作为纵向区段的区段，例如可以实现离子传输装置沿纵向方向的模块式的构造。离子传输装置的一个区段例如可以是漂移管，另一区段可以是反应空间。一个、多个或所有区段可以分别通过根据本发明以电路板构造方式构造的离子传输通道形成，尤其是漂移管。
根据本发明的一个有利的改进方案提出，离子传输装置的一个、多个或所有区段分别由至少一个垂直于传输方向设置的封闭板封闭，所述封闭板构成为电路板。通过这种封闭板可以一方面实现区段的气密的端侧封闭。此外，通过这种封闭板还可以实现其他功能，例如离子门和/或离子探测器。
封闭板由此可以形成漂移空间和上述区段中的一个区段之间的界面，即在封闭板上可以跟随离子门、离子空间或反应空间、探测器或其他漂移空间。相同内容适用于其他区段。这样，封闭板例如可以是电路板的水平和竖直定向之间的变换。
根据本发明的一个有利的改进方案提出，一个、多个或所有封闭板沿环周方向伸出侧壁中的至少一个侧壁。由此简化侧壁在封闭板上的固定。例如，在封闭板中可以设置有环形槽，所述环形槽对应于由离子传输通道的侧壁构成的布置的横截面形状。离子传输通道于是可以插入到所述槽中并且固定在其中。这允许将离子传输通道简单地形状配合地固定在封闭板上，其中可以实现高的稳定性和良好的密封性。
根据本发明的一个有利的改进方案提出，在离子传输装置的相邻的区段之间设置有至少一个电极，所述电极通过电路板的导体层或通过蚀刻的金属栅格形成，所述金属栅格通过至少一个电路板机械固定以及电接触。这种电极例如可以是离子门的电极。因此，例如可以形成具有两个栅格电极的离子门，其方式为：例如使用在两侧用导体层覆层的电路板，其中导体层可以形成栅格电极。也可以使用两个蚀刻的金属栅格，所述金属栅格通过电路板机械固定以及电接触。
根据本发明的一个有利的改进方案提出，侧壁气密地包围到离子传输室上。以这种方式通过侧壁已经可以实现IMS的所需要的严密密封。替选地可行的是，侧壁不严密地密封并且替代于此离子传输装置或配设有其的IMS或离子漏斗设置在气密的外壳中。
开头提到的目的还通过一种具有上文阐述类型的离子传输装置的离子迁移率谱仪实现。离子传输通道在此可以形成离子迁移率谱仪的漂移管。离子传输通道也可以形成反应空间或离子迁移率谱仪的上述区段中的一个区段。由此也可以实现上文所阐述的优点。
开头提到的目的还通过一种具有上文阐述类型的离子传输装置的质谱仪实现。离子传输通道在此可以形成质谱仪的离子漏斗。由此也可以实现上文所阐述的优点。
附图说明
在下文中根据实施例利用附图来详细阐述本发明。
附图示出：
图1示出离子迁移率谱仪；和
图2示出离子传输装置的立体图；和
图3示出根据图2的离子传输装置的两个侧壁的俯视图；和
图4示出沿传输方向观察的离子传输装置；和
图5示出封闭板的立体图；和
图6示出两个侧壁之间的连接的放大局部图。
具体实施方式
图1示出IMS 90的大幅简化的示意图。IMS 90具有离子传输通道1，所述离子传输通道在IMS中也称作为漂移管。在离子传输通道1之内存在离子传输室93，离子穿过所述离子传输室沿传输方向T可以从离子提供室5运动至离子探测器8。为了产生离子运动，离子传输通道1具有呈环形电极的形式的场产生电极2，所述场产生电极沿传输方向T依次设置。场产生电极2经由分压器3与电能量源4连接。分压器3例如可以由电阻30的串联电路形成。通过这种设置方式在离子传输室93中沿传输方向T产生均匀的电场。
离子可以在离子提供室5中例如通过离子源6，例如放射源提供。在离子提供室5中，所有产生的离子首先还任意彼此混合。如果IMS 90的测量周期开始，那么通过相应地开关离子门92将离子从离子提供室5导入到离子传输室93中。由于其不同的迁移率，那么不同的离子类型在其穿过离子传输室93的路径上彼此分开，使得不同的离子类型在不同时间点撞击在离子探测器8上。例如可以设置于封闭板7的离子探测器8与离子的撞击相关地将电信号输出给放大器9。放大的信号在图表91中作为离子迁移率谱示出。在横坐标上示出时间。
其他阐述现在涉及如下问题，离子传输通道1或由其形成的离子传输装置如何能够特别便宜地制造。
