CN112229114B - 光刻机空调氟利昂的自动补给装置及自动补给方法 - Google Patents
光刻机空调氟利昂的自动补给装置及自动补给方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN112229114B CN112229114B CN202011291724.8A CN202011291724A CN112229114B CN 112229114 B CN112229114 B CN 112229114B CN 202011291724 A CN202011291724 A CN 202011291724A CN 112229114 B CN112229114 B CN 112229114B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- freon
- air conditioner
- pipeline
- supply
- automatic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 29
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 title claims description 36
- 238000001459 lithography Methods 0.000 claims abstract description 23
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 claims abstract description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 24
- 239000002912 waste gas Substances 0.000 claims description 6
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 15
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- 238000004378 air conditioning Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 210000001503 joint Anatomy 0.000 description 2
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 2
- 238000004064 recycling Methods 0.000 description 2
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 1
- 238000012549 training Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B45/00—Arrangements for charging or discharging refrigerant
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B2345/00—Details for charging or discharging refrigerants; Service stations therefor
- F25B2345/001—Charging refrigerant to a cycle
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B2345/00—Details for charging or discharging refrigerants; Service stations therefor
- F25B2345/006—Details for charging or discharging refrigerants; Service stations therefor characterised by charging or discharging valves
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
本发明公开了一种光刻机空调氟利昂的自动补给装置，包括箱体，所述箱体的内部设置有氟利昂储罐，氟利昂储罐的出口连接有补给管路，所述补给管路的一端伸出箱体外部且设置与光刻机空调的补给口进行快速对接的快速接头；所述补给管路上设置有电磁阀、压力传感器和单向阀，所述箱体内设置有与电磁阀和压力传感器导电连接的控制器和给控制器供电的电源，所述光刻机空调的氟利昂管道上的测压传感器与所述控制器导电连接。另外本发明还公开了使用该自动补给装置的自动补给方法，该自动补给方法和装置可以根据空调的氟利昂管道的压力自动补给氟利昂。
