CN112210758A - 金属化薄膜蒸镀用错位组合式料炉 - Google Patents
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- 238000001704 evaporation Methods 0.000 title claims abstract description 37
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 title claims abstract description 34
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 29
- 239000011104 metalized film Substances 0.000 title claims abstract description 14
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 23
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 54
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 abstract description 8
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 3
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 5
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 5
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 5
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
- 239000007888 film coating Substances 0.000 description 1
- 238000009501 film coating Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Images
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P10/00—Technologies related to metal processing
- Y02P10/20—Recycling
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
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Abstract
金属化薄膜蒸镀用错位组合式料炉，包括炉体，所述炉体的内部开设有横向延伸的装配槽，所述装配槽的中心开设有料块蒸发腔，所述出料孔的中线处为中心条孔，所述中心条孔的两侧垂直镜像对称连通有侧条孔，每一侧的所述侧条孔均间隔设有三个，所述中心条孔、侧条孔呈"王字型”；所述支撑座的顶部滑动安装有封堵机构，所述炉体的顶部两侧镜像对称设有封堵机构，所述封堵机构滑动安装于支撑座的顶部；所述封堵机构包括推板、挡板组件；本发明I字型、T字型、十字型等形状的出料孔均可由"王字型”封堵转变，"王字型”的出料孔能够实现最大程度预出料，便于后续封堵机构配合，使得出料孔的出口形状转变所需的镀层形状。
Description
技术领域
本发明属于金属化薄膜技术领域，特别涉及金属化薄膜蒸镀用错位组合式料炉。
背景技术
金属化薄膜在加工时，需要经过蒸镀工序，蒸镀工序即为：金属料块在料炉内加热为气体，然后将金属蒸气上浮镀在基膜上；
料炉由炉体和密封盖板组成，密封盖板上开设有出锌孔，炉体内的蒸气穿过出锌孔最终上浮至基膜上；
由于金属薄膜的镀层形状有很多种，例如：I型、十字型、T字形；目前在生产时，当需要改变镀层形状时，则需要在炉体上安装指定形状出料孔的密封盖板；频繁的更换密封盖板，即操作繁琐又会影响盖板与炉体的配合密封性，同时，由于外置的密封盖板为凉的，在生产时，还需要对外置的密封盖板进行预热才可安装，从而避免蒸气过早冷却成型。
发明内容
本发明针对现有技术存在的不足，提供了金属化薄膜蒸镀用错位组合式料炉，具体技术方案如下：
金属化薄膜蒸镀用错位组合式料炉，包括炉体，所述炉体的内部开设有横向延伸的装配槽，所述装配槽的中心开设有料块蒸发腔，所述料块蒸发腔、装配槽以及炉体均位于同一横、纵向中线处，所述装配槽的内部嵌入有密封盖板，所述密封盖板的表面开设有线性阵列分布的出料孔，所述出料孔与料块蒸发腔相对连通；
所述出料孔的中线处为中心条孔，所述中心条孔的两侧垂直镜像对称连通有侧条孔，每一侧的所述侧条孔均间隔设有三个，所述中心条孔、侧条孔呈"王字型”；所述炉体的顶部两侧镜像对称设有封堵机构，所述封堵机构滑动安装于支撑座的顶部；
所述封堵机构包括推板、挡板组件，所述推板垂直滑动安装于支撑座的顶面，所述推板的内部十字滑动安装有挡板组件，每个所述挡板组件均与一个所述出料孔相对设置，所述挡板组件沿着推板的长度方向线性阵列分布，所述挡板组件贴合置于炉体的表面，所述挡板组件包括第一挡板和第二挡板，所述第一挡板、第二挡板对称位于中心条孔的两侧，所述第一挡板用以封堵位于一侧的所述侧条孔，所述第二挡板用以封堵位于另一侧的所述侧条孔。
