CN112267149A - 一种加料筒 - Google Patents
一种加料筒 Download PDFInfo
- Publication number
- CN112267149A CN112267149A CN202011165206.1A CN202011165206A CN112267149A CN 112267149 A CN112267149 A CN 112267149A CN 202011165206 A CN202011165206 A CN 202011165206A CN 112267149 A CN112267149 A CN 112267149A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- bowl
- charging
- charging barrel
- quartz
- lining
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/02—Elements
- C30B29/06—Silicon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B35/00—Apparatus not otherwise provided for, specially adapted for the growth, production or after-treatment of single crystals or of a homogeneous polycrystalline material with defined structure
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
本申请公开了一种加料筒,包括料筒、提升部件、底衬、底碗和底盖,其中,所述底碗的高度从中部向四周逐渐降低,所述提升部件的底部穿过所述底碗后与所述底衬连接并托住所述底碗,所述底盖与所述底衬连接且对所述底衬形成密封,所述料筒在重力作用下自然落在所述底碗上形成密封的加料空间,且所述料筒的外部固定有卡接部,用于在卸料时将所述料筒卡在炉内不动而所述提升部件和所述底碗下降以形成用于卸料的空隙,所述底衬为碳碳底衬,所述底盖为石英底盖。上述加料筒能够增加其硬度且耐高温,不易产生形变,使用寿命更高,减少碎裂脱落的可能性,降低生产成本。
Description
技术领域
本发明属于半导体材料生产技术领域,特别是涉及一种加料筒。
背景技术
加料筒是单晶生产过程中一个不可或缺的装置,硅料需要通过加料筒运送至单晶炉内,才能实现连续生产,而加料筒的使用寿命长短直接关系到生产效率与成本。加料筒由石英料筒、金属提升杆、石英底碗和石英底衬组成,其中,石英料筒用于盛装硅料,金属提升杆和石英底碗组成升降式阀门,控制硅料的盛装、承重和下料速度,而石英底衬用于控制石英底碗和金属提升杆之间的连接。
加料过程中,石英底衬要承受整个加料筒和放入其中的硅料的重量,由于石英底衬的外观像玻璃一样,这种材质本身的硬度不够,而且较脆,其需要经历频繁的高低温切换过程,使用频率比较高,使用多次(例如100次)以后,出现碎裂或者脱落的概率比较高,造成石英底碗、石英筒和内部盛装的硅料脱落损坏,这也会对原料造成污染,从而导致生产成本的提高。
发明内容
为解决上述问题,本发明提供了一种加料筒,能够增加其硬度且耐高温,不易产生形变,使用寿命更高,减少碎裂脱落的可能性,降低生产成本。
本发明提供的一种加料筒,包括料筒、提升部件、底衬、底碗和底盖,其中,所述底碗的高度从中部向四周逐渐降低,所述提升部件的底部穿过所述底碗后与所述底衬连接并托住所述底碗,所述底盖与所述底衬连接且对所述底衬形成密封,所述料筒在重力作用下自然落在所述底碗上形成密封的加料空间,且所述料筒的外部固定有卡接部,用于在卸料时将所述料筒卡在炉内不动而所述提升部件和所述底碗下降以形成用于卸料的空隙,所述底衬为碳碳底衬,所述底盖为石英底盖。
优选的,在上述加料筒中,所述提升部件和所述底碗之间同时利用螺纹和插销固定。
优选的,在上述加料筒中,所述插销为钼插销。
优选的,在上述加料筒中,所述底衬的直径为130毫米至135毫米。
优选的,在上述加料筒中,所述底衬的高度为5毫米至10毫米。
优选的,在上述加料筒中,所述料筒为石英料筒。
优选的,在上述加料筒中,所述提升部件为金属提升杆。
优选的,在上述加料筒中,所述底碗为石英底碗。
通过上述描述可知,本发明提供的上述加料筒,由于所述底衬为碳碳底衬,所述底盖为石英底盖,这种碳碳材料高硬度、结构稳定、耐高温且高低温切换不易产生形变,因此能够增加加料筒的硬度且使加料筒更加耐高温,不易产生形变,使用寿命更高,减少碎裂脱落的可能性,而且碳碳材料可以由边角料加工成,可有效防止金属污染,延长加料筒及其零部件的使用寿命,从而降低生产成本。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据提供的附图获得其他的附图。
图1为本发明提供的一种加料筒的实施例的示意图。
具体实施方式