Description
技术领域
本发明涉及一种光刻机空调氟利昂的自动补给装置及自动补给方法，属于半导体光刻机的空调氟利昂补给技术领域。
背景技术
光刻机是一种芯片生产中的必要设备；光刻机的光刻环境要求比较苛刻，对于外界环境必须恒温恒湿，同时光刻机自身的机器内部的温度也必须满足要求。而由于光刻机的使用年限比较长，对于一些出厂年份比较老的光刻机，这些老的光刻机的空调还是使用氟利昂，在长期的使用过程中，氟利昂可能出现泄漏的情况，这样导致空调的效果降低，光刻机内部的温度就会升高，导致光刻质量降低。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是：提供一种光刻机空调氟利昂的自动补给装置，该自动补给装置可以根据空调的氟利昂管道的压力自动补给氟利昂。
本发明所要解决的另一个技术问题是：提供一种光刻机空调氟利昂的自动补给方法，该自动补给方法可以根据空调的氟利昂管道的压力自动补给氟利昂。
为解决上述技术问题，本发明的技术方案是：一种光刻机空调氟利昂的自动补给装置，包括箱体，所述箱体的内部设置有氟利昂储罐，氟利昂储罐的出口连接有补给管路，所述补给管路的一端伸出箱体外部且设置与光刻机空调的补给口进行快速对接的快速接头；所述补给管路上设置有电磁阀、压力传感器和单向阀，所述箱体内设置有与电磁阀和压力传感器导电连接的控制器和给控制器供电的电源，所述光刻机空调的氟利昂管道上的测压传感器与所述控制器导电连接。
作为一种优选的方案，所述氟利昂储罐的数量为两个，补给管路分别通过分补给管路与两个氟利昂储罐的出口相连接，所述电磁阀的数量为两个且分别设置在分补给管路上。
作为一种优选的方案，所述箱体为封闭的箱体，所述箱体内设置有用来测试箱体内氟利昂浓度的氟利昂气体泄露报警器，所述箱体的侧壁上还设置有抽气口，所述抽气口连接抽气管路系统。
作为一种优选的方案，所述抽气管路系统包括抽气泵，所述抽气泵的抽吸口通过第一抽吸管路与抽气口相连通，所述抽吸泵的排气口连接排气管道，该排气管道连接废气储存罐。
作为一种优选的方案，所述抽吸管路上还连接有第二抽吸管路，所述第二抽吸管路与存放所述光刻机空调的空调存放腔室连通，所述第二抽吸管路和第一抽吸管路上均设置有电磁阀，所述空调存放腔室内也设置有氟利昂气体泄露报警器。
采用了上述技术方案后，本发明的效果是：由于自动补给装置包括箱体，所述箱体的内部设置有氟利昂储罐，氟利昂储罐的出口连接有补给管路，所述补给管路的一端伸出箱体外部且设置与光刻机空调的补给口进行快速对接的快速接头；所述补给管路上设置有电磁阀、压力表和单向阀，所述箱体内设置有与电磁阀和压力传感器导电连接的控制器和给控制器供电的电源，所述光刻机空调的氟利昂管道上的测压传感器与所述控制器导电连接，因此，该自动补给装置具备以下优点：1.整个自动补给装置集成在一个箱体内，然后通过快速接头与补给口连接，这样非常方便固定在光刻机的机架上；2.该自动补给装置可以实现自动补给，只需要控制器与测压传感器进行信号连接，就可以通过监控氟利昂管道内的压力来自动补给，而补给管路上的压力传感器可以检测补给管路上的压力，从而得到氟利昂储罐内的氟利昂量，当氟利昂储罐内的压力减少时可以提示更换，因此该自动补给装置可以自动给光刻机空调进行补给，改造相对简单。
又由于所述氟利昂储罐的数量为两个，补给管路分别通过分补给管路与两个氟利昂储罐的出口相连接，所述电磁阀的数量为两个且分别设置在分补给管路上，利用两个氟利昂储罐，可以进行更换的同时还能保证补给，并且自动补给的时间更长。
又由于所述箱体为封闭的箱体，所述箱体内设置有用来测试箱体内氟利昂浓度的氟利昂气体泄露报警器，所述箱体的侧壁上还设置有抽气口，所述抽气口连接抽气管路系统，这样在长期使用过程中，一旦箱体内出现氟利昂泄漏的情况，就可以利用抽气管路系统将气体抽出，集中处理，减少污染。
又由于所述抽吸管路上还连接有第二抽吸管路，所述第二抽吸管路与存放所述光刻机空调的空调存放腔室连通，所述第二抽吸管路和第一抽吸管路上均设置有电磁阀，所述空调存放腔室内也设置有氟利昂气体泄露报警器，这种结构可以进一步对空调存放腔室进行氟利昂泄漏的监控和处理，减少污染。
为解决上述第二个技术问题，本发明的技术方案为：一种光刻机空调氟利昂的自动补给方法，该自动补给方法使用了所述的自动补给装置，该自动补给方法根据氟利昂管道上的测压传感器测试的内部压力作为自动补给的依据；
A、当氟利昂管道内部压力低于补给临界值时，控制器控制补给管路上的电磁阀打开，氟利昂储罐内的氟利昂通过补给管路给氟利昂管道补给；
B、当氟利昂管道上的测压传感器检测其内部压力达到指定压力值，控制器控制电磁阀关闭停止补给；
C、当在A工作状态下时补给管道上的压力传感器检测检测补给管道上的压力低于供应临界值时，控制器关闭电磁阀并提示更换氟利昂储罐；
D、当在A工作状态下时测压传感器检测其内部压力上升的速率低于最低升压速率时，控制器控制电磁阀关闭，同时提示光刻机空调泄漏严重。
