CN112145398A - 用于引导可压缩流体的微泵系统和方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种用于引导可压缩流体的微泵系统，其带有：多个微泵、一定数量的刚性的流动通道元件、控制单元和一个或两个电路板。微泵分别具有用于流体的抽吸开口和输出开口。刚性的流动通道元件经由相应的弹性地密封的联接部与相应的微泵连接并且与多个微泵一起形成用于流体的流动路径。一个或两个电路板布置和构造成用于将控制单元与多个微泵电连接，其中，来自多个微泵的每个微泵经由相应的固定器件刚性地固定在一个或两个电路板处，并且其中，在微泵系统的系统输出端处提供在使用中穿流多个微泵的流体的通过多个微泵级联的压力构造。

Description

用于引导可压缩流体的微泵系统和方法
技术领域
本发明涉及一种用于引导可压缩流体的微泵系统和一种用于引导可压缩流体的方法。
背景技术
用于引导液体或可压缩流体、如例如气体的微泵的使用在不同的技术领域中已知。由此，将微泵例如用于冷却电子构件。
US 8,678,787 B2描述了一种微泵，该微泵具有经由压电元件运行的振动单元。在此，压电元件的膨胀的重复改变导致如下，即，振动单元的膜片以预定频率运动并且通过所描述的微泵的架构设计调整待引导的气体的流动方向。典型地，这种微泵在高频范围中运行。
发明内容
本发明的任务是，能够实现一种改善的微泵系统、尤其如下微泵系统，该微泵系统可特别简单地提供并且是特别可靠的。
根据本发明，为了解决该任务提出一种用于引导可压缩流体的微泵系统，该微泵系统带有多个微泵、一定数量的刚性的流动通道元件、控制单元和一个或两个电路板。
来自多个微泵的微泵分别具有用于流体的抽吸开口和输出开口并且分别构造成用于在微泵系统的使用期间将穿流微泵的流体通过相应的微泵的电控制的振动单元通过抽吸开口抽吸并且通过输出开口输出。
来自一定数量的刚性的流动通道元件的流动通道元件经由相应的弹性地密封的联接部与相应的微泵的抽吸开口或输出开口连接并且与多个微泵一起形成用于流体的流动路径。
控制单元构造成用于控制多个微泵的运行。
一个电路板或两个电路板布置和构造成用于将控制单元与多个微泵电连接，其中，来自多个微泵的每个微泵经由相应的固定器件刚性地固定在一个电路板或两个电路板处，并且其中，在微泵系统的系统输出端处提供在使用中穿流多个微泵的流体的通过多个微泵级联的压力构造。
在本发明的范围内识别出，多个微泵的特别简单的装配可通过在一个电路板或两个电路板上的相应地提供的装配平面来实现。此外识别出，微泵经由相应的固定器件所引起的刚性固定和微泵彼此经由刚性的流动通道元件所引起的刚性连接可有助于，在微泵系统内避免死空间。
通过根据本发明避免死空间，可在微泵系统的运行开始时减小响应时间并且改进微泵系统的效率。由此，通过根据本发明的微泵系统避免了将泵功率用于弹性的连接元件的变形，代替地将该泵功率用于可压缩流体的期望的引导。
在本发明的范围内提出的微泵系统的紧凑的结构方式附加地有助于避免死空间。此外，所提出的紧凑的结构方式实现了少数量且小尺寸的刚性的流动通道元件的使用。最后，所提出的由电路板或带有刚性地连接的微泵的电路板组成的结构允许微泵系统的特别小的尺寸。
此外，单个刚性的流动通道元件的使用(所述流动通道元件根据本发明构造成中空的，以便由此形成流动路径)允许单个流动通道元件的简单的更换以用于清洁或维修该流动通道元件。典型地，相应的流动通道元件构造成伸展的并且具有由相应的刚性壁部包围的中空空间，其开口通过至少两个用于弹性地密封的联接部的带有微泵的相应开口的联接区域构造。
此外，所提出的微泵彼此的刚性固定和刚性连接引起在微泵系统内的相应的微泵的小的震动。由此，所提出的微泵系统对于高频运行的微泵也是特别可靠且安静的。
在根据本发明的微泵系统处特别有利的是所提供的级联的压力构造，通过该压力构造可提供微泵系统的特别高的总泵压力。由此，微泵系统适合用于特别多的应用，针对这些应用，现在替代单个的带有高的泵压力的泵可使用多个带有小的泵压力的微泵。
所提出的微泵系统的一种优选的应用在于医学领域。由此，可通过提供的紧凑的微泵系统以特别高效的方式将患者气体引导至待以其供应的患者。
