CN112289180B - 显示面板及其制作方法 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种显示面板及其制作方法。该显示面板包括基板；位于该基板上的第一发声层；位于该第一发声层上的第二发声层；位于该第二发声层上的振动层，该振动层用于产生振动；以及位于该基板与该第二发声层之间的至少一中空腔体，该中空腔体位于该显示面板的外围以及与该第一发声层同层设置。本申请通过腔体材料与第二发声材料层在光阻剥离液中产生电偶腐蚀，第一发声层不与第二发声材料层产生电偶腐蚀，精准控制形成中空腔体及第二发声层，结构设计简单，制程可行性高，成本较低。

Description

显示面板及其制作方法

技术领域

本申请涉及显示领域，具体涉及一种显示面板及其制作方法。

背景技术

近些年，全面屏显示面板需求越来越大，传统显示面板上开听筒孔发声的技术，已经不再适合现阶段全面屏显示面板以及无孔化的要求。

目前，一般采用方案是将振动器贴合在显示装置的中框上，然后带动显示面板振动，从而产生声音，该技术的发声效果较差，能耗浪费明显，或者在显示面板上挖孔，再将振动器贴合在孔上方，形成发声微腔，此方法成本较高，且显示面板的挖孔，导致显示面板的强度降低，且挖孔工艺良率也难以保证。

因此，亟需一种显示面板及其制作方法以解决上述技术问题。

发明内容

本申请提供了一种显示面板及其制作方法，以解决目前对于发声构件，在全面屏显示面板中存在制作复杂，良率较低的技术问题。

为解决上述问题，本申请提供的技术方案如下：

一种显示面板，包括：

基板；

位于所述基板上的第一发声层；

位于所述第一发声层上的第二发声层；

位于所述第二发声层上的振动层，所述振动层用于产生振动；

以及位于所述基板与所述第二发声层之间的至少一中空腔体，所述中空腔体位于所述显示面板的外围以及与所述第一发声层同层设置。

在本申请的显示面板中，所述中空腔体在所述显示面板的外围连续或非连续设置。

在本申请的显示面板中，所述第二发声层搭接在所述第一发声层上，所述振动层在所述基板上的正投影位于所述第二发声层在所述基板上的正投影之内。

在本申请的显示面板中，所述第一发声层包括多个间隔设置的第一发声单元，所述第二发声层包括多个间隔设置的第二发声单元，一所述第一发声单元及一所述第二发声单元对应一所述中空腔体。

在本申请的显示面板中，所述显示面板包括两个非连续设置的第一中空腔体和第二中空腔体，所述第一中空腔体的开口朝向所述显示面板的第一侧面，所述第二中空腔体的开口朝向所述显示面板的第二侧面，所述第一侧面与所述第二侧面相对设置。

在本申请的显示面板中，所述第一发声层还包括多个设置在所述中空腔体内的第三发声单元，所述第三发声单元的厚度小于所述中空腔体的厚度。

在本申请的显示面板中，所述第一发声层还包括多个设置在所述中空腔体内的第四发声单元，所述第四发声单元与所述第三发声单元间隔设置，所述第四发声单元的厚度与所述中空腔体的厚度相同。