其中优选的，该自动补给方法还包括对泄漏的氟利昂进行抽空排出集中处理的处理方法；
在箱体内设置一氟利昂气体泄露报警器，当氟利昂气体泄露报警器检测箱体内部的氟利昂浓度升到到指定浓度时，此时打开抽吸泵将箱体内的空气抽吸，将气态的氟利昂排出到指定的废气储存罐中收集。
其中优选的，所述处理方法中还包括对光刻机的空调存放腔室中泄露的氟利昂进行处理的处理方法，在空调存放腔室内也设置有氟利昂气体泄露报警器，并利用第二抽吸管路与抽吸泵连通，当空调存放腔室内的氟利昂气体泄露报警器检测其内部氟利昂浓度升到到指定浓度时，打开抽吸泵将空调存放腔室内的空气抽吸，将气态的氟利昂排出到指定的废气储存罐中收集。
采用了上述技术方案后，本发明的效果是：该自动补给装置根据氟利昂管道上的测压传感器测试的内部压力作为自动补给的依据，来进行自动补充，当补充压力达到设定值后，就停止补给；而当在A工作状态下时补给管道上的压力传感器检测检测补给管道上的压力低于供应临界值时，控制器关闭电磁阀并提示更换氟利昂储罐；当在A工作状态下时测压传感器检测其内部压力上升的速率低于最低升压速率时，控制器控制电磁阀关闭，同时提示光刻机空调泄漏严重，这样可以适氟利昂的各种情况自动补给。
又由于自动补给方法还包括对泄漏的氟利昂进行抽空排出集中处理的处理方法，这样可以避免氟利昂泄漏造成污染。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是本发明实施例的立体图；
图2是本发明实施例隐藏了箱盖的立体图；
图3是本发明实施例的正面示意图；
附图中：1.箱体；2.补给管路；3.压力传感器；4.单向阀；5.电源；6.控制器；7.氟利昂储罐；8.氟利昂气体泄露报警器；9.分补给管路；10.电磁阀；11.快速接头；12.第一抽吸管路；13.第二抽吸管路；14.抽气泵；15.废气储存罐；16.抽气口；17.排气管道。
具体实施方式
下面通过具体实施例对本发明作进一步的详细描述。
如图1至图3所示，一种光刻机空调氟利昂的自动补给装置，包括箱体1，所述箱体1具有可开闭的箱门，箱体1整体为封闭式构造，箱体1可以方便固定在光刻机的设备外部。所述箱体1的内部设置有氟利昂储罐7，氟利昂储罐7的出口连接有补给管路2，所述补给管路2的一端伸出箱体1外部且设置与光刻机空调的补给口进行快速对接的快速接头11；所述补给管路2上设置有电磁阀10、压力传感器3和单向阀4，所述箱体1内设置有与电磁阀10和压力传感器3导电连接的控制器6和给控制器6供电的电源5，所述光刻机空调的氟利昂管道上的测压传感器与所述控制器6导电连接。
本实施例中，所述氟利昂储罐7的数量为两个，补给管路2分别通过分补给管路9与两个氟利昂储罐7的出口相连接，所述电磁阀10的数量为两个且分别设置在分补给管路9上。
所述箱体1为封闭的箱体1，所述箱体1内设置有用来测试箱体1内氟利昂浓度的氟利昂气体泄露报警器8，所述箱体1的侧壁上还设置有抽气口16，所述抽气口16连接抽气管路系统。
所述抽气管路系统包括抽气泵14，所述抽气泵14的抽吸口通过第一抽吸管路12与抽气口16相连通，所述抽吸泵的排气口连接排气管道17，该排气管道17连接废气储存罐15。所述抽吸管路上还连接有第二抽吸管路13，所述第二抽吸管路13与存放所述光刻机空调的空调存放腔室连通，所述第二抽吸管路13和第一抽吸管路12上均设置有电磁阀10，所述空调存放腔室内也设置有氟利昂气体泄露报警器8。其中氟利昂气体泄露报警器8可以为山东如特安防设备有限公司销售的氟利昂气体泄露报警器8，其中控制可以采用PLC或单片机进行控制。
另外本发明还公开了一种光刻机空调氟利昂的自动补给方法，该自动补给方法使用了所述的自动补给装置，该自动补给方法根据氟利昂管道上的测压传感器测试的内部压力作为自动补给的依据；
A、当氟利昂管道内部压力低于补给临界值时，控制器6控制补给管路2上的电磁阀10打开，氟利昂储罐7内的氟利昂通过补给管路2给氟利昂管道补给；该补给临界值可以根据光刻机空调的实际制冷效果进行设定，一般低于该补给临界值，光刻机空调的制冷效果无法满足光刻机的使用。
B、当氟利昂管道上的测压传感器检测其内部压力达到指定压力值，控制器6控制电磁阀10关闭停止补给；该指定压力值也是光刻机空调的允许最大压力；
C、当在A工作状态下时补给管道上的压力传感器3检测检测补给管道上的压力低于供应临界值时，控制器6关闭电磁阀10并提示更换氟利昂储罐7；压力传感器3的作用是用来检测补给管道补给时的压力，也就直接检测出氟利昂储罐7的压力，当压力比较低时，证明氟利昂储罐7内部的氟利昂量比较少，需要更换。
D、当在A工作状态下时测压传感器检测其内部压力上升的速率低于最低升压速率时，控制器6控制电磁阀10关闭，同时提示光刻机空调泄漏严重，此时需要及时对光刻机空调的氟利昂管道进行检修维护。
其中优选的，该自动补给方法还包括对泄漏的氟利昂进行抽空排出集中处理的处理方法；