图2示出由电路板21构造的离子传输通道1。在此情况下，四个电路板21形成离子传输通道1的侧壁。电路板在离子传输通道1的内侧由第一导体层覆层。由第一导体层在每个电路板21上形成印制导线区段20，所述印制导线区段沿离子传输方向T依次设置。各个印制导线区段20与相应的电路板21的分压器连接点连接，例如其方式为：存在与相对置的电路板侧的过孔。在相对置的电路板侧上，即在离子传输通道1的外侧设置有电阻30，所述电阻形成第一分压器31和第二分压器32。
如在图2中可见，应当形成环形电极的各个印制导线区段20不彼此接触并且与之相应地也不彼此直流连接。在此情况下需要的是，在每个电路板21的外侧上设置有相应的分压器。下面还阐述，在特定的实施方式中也可以使用少量分压器，例如仅第一分压器和第二分压器31、32，如在图2中示出。
图3示出两个侧壁21的朝向内侧、即电路板21的设置有印制导线区段20的侧的俯视图。如可看到的那样，印制导线区段20构成为窄的导体条，所述导体条以均匀的间距平行并排地并且沿传输方向T观察依次设置。印制导线区段20在此具有宽度B。相邻的环形电极的相邻的印制导线区段的横向间距具有尺寸D。在此有利的是，B/D大于0.5，或大于1，或大于3。
图4示出离子传输装置，所述离子传输装置具有根据图2的实施方式的离子传输通道1。附加地，在离子传输通道1的一个端部存在封闭板7，所述封闭板同样可以构成为电路板。所述电路板70的导体层80随后可以形成离子探测器8。
图4还示出，经由电桥22可以分别建立在同一环形电极的两个在角部上设置的印制导线区段20之间的电连接。此外在离子传输通道之外的两个印制导线区段之间的电接触也是可行的。以这种方式，例如第一分压器31可以与上侧的和左侧的电路板21相关联，第二分压器32可以与右侧的和下侧的电路板21相关联。直流连接例如可以构成为焊接部22。
图5再次示出电路板70，所述电路板具有导体层80的单独子视图。导体层80可以形成离子探测器8。电路板70形成封闭板7。
图6示出在两个彼此成角度设置的电路板21之间的有利的机械连接，所述机械连接分别形成离子传输通道1的侧壁。因此，在电路板21中引入槽23。在所述槽23中装入另一电路板21的端棱。所述连接部位例如可以通过粘接剂附加地固定。以这种方式可以将离子传输通道1的所有侧壁彼此连接。
图6还示出尺寸H，所述尺寸限定导体层的高度(导体层的厚度)，所述导体层形成印制导线区段20。有利的是，B/H大于1，尤其大于5。

Claims (22)

1.一种离子传输装置，所述离子传输装置设计用于借助于电场传输离子，其中所述离子传输装置具有在其中形成有离子传输室(93)的离子传输通道(1)，其中所述离子传输通道(1)为了产生电场而具有多个场产生电极(2)，所述场产生电极沿着所述离子传输通道(1)的纵向延伸依次设置，以便使离子沿传输方向(T)运动穿过所述离子传输室(93)，
其特征在于具有如下特征：
a)所述离子传输通道(1)具有多个由平坦的板形成的侧壁，所述侧壁包围所述离子传输室(93)，
b)所述侧壁由用至少一个第一导体层覆层的电路板(21)形成，
c)所述场产生电极(2)构成为在环周侧包围所述离子传输室(93)的中断的环形电极，其中所述环形电极中的一个、多个或全部环形电极分别由在所述电路板(21)上通过所述第一导体层的一部分形成的各个印制导线区段(20)组成，其中环形电极的印制导线区段(20)可以电接触，然而不一定必须电接触，
d)所述离子传输装置具有至少一个具有多个分压器连接点(35)的第一分压器(31)和至少一个具有多个分压器连接点(35)的第二分压器(32)，
e)其中对于所述环形电极中的一个，几个或所有环形电极适用以下各项：
e1)所述环形电极的至少一个印制导线区段(20)连接于所述第一分压器(31)的分压器连接点(35)，
e1)所述环形电极的与连接于所述第一分压器(31)的分压器连接点(35)的印制导线区段(20)不同的至少一个另外的印制导线区段(20)连接于所述第二分压器(32)的分压器连接点(35)。
2.根据权利要求1所述的离子传输装置，
其特征在于，
一个、多个或所有侧壁具有所述电路板(20)的至少一个平行于所述第一导体层伸展的第二导体层。
3.根据权利要求2所述的离子传输装置，
其特征在于，
所述第一分压器和/或所述第二分压器(31，32)设置在所述第二导体层上。
4.根据上述权利要求中任一项所述的离子传输装置，
其特征在于，
所述第一分压器(31)与多个侧壁相关联和/或所述第二分压器(32)与多个侧壁相关联。
5.根据上述权利要求中任一项所述的离子传输装置，
其特征在于，
所述第一分压器(31)与第一侧壁相关联和/或所述第二分压器(32)与第二侧壁相关联。
6.根据上述权利要求中任一项所述的离子传输装置，
其特征在于，
每个由电路板(20)形成的侧壁关联有自己的分压器(31、32)。
7.根据上述权利要求中任一项所述的离子传输装置，
其特征在于，
所述离子传输装置具有耦合电容器的网络，所述环形电极通过所述网络能够与电信号源连接，其中所述耦合电容器中的一个、多个或所有耦合电容器通过由电路板(20)形成的侧壁中的一个或多个侧壁的导体层的一部分形成。
8.根据上述权利要求中任一项所述的离子传输装置，
其特征在于，
所述离子传输装置具有至少一个用于加热所述离子传输通道(1)的加热丝，其中所述加热丝通过由电路板(20)形成的侧壁中的一个或多个侧壁的导体层的一部分形成。
9.根据上述权利要求中任一项所述的离子传输装置，
其特征在于，
在所述电路板的内层上实现所述场产生电极的一部分或全部。
10.根据上述权利要求中任一项所述的离子传输装置，
其特征在于，
所述离子传输装置具有离子探测器(8)，所述离子探测器设置于所述离子传输通道(93)的一个端部，其中所述离子探测器(8)通过电路板(70)的导体层(80)或通过刻蚀的金属栅格形成，所述金属栅格通过至少一个电路板机械固定以及电接触。
11.根据上述权利要求中任一项所述的离子传输装置，
其特征在于，
所述离子传输装置在所述离子传输通道(1)的或所述离子传输室(93)的至少一个端部具有离子门(92)，其中所述离子门(92)的至少一个电极通过电路板的导体层或通过刻蚀的金属栅格形成，所述金属栅格通过至少一个电路板机械固定以及电接触。
12.根据上述权利要求中任一项所述的离子传输装置，
其特征在于，
所述电路板中的至少一个电路板具有至少一个槽状留空部(23)，在所述槽状留空部中形状配合地装入至少一个另外的电路板。
13.根据上述权利要求中任一项所述的离子传输装置，
其特征在于，
通过印制导线区段(20)形成的环形电极构成为多角形的环形电极，所述环形电极的角的数量对应于所述侧壁的数量。
14.根据上述权利要求中任一项所述的离子传输装置，
其特征在于，
环形电极的印制导线区段(20)的宽度(B)与高度(H)的比值大于1，尤其大于5。
15.根据上述权利要求中任一项所述的离子传输装置，
其特征在于，
相邻的环形电极的相邻的印制导线区段(20)的宽度(B)与横向间距(D)的比值大于0.5，尤其大于1或大于3。
16.根据上述权利要求中任一项所述的离子传输装置，
其特征在于，
所述离子传输装置沿传输方向(T)分段为区段。
17.根据权利要求16所述的离子传输装置，
其特征在于，
所述离子传输装置的一个、多个或所有区段分别由至少一个垂直于所述传输方向(T)设置的封闭板(70)封闭，所述封闭板构成为电路板。
18.根据权利要求17所述的离子传输装置，
其特征在于，
一个、多个或所有封闭板(70)沿环周方向伸出所述侧壁中的至少一个侧壁。
19.根据权利要求16至18中任一项所述的离子传输装置，
其特征在于，
在所述离子传输装置的相邻的区段之间设置有至少一个电极，所述电极通过电路板的导体层或通过蚀刻的金属栅格形成，所述金属栅格通过至少一个电路板机械固定以及电接触。
20.根据上述权利要求中任一项所述的离子传输装置，
其特征在于，
所述侧壁气密地包围到所述离子传输室(93)上。
21.一种离子迁移率谱仪，
其特征在于，
设有根据上述权利要求中任一项所述的离子传输装置。
22.一种离子漏斗，
其特征在于，
设有根据上述权利要求中任一项所述的离子传输装置。
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