CN112198769A - 一种平行光源非接触的单面自动光刻机 - Google Patents

一种平行光源非接触的单面自动光刻机 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种平行光源非接触的单面自动光刻机，包括外罩、进出料组件、中间对位机构和相机模组，所述中间对位机构两侧均连接有进出料组件，中间对位机构设置在焊接支撑平台上，焊接支撑平台设置在外罩内部。本平行光源非接触的单面自动光刻机，采用LED平行光源，机械手搬运组件，斜式升降台，全图像定位系统有效实现全自动连线光刻作业，将产品送入一个无尘的机器中，从托轮组件传送到中间对位机构，产品由机械手搬运组件和斜式升降台将产品送到光刻平台加工，加工完，再由机械手搬运组件将产品送下来输送出来，本装置可以将产品精密度达到300微米，相对于传统加工产品来说，更加环保，精密。

Description

一种平行光源非接触的单面自动光刻机
技术领域
本发明涉及玻璃制造技术领域，具体为一种平行光源非接触的单面自动光刻机。
背景技术
传统曝光机在计算机的控制下,利用聚焦电子束对有机聚合物，通常称为电子抗蚀剂或光刻胶，进行曝光,受电子束辐照后的光刻胶,其物理化学性质发生变化,在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域,从而在抗蚀剂上形成精细图形，其精密度为100微米，在不断努力的研究下，光刻机的精密度达到了10微米，通过调整运行模式和更改定位，实现突破，为玻璃加工领域作出贡献，在研究精密的领域扩大提供经验。
发明内容
本发明的目的在于提供一种平行光源非接触的单面自动光刻机，具有可控制方制向的光源模组，可以通过调整方向，光源相机捕捉系统设定位置，实现了精准定位作用，托轮组件中的托轮采用了UPE，其特有的吸收冲击和自润滑性，有效保障了产品的运输的稳定和质量的优点，解决了现有技术中的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种平行光源非接触的单面自动光刻机，包括外罩、进出料组件、中间对位机构和相机模组，所述中间对位机构两侧均连接有进出料组件，中间对位机构设置在焊接支撑平台上，焊接支撑平台设置在外罩内部，外罩顶部两侧设有FFU过滤单元，左侧FFU过滤单元后方设有排风口，外罩左侧设有出料口，正面设有显示屏和控制面板，显示屏设置在控制面板上方；
所述进出料组件底部设有支撑座，支撑座中间设有支撑座气缸，右侧设有支撑座电机，支撑座气缸上方设有气缸支撑座，气缸支撑座通过支撑腿固定在支撑座上，气钢支撑座左侧支撑腿上连接有拖轮电机，气钢支撑座左侧与气缸连接，尾端与机械手搬运组件连接，中间设有托轮组件，托轮组件两侧上方设有定位轮；
所述中间对位机构底部设有丝杠，丝杠右侧与丝杠电机连接，上方设有斜式升降台，斜式升降台上方设有相机模组，斜式升降台与相机模组之间设有相机支撑板，相机支撑板四周设置的支撑柱与镂空支撑板连接，相机模组左侧设有UVW对位平台和对位平台电机，UVW对位平台位于对位平台电机右侧，UVW对位平台上方设有探针电机，探针电机顶端与镂空钢板连接，镂空支撑板底部设有探针，顶部设有基准电极，基准电极前端设有定位轮；
所述相机组件模组底部设有相机支撑座，相机支撑座连接在支撑板的两端，支撑板上设有X轴控制电机，X轴控制电机上方设有Y轴控制电机，Y轴控制电机上方设有Z轴控制电机，Z轴控制电机左侧与光源相机连接。
优选的，所述托轮组件中间设有从动轴，从动轴上套有托轮和带轮，托轮和带轮通过轴承连接。
优选的，所述丝杠电机两侧均设有小支撑板，小支撑板通过支撑柱与相机支撑板连接。
与现有技术相比，本发明的有益效果如下：
本平行光源非接触的单面自动光刻机，采用LED平行光源，机械手搬运组件，斜式升降台，全图像定位系统有效实现全自动连线光刻作业，将产品送入一个无尘的机器中，从托轮组件传送到中间对位机构，托轮组件中的托轮采用了UPE，其特有的吸收冲击和自润滑性，有效保障了产品的运输的稳定和质量，产品由机械手搬运组件和斜式升降台将产品送到光刻平台加工，通过可控制方向的相机模组经过调整方向，将光源相机捕捉系统设定位置，实现了精准定位作用，加工完，再由机械手搬运组件将产品送下来输送出来，本装置可以将产品精密度达到300微米，相对于传统加工产品来说，更加环保，精密，优质，此光刻机的出现突破了玻璃加工领域的精密程度。
附图说明
图1为本发明的内部结构图；
图2为本发明的外罩结构图；
图3为本发明的进出料组件结构图；
图4为本发明的中间对位机构结构图；
图5为本发明的相机模组结构图；
图6为本发明的托轮组件结构图。
图中：1、外罩；2、FFU过滤单元；3、排风口；4、出料口；5、显示屏；6、控制面板；7、进出料组件；8、支撑座；9、支撑座气缸；10、支撑座电机；11、气缸支撑座；12、托轮电机；13、气缸；14、机械手搬运组件；15、托轮组件；16、定位轮；17、中间对位机构；18、丝杠；19、丝杠电机；20、斜式升降台；21、相机模组；22、UVW对位平台；23、对位平台电机；24、探针电机；25、镂空支撑板；26、探针；27、基准电机；28、相机支撑座；29、支撑板；30、X轴控制电机；31、Y轴控制电机；32、Z轴控制电机；33、光源相机；34、焊接支撑平台；35、从动轴；36、托轮；37、带轮；38、轴承；39、相机支撑板；40、小支撑板。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1，一种平行光源非接触的单面自动光刻机，包括外罩1、进出料组件7、中间对位机构17和相机模组21，中间对位机构17两侧均连接有进出料组件7，左侧的进出料组件7将需加工产品输送进中间对位机构17，右侧的进出料组件7将加工好的产品从装置内输送出去，中间对位机构17设置在焊接支撑平台34上，将中间对位机构17进行固定，确保对产品加工时的操作稳定，焊接支撑平台34设置在外罩1内部。
请参阅图2，外罩1顶部两侧设有FFU过滤单元2，将装置内的空气进行过滤净化，左侧FFU过滤单元2后方设有排风口3，将装置内空气排出，外罩1左侧设有出料口4，通过出料口4取出加工好的产品，正面设有显示屏5和控制面板6，显示屏5设置在控制面板6上方，显示屏5实时反馈装置内情况，通过控制面板6控制装置的工作。
请参阅图3，进出料组件7底部设有支撑座8，支撑进出料组件7的运动部件,使进出料组件7获得稳定的工作环境,更加平稳的运转，支撑座8中间设有支撑座气缸9，控制装置的升降，右侧设有支撑座电机10，控制支撑座气缸9的运行，支撑座气缸9上方设有气缸支撑座11，气缸支撑座11中间设有托轮组件15，气缸支撑座11支撑气缸13与托轮组件15的运动部件，使托轮组件15更加平稳的运转，对产品进行输送，气缸支撑座11通过支撑腿固定在下方平板上，确保气缸支撑座11上的零件保持稳定，气缸支撑座11左侧支撑腿上连接有托轮电机12，控制托轮组件15的运行，托轮组件15两侧上方设有定位轮16，气缸支撑座11左侧与气缸13连接，气缸13控制定位轮16将产品摆正，尾端与机械手搬运组件14连接，对产品进行搬运。
请参阅图4，中间对位机构17底部设有丝杠18，丝杠18确定工作台坐标位置,将旋转运动转换成直线运动,且传递一定的动力，丝杠18右侧与丝杠电机19连接，控制丝杠18移动至产品定位位置，丝杠电机19两侧均设有小支撑板40，小支撑板40通过支撑柱与相机支撑板39连接，对中间对位机构17上所有零件进行支撑，丝杠18上方设有斜式升降台20，控制装置升降，斜式升降台20上方设有相机模组21，斜式升降台20与相机模组21之间设有相机支撑板39，支撑相机模组21各零件，相机支撑板39四周设置的支撑柱与镂空支撑板25连接，相机模组21左侧设有UVW对位平台22和对位平台电机23，UVW对位平台22位于对位平台电机23右侧，对位平台电机23电机工作将UVW对位平台22根据定位运转到相应位置，UVW对位平台22上方设有探针电机24，控制探针26的升高，到达光刻平台，探针电机24顶端与镂空支撑板25连接，镂空支撑板25底部设有探针26，对产品进行加工，顶部设有基准电机27，将产品固定加紧，基准电机27前端设有定位轮16，将产品摆正定位。
请参阅图5，相机模组21底部设有相机支撑座28，将支撑板29进行支撑固定，相机支撑座28连接在支撑板29的两端，支撑相机模组21各零件，支撑板29上设有X轴控制电机30，X轴控制电机30上方设有Y轴控制电机31，Y轴控制电机31上方设有Z轴控制电机32，控制产品进行三维移动，Z轴控制电机32左侧与光源相机33连接，对产品进行加工。
请参阅图6，托轮组件15中间设有从动轴35，控制从动轴35上各装置同步转动，从动轴35上套有托轮36和带轮37，托轮36向上托住履带，使履带保持张紧度，带轮37控制履带的运转，托轮36和带轮37通过轴承38连接，减少转动过程中的阻力，减少功率消耗与装置磨损。
综上所述：本平行光源非接触的单面自动光刻机，采用LED平行光源，机械手搬运组件14，斜式升降台20，全图像定位系统有效实现全自动连线光刻作业，将产品送入一个无尘的机器中，从托轮组件15传送到中间对位机构17，托轮组件15中的托轮36采用了UPE材料，其特有的吸收冲击和自润滑性，有效保障了产品的运输的稳定和质量，产品由机械手搬运组件14和斜式升降台20将产品送到光刻平台加工，通过可控制方向的相机模组21经过调整方向，将光源相机33捕捉系统设定位置，实现了精准定位作用，加工完，再由机械手搬运组件14将产品送下来输送出来，本装置可以将产品精密度达到300微米，相对于传统加工产品来说，更加环保，精密，优质，此光刻机的出现突破了玻璃加工领域的精密程度。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (3)

1.一种平行光源非接触的单面自动光刻机，包括外罩(1)、进出料组件(7)、中间对位机构(17)和相机模组(21)，其特征在于：所述中间对位机构(17)两侧均连接有进出料组件(7)，中间对位机构(17)设置在焊接支撑平台(34)上，焊接支撑平台(34)设置在外罩(1)内部，外罩(1)顶部两侧设有FFU过滤单元(2)，左侧FFU过滤单元(2)后方设有排风口(3)，外罩(1)左侧设有出料口(4)，正面设有显示屏(5)和控制面板(6)，显示屏(5)设置在控制面板(6)上方；
所述进出料组件(7)底部设有支撑座(8)，支撑座(8)中间设有支撑座气缸(9)，右侧设有支撑座电机(10)，支撑座气缸(9)上方设有气缸支撑座(11)，气缸支撑座(11)通过支撑腿固定在支撑座(8)上，气钢支撑座(11)左侧支撑腿上连接有托轮电机(12)，气钢支撑座(11)左侧与气缸(13)连接，尾端与机械手搬运组件(14)连接，中间设有托轮组件(15)，托轮组件(15)两侧上方设有定位轮(16)；
所述中间对位机构(17)底部设有丝杠(18)，丝杠(18)右侧与丝杠电机(19)连接，上方设有斜式升降台(20)，斜式升降台(20)上方设有相机模组(21)，斜式升降台(20)与相机模组(21)之间设有相机支撑板(39)，相机支撑板(39)四周设置的支撑柱与镂空支撑板(25)连接，相机模组(21)左侧设有UVW对位平台(22)和对位平台电机(23)，UVW对位平台(22)位于对位平台电机(23)右侧，UVW对位平台(22)上方设有探针电机(24)，探针电机(24)顶端与镂空钢板(25)连接，镂空支撑板(25)底部设有探针(26)，顶部设有基准电机(27)，基准电机(27)前端设有定位轮(16)；
所述相机模组(21)底部设有相机支撑座(28)，相机支撑座(28)连接在支撑板(29)的两端，支撑板(29)上设有X轴控制电机(30)，X轴控制电机(30)上方设有Y轴控制电机(31)，Y轴控制电机(31)上方设有Z轴控制电机(32)，Z轴控制电机(32)左侧与光源相机(33)连接。
2.根据权利要求1所述的一种平行光源非接触的单面自动光刻机，其特征在于，所述托轮组件(15)中间设有从动轴(35)，从动轴(25)上套有托轮(36)和带轮(37)，托轮(36)和带轮(37)通过轴承(38)连接。
3.根据权利要求1所述的一种平行光源非接触的单面自动光刻机，其特征在于，所述丝杠电机(19)两侧均设有小支撑板(40)，小支撑板(40)通过支撑柱与相机支撑板(39)连接。
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