本发明的核心是提供一种加料筒,能够增加其硬度且耐高温,不易产生形变,使用寿命更高,减少碎裂脱落的可能性,降低生产成本。
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
本发明提供的一种加料筒的实施例如图1所示,图1为本发明提供的一种加料筒的实施例的示意图,该加料筒包括料筒1、提升部件2、底衬3、底碗4和底盖5,其中,底碗4的高度从中部向四周逐渐降低,提升部件2的底部穿过底碗4后与底衬3连接并托住底碗4,底盖5与底衬3连接且对底衬3形成密封,这种底盖5的作用是加固并密闭底衬,使底衬、底碗形成一体不会因为松动导致磨损损坏,料筒1在重力作用下自然落在底碗4上形成密封的加料空间,且料筒1的外部固定有卡接部(未示出),用于在卸料时将料筒卡在炉内不动而提升部件2和底碗4下降以形成用于卸料的空隙,底衬3为碳碳底衬,底盖5为石英底盖。
需要说明的是,利用碳碳材料制作的底衬,具有耐高温性、高硬度性、低膨胀系数、结构稳定和不含金属等优点,既不对生产造成污染,也有利于提高加料筒的使用效率,使石英筒使用寿命延长3倍以上,极大程度降低生产成本。利用该加料筒,在加料时,加料筒竖直固定在小车上(小车可45度倾斜),加料筒倾斜45度,从加料筒顶部将硅料沿着筒内壁倒入,加至一半时将筒身竖直,继续将料加满;在卸料时,料筒上部外壁可以有一圆盘形“耳朵”(卡接部),料筒伸入单晶炉,直到料筒的外壁上的卡接部落到特定的卡槽中,此时继续往下下降,料筒就不会再向下移动,而是提升部件与底碗部分继续向下下降,从而形成间隙,硅料从这个间隙处就落入单晶炉中,卸料完成后提拉该提升部件,间隙就被重新关闭,提出加料筒即可。
通过上述描述可知,本发明提供的上述加料筒的实施例中,由于底衬为碳碳底衬,底盖为石英底盖,这种碳碳材料高硬度、结构稳定、耐高温且高低温切换不易产生形变,因此能够增加加料筒的硬度且使加料筒更加耐高温,不易产生形变,使用寿命更高,减少碎裂脱落的可能性,而且碳碳材料可以由边角料加工成,可有效防止金属污染,延长加料筒及其零部件的使用寿命,从而降低生产成本。
在上述加料筒的一个具体实施例中,继续参考图1,提升部件2和底碗4之间同时利用螺纹和插销6固定,这样就增加了连接的稳固性,使用过程中即使螺纹产生了磨损,也可以由插销保持二者之间的连接,不会脱落。进一步的,该插销可优选为钼插销,具有高强度、高熔点、耐腐蚀和耐磨等优点,当然还可以根据实际需要选用其他材质的插销,此处并不构成限制。
在上述加料筒的另一个具体实施例中,底衬的直径为130毫米至135毫米另外,可选的,底衬的高度为5毫米至10毫米,这就将原有圆柱状石英底衬替换为扁平圆饼状碳碳底衬,可见这种底衬的横向面积比现有技术增加了,从而增加了其受力面积,保证上部的硅料产生的下压力更均匀的分布于底衬上,使得料筒整体承受能力更强,保证底衬具有更长的使用寿命。
本领域技术人员可以理解的是,上述料筒可以为石英料筒,而且提升部件可以为金属提升杆,底碗可以为石英底碗,这些材质不仅保证各个部件具有足够高的强度,而且成本较低,从而降低生产成本。当然,还可以根据实际需要选用其他材质,此处并不限制。
对所公开的实施例的上述说明,使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的,本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下,在其它实施例中实现。因此,本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例,而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
Claims (8)
1.一种加料筒,其特征在于,包括料筒、提升部件、底衬、底碗和底盖,其中,所述底碗的高度从中部向四周逐渐降低,所述提升部件的底部穿过所述底碗后与所述底衬连接并托住所述底碗,所述底盖与所述底衬连接且对所述底衬形成密封,所述料筒在重力作用下自然落在所述底碗上形成密封的加料空间,且所述料筒的外部固定有卡接部,用于在卸料时将所述料筒卡在炉内不动而所述提升部件和所述底碗下降以形成用于卸料的空隙,所述底衬为碳碳底衬,所述底盖为石英底盖。
2.根据权利要求1所述的加料筒,其特征在于,所述提升部件和所述底碗之间同时利用螺纹和插销固定。
3.根据权利要求2所述的加料筒,其特征在于,所述插销为钼插销。
4.根据权利要求1所述的加料筒,其特征在于,所述底衬的直径为130毫米至135毫米。
5.根据权利要求4所述的加料筒,其特征在于,所述底衬的高度为5毫米至10毫米。
6.根据权利要求1-5任一项所述的加料筒,其特征在于,所述料筒为石英料筒。
7.根据权利要求6所述的加料筒,其特征在于,所述提升部件为金属提升杆。
8.根据权利要求7所述的加料筒,其特征在于,所述底碗为石英底碗。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202011165206.1A CN112267149A (zh) | 2020-10-27 | 2020-10-27 | 一种加料筒 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202011165206.1A CN112267149A (zh) | 2020-10-27 | 2020-10-27 | 一种加料筒 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN112267149A true CN112267149A (zh) | 2021-01-26 |
Family
ID=74342330
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202011165206.1A Pending CN112267149A (zh) | 2020-10-27 | 2020-10-27 | 一种加料筒 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN112267149A (zh) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04321588A (ja) * | 1991-04-22 | 1992-11-11 | Kawasaki Steel Corp | 結晶成長方法および装置 |
CN202968746U (zh) * | 2012-10-11 | 2013-06-05 | 特变电工新疆新能源股份有限公司 | 一种加料装置 |
CN205590832U (zh) * | 2016-04-29 | 2016-09-21 | 河北宁通电子材料有限公司 | 一种二次加料器 |
CN206783823U (zh) * | 2017-04-17 | 2017-12-22 | 西安创联新能源设备有限公司 | 一种石英二次加料器 |
-
2020
- 2020-10-27 CN CN202011165206.1A patent/CN112267149A/zh active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04321588A (ja) * | 1991-04-22 | 1992-11-11 | Kawasaki Steel Corp | 結晶成長方法および装置 |
CN202968746U (zh) * | 2012-10-11 | 2013-06-05 | 特变电工新疆新能源股份有限公司 | 一种加料装置 |
CN205590832U (zh) * | 2016-04-29 | 2016-09-21 | 河北宁通电子材料有限公司 | 一种二次加料器 |
CN206783823U (zh) * | 2017-04-17 | 2017-12-22 | 西安创联新能源设备有限公司 | 一种石英二次加料器 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN206814881U (zh) | 一种减少石英坩埚变形的装置 | |
CN211362925U (zh) | 一种配料装置 | |
CN112267149A (zh) | 一种加料筒 | |
CN109357526A (zh) | 一种不易开裂的坩埚及其快速装配方法 | |
CN212771045U (zh) | 单晶硅生长炉的二次加料装置 | |
CN106631075A (zh) | 一种整体结构稳定的rh炉浸渍管 | |
CN207958114U (zh) | 一种用于玻璃窑炉的复合池壁砖 | |
CN203298613U (zh) | 镍铁矿热炉上料用保温自卸料罐 | |
CN206266721U (zh) | 一种钼坩埚 | |
CN203323572U (zh) | 水泥预热器陶瓷内筒 | |
CN201676699U (zh) | 一种二段式烧结杯 | |
CN110877100B (zh) | 一种高炉球型铁水罐罐底砌筑方法 | |
CN202379482U (zh) | 螺旋块煤输料器 | |
CN213417072U (zh) | 一种加料器及其提升杆 | |
CN212502010U (zh) | 一种铝矾土下料仓 | |
CN207391597U (zh) | 一种分段式单晶硅加料器 | |
CN203771995U (zh) | 一种围栏式熔炼坩埚 | |
CN206783735U (zh) | 一种镁冶炼加料装置 | |
CN214502067U (zh) | 一种坩埚 | |
CN221198027U (zh) | 一种包裹有金属层的坩埚 | |
CN216884534U (zh) | 一种氧化铬砖生产用上料装置 | |
CN219729856U (zh) | 一种矿热炉的上料机构 | |
CN203408973U (zh) | 碎玻璃回收系统 | |
CN215615028U (zh) | 一种金属熔液转运包包底内嵌冲刷板预制成型件 | |
CN218910179U (zh) | 一种双膛石灰窑悬挂缸底部衬体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20210126 |