进一步的，所述推板背离炉体的另一侧设有线性阵列分布的夹持套，所述第一挡板相对滑动贯穿夹持套，所述第二挡板相对滑动贯穿夹持套，所述夹持套通过螺钉固定第一挡板、第二挡板。
进一步的，所述第一挡板、第二挡板的长度均大于中心条孔的长度，所述第一挡板、第二挡板的宽度均大于或等于侧边条的长度，第一挡板的底面、第二挡板的底面以及密封盖板的表面均为光滑平面结构。
进一步的，所述料块蒸发腔与装配槽之间形成阶梯状的密封槽，所述密封盖板包括上板体、下板体，所述上板体止挡密封于炉体的表面，所述上板体的内部开设有出料孔，所述出料孔与料块蒸发腔相对连通，所述下板体的内部为空腔结构，所述上板体与炉体的表面形成一级密封面，所述下板体嵌入于密封槽内，所述下板体与密封槽之间形成二级密封面。
进一步的，所述密封盖板一体铣加工制成。
本发明的有益效果是：
1、I字型、T字型、十字型等形状的出料孔均可由"王字型”封堵转变，"王字型”的出料孔能够实现最大程度预出料，便于后续封堵机构配合，使得出料孔的出口形状转变所需的镀层形状；
2、利用推板能够一次性推出各个挡板组件，使得变形效率更高，操作简便，无需再拆卸密封盖板，保证了密封性；
3、第一挡板、第二挡板能够对两侧的侧条孔进行独立封堵，挡板能够调节伸出长度，这样可调范围更大，所能形成的出口造型更多，适用范围更广；
4、封堵机构与炉体、密封盖板连接为一体，从而在调节时，对整个料炉温度环境不会造成影响，对整个镀膜工序影响不大；
5、线性阵列分布的挡板组件能够从多个位置下压密封盖板，从而避免密封盖板向上浮动，保证了料炉的密封性，同时也免去了密封盖板与炉体之间的定位结构。
附图说明
图1示出了本发明的金属化薄膜蒸镀用错位组合式料炉的结构示意图；
图2示出了本发明的封堵机构结构示意图；
图3示出了本发明的推板与支撑座配合结构示意图；
图4示出了本发明的料炉整体俯视截面结构示意图；
图5示出了本发明的密封盖板表面结构示意图；
图6示出了本发明的密封盖板与炉体配合正截面结构示意图；
图7示出了本发明的密封盖板底部结构示意图；
图8示出了本发明的出料孔结构示意图；
图9示出了本发明的第一出料状态结构示意图；
图10示出了本发明的第二出料状态结构示意图；
图11示出了本发明的第三出料状态结构示意图；
图12示出了本发明的第四出料状态结构示意图；
图13示出了本发明的第五出料状态结构示意图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
金属化薄膜蒸镀用错位组合式料炉，包括炉体1，包括炉体1，所述炉体1的内部开设有横向延伸的装配槽11，所述装配槽11的中心开设有料块蒸发腔111，所述料块蒸发腔111、装配槽11以及炉体1均位于同一横、纵向中线处，所述装配槽11的内部嵌入有密封盖板2，所述密封盖板2的表面开设有线性阵列分布的出料孔211，所述出料孔211与料块蒸发腔111相对连通；出料孔为金属蒸气的排出区域，料块蒸发腔为料块加热为气体的区域；密封盖板能够对料块蒸发腔的顶部进行封堵，使得气体只可通过出料孔流出；
所述出料孔211的中线处为中心条孔，所述中心条孔的两侧垂直镜像对称连通有侧条孔，每一侧的所述侧条孔均间隔设有三个，所述中心条孔、侧条孔呈"王字型”；所述炉体的顶部两侧镜像对称设有封堵机构3，所述封堵机构3滑动安装于支撑座4的顶部；I字型、T字型、十字型等形状的出料孔均可由"王字型”封堵转变，"王字型”的出料孔能够实现最大程度预出料，便于后续封堵机构配合，使得出料孔的出口形状转变所需的镀层形状；
所述封堵机构3包括推板31、挡板组件32，所述推板31垂直滑动安装于支撑座4的顶面，所述推板31的内部十字滑动安装有挡板组件32，每个所述挡板组件32均与一个所述出料孔211相对设置，所述挡板组件32沿着推板31的长度方向线性阵列分布，所述挡板组件32贴合置于炉体1的表面；每个出料孔的两侧均配置有两组挡板组件，这样可根据所需形状移动对应的挡板组件，挡住"王字型”出料孔的部分区域；利用推板能够一次性推出各个挡板组件，使得变形效率更高，操作简便；
所述挡板组件32包括第一挡板321和第二挡板322，所述第一挡板321、第二挡板322对称位于中心条孔的两侧，所述第一挡板321用以封堵位于一侧的所述侧条孔，所述第二挡板322用以封堵位于另一侧的所述侧条孔；利用第一挡板、第二挡板能够对两侧的侧条孔进行独立封堵，这样可调范围更大，所能形成的出口造型更多，适用范围更广。
如图2所示，所述推板31背离炉体1的另一侧设有线性阵列分布的夹持套311，所述第一挡板321相对滑动贯穿夹持套311，所述第二挡板322相对滑动贯穿夹持套311，所述夹持套311通过螺钉固定第一挡板321、第二挡板322；夹持套能够对第一挡板、第二挡板进行调整定位，从而可改变挡板的外伸长度，可实现各个挡板独立封堵，得到多种所需形状。
如图4所示，所述第一挡板321、第二挡板322的长度均大于中心条孔的长度，所述第一挡板321、第二挡板322的宽度均大于或等于侧边条的长度；利用上述尺寸的挡板能够有效的封堵出料孔，避免蒸气通过缝隙溢出；第一挡板321的底面、第二挡板322的底面以及密封盖板2的表面均为光滑平面结构，光滑平面结构能够最大限度的消除配合间隙，提高密封性，进而保证蒸镀效果。
所述料块蒸发腔111与装配槽11之间形成阶梯状的密封槽，所述密封盖板2包括上板体21、下板体22，所述上板体21止挡密封于炉体1的表面，所述上板体22的内部开设有出料孔211，所述出料孔211与料块蒸发腔111相对连通，所述上板体21与炉体1的表面形成一级密封面，所述下板体22嵌入于密封槽内，所述下板体22与密封槽之间形成二级密封面；利用一级密封面、二级密封面能够实现多级密封，从而避免蒸气从盖板间隙溢出，使得蒸气只可从出气孔排出，保证了蒸镀效果；一级密封面、二级密封面形成连续阶梯密封面。