在箱体1内设置一氟利昂气体泄露报警器8，当氟利昂气体泄露报警器8检测箱体1内部的氟利昂浓度升到到指定浓度时，此时打开抽吸泵将箱体1内的空气抽吸，将气态的氟利昂排出到指定的废气储存罐15中收集。所述处理方法中还包括对光刻机的空调存放腔室中泄露的氟利昂进行处理的处理方法，在空调存放腔室内也设置有氟利昂气体泄露报警器8，并利用第二抽吸管路13与抽吸泵连通，当空调存放腔室内的氟利昂气体泄露报警器8检测其内部氟利昂浓度升到到指定浓度时，打开抽吸泵将空调存放腔室内的空气抽吸，将气态的氟利昂排出到指定的废气储存罐15中收集。废气储存罐15中的氟利昂可以送至专业的回收机构或厂家集中处理或者回收。
本实施例中提到的气路系统、伺服电机等执行装置、齿轮传动机构、丝杠螺母机构均为目前的常规技术，在2008年4月北京第五版第二十八次印刷的《机械设计手册第五版》中详细的公开了气缸、电机以及其他传动机构的具体结构和原理和其他的设计，属于现有技术，其结构清楚明了，2008年08月01日由机械工业出版社出版的现代实用气动技术第3版SMC培训教材中就详细的公开了真空元件、气体回路和程序控制，表明了本实施例中的气路结构也是现有的技术，清楚明了，在2015年07月01日由化学工业出版社出版的《电机驱动与调速》书中也详细的介绍了电机的控制以及行程开关，因此，电路、气路连接都是清楚。
以上所述实施例仅是对本发明的优选实施方式的描述，不作为对本发明范围的限定，在不脱离本发明设计精神的基础上，对本发明技术方案作出的各种变形和改造，均应落入本发明的权利要求书确定的保护范围内。
Claims (3)
1.一种光刻机空调氟利昂的自动补给方法，其特征在于：该自动补给方法使用了光刻机空调氟利昂的自动补给装置，该自动补给方法根据氟利昂管道上的测压传感器测试的内部压力作为自动补给的依据；
A、当氟利昂管道内部压力低于补给临界值时，控制器控制补给管路上的电磁阀打开，氟利昂储罐内的氟利昂通过补给管路给氟利昂管道补给；
B、当氟利昂管道上的测压传感器检测其内部压力达到指定压力值，控制器控制电磁阀关闭停止补给；
C、当在A工作状态下时补给管道上的压力传感器检测检测补给管道上的压力低于供应临界值时，控制器关闭电磁阀并提示更换氟利昂储罐；
D、当在A工作状态下时测压传感器检测其内部压力上升的速率低于最低升压速率时，控制器控制电磁阀关闭，同时提示光刻机空调泄漏严重，
其中，上述的光刻机空调氟利昂的自动补给装置，包括箱体，所述箱体的内部设置有氟利昂储罐，氟利昂储罐的出口连接有补给管路，所述补给管路的一端伸出箱体外部且设置与光刻机空调的补给口进行快速对接的快速接头；所述补给管路上设置有电磁阀、压力传感器和单向阀，所述箱体内设置有与电磁阀和压力传感器导电连接的控制器和给控制器供电的电源，所述光刻机空调的氟利昂管道上的测压传感器与所述控制器导电连接。
2.如权利要求1所述的一种光刻机空调氟利昂的自动补给方法，其特征在于：该自动补给方法还包括对泄漏的氟利昂进行抽空排出集中处理的处理方法；
在箱体内设置一氟利昂气体泄露报警器，当氟利昂气体泄露报警器检测箱体内部的氟利昂浓度升到到指定浓度时，此时打开抽吸泵将箱体内的空气抽吸，将气态的氟利昂排出到指定的废气储存罐中收集。
3.如权利要求2所述的一种光刻机空调氟利昂的自动补给方法，其特征在于：所述处理方法中还包括对光刻机的空调存放腔室中泄露的氟利昂进行处理的处理方法，在空调存放腔室内也设置有氟利昂气体泄露报警器，并利用第二抽吸管路与抽吸泵连通，当空调存放腔室内的氟利昂气体泄露报警器检测其内部氟利昂浓度升到到指定浓度时，打开抽吸泵将空调存放腔室内的空气抽吸，将气态的氟利昂排出到指定的废气储存罐中收集。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202011291724.8A CN112229114B (zh) | 2020-11-18 | 2020-11-18 | 光刻机空调氟利昂的自动补给装置及自动补给方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202011291724.8A CN112229114B (zh) | 2020-11-18 | 2020-11-18 | 光刻机空调氟利昂的自动补给装置及自动补给方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN112229114A CN112229114A (zh) | 2021-01-15 |
| CN112229114B true CN112229114B (zh) | 2024-03-22 |
Family
ID=74123527