在本申请的显示面板中，在所述基板的中心至所述基板的外围的方向上，位于所述中空腔体内的所述第一发声层的厚度逐渐减小。

本申请还提供了一种显示面板的制作方法，包括：

在基板上形成第一发声层；

在所述基板的外围形成与所述第一发声层同层设置的腔体材料；

在所述第一发声层及所述腔体材料上形成第二发声材料层，所述第二发声材料层覆盖所述腔体材料及所述第一发声层；

在所述第二发声材料层上形成一光阻层；

对所述第二发声材料层及所述光阻层图案化处理，使远离所述第一发声层一侧的所述腔体材料裸露，以及使所述第二发声材料层形成第二发声层；

利用剥离工艺去除图案化后的所述光阻层及所述腔体材料，使所述基板与所述第二发声层之间形成至少一中空腔体；

在所述第二发声层上形成用于产生振动的振动层。

在本申请的显示面板的制作方法中，所述利用剥离工艺去除图案化后的所述光阻层及所述腔体材料的步骤，包括：

将包括所述基板、所述腔体材料、所述第一发声层、所述第二发声层及所述光阻层的结构置于光阻剥离剂中；

利用光阻剥离剂，去除图案化后的所述光阻层；

根据所述第二发声层的电位高于所述腔体材料的电位，以及基于所述第二发声层与所述腔体材料在所述光阻剥离剂中的化学反应去除所述腔体材料。

有益效果：本申请通过腔体材料与第二发声材料层在光阻剥离液中产生电偶腐蚀，第一发声层不与第二发声材料层产生电偶腐蚀，精准控制形成中空腔体及第二发声层，结构设计简单，制程可行性高，成本较低。

附图说明

下面结合附图，通过对本申请的具体实施方式详细描述，将使本申请的技术方案及其它有益效果显而易见。

图1为本申请显示面板的第一种结构的俯视示意图；

图2为本申请显示面板的第二种结构的结构示意图；

图3为本申请显示面板的第三种结构的局部结构示意图；

图4为本申请显示面板的第四种结构的俯视示意图；

图5为本申请显示面板的第五种结构的俯视示意图；

图6为本申请显示面板的第六种结构的俯视示意图；

图7为本申请显示面板的第七种结构的局部结构示意图；

图8为本申请显示面板的第八种结构的局部结构示意图；

图9为本申请显示面板的第九种结构的局部结构示意图；

图10为本申请显示面板的第十种结构的局部结构示意图；

图11为本申请显示面板的制作方法的步骤流程图；

图12～图18为本申请显示面板的制作方法的流程示意图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

目前，一般采用方案是将振动器贴合在显示装置的中框上，然后带动显示面板振动，从而产生声音，该技术的发声效果较差，能耗浪费明显，或者在显示面板上挖孔，再将振动器贴合在孔上方，形成发声微腔，此方法成本较高，且显示面板的挖孔，导致显示面板的强度降低，且挖孔工艺良率也难以保证。

请参阅图1～图10，本申请公开了一种显示面板100，包括：

基板200；

位于所述基板200上的第一发声层300；

位于所述第一发声层300上的第二发声层500；

位于所述第二发声层500上的振动层600，所述振动层600用于产生振动；

以及位于所述基板200与所述第二发声层500之间的至少一中空腔体400，所述中空腔体400位于所述显示面板100的外围以及与所述第一发声层300同层设置。

本申请通过腔体材料与第二发声材料层在光阻剥离液中产生电偶腐蚀，第一发声层不与第二发声材料层产生电偶腐蚀，精准控制形成中空腔体及第二发声层，结构设计简单，制程可行性高，成本较低。

现结合具体实施例对本申请的技术方案进行描述。

所述显示面板100包括基板200。位于所述基板200上的第一发声层300。位于所述第一发声层300上的第二发声层500。位于所述第二发声层500上的振动层600，所述振动层600用于产生振动。以及位于所述基板200与所述第二发声层500之间的至少一中空腔体400，所述中空腔体400位于所述显示面板100的外围以及与所述第一发声层300同层设置，具体请参阅图2，其中，图2为沿图1中CC’线的结构示意图。

为方便作图，图3、图7～图10均为图2中的A区域的局部结构示意图，在此说明。

本实施例中，所述基板200可以为阵列基板、背板、盖板层、封装层中任意一种，在此不做限定。所述基板200为提供一个振动波(音波)反射面，以形成中空腔体400，更好地运用与全面屏屏幕发声。

本实施例中，所述显示面板100可以为液晶显示面板、OLED显示面板、micro-LED显示面板，不做限定。

本实施例中，所述中空腔体400在所述显示面板100的外围连续或非连续设置。所述第一发声层300与所述第二发声层500之间不发生化学反应，所述振动层600用于产生振动。所述中空腔体400是中空的，在制作所述第一发声层300、所述第二发声层500及所述中空腔体400时，所述中空腔体400中填充有腔体材料，所述第二发声层500的材料与所述腔体材料由于电位不同，所述第二发声层500的材料的电位高于所述腔体材料的电位，在光阻剥离剂中，所述第二发声层500的材料与所述腔体材料发生电偶腐蚀，形成有效的腐蚀电流，所述第二发声层500的材料为阳极被保留，所述腔体材料为阴极被反应掉，形成中空的中空腔体400，所述第一发声层300的材料不与所述第二发声层500的材料发生电偶腐蚀，所述第一发声层300的材料不与所述腔体材料发生电偶腐蚀，所述第一发声层300作为终止腐蚀的结构，电偶腐蚀至所述第一发声层300即停止腐蚀，精准控制了中空腔体400的形成，结构设计简单，制程可行性高，成本较低。尤其是在全面屏显示面板100中，可以更好地发声，减少全面屏的开孔。

本实施例中，所述第一发声层300的材料为钛、钽、钼、钨中的任意一种或多种的组合。所述第一发声层300的材料采用惰性金属，可以更好地使电偶腐蚀停止，精准控制了中空腔体400的形成，保护第二发声层500不被腐蚀。

本实施例中，所述中空腔体400的厚度为2000埃米～10000埃米。

本实施例中，所述第二发声层500的材料为铜。所述振动层600振动，将振动波传递给所述第二发声层500，铜膜可以很好地传递振动至所述中空腔体400，所述第一发声层300、所述第二发声层500及所述中空腔体400构成微腔发声结构，更好地发声，使声音更好地传递出所述显示面板100，用户有更好地音效体验。

本实施例中，所述振动层600包括至少一振动单元。一所述振动单元与一所述第二发声单元510对应。所述振动单元可以为激励器等振动器件，用于产生振动发声，在此不对所述振动单元做限制。

本实施例中，所述第二发声层500搭接在所述第一发声层300上，所述振动层600在所述基板200上的正投影位于所述第二发声层500在所述基板200上的正投影之内，具体请参阅图3。所述第二发声层500可以不是整面设置的，可以只完全覆盖所述中空腔体400，搭接在所述第一发声层300上。所述第二发声层500接收到的振动波尽可能多地传递给所述中空腔体400，更好地将声音传递出所述显示面板100，用户有更好地音效体验。

本实施例中，所述第二发声层500及所述中空腔体400设置于所述显示面板100的外围。所述第二发声层500在所述基板200上的正投影为环形，所述第一发光层300在所述基板200上的正投影为环形，具体请参阅图1，在图1中，由于俯视图层叠，中空腔体400的位置也可以表示第二发声层500。将所述第二发声层500及所述中空腔体400尽可能靠近所述显示面板100的外围，可以更方便地将声音传递出显示面板100，减少声音能量的损失。同时，环形的所述第二发声层500，可以配合所述中空腔体400在所述基板200上的正投影为环形，所述显示面板100的声音程环绕放出，提供给用户更好地音效体验。

本实施例中，所述第一发声层300包括多个间隔设置的第一发声单元310，所述第二发声层500包括多个间隔设置的第二发声单元510。一所述第一发声单元310、一所述第二发声单元510及所述基板200对应一所述中空腔体400。所述第一发声单元310、所述第二发声单元510及所述中空腔体400设置于所述显示面板100的外围。其中，所述中空腔体400设置在靠近所述显示面板100的外围一侧，所述第一发声单元310靠近所述显示面板100的中心一侧，具体请参阅图4，在图4中，由于俯视图层叠，中空腔体400的位置也可以表示第二发声单元510。所述第一发声单元310为间隔设置的，所述第二发声单元510为间隔设置的，所述中空腔体400为间隔设置的，可以提供多点不连续位置的发声。配合所述振动单元610，可以形成声音矩阵，提供给用户更好地音效体验。

本实施例中，所述显示面板100包括两个非连续设置的第一中空腔体421和第二中空腔体422，所述第一中空腔体421的开口朝向所述显示面板100的第一侧面，所述第二中空腔体422的开口朝向所述显示面板100的第二侧面，所述第一侧面与所述第二侧面相对设置。所述第一中空腔体421及所述第二中空腔体422均属于所述中空腔体400。所述第一中空腔体421外围设置有所述第一发声单元310，所述第二中空腔体422外围设置有所述第一发声单元310，形成的所述中空腔体400具有较封闭的结构，具体请参阅图5，相对设置的第一侧面与第二侧面容易理解，所以在图5中不做具体位置的限定，可以更好地发声，提供给用户更好地音效体验。在所述显示面板100的对边设置所述第一中空腔体421及所述第二中空腔体422，可以形成3D环绕的立体声效，提供给用户更好地音效体验。

本实施例中，所述第一发声单元310围绕所述中空腔体400设置，所述中空腔体400间隔设置，所述第一发声单元310连续设置，所述中空腔体400的开口朝向所述基板200的侧面，具体请参阅图6。多点局部音效更好，有利于提高用户音效体验。

本实施例中，所述第一发声层300还包括多个设置在所述中空腔体400内的第三发声单元320，所述第三发声单元320的厚度小于所述中空腔体400的厚度，具体请参阅图7。所述中空腔体400中具有多个微腔，可以使传递出的声音更加自然圆润，提供给用户更好地音效体验。

本实施例中，所述第一发声层300还包括多个设置在所述中空腔体400内的第四发声单元330，所述第四发声单元330与所述第三发声单元320间隔设置，所述第四发声单元330的厚度与所述中空腔体400的厚度相同，具体请参阅图7，为节省作图，故所述第三发声单元320与所述第四发声单元330同在图7中画出，容易理解，所述第三发声单元320与所述第四发声单元330可以分别设置或同时设置。当所述中空腔体400的空间较大时，所述第二发声层的振动幅度较大，所述第四发声单元330可以起到一定的辅助支撑作用。

本实施例中，在所述基板200至所述第二发声层500的方向上，所述第三发声单元320在第一截面上的截面积先增大后减小。其中，所述第一截面平行于所述基板200，具体请参阅图8、图9。所述第三发声单元320可以为类椭球或椭球台形状，可以将声音更圆润地导出显示面板100，传递出的声音更加自然，提供给用户更好地音效体验。

本实施例中，所述第三发声单元320的长轴与所述显示面板100平行，与所述显示面板100的边缘垂直，具体请参阅图8，可以更好地将声音导出显示面板100。

本实施例中，所述第三发声单元320的长轴与所述显示面板100垂直，具体请参阅图9，可以更好地使声音圆润均匀。

本实施例中，所述第三发声单元320为球体，可以兼顾声音导出及使声音圆润。

本实施例中，在所述基板200的中心至所述基板200的外围的方向上，位于所述中空腔体400内的所述第一发声层300的厚度逐渐减小，所述中空腔体400的厚度逐渐增大。其中，所述第一发声层300的厚度大于或等于所述中空腔体400的厚度，具体请参阅图10。所述中空腔体400呈喇叭状，将声音发大导出所述显示面板100，提供给用户更好地音效体验。

本申请通过腔体材料与第二发声材料层在光阻剥离液中产生电偶腐蚀，第一发声层不与第二发声材料层产生电偶腐蚀，精准控制形成中空腔体及第二发声层，结构设计简单，制程可行性高，成本较低。

请参阅图1～图18，本申请还公开了一种显示面板100的制作方法，包括：

S100、在基板200上形成第一发声层300；

S200、在所述基板200的外围形成与所述第一发声层300同层设置的腔体材料410；

S300、在所述第一发声层300及所述腔体材料410上形成第二发声材料层520，所述第二发声材料层520覆盖所述腔体材料410及所述第一发声层300；

S400、在所述第二发声材料层520上形成一光阻层700；

S500、对所述第二发声材料层520及所述光阻层700图案化处理，使远离所述第一发声层300一侧的所述腔体材料410裸露，以及使所述第二发声材料层520形成第二发声层500；

S600、利用剥离工艺去除图案化后的所述光阻层700及所述腔体材料410，使所述基板200与所述第二发声层500之间形成至少一中空腔体400；

S700、在所述第二发声层500上形成用于产生振动的振动层600。

本申请通过腔体材料与第二发声材料层在光阻剥离液中产生电偶腐蚀，第一发声层不与第二发声材料层产生电偶腐蚀，精准控制形成中空腔体及第二发声层，结构设计简单，制程可行性高，成本较低。

现结合具体实施例对本申请的技术方案进行描述。

所述显示面板100的制作方法，包括：

S100、在基板200上形成第一发声层300，具体请参阅图12。

为方便作图，图12～图18均为在图2中A区域的制作流程示意图，在此说明。

本实施例中，所述基板200可以为阵列基板、背板、盖板层、封装层中任意一种，在此不做限定。所述基板200为提供一个振动波(音波)反射面，以形成中空腔体400，更好地运用与全面屏屏幕发声。

本实施例中，所述显示面板100可以为液晶显示面板、OLED显示面板、micro-LED显示面板，不做限定。

本实施例中，所述第一发声层300的材料为钛、钽、钼、钨中的任意一种或多种的组合。所述第一发声层300的材料采用惰性金属，可以更好地在后续步骤中使电偶腐蚀停止，精准控制了中空腔体400的形成。

S200、在所述基板200的外围形成与所述第一发声层300同层设置的腔体材料410，具体请参阅图12。

本实施例中，所述腔体材料410的厚度为2000埃米～10000埃米。

本实施例中，所述腔体材料410的材料为钼氧化合物。

本实施例中，步骤S100包括：

在所述基板200的中心至所述基板200的外围的方向上，所述第一发声单元310的厚度逐渐减小。

本实施例中，在所述基板200的中心至所述基板200的外围的方向上，位于所述中空腔体400内的所述第一发声层300的厚度逐渐减小，所述中空腔体400的厚度逐渐增大。其中，所述第一发声层300的厚度大于或等于所述中空腔体400的厚度，具体请参阅图10。所述中空腔体400呈喇叭状，将声音发大导出所述显示面板100，提供给用户更好地音效体验。

本实施例中，所述第一发声层300的厚度与所述腔体材料410的厚度相同，所述腔体材料410在所述第一发声层300上的正投影位于所述第一发声层300之内，具体请参阅图12、图13，其中，图12可以看作图13中沿BB’的截面图。在俯视图即图13中，所述第一发声层300的宽度大于所述腔体材料410的宽度，可以更好地终止电偶腐蚀，更精准地控制形成后续中空腔体400的尺寸，有利于发声效果。

本实施例中，步骤S200包括：

S210、在所述基板200的外围上形成多个间隔设置的腔体材料410。

本实施例中，其中步骤S100包括：

S101、在所述基板200上形成多个连续设置的第一发声单元310。

本实施例中，所述第一发声单元310围绕所述腔体材料410设置，从而形成所述第一发声单元310围绕所述中空腔体400的结构，所述中空腔体400间隔设置，所述第一发声单元310连续设置，所述中空腔体400的开口朝向所述基板200的侧面，具体请参阅图6。多点局部音效更好，有利于提高用户音效体验。

本实施例中，其中步骤S100包括：

S111、在所述基板200上形成多个间隔设置的第一发声单元310。

本实施例中，步骤S111包括：

在靠近所述基板200的第一侧面及第二侧面形成非连续设置的一第一子发声单元及非连续设置的一第二子发声单元。

本实施例中，在后续步骤中，所述基板、所述第一子发声单元及所述第二发声层构成非连续设置的第一中空腔体421，所述基板、所述第二子发声单元及所述第二发声层构成非连续设置的第二中空腔体422，所述第一中空腔体421的开口朝向所述显示面板100的第一侧面，所述第二中空腔体422的开口朝向所述显示面板100的第二侧面，所述第一侧面与所述第二侧面相对设置。所述第一中空腔体421及所述第二中空腔体422均属于所述中空腔体400。形成的所述中空腔体400具有较封闭的结构，具体请参阅图5，相对设置的第一侧面与第二侧面容易理解，所以在图5中不做具体位置的限定，可以更好地发声，提供给用户更好地音效体验。在所述显示面板100的对边设置所述第一中空腔体421及所述第二中空腔体422，可以形成3D环绕的立体声效，提供给用户更好地音效体验。

本实施例中，在步骤S111之后还包括：

S112、在靠近所述基板200外围一侧形成多个第三发声单元320。

本实施例中，所述第三发声单元320的材料与所述第一发声单元的材料相同。

本实施例中，所述腔体材料410的厚度大于所述第三发声单元320的厚度，所述第三发声单元320设置在所述腔体材料410之内，具体请参阅图7～图9。在所述中空腔体400内设置所述第三发声单元320，可以使声音更加均匀，传递出的声音更加自然，提供给用户更好地音效体验。

本实施例中，步骤S112包括：

在远离所述基板200的方向上，所述第三发声单元320在第一截面上的截面积先增大后减小，所述第一截面平行于所述基板200。

本实施例中，所述第三发声单元320可以为类椭球台形状，具体请参阅图8、图9，可以将声音更圆润地导出显示面板100，传递出的声音更加自然，提供给用户更好地音效体验。

本实施例中，所述第三发声单元320的长轴与所述显示面板100平行，与所述显示面板100的边缘垂直，具体请参阅图8，可以更好地将声音导出显示面板100。

本实施例中，所述第三发声单元320的长轴与所述显示面板100垂直，具体请参阅图9，可以更好地使声音圆润均匀。

本实施例中，所述第三发声单元320为球体，可以兼顾声音导出及使声音圆润。

本实施例中，在步骤S112之后还包括：

S113、在靠近所述基板200外围一侧形成多个与所述第三发声单元320间隔设置的第四发声单元330。

本实施例中，所述第一发声层300还包括多个设置在所述中空腔体400内的第四发声单元330，所述第四发声单元330与所述第三发声单元320间隔设置，所述第四发声单元330的厚度与所述中空腔体400的厚度相同，具体请参阅图7，为节省作图，故所述第三发声单元320与所述第四发声单元330同在图7中画出，容易理解，所述第三发声单元320与所述第四发声单元330可以分别设置或同时设置。当所述中空腔体400的空间较大时，所述第二发声层的振动幅度较大，所述第四发声单元330可以起到一定的辅助支撑作用。

S300、在所述第一发声层300及所述腔体材料410上形成第二发声材料层520，所述第二发声材料层520覆盖所述腔体材料410及所述第一发声层300。

本实施例中，第二发声材料层520为铜。所述振动层600振动，将振动波传递给所述第二发声层500，铜膜可以很好地传递振动至所述中空腔体400，所述第一发声层300、所述第二发声层500及所述中空腔体400构成微腔发声结构，更好地发声，使声音更好地传递出所述显示面板100，用户有更好地音效体验。

本实施例中，所述第二发声材料层520的材料的电位高于所述腔体材料410的材料的电位。

本实施例中，所述第二发声层500搭接在所述第一发声层300上，具体请参阅图3。所述第二发声层500可以不是整面设置的，可以只完全覆盖所述中空腔体400，搭接在所述第一发声层300上。所述第二发声层500接收到的振动波尽可能多地传递给所述中空腔体400，更好地将声音传递出所述显示面板100，用户有更好地音效体验。

S400、在所述第二发声材料层520上形成一光阻层700。

本实施例中，所述光阻层700为光阻材料。

S500、对所述第二发声材料层520及所述光阻层700图案化处理，使远离所述第一发声层300一侧的所述腔体材料410裸露，以及使所述第二发声材料层520形成第二发声层500。

本实施例中，所述第二发声材料层520是整层设置的，所以需要对所述第二发声材料层520进行图案化蚀刻处理，使部分所述腔体材料裸露，方便进行下一步的电偶腐蚀化学反应。

本实施例中，形成第二发声层500的步骤包括：

S501、对所述第二发声材料层520图案化处理，形成环形设置的第二发声层500。

本实施例中，所述第二发声层500及所述中空腔体400设置于所述显示面板100的外围。所述第二发声层500在所述基板200上的正投影为环形，所述第一发光层300在所述基板200上的正投影为环形，具体请参阅图1，在图1中，由于俯视图层叠，中空腔体400的位置也可以表示第二发声层500。将所述第二发声层500及所述中空腔体400尽可能靠近所述显示面板100的外围，可以更方便地将声音传递出显示面板100，减少声音能量的损失。同时，环形的所述第二发声层500，可以配合所述中空腔体400在所述基板200上的正投影为环形，所述显示面板100的声音程环绕放出，提供给用户更好地音效体验。本实施例中，形成第二发声层500的步骤包括：

S502、对所述第二发声材料层520图案化处理，形成包括多个间隔设置的第二发声单元510的第二发声层500。

本实施例中，所述第一发声层300包括多个间隔设置的第一发声单元310，所述第二发声层500包括多个间隔设置的第二发声单元510。一所述第一发声单元310、一所述第二发声单元510及所述基板200对应一腔体材料410。所述第一发声单元310、所述第二发声单元510及所述腔体材料410设置于所述显示面板100的外围。其中，所述腔体材料410设置在靠近所述显示面板100的外围一侧，所述第一发声单元310靠近所述显示面板100的中心一侧，具体请参阅图4，为精简做图，图中所述腔体材料410以最终形成的中空腔体400表示。所述第一发声单元310为间隔设置的，所述第二发声单元510为间隔设置的，所述中空腔体400为间隔设置的，可以提供多点不连续位置的发声。

S600、利用剥离工艺去除图案化后的所述光阻层700及所述腔体材料410，使所述基板200与所述第二发声层500之间形成至少一中空腔体400。

本实施例中，所述利用剥离工艺去除图案化后的所述光阻层及所述腔体材料的步骤，包括：

S610、将包括所述基板200、所述腔体材料410、所述第一发声层300、所述第二发声层500及所述光阻层700的结构置于光阻剥离剂中。

S620、利用光阻剥离剂，去除图案化后的所述光阻层700。

S630、根据所述第二发声层500的电位高于所述腔体材料410的电位，以及基于所述第二发声层500与所述腔体材料410在所述光阻剥离剂中的化学反应去除所述腔体材料410。

本实施例中，所述光阻剥离剂包括有机胺及极性有机溶剂。所述光阻剥离剂可以将所述光阻层700剥离，同时为电偶腐蚀提供液体环境，将所述腔体材料410去除，形成所述中空腔体400。

本实施例中，所述第一发声层300与所述第二发声层500之间不发生化学反应，所述振动层600用于产生振动。所述中空腔体400是中空的，在制作所述第一发声层300、所述第二发声层500及所述中空腔体400时，所述中空腔体400中填充有腔体材料，所述第二发声层500的材料与所述腔体材料410由于电位不同，所述第二发声层500的材料的电位高于所述腔体材料410的电位，在光阻剥离剂中，所述第二发声层500的材料与所述腔体材料410发生电偶腐蚀，形成有效的腐蚀电流，所述第二发声层500的材料为阳极被保留，所述腔体材料410为阴极被反应掉，形成中空的中空腔体400，所述第一发声层300的材料不与所述第二发声层500的材料发生电偶腐蚀，所述第一发声层300的材料不与所述腔体材料410发生电偶腐蚀，所述第一发声层300作为终止腐蚀的结构，电偶腐蚀至所述第一发声层300即停止腐蚀，精准控制了中空腔体400的形成，结构设计简单，制程可行性高，成本较低。

S700、在所述第二发声层500上形成用于产生振动的振动层600。

本实施例中，步骤S700包括：

在所述第二发声层500上形成至少一振动单元，以形成振动层600。

本实施例中，所述振动层600包括至少一振动单元。一所述振动单元与一所述第二发声单元510对应。所述振动单元可以为激励器等振动器件，用于产生振动发声，在此不对所述振动单元做限制。

本申请通过腔体材料与第二发声材料层在光阻剥离液中产生电偶腐蚀，第一发声层不与第二发声材料层产生电偶腐蚀，精准控制形成中空腔体及第二发声层，结构设计简单，制程可行性高，成本较低。

本申请还公开了一种显示装置，包括任一上述的显示面板100。

具体显示面板100的结构请参阅任一上述显示面板100的实施例及图1～图10，在此不再赘述。

本申请公开了一种显示面板及其制作方法。该显示面板包括基板；位于该基板上的第一发声层；位于该第一发声层上的第二发声层；位于该第二发声层上的振动层，该振动层用于产生振动；以及位于该基板与该第二发声层之间的至少一中空腔体，该中空腔体位于该显示面板的外围以及与该第一发声层同层设置。本申请通过腔体材料与第二发声材料层在光阻剥离液中产生电偶腐蚀，第一发声层不与第二发声材料层产生电偶腐蚀，精准控制形成中空腔体及第二发声层，结构设计简单，制程可行性高，成本较低。

以上对本申请实施例进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的技术方案及其核心思想；本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例的技术方案的范围。

Claims (9)

1.一种显示面板，其特征在于，包括：

基板；

位于所述基板上的第一发声层；

位于所述第一发声层上的第二发声层；

位于所述第二发声层上的振动层，所述振动层用于产生振动；

以及位于所述基板与所述第二发声层之间的至少一中空腔体，所述中空腔体位于所述显示面板的外围以及与所述第一发声层同层设置；

在所述基板的中心至所述基板的外围的方向上，位于所述中空腔体内的所述第一发声层的厚度逐渐减小。

2.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述中空腔体在所述显示面板的外围连续或非连续设置。

3.根据权利要求2所述的显示面板，其特征在于，所述第二发声层搭接在所述第一发声层上，所述振动层在所述基板上的正投影位于所述第二发声层在所述基板上的正投影之内。

4.根据权利要求2所述的显示面板，其特征在于，所述第一发声层包括多个间隔设置的第一发声单元，所述第二发声层包括多个间隔设置的第二发声单元，一所述第一发声单元及一所述第二发声单元对应一所述中空腔体。

5.根据权利要求4所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板包括两个非连续设置的第一中空腔体和第二中空腔体，所述第一中空腔体的开口朝向所述显示面板的第一侧面，所述第二中空腔体的开口朝向所述显示面板的第二侧面，所述第一侧面与所述第二侧面相对设置。

6.根据权利要求4所述的显示面板，其特征在于，所述第一发声层还包括多个设置在所述中空腔体内的第三发声单元，所述第三发声单元的厚度小于所述中空腔体的厚度。

7.根据权利要求6所述的显示面板，其特征在于，所述第一发声层还包括多个设置在所述中空腔体内的第四发声单元，所述第四发声单元与所述第三发声单元间隔设置，所述第四发声单元的厚度与所述中空腔体的厚度相同。

8.一种显示面板的制作方法，其特征在于，包括：

在基板上形成第一发声层；

在所述基板的外围形成与所述第一发声层同层设置的腔体材料；

在所述第一发声层及所述腔体材料上形成第二发声材料层，所述第二发声材料层覆盖所述腔体材料及所述第一发声层；

在所述第二发声材料层上形成一光阻层；

对所述第二发声材料层及所述光阻层图案化处理，使远离所述第一发声层一侧的所述腔体材料裸露，以及使所述第二发声材料层形成第二发声层；

利用剥离工艺去除图案化后的所述光阻层及所述腔体材料，使所述基板与所述第二发声层之间形成至少一中空腔体；

在所述第二发声层上形成用于产生振动的振动层；

在所述基板的中心至所述基板的外围的方向上，位于所述中空腔体内的所述第一发声层的厚度逐渐减小。

9.根据权利要求8所述的显示面板的制作方法，其特征在于，所述利用剥离工艺去除图案化后的所述光阻层及所述腔体材料的步骤，包括：

将包括所述基板、所述腔体材料、所述第一发声层、所述第二发声层及所述光阻层的结构置于光阻剥离剂中；

利用所述光阻剥离剂，去除图案化后的所述光阻层；

根据所述第二发声层的电位高于所述腔体材料的电位，以及基于所述第二发声层与所述腔体材料在所述光阻剥离剂中的化学反应去除所述腔体材料。

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