所述密封盖板2一体铣加工制成；一体铣加工的密封盖板能够消除焊缝，提高密封盖板的整体强度和密封性。
示例性，给出如下实施例来展示本发明的出料形状；为了便于说明，位于炉体纵向左侧的挡板组件3内置有第一挡板321、第二挡板322，镜像对称位于炉体纵向右侧的挡板组件5内置有第三挡板521、第二挡板522；
如图8所示，王字形的出料孔，其中心长条孔区域为a，位于左侧的侧条孔区域依次为b1、c1、d1；位于右侧的侧条孔区域依次为b2、c2、d2；
实施例一，如图9所示：
当所需蒸镀形状为正T字形时，沿着支撑座纵向推动一侧的封堵机构，挡板与密封盖板的表面贴合滑动，第三挡板521封堵出料孔的d1、c1区，第四挡板522封堵出料孔c2、d2区，第一挡板321、第二挡板322不封堵，a、b1、b2形成正T形出口。
实施例二，如图10所示：
当所需蒸镀形状为倒T字形时，沿着支撑座纵向推动另一侧的封堵机构，挡板与密封盖板的表面贴合滑动，第一挡板321封堵出料孔的b1、c1区，第二挡板322封堵出料孔b2、c2区，第三挡板521、第四挡板522不封堵，a、d1、d2形成倒T形出口。
实施例三，如图11所示：
当所需蒸镀形状为十字形时，沿着支撑座纵向推动两侧的封堵机构，挡板与密封盖板的表面贴合滑动，第一挡板321封堵出料孔的b1区，第二挡板322封堵出料孔b2区，第三挡板521封堵出料孔的d1区，第四挡板522封堵出料孔的d2区，a、c1、c2形成十字形出口。
实施例四，如图12所示：
当所需蒸镀形状为I字形时，沿着支撑座纵向推动两侧的封堵机构，挡板与密封盖板的表面贴合滑动，第一挡板321封堵出料孔的b1区，第二挡板322封堵出料孔b2区，第三挡板521封堵出料孔的d1、c1区，第四挡板522封堵出料孔的d2、c2区，a形成I字形出口。
实施例五，如图13所示：
当所需蒸镀形状为多段折边形时，预先对第二挡板322、第三挡板521进行长度调节，使得第二挡板322、第三挡板521收入至对应的夹持套内，这样可使得，当移动推板时，第二挡板322、第三挡板521不会封堵；
沿着支撑座纵向推动两侧的封堵机构，挡板与密封盖板的表面贴合滑动，第一挡板321封堵出料孔的b1、c1区，第四挡板522封堵出料孔的d2、c2区，a、b2、d1形成该多段折边形出口。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (5)
1.金属化薄膜蒸镀用错位组合式料炉，其特征在于：包括炉体，所述炉体的内部开设有横向延伸的装配槽，所述装配槽的中心开设有料块蒸发腔，所述料块蒸发腔、装配槽以及炉体均位于同一横、纵向中线处，所述装配槽的内部嵌入有密封盖板，所述密封盖板的表面开设有线性阵列分布的出料孔，所述出料孔与料块蒸发腔相对连通；
所述出料孔的中线处为中心条孔，所述中心条孔的两侧垂直镜像对称连通有侧条孔，每一侧的所述侧条孔均间隔设有三个，所述中心条孔、侧条孔呈"王字型”；所述炉体的顶部两侧镜像对称设有封堵机构，所述封堵机构滑动安装于支撑座的顶部；
所述封堵机构包括推板、挡板组件，所述推板垂直滑动安装于支撑座的顶面，所述推板的内部十字滑动安装有挡板组件，每个所述挡板组件均与一个所述出料孔相对设置，所述挡板组件沿着推板的长度方向线性阵列分布，所述挡板组件贴合置于炉体的表面，所述挡板组件包括第一挡板和第二挡板，所述第一挡板、第二挡板对称位于中心条孔的两侧，所述第一挡板用以封堵位于一侧的所述侧条孔，所述第二挡板用以封堵位于另一侧的所述侧条孔。
2.根据权利要求1所述的金属化薄膜蒸镀用错位组合式料炉，其特征在于：所述推板背离炉体的另一侧设有线性阵列分布的夹持套，所述第一挡板相对滑动贯穿夹持套，所述第二挡板相对滑动贯穿夹持套，所述夹持套通过螺钉固定第一挡板、第二挡板。
3.根据权利要求2所述的金属化薄膜蒸镀用错位组合式料炉，其特征在于：所述第一挡板、第二挡板的长度均大于中心条孔的长度，所述第一挡板、第二挡板的宽度均大于或等于侧边条的长度，第一挡板的底面、第二挡板的底面以及密封盖板的表面均为光滑平面结构。
4.根据权利要求1所述的金属化薄膜蒸镀用错位组合式料炉，其特征在于：所述料块蒸发腔与装配槽之间形成阶梯状的密封槽，所述密封盖板包括上板体、下板体，所述上板体止挡密封于炉体的表面，所述上板体的内部开设有出料孔，所述出料孔与料块蒸发腔相对连通，所述下板体的内部为空腔结构，所述上板体与炉体的表面形成一级密封面，所述下板体嵌入于密封槽内，所述下板体与密封槽之间形成二级密封面。
5.根据权利要求4所述的金属化薄膜蒸镀用错位组合式料炉，其特征在于：所述密封盖板一体铣加工制成。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202011008293.XA CN112210758B (zh) | 2020-09-23 | 2020-09-23 | 金属化薄膜蒸镀用错位组合式料炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202011008293.XA CN112210758B (zh) | 2020-09-23 | 2020-09-23 | 金属化薄膜蒸镀用错位组合式料炉 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN112210758A true CN112210758A (zh) | 2021-01-12 |