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202011291724.8A Active CN112229114B (zh) | 2020-11-18 | 2020-11-18 | 光刻机空调氟利昂的自动补给装置及自动补给方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN112229114B (zh) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1143726A (zh) * | 1994-11-08 | 1997-02-26 | 日本石油株式会社 | 空调机用氟利昂的回收、再生和注入用的方法及其装置 |
| CN210320757U (zh) * | 2019-04-22 | 2020-04-14 | 江苏阿尔法净化设备制造有限公司 | 一种空调的自动加氟装置 |
| CN210892284U (zh) * | 2019-10-16 | 2020-06-30 | 天津中益科技有限公司 | 一种空调用氟里昂快速补充装置 |
| CN213480663U (zh) * | 2020-11-18 | 2021-06-18 | 江苏晋誉达半导体股份有限公司 | 光刻机空调氟利昂的自动补给装置 |
-
2020
- 2020-11-18 CN CN202011291724.8A patent/CN112229114B/zh active Active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1143726A (zh) * | 1994-11-08 | 1997-02-26 | 日本石油株式会社 | 空调机用氟利昂的回收、再生和注入用的方法及其装置 |
| CN210320757U (zh) * | 2019-04-22 | 2020-04-14 | 江苏阿尔法净化设备制造有限公司 | 一种空调的自动加氟装置 |
| CN210892284U (zh) * | 2019-10-16 | 2020-06-30 | 天津中益科技有限公司 | 一种空调用氟里昂快速补充装置 |
| CN213480663U (zh) * | 2020-11-18 | 2021-06-18 | 江苏晋誉达半导体股份有限公司 | 光刻机空调氟利昂的自动补给装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN112229114A (zh) | 2021-01-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN111735588B (zh) | 呼吸阀出厂试验装置及方法 | |
| CN106014957A (zh) | 一种车载滑片式空气压缩机的测试系统及测试方法 | |
| CN112229114B (zh) | 光刻机空调氟利昂的自动补给装置及自动补给方法 | |
| CN213480663U (zh) | 光刻机空调氟利昂的自动补给装置 | |
| CN201697765U (zh) | 一种压力变送器远传装置的整机氦检漏设备 | |
| CN213520054U (zh) | 一种燃料电池氢气系统离线标定台架 | |
| CN201476948U (zh) | 一种发动机气门油封试验台 | |
| CN218180660U (zh) | 一种化学需氧量水质在线自动监测仪 | |
| CN111883803A (zh) | 一种基于膜增湿的燃料电池增湿系统压力自适应平衡方法 | |
| CN115575049A (zh) | 汽车涡轮增压器检测装置及检测方法 | |
| CN113669328A (zh) | 一种油箱呼吸阀性能检测装置及其试验方法 | |
| CN211877324U (zh) | 氧气呼吸器校验仪低压气密性检测装置 | |
| CN219641226U (zh) | 蝶阀检测试验台 | |
| CN213748683U (zh) | 一种水表静压力的全自动测试装置 | |
| CN117906864B (zh) | 一种独立通风笼具的泄漏检测系统及检测方法 | |
| CN209990618U (zh) | 一种带环境模拟功能的电动汽车电动真空泵耐久试验装置 | |
| CN214149457U (zh) | 一种油耗仪 | |
| CN112484821A (zh) | 一种水表静压力的全自动测试装置 | |
| CN217505201U (zh) | 一种铁路机车的放风阀测试设备 | |
| CN220231283U (zh) | 漏压提前结束式压力容器耐压实验压力测试工装 | |
| CN219252508U (zh) | 一种刹车片脱模剂配置装置 | |
| CN213180588U (zh) | 一种阀门检修用检修平台 | |
| CN219830230U (zh) | 一种检测装置 | |
| CN210026676U (zh) | 联机上光单元的供油装置 | |
| CN214369195U (zh) | 润滑油润滑装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |