CN112284900A - 半导体器件内引线键合强度测试装置及其检测方法 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种半导体器件内引线键合强度测试装置及其检测方法，其包括：机架、水平输送机构、支撑架以及拉拔检测机构，水平输送机构设置在机架上，水平输送机构用于水平输送待检测的引线框架；支撑架竖向固定设置在机架上，并且支撑架与水平输送机构相邻设置；拉拔检测机构设置在支撑架靠近水平输送机构一侧处，并且拉拔检测机构处于水平输送机构的上方。本申请具有提升对引线拉拔检测的效率、节省人力的效果。

Description

半导体器件内引线键合强度测试装置及其检测方法

技术领域

本申请涉及引线强度测试的领域，尤其是涉及一种半导体器件内引线键合强度测试装置及其检测方法。

背景技术

引线框架作为集成电路的芯片载体，是一种借助于键合材料（金丝、铝丝、铜丝）实现芯片内部电路引出端与外引线的电气连接，形成电气回路的关键结构件，它起到了和外部导线连接的桥梁作用，绝大部分的半导体集成块中都需要使用引线框架，是电子信息产业中重要的基础材料。引线是指从元器件封装体内向外引出的导线。

如图1，引线框架由若干个基片6组成，基片6上设置有芯片61以及引脚62，引脚62和芯片61之间通过引线63相连，引线63的两端分别焊接在引脚62和芯片61上；一个芯片61上对称焊接有两根引线63，引线63与基片6之间形成间隙。

在引线框架上，引线是比较重要的部件，其两端分别与芯片以及引脚的连接牢固度也尤其重要，因而引线两端分别与引脚以及芯片焊接好之后，还需要检测引线分别与引脚以及芯片焊接的牢固度。

相关技术中，常采用人工手动拉拔引线的方式来检测引线与芯片、引脚连接的牢固度。

针对上述中的相关技术，发明人认为存在有采用人工手动拉拔的方式检测的效率比较低、需要消耗比较多人力的缺陷。

发明内容

为了提升对引线拉拔检测的效率、节省人力，本申请提供一种半导体器件内引线键合强度测试装置及其检测方法。

第一方面，本申请提供一种半导体器件内引线键合强度测试装置，采用如下的技术方案：

一种半导体器件内引线键合强度测试装置，包括：机架、水平输送机构、支撑架以及拉拔检测机构，水平输送机构设置在机架上，水平输送机构用于水平输送待检测的引线框架；支撑架竖向固定设置在机架上，并且支撑架与水平输送机构相邻设置；拉拔检测机构设置在支撑架靠近水平输送机构一侧处，并且拉拔检测机构处于水平输送机构的上方。

通过采用上述技术方案，在待检测的引线框架通过水平输送机构运动至拉拔检测机构的下方时，待检测的引线框架停止运动，此时拉拔检测机构向下运动以向上拉动引线框架上的引线，从而对引线框架上引线的牢固度进行检测，相比于人工收到拉拔引线框架上的引线，此种设计方式在进行拉拔检测时能够更加方便快捷，检测的效率会更高，有助于节省人力。

优选的，所述拉拔检测机构包括：安装块、拉拔钩件、运动转换组件、第一驱动件、限位组件以及弹性复位件，安装块转动设置在支撑架靠近水平输送机构一侧处；拉拔钩件转动设置在安装块上，拉拔钩件远离安装块一端延伸至水平输送机构的上方，拉拔钩件用于钩住引线框架上的引线；运动转换组件活动设置在安装块与第一驱动件之间；第一驱动件固定设置在所述支撑架上，第一驱动件用于通过运动转换组件分别驱动安装块在水平面上左右摆动以及驱动拉拔钩件在竖直面上上下转动；限位组件设置在支撑架上，限位组件用于限制安装块转动；弹性复位件一端与支撑架固定连接，另一端与安装块固定连接，弹性复位件用于拉动安装块转动回到初始位置处。

通过采用上述技术方案，安装块的设置，一方面为拉拔钩件提供了稳定的安装位置，另一方面通过第一驱动件的驱动，自身可以在水平面上进行左右转动，从而方便拉拔钩件从引线的斜下方运动至引线的正下方，从而为勾起引线做好了准备；拉拔钩件的设置，方便钩住引线；运动转换组件的设置，使得第一驱动件既能够驱动安装块转动，又可以驱动拉拔钩件靠近引线一端上下运动，从而方便对引线进行拉拔检测，同时在检测之后还不易对引线框架的运动产生阻碍；限位组件的设置，使得第一驱动件通过运动转换组件驱动拉拔钩件靠近引线一端在对引线上下拉动时，安装块不会因为弹性复位件的作用而转动回到原来的位置，从而不会对拉拔钩件上下拉动引线进行拉拔检测而产生影响；复位弹性件的设置，使得拉拔钩件在拉拔检测后，可以通过拉动安装块转动从而离开引线的下方，避免对引线框架的运动产生影响。

优选的，所述运动转换组件包括：U形件、第一斜面块以及第二斜面块，U形件滑动设置在所述支撑架上，并且U形件的开口朝向远离所述第一驱动件的方向，U形件靠近自身开口处的一端与第一斜面块远离自身斜面的一端固定连接，U形件靠近自身开口的另一端端部与安装块靠近第一驱动件一侧表面相对且间隔设置，第一驱动件驱动U形件在水平方向上滑动，以分别顶动第一斜面块在水平方向上滑动以及顶动安装块在水平面上左右摆动；第一斜面块上的斜面与第二斜面块上的斜面相互抵接，并且第一斜面块上的斜面处于第二斜面块上斜面的下方；第二斜面块远离自身斜面的一端与拉拔钩件靠近第一驱动件一端固定连接。

通过采用上述技术方案，U形件的设置，使得第一驱动件输出的动力可以分别作用到拉拔钩件以及安装块上，为拉拔钩件远离第二斜面块一端上下摆动以及安装块左右摆动提供了较为充足的动力；第一斜面块与第二斜面块的设置，使得U形件的水平滑动可以被转换为拉拔钩件靠近第二斜面块一端的上下摆动，进而实现拉拔构建远离第二斜面块一端的上下摆动；U形件开口处用来驱动安装块转动的一端与安装块之间存在间隙，使得U形件被第一驱动件所驱动后，U形件不会马上就顶动安装块转动，而因为第一斜面块上的斜面与第二斜面块上的斜面相互抵接，所以当第一驱动件驱动U形件向远离自身的方向运动后，拉拔钩件远离第二斜面块的一端可以马上实现向下运动的目的，所以安装块的左右方向上的摆动与拉拔钩件的上下摆动会有一个先后的顺序，有助于拉拔钩件远离第二斜面块一端避开引线并运动至引线的下方。

优选的，所述第一斜面块上还设置有第一延时平面，第一延时平面一端与第一斜面块上的斜面连接，另一端向靠近所述第一驱动件的方向延伸；第二斜面块上还设置有第二延时平面，第二延时平面一端与第二斜面块的上的斜面连接，另一端向远离所述第一驱动件的方向延伸，在所述拉拔钩件钩住引线后，第一延时平面与第二延时平面上下相互抵接。

通过采用上述技术方案，因U形件顶动安装块转动时，U形件还会持续不断的向靠近第二斜面块的方向运动，所以第一延时平面与第二延时平面的设置，使得第一斜面块与第二斜面块可以通过第一延时平面与第二延时平面相互抵接，便于U形件向远离第二斜面块的方向运动时，第一斜面块上的斜面与第二斜面块上的斜面能够较为顺畅的回复到相互抵接的状态，以便后续第一斜面块与第二斜面块相互分离。

优选的，所述拉拔钩件包括转动杆以及竖向弯钩，转动杆一端与第二斜面块固定连接，转动杆另一端与竖向弯钩的上端固定连接，转动杆与所述安装块转动连接，在转动杆靠近第二斜面块一端向上运动时，转动杆靠近竖向弯钩一端向下运动；竖向弯钩下端弯折形成弯钩，以钩住引线。

通过采用上述技术方案，转动杆的设置，便于第一驱动件通过第一斜面块与第二斜面块驱动转动杆在竖直面上发生上下方向上的摆动，进而带动竖直弯钩向下钩住引线，并对引线拉动而进行拉拔检测。

优选的，所述拉拔检测机构设置有两组，两组拉拔检测机构沿待检测引线框架的运动方向呈直线排布。

通过采用上述技术方案，设置两组拉拔检测机构，方便分别对引线框架上的两根引线进行拉拔检测，相比于一次同时对两根引线进行拉拔检测，该种检测方式有助于提升检测的准确度。

优选的，两组拉拔检测机构中的两个竖向弯钩分别朝相互靠近的方向弯折。

通过采用上述技术方案，使得两组拉拔检测机构能够从两根引线相互远离的一侧钩住引线，此时每组拉拔检测机构在钩一根引线时不易受到另一根引线的阻碍，提升了拉拔检测的便利性。

优选的，所述限位组件包括限位块和第二驱动件，限位块竖向滑动设置在支撑架上，安装块一侧表面上设置有与限位滑块相适配的限位孔；第二驱动件固定设置在支撑架上，第二驱动件用于驱动限位块进出限位孔；在所述安装块转动离开初始位置后，限位块与限位孔相对。

通过采用上述技术方案，限位块与限位孔的设置，使得安装块在转动后能够被固定住状态，在拉拔钩件进行拉拔检测时，安装块也就不会发生转动，以便拉拔钩件顺利的钩住引线进行拉拔检测；第二驱动件的设置，为限位块的运动提供了动力，使得限位块能够在安装块转动后对安装块的状态进行限制，在安装块需要转动回到初始位置处时，第二驱动件也能够较为方便的驱动限制块解除对安装块转动的限制。

优选的，所述水平输送机构包括水平输送轨道和水平驱动件，水平输送轨道固定设置在机架上，待检测的引线框架在水平输送轨道上沿水平输送轨道运动；水平驱动件设置在机架上且处于水平输送轨道的下方，水平驱动件用于驱动待检测的引线框架在水平输送轨道上运动。

通过采用上述技术方案，水平输送轨道的设置，方便输送待检测的引线框架至拉拔检测机构的下方；水平驱动件的设置，为待检测的引线框架在水平输送轨道上运动提供了充足的动力，而且还能够控制待检测引线框架在水平输送轨道上暂停，以方便进行拉拔检测。

第二方面，本申请提供一种检测方法，采用如下的技术方案：

一种检测方法，包括以下步骤：

S1.首先需要将待检测的引线框架放置在水平输送机构上，待检测的引线框架首先运动至一个拉拔检测机构处，并在该处暂停运动；

S2.然后该拉拔检测机构上的第一驱动件启动，第一驱动件驱动U形件向远离自身的方向运动，U形件首先通过第一斜面块顶动第二斜面块向上运动，从而使得拉拔钩件远离第二斜面块一端向下运动至待检测引线框架上单根引线的斜下方；

S3.之后随着第一驱动件的持续驱动，第一延时平面与第二延时平面上下相互抵接，此时U形件开口处与安装块相对且间隔设置的一端就会顶动安装块转动，使得安装块在水平面上朝一侧摆动，拉拔钩件远离第二斜面块一端就会运动至单根引线的正下方，再启动限位组件，使得安装块转动后位置被固定；

S4.待安装块位置被固定后，第一驱动件再通过U形件反向驱动第一斜面块向远离第二斜面块的方向运动，待第一斜面块上的斜面与第二斜面块上的斜面相互脱离后，拉拔钩件靠近第二斜面块一端在自身重力作用下向下运动，从而使得拉拔钩件远离第二斜面块的一端向上勾动引线，进行引线的拉拔检测；

S5.拉拔检测后，第一驱动件再次通过对U形件驱动第一斜面块向靠近第二斜面块的方向运动，使得拉拔钩件远离第二斜面块一端向下运动，脱离与引线的接触；

S6.之后限位组件再解除对安装块的固定，安装块在弹性复位件的作用下转动到初始位置处，从而使得拉拔钩件远离第二斜面块一端离开引线正下方；

S7.之后第一驱动件再通过U形件驱动第一斜面块与第二斜面块相互分离，使得拉拔钩件远离第二斜面块一端向上运动；

S8.最后水平输送机构再将引线框架向前运送。

通过采用上述技术方案，使得处于水平输送机构上的待检测引线框架能够自动进行拉拔检测，相比于人工手动对引线进行拉拔检测，不但检测效率更高，而且检测时的检测标准较为统一，不易出现一会用较大的力进行拉拔检测，一会又用较小的力进行拉拔检测，有助于保证拉拔检测的质量。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

1.拉拔检测机构的设置，使得对引线框架上的引线进行拉拔检测可以自动进行，而不需要再采用人力拉扯的方式，大大提升了拉拔检测的效率，而且还有助于提升检测的质量；

2.运动转换组件的设置，使得安装块转动的动力以及拉拔钩件转动的动力均可以来自于第一驱动件，减少了驱动件的设置，使得结构更加的紧凑。

附图说明

图1是本申请背景技术中基片的结构示意图。

图2是本申请的整体结构示意图。

图3是本申请中拉拔检测机构的剖视结构示意图。

图4是本申请中运动转换组件及拉拔钩件的结构示意图。

附图标记说明：1、机架；2、水平输送机构；21、水平输送轨道；211、水平轨道；2111、引导槽；212、支撑脚；22、水平驱动件；3、支撑架；31、竖向支撑板；311、安装板；32、水平支撑板；4、拉拔检测机构；41、安装块；411、安装槽；412、限位孔；42、拉拔钩件；421、转动块；422、转动杆；423、竖向弯钩；43、第一驱动件；44、运动转换组件；441、U形件；442、第一斜面块；4421、第一延时平面；443、第二斜面块；4431、第二延时平面；45、限位组件；451、限位块；452、第二驱动件；46、弹性复位件；5、引线框架；6、基片；61、芯片；62、引脚；63、引线。

具体实施方式

以下结合附图1-4对本申请作进一步详细说明。

本申请实施例公开一种半导体器件内引线键合强度测试装置。参照图2，测试装置包括：机架1、水平输送机构2、支撑架3以及拉拔检测机构4，水平输送机构2设置在机架1上，水平输送机构2用于水平输送待检测的引线框架5；支撑架3竖向固定设置在机架1上，并且支撑架3与水平输送机构2相邻设置；拉拔检测机构4设置在支撑架3靠近水平输送机构2一侧处，并且拉拔检测机构4处于水平输送机构2的上方。

具体的，参照图2，水平输送机构2包括水平输送轨道21和水平驱动件22，水平输送轨道21通过螺栓固定在机架1上；水平输送轨道21包括两个水平相互平行的水平轨道211和四个支撑脚212，水平轨道211呈长方体形状且为不锈钢材质，两水平轨道211间隔设置；支撑脚212呈长方体形状且为不锈钢材质，四个支撑脚212两两分别竖向设置在两个水平轨道211上，支撑脚212下端与机架1通过螺栓固定连接，支撑脚212上端与水平轨道211焊接。

参照图2，在两水平轨道211相互靠近的两个侧表面之间开设有一道引导槽2111，引导槽2111的长度方向与水平轨道211的长度方向相同，待检测的引线框架5处于两水平轨道211之间的间隙中，并且待检测引线框架5的两端分别插入到两道引导槽2111中，使得待检测的引导线能够沿着引导槽2111滑动，并且在引线受到竖直方向上的拉拔时，引线框架5不易被拉离水平轨道211，以便完成引线的拉拔检测。

参照图2，水平驱动件22设置在机架1上且处于水平输送轨道21的下方，本实施例中，水平驱动件22是输送带，输送带处于两个水平轨道211之间，输送带上表面直接与待检测的引线框架5下表面抵接，从而达到驱动引线框架5在水平轨道211上沿引导槽2111的长度方向滑动的目的。

参照图2，支撑架3包括竖向支撑板31和水平支撑板32，竖向支撑板31呈长方体形状且为不锈钢材质，竖向支撑板31下端与机架1上表面固定连接，竖向支撑板31与水平轨道211相邻设置；水平支撑板32为不锈钢材质，水平支撑板32一端与竖向支撑板31焊接，水平支撑板32另一端向靠近水平轨道211的方向延伸，水平支撑板32设置有间隔设置的两块，两块水平支撑板32沿水平轨道211的长度方向呈直线排列，拉拔检测机构4设置有两个，两个拉拔检测机构4分别设置在两块水平支撑板32上，两个拉拔检测机构4分别用于对待检测引线框架5上的两根引线进行拉拔检测。

参照图2与图3，在本实施例中，拉拔检测机构4包括：安装块41、拉拔钩件42、第一驱动件43以及运动转换组件44，安装块41为不锈钢材质，安装块41转动设置在支撑架3靠近水平输送机构2一侧处，安装块41与竖向支撑板31之间存在间隙，在水平支撑板32上表面处竖向焊接有一根转轴，转轴向上插入到安装块41的内部，安装块41通过轴承与转轴转动连接，使得安装块41能够在水平面上进行左右方向上的摆动。

参照图2与图3，安装块41靠近竖向支撑板31一侧表面上还开设有一个安装槽411，拉拔钩件42转动设置在安装块41上，拉拔钩件42远离安装块41一端延伸至水平输送机构2的上方，拉拔钩件42包括：转动块421、转动杆422以及竖向弯钩423，安装块41远离竖向支撑板31一侧表面上开设一个安装孔，安装孔截面呈长方形，转动块421呈长方体形状且为不锈钢材质，转动块421设置在安装孔中，并且转动块421通过一根水平设置的圆杆与安装块41转动连接。

参照图2与图3，转动杆422呈圆柱形且为不锈钢材质，转动杆422呈水平状态，转动杆422一端穿过转动块421进入到安装槽411中，转动杆422穿过安装块41的位置与圆杆穿过安装块41的位置相错开，转动杆422处于安装块41外部的一端与竖向弯钩423的上端通过螺栓固定连接，在转动杆422处于安装槽411中的一端向上运动时，转动杆422靠近竖向弯钩423一端向下运动，在转动杆422处于安装槽411中的一端向下运动时，转动杆422靠近竖向弯钩423一端向上运动；竖向弯钩423上端于转动杆422垂直，竖向弯钩423为不锈钢材质，竖向弯钩423下端弯折形成一个九十度角的弯钩，用于钩住引线，以便对引线进行拉拔检测。

参照图2与图3，第一驱动件43为气缸，在竖向支撑板31远离水平轨道211一侧表面上焊接有安装板311，安装板311呈方板状且为不锈钢材质，第一驱动件43通过螺栓固定在安装块41上，第一驱动件43的输出轴可以向靠近竖向支撑板31的方向伸出；在本实施例中，因为拉拔检测机构4设置有两个，所以安装块41也设置有水平相互平行的两块，一个第一驱动件43设置在一块安装板311上。

参照图2与图3，运动转换组件44活动设置在安装块41与第一驱动件43之间，运动转换组件44包括：U形件441、第一斜面块442以及第二斜面块443，U形件441为不锈钢材质，U形件441滑动设置在竖向支撑板31上，并且U形件441的开口朝向远离第一驱动件43的方向，在竖向支撑板31靠近安装块41一侧表面上开设有两个水平相互平行的穿孔，U形件441开口的两端分别从竖向支撑板31远离安装块41一侧表面处穿过两个穿孔，U形件441靠近自身开口处一端的端部与第一斜面块442远离自身斜面一端的端部焊接，U形件441靠近自身开口的另一端端部与安装块41靠近第一驱动件43一侧表面相对且间隔设置，U形件441远离开口一端与第一驱动件43的输出轴固定连接。

因而，参照图2与图3，在第一驱动件43的输出轴伸出顶动U形件441时，U形件441会首先顶动第一斜面块442运动，然后才会顶动安装块41转动。

参照图2与图3，第一斜面块442与第二斜面块443均为不锈钢材质，第一斜面块442上的斜面与第二斜面块443上的斜面相互抵接，并且第一斜面块442上的斜面处于第二斜面块443上斜面的下方；第二斜面块443远离自身斜面的一端与转动杆422靠近竖向支撑板31一端的端部焊接。

参照图2与图3，在第一驱动件43驱动U形件441顶动第一斜面块442向靠近第二斜面块443的方向运动时，第一斜面块442就可以通过自身上的斜面向上顶动第二斜面块443，使得第二斜面块443向上运动，进而再使得转动杆422靠近第二斜面块443一端向上摆动、转动杆422远离第二斜面块443一端向下摆动。

参照图2与图3，在第一驱动件43驱动U形件441拉动第一斜面块442向远离第二斜面块443的方向运动时，第一斜面块442与第二斜面块443就会相互分离，此时在第二斜面块443重力的作用下，第二斜面块443就会拉动转动杆422靠近第二斜面块443一端向下运动，使得转动杆422远离第二斜面块443一端向上运动。

参照图2与图3，在其它实施例中，转动杆422靠近第二斜面块443的一端还可以设置一个弹簧，弹簧一端与转动杆422靠近第二斜面块443一端固定连接，另一端与安装槽411的下侧壁固定连接，在转动杆422靠近第二斜面块443一端向上运动时，弹簧被拉开，之后待转动杆422靠近第二斜面一端需要向下运动时，弹簧还可以辅助转动杆422靠近第二斜面一端向下运动，提升了转动杆422上下摆动的灵敏度。

参照图2与图3，因而此时，在第一驱动件43的驱动下，拉拔钩件42远离第一驱动件43的一端就可以实现在竖直方向上的一个上下运动，同时因为拉拔钩件42是安装在安装块41上的，所以安装块41的转动可以带动拉拔钩件42在水平面上进行左右摆动；在引线运动至拉拔钩件42下方时，拉拔钩件42远离一端就可以首先向下运动至引线的斜下方，然后再通过水平方向上的摆动运动至引线的正下方，此时只需驱动拉拔钩件42上下运动，就可以实现对引线的拉拔检测。

参照图2与图3，而在拉拔检测时，需要保持拉拔钩件42持续钩住引线，所以此时就需要对安装块41的位置进行固定，因而，在本实施例中，拉拔检测机构4还包括用于对安装块41转动后状态进行固定的限位组件45。

参照图2与图3，限位组件45包括限位块451和第二驱动件452，限位块451为不锈钢材质，限位块451竖向穿过水平支撑板32，水平支撑板32上开设有供限位块451竖向穿过的通孔，安装块41靠近水平支撑板32一侧表面上开设有与限位滑块相适配的限位孔412；第二驱动件452通过螺钉固定在支撑架3上，第二驱动件452为气缸，第二驱动件452的输出轴远离缸体一端与限位块451下端固定连接，以驱动限位块451竖向运动；在安装块41转动离开初始位置后，限位块451与限位孔412相对，此时第二驱动件452就可以驱动限位块451向上插入到限位孔412中，从而使得安装块41保持转动后的状态，而在安装块41需要转动回原来的位置上时，第二驱动件452还可以向下拉动限位块451，使得限位块451从限位孔412中被拉出，从而解除对安装块41转动的限制。

此时，拉拔钩件42在竖直方向上拉动引线时，安装块41的位置也就不易随意发生变化，有助于拉拔钩件42稳定的对引线进行拉拔检测。

参照图2与图3，而在拉拔检测之后，拉拔钩件42远离第一驱动件43一端需要避开引线并向上抬起，从而方便后续对另外的引线进行检测，所以在拉拔检测完一根引线之后，安装块41首先需要带动拉拔钩件42运动回到原来的位置处，从而避开已经被检测完的这根引线，然后拉拔钩件42远离第一驱动件43的一端才可以向上抬起，又因为U形件441与安装块41只是抵接，在本实施例中，拉拔检测机构4还包括弹性复位件46。

参照图2与图3，弹性复位件46为一个弹簧，弹性复位件46一端通过螺钉与安装块41远离竖向支撑板31一侧表面固定连接，另一端与水平支撑板32通过螺钉固定连接，在安装块41转动后，弹性复位件46就被拉开而产生弹性形变，而在限位组件45解除对安装块41转动的限制后，弹性复位件46就可以通过自身的弹性作用力将安装块41拉动回到原来的位置处，从而使得安装块41在水平面上能够自动实现左右摆动。

参照图2与图3，此时，配合拉拔钩件42的上下运动，拉拔钩件42就可以实现钩住引线进行拉拔检测的目的，同时在拉拔检测后，还可以实现与引线的分离，从而方便对下一根引线进行检测。

参照图3与图4，在本实施例中，为了方便在U形件441顶动安装块41转动后，第二斜面块443能够较为顺畅的从第一斜面块442上滑下，在第一斜面块442上还设置有第一延时平面4421，第一延时平面4421一端与第一斜面块442上的斜面连接，另一端向远离安装块41的方向延伸；第二斜面块443上还设置有第二延时平面4431，第二延时平面4431一端与第二斜面块443的上的斜面连接，另一端向靠近安装块41的方向延伸，在U形件441靠近开口处的一端与安装块41抵接时，第一延时平面4421与第二延时平面4431上下相互抵接，而在第一斜面块442与第二斜面块443相互远离时，第二斜面块443也能够通过第一延时平面4421与第二延时平面4431较为顺畅的从第一斜面块442上滑下，在该处不易形成台阶而影响第一斜面块442与第二斜面块443的顺畅分离。

以下是采用上述测试装置的检测方法，包括以下步骤：

S1.首先需要将待检测的引线框架5放置在水平输送轨道21上的引导槽2111中，并由水平驱动件22驱动待检测的引线框架5运动，待检测的引线框架5首先运动至一个拉拔检测机构4的下方处，并在该处暂停运动；

S2.然后该拉拔检测机构4上的第一驱动件43启动，第一驱动件43驱动U形件441向远离自身的方向运动，U形件441首先通过第一斜面块442顶动第二斜面块443向上运动，从而使得拉拔钩件42远离第二斜面块443一端向下运动至待检测引线框架5上单根引线的斜下方；

S3.之后随着第一驱动件43的持续驱动，第一延时平面4421与第二延时平面4431上下相互抵接，此时U形件441开口处与安装块41相对且间隔设置的一端就会顶动安装块41转动，使得安装块41在水平面上朝一侧摆动，拉拔钩件42远离第二斜面块443一端就会运动至单根引线的正下方，再启动限位组件45，使得安装块41转动后位置被固定；

S4.待安装块41位置被固定后，第一驱动件43再通过U形件441反向驱动第一斜面块442向远离第二斜面块443的方向运动，待第一斜面块442上的斜面与第二斜面块443上的斜面相互脱离后，拉拔钩件42靠近第二斜面块443一端在自身重力作用下向下运动，从而使得拉拔钩件42远离第二斜面块443的一端向上勾动引线，进行引线的拉拔检测，此时因为限位组件45对安装块41状态的锁定，所以拉拔钩件42在对引线进行拉拔检测时，拉拔钩件42远离第一驱动件43的一端不会离开引线的正下方；

S5.拉拔检测后，第一驱动件43再次通过对U形件441驱动第一斜面块442向靠近第二斜面块443的方向运动，使得拉拔钩件42远离第二斜面块443一端向下运动，脱离与引线的接触；

S6.之后限位组件45再解除对安装块41的固定，此时因为U形件441靠近开口处的一端还处于顶住安装块41的状态，所以安装块41不会马上转动回到原来的位置处，而随着第一驱动件43拉动U形块向靠近第一驱动件43的方向运动，第一斜面块442与第二斜面块443通过第一延时平面4421与第二延时平面4431滑动，所以此时拉拔钩件42远离第二斜面块443一端还不会马上向上运动，而又因为U形件441靠近开口处的一端已经脱离了与安装块41的抵接，所以安装块41此时在弹性复位件46的作用下就可以转动到初始位置处，从而使得拉拔钩件42远离第二斜面块443一端离开引线正下方；

S7.之后随着第一驱动件43通过U形件441持续驱动第一斜面块442向靠近第一驱动件43的方向运动，使得第一斜面块442与第二斜面块443相互分离，此时拉拔钩件42远离第二斜面块443一端就会向上运动，并且不会勾连到引线；

S8.最后水平输送机构2再将引线框架5向前运送。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种半导体器件内引线键合强度测试装置，其特征在于，包括：机架(1)、水平输送机构(2)、支撑架(3)以及拉拔检测机构(4)，水平输送机构(2)设置在机架(1)上，水平输送机构(2)用于水平输送待检测的引线框架(5)；支撑架(3)竖向固定设置在机架(1)上，并且支撑架(3)与水平输送机构(2)相邻设置；拉拔检测机构(4)设置在支撑架(3)靠近水平输送机构(2)一侧处，并且拉拔检测机构(4)处于水平输送机构(2)的上方。

2.根据权利要求1所述的半导体器件内引线键合强度测试装置，其特征在于，所述拉拔检测机构(4)包括：安装块(41)、拉拔钩件(42)、运动转换组件(44)、第一驱动件(43)、限位组件(45)以及弹性复位件(46)，安装块(41)转动设置在支撑架(3)靠近水平输送机构(2)一侧处；拉拔钩件(42)转动设置在安装块(41)上，拉拔钩件(42)远离安装块(41)一端延伸至水平输送机构(2)的上方，拉拔钩件(42)用于钩住引线框架(5)上的引线；运动转换组件(44)活动设置在安装块(41)与第一驱动件(43)之间；第一驱动件(43)固定设置在所述支撑架(3)上，第一驱动件(43)用于通过运动转换组件(44)分别驱动安装块(41)在水平面上左右摆动以及驱动拉拔钩件(42)在竖直面上上下转动；限位组件(45)设置在支撑架(3)上，限位组件(45)用于限制安装块(41)转动；弹性复位件(46)一端与支撑架(3)固定连接，另一端与安装块(41)固定连接，弹性复位件(46)用于拉动安装块(41)转动回到初始位置处。

3.根据权利要求2所述的半导体器件内引线键合强度测试装置，其特征在于，所述运动转换组件(44)包括：U形件(441)、第一斜面块(442)以及第二斜面块(443)，U形件(441)滑动设置在所述支撑架(3)上，并且U形件(441)的开口朝向远离所述第一驱动件(43)的方向，U形件(441)靠近自身开口处的一端与第一斜面块(442)远离自身斜面的一端固定连接，U形件(441)靠近自身开口的另一端端部与安装块(41)靠近第一驱动件(43)一侧表面相对且间隔设置，第一驱动件(43)驱动U形件(441)在水平方向上滑动，以分别顶动第一斜面块(442)在水平方向上滑动以及顶动安装块(41)在水平面上左右摆动；第一斜面块(442)上的斜面与第二斜面块(443)上的斜面相互抵接，并且第一斜面块(442)上的斜面处于第二斜面块(443)上斜面的下方；第二斜面块(443)远离自身斜面的一端与拉拔钩件(42)靠近第一驱动件(43)一端固定连接。

4.根据权利要求3所述的半导体器件内引线键合强度测试装置，其特征在于：所述第一斜面块(442)上还设置有第一延时平面(4421)，第一延时平面(4421)一端与第一斜面块(442)上的斜面连接，另一端向靠近所述第一驱动件(43)的方向延伸；第二斜面块(443)上还设置有第二延时平面(4431)，第二延时平面(4431)一端与第二斜面块(443)的上的斜面连接，另一端向远离所述第一驱动件(43)的方向延伸，在所述拉拔钩件(42)钩住引线后，第一延时平面(4421)与第二延时平面(4431)上下相互抵接。

5.根据权利要求3所述的半导体器件内引线键合强度测试装置，其特征在于：所述拉拔钩件(42)包括转动杆(422)以及竖向弯钩(423)，转动杆(422)一端与第二斜面块(443)固定连接，转动杆(422)另一端与竖向弯钩(423)的上端固定连接，转动杆(422)与所述安装块(41)转动连接，在转动杆(422)靠近第二斜面块(443)一端向上运动时，转动杆(422)靠近竖向弯钩(423)一端向下运动；竖向弯钩(423)下端弯折形成弯钩，以钩住引线。

6.根据权利要求5所述的半导体器件内引线键合强度测试装置，其特征在于：所述拉拔检测机构(4)设置有两组，两组拉拔检测机构(4)沿待检测引线框架(5)的运动方向呈直线排布。

7.根据权利要求6所述的半导体器件内引线键合强度测试装置，其特征在于：两组拉拔检测机构(4)中的两个竖向弯钩(423)分别朝相互靠近的方向弯折。

8.根据权利要求2所述的半导体器件内引线键合强度测试装置，其特征在于：所述限位组件(45)包括限位块(451)和第二驱动件(452)，限位块(451)竖向滑动设置在支撑架(3)上，安装块(41)一侧表面上设置有与限位滑块相适配的限位孔(412)；第二驱动件(452)固定设置在支撑架(3)上，第二驱动件(452)用于驱动限位块(451)进出限位孔(412)；在所述安装块(41)转动离开初始位置后，限位块(451)与限位孔(412)相对。

9.根据权利要求1所述的半导体器件内引线键合强度测试装置，其特征在于，所述水平输送机构(2)包括水平输送轨道(21)和水平驱动件(22)，水平输送轨道(21)固定设置在机架(1)上，待检测的引线框架(5)在水平输送轨道(21)上沿水平输送轨道(21)运动；水平驱动件(22)设置在机架(1)上且处于水平输送轨道(21)的下方，水平驱动件(22)用于驱动待检测的引线框架(5)在水平输送轨道(21)上运动。

10.一种检测方法，基于权利要求7所述的半导体器件内引线键合强度测试装置，其特征在于，包括以下步骤：

S1.首先需要将待检测的引线框架(5)放置在水平输送机构(2)上，待检测的引线框架(5)首先运动至一个拉拔检测机构(4)处，并在该处暂停运动；

S2.然后该拉拔检测机构(4)上的第一驱动件(43)启动，第一驱动件(43)驱动U形件(441)向远离自身的方向运动，U形件(441)首先通过第一斜面块(442)顶动第二斜面块(443)向上运动，从而使得拉拔钩件(42)远离第二斜面块(443)一端向下运动至待检测引线框架(5)上单根引线的斜下方；

S3.之后随着第一驱动件(43)的持续驱动，第一延时平面(4421)与第二延时平面(4431)上下相互抵接，此时U形件(441)开口处与安装块(41)相对且间隔设置的一端就会顶动安装块(41)转动，使得安装块(41)在水平面上朝一侧摆动，拉拔钩件(42)远离第二斜面块(443)一端就会运动至单根引线的正下方，再启动限位组件(45)，使得安装块(41)转动后位置被固定；

S4.待安装块(41)位置被固定后，第一驱动件(43)再通过U形件(441)反向驱动第一斜面块(442)向远离第二斜面块(443)的方向运动，待第一斜面块(442)上的斜面与第二斜面块(443)上的斜面相互脱离后，拉拔钩件(42)靠近第二斜面块(443)一端在自身重力作用下向下运动，从而使得拉拔钩件(42)远离第二斜面块(443)的一端向上勾动引线，进行引线的拉拔检测；

S5.拉拔检测后，第一驱动件(43)再次通过对U形件(441)驱动第一斜面块(442)向靠近第二斜面块(443)的方向运动，使得拉拔钩件(42)远离第二斜面块(443)一端向下运动，脱离与引线的接触；

S6.之后限位组件(45)再解除对安装块(41)的固定，安装块(41)在弹性复位件(46)的作用下转动到初始位置处，从而使得拉拔钩件(42)远离第二斜面块(443)一端离开引线正下方；

S7.之后第一驱动件(43)再通过U形件(441)驱动第一斜面块(442)与第二斜面块(443)相互分离，使得拉拔钩件(42)远离第二斜面块(443)一端向上运动；

S8.最后水平输送机构(2)再将引线框架(5)向前运送。

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