| CN112210758B CN112210758B (zh) | 2022-08-12 |
Family
ID=74050704
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202011008293.XA Active CN112210758B (zh) | 2020-09-23 | 2020-09-23 | 金属化薄膜蒸镀用错位组合式料炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN112210758B (zh) |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003253433A (ja) * | 2002-03-01 | 2003-09-10 | Ulvac Japan Ltd | 薄膜形成装置 |
| JP2008231446A (ja) * | 2007-03-16 | 2008-10-02 | Seiko Epson Corp | インライン式蒸着装置および成膜方法 |
| CN103866238A (zh) * | 2014-03-07 | 2014-06-18 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种真空蒸镀装置 |
| US20160122866A1 (en) * | 2014-10-31 | 2016-05-05 | Industrial Technology Research Institute | Evaporation system and evaporation method |
| CN106521412A (zh) * | 2016-11-30 | 2017-03-22 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种蒸镀掩模板及蒸镀方法 |
| CN107400858A (zh) * | 2017-09-18 | 2017-11-28 | 京东方科技集团股份有限公司 | 蒸发源及蒸镀系统 |
| CN208008878U (zh) * | 2018-01-11 | 2018-10-26 | 韦周萍 | 一种高质量氧化铝真空镀膜装置 |
| CN208472180U (zh) * | 2018-07-18 | 2019-02-05 | 广东迈特斐薄膜科技有限公司 | 一种低功率损耗电容器用金属化膜的蒸镀装置 |
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- 2020-09-23 CN CN202011008293.XA patent/CN112210758B/zh active Active
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003253433A (ja) * | 2002-03-01 | 2003-09-10 | Ulvac Japan Ltd | 薄膜形成装置 |
| JP2008231446A (ja) * | 2007-03-16 | 2008-10-02 | Seiko Epson Corp | インライン式蒸着装置および成膜方法 |
| CN103866238A (zh) * | 2014-03-07 | 2014-06-18 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种真空蒸镀装置 |
| US20160122866A1 (en) * | 2014-10-31 | 2016-05-05 | Industrial Technology Research Institute | Evaporation system and evaporation method |
| CN106521412A (zh) * | 2016-11-30 | 2017-03-22 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种蒸镀掩模板及蒸镀方法 |
| CN107400858A (zh) * | 2017-09-18 | 2017-11-28 | 京东方科技集团股份有限公司 | 蒸发源及蒸镀系统 |
| CN208008878U (zh) * | 2018-01-11 | 2018-10-26 | 韦周萍 | 一种高质量氧化铝真空镀膜装置 |
| CN208472180U (zh) * | 2018-07-18 | 2019-02-05 | 广东迈特斐薄膜科技有限公司 | 一种低功率损耗电容器用金属化膜的蒸镀装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN112210758B (zh) | 2022-08-12 |
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| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
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