根据本发明的微泵系统的所提出的结构化的构造有利地能够实现自动化的制造，由此能够实现低的制造成本。尤其，该结构化的构造能够实现如下，即，用于不同应用的带有不同的附加的系统元件的微泵系统分别可以以相同结构装配。由此有利的是，根据附加的系统元件，使用一个相同的电路板或多个相同的电路板用于不同的微泵系统和尤其用于不同的应用也是可行的。
用于流体的流动路径引导通过至少一个穿流的微泵并且通过至少一个刚性的流动通道元件，该流动通道元件与所述微泵经由弹性地密封的联接部连接。
根据本发明，一定数量的刚性的流动通道元件可由唯一的流动通道元件组成。
多个微泵包括至少两个微泵、优选地至少四个微泵。
控制单元可固定地布置在一个电路板或两个电路板处。在一种备选的实施方式中，控制单元构造成与电路板间隔开。
级联的压力构造根据本发明通过如下方式提供，即，来自多个微泵中的至少两个微泵输出在系统输出端处提供的流体、尤其所提供的气体。这种输出可例如通过至少两个微泵在微泵系统内的串联或并联来进行，如这在附图说明的范围内详细描述的。
微泵的基本构造(如其在根据本发明的微泵系统的范围内可使用的)对于本领域技术人员是已知的并且因此在下面不详细描述。这样的构造的粗略结构在图6的范围内阐释。
下面描述根据本发明的微泵系统的优选的实施方式。
在一种特别有利的实施方式中，至少一个刚性的流动通道元件将相对于穿流流体的流动方向位于上游的微泵的相应的输出开口与相对于该流动方向位于下游的微泵的相应的抽吸开口相互刚性地连接。这样的刚性连接有利地引起两个微泵的串联。通过将两个微泵串联可提供相比于单个微泵两倍的泵压力。在该实施方式中，因此有利地将多个微泵在微泵系统内的紧凑连接用于在系统输出端处提供提高的泵压力。
在前述实施方式的一种变型方案中，来自多个微泵的所有微泵相互通过刚性的流动通道元件通过相应的位于上游的微泵的输出开口与相应的位于下游的微泵的抽吸开口的相应连接来连接。在该变型方案中，根据本发明的微泵系统由来自多个微泵的所提供的微泵的唯一的串联组成。由此，特别高效地将多个微泵用于提供高的总泵压力。在此，一定数量的N个微泵引起相比于单个微泵N倍的泵压力。
在另一种有利的实施方式中，一定数量的流动通道元件如此构造和布置，使得所述流动通道元件形成供应管路和导出管路，所述供应管路与多个微泵的所有抽吸开口刚性地连接，所述导出管路与多个微泵的所有输出开口刚性地连接。在该实施方式中，全部微泵彼此并联。由此，在微泵系统的系统输出端处提供单个微泵的简单的泵压力，然而提供了与多个微泵相应地提高的流量。在此，一定数量的N个并联的微泵引起穿流微泵系统的流体相比于单个微泵N倍的流量。由此，因此可以使特别大量的可压缩流体运动经过微泵系统。
在另一种实施方式中，微泵系统不仅由彼此串联的微泵，而且由来自多个微泵的彼此并联的微泵组成。这尤其是有利的，以便提供相比于单个微泵提高的流体流量和同时相比于单个微泵提高的总泵压力。
可压缩流体优选地是气体。
在一种特别优选的实施方式中，相应的弹性地密封的联接部经由O形环弹性地密封。由此，可特别成本适宜地提供密封的联接部的密封。此外，O形环的使用引起在根据本发明的微泵系统的加热的情况下均匀的热膨胀。由此，避免了密封件的单侧负载并且即使在温度提高的情况下也实现微泵系统的可靠运行。
在另一种优选的实施方式中，用于将相应的微泵刚性地固定到电路板处的固定器件通过钎焊盘、钎焊销或刚性的插接连接部形成。在该实施方式中，固定器件可特别成本适宜地制造。此外，钎焊盘和/或钎焊销的使用将相应的微泵允许特别简单且可靠地固定在电路板处。此外，这种固定可特别简单地在自动化的方法范围内提供。
在另一种有利的实施方式中，在微泵系统的系统输出端处布置有用于确保通过微泵系统提供的最小压力的止回阀。在一种有利的变型方案中，止回阀同样刚性地固定在微泵系统的电路板处。有利地，来自一定数量的刚性的流动通道元件的一个刚性的流动通道元件将流体从来自多个微泵的至少一个微泵引导至止回阀。最小压力的确保允许快速识别在微泵系统内的故障、如例如微泵的失灵。
在一种补充于或备选于前述实施方式的实施方式中，在微泵系统的系统输出端处布置有用于确保通过微泵系统提供的最小压力的压力传感器。在一种有利的变型方案中，压力传感器同样刚性地固定在微泵系统的电路板处。有利地，来自一定数量的刚性的流动通道元件的一个刚性的流动通道元件将流体从来自多个微泵的至少一个微泵引导至压力传感器。
在一种特别优选的实施方式中，根据本发明的微泵系统具有电路板，该电路板是平面的电路板并且多个微泵利用相应的刚性的固定器件如此固定在该电路板上，使得所有微泵在共同的固定平面中布置在该电路板上的，并且其中，该固定平面平行于通过电路板形成的平面。固定平面和电路板的这种细分引起微泵系统的特别结构化的布置并且由此减少在该微泵系统的装配和运行时的故障源。此外，该结构允许根据本发明的微泵系统的特别简单的自动化的制造。
在另一种优选的实施方式中，一定数量的流动通道元件如此与微泵连接，使得形成共同的连接平面。由此，确保了根据本发明的微泵系统的特别简单的结构。通过经确保的对于连接平面的可接近性，流动通道元件的装配可以是特别简单的。此外，通过这种结构化的布置减少了在该微泵系统的装配和运行时的故障源。此外，该结构允许根据本发明的微泵系统的特别简单的自动化的制造。
在两个前述实施方式的一种特别有利的变型方案中，连接平面此外平行于通过电路板形成的平面。这引起微泵系统的结构的附加简化。此外，带有多个平行于彼此布置的元件的这种结构方式可有助于，使微泵系统特别紧凑地设计。
在一种有利的实施方式中，在电路板与微泵之间的相应的电连接通过钎焊部位、电线缆和/或插接连接部形成。所述电连接可以特别成本适宜地提供。此外，所述电连接允许通过简单的可自动化的方法制造微泵系统。
在另一种实施方式中，微泵系统包括两个电路板，它们平行于彼此取向。在此，来自多个微泵的微泵分别在两个电路板之间固定在两个相对而置的侧中的一个侧处。两个电路板的平行取向有利地允许微泵系统的特别紧凑的结构方式。微泵在电路板的相对而置的侧处的固定有利地实现了不同电路板的微泵通过短的流动通道元件的连接。
在另一种实施方式中，微泵系统具有附加地至少一个另外的系统元件、如例如过滤器，流动阻力件或空穴。
优选地，根据本发明的微泵系统的紧凑的结构方式能够实现短的刚性的流动通道元件的使用，通过其此外避免了死空间并且其减小了总系统的或系统的部件的弹性或可延展性。
根据本发明的一个优选的方面，将根据本发明的微泵系统使用在医学系统内、尤其使用在医学呼吸系统内。
根据本发明的另一方面，为了解决上面提及的任务提出一种用于引导可压缩流体的方法。根据本发明，该方法具有以下步骤:
- 提供多个微泵，所述多个微泵分别具有用于流体的抽吸开口和输出开口并且所述多个微泵分别构造成用于在相应地形成的微泵系统的使用期间将穿流所述多个微泵的流体通过相应的微泵的电控制的振动单元通过抽吸开口抽吸并且通过输出开口输出，
- 通过经由相应的弹性地密封的联接部将一定数量的刚性的流动通道元件与相应的微泵连接来形成用于流体的流动路径，
- 将一个或两个电路板与多个微泵电连接，并且将来自多个微泵的每个微泵经由相应的固定器件刚性地固定在一个电路板或两个电路板处，
其中，在微泵系统的系统输出端处提供在使用中穿流多个微泵的流体的通过多个微泵级联的压力构造。
流体的根据该方法的引导有利地允许在流动路径内避免死空间。
此外，刚性的流动通道元件和在微泵与电路板之间的刚性固定引起小的可延展性和所提供的引导对于震动而言小的易受影响性，如其在微泵的运行期间通常存在的。
最后，级联的压力构造允许在根据本发明提供的流动路径中高的总泵压力。这允许在根据本发明的方法的可行应用处的大的带宽，因为如此提供的流动路径的尺寸鉴于被运输的流体体积和所提供的总泵压力可非常不同地设计尺寸。
优选地，将根据本发明的方法应用在医学系统内、尤其应用在医学呼吸系统内。
附图说明
本发明现在应依据在附图中示意性示出的有利的实施例更详细阐释。由其中详细示出:
图1示出根据本发明的微泵系统的第一实施例的示意图，其中，各个微泵串联；
图2,3以侧视图(图2)和以俯视图(图3)示出根据本发明的微泵系统的第二实施例的示意图，在其中，各个微泵并联；
图4示出根据本发明的微泵系统的第三实施例的示意图，在其中，单个串联的微泵彼此并联；
图5示出根据本发明的微泵系统的第四实施例的示意图，在其中，微泵布置在两个电路板上；
图6示出用于使用在根据本发明的微泵系统中的微泵的示意图；
图7示出根据本发明的微泵系统的第五实施例的示意图，在其中，在系统输出端的区域中布置有止回阀；
图8示出根据本发明的另一方面的方法的流程图。
具体实施方式
图1示出根据本发明的微泵系统100的第一实施例的示意图，在其中，各个微泵110串联。
所示出的用于引导可压缩流体102、尤其气体的微泵系统100具有多个微泵110、一定数量的刚性的流动通道元件120、控制单元130和电路板140。
由多个微泵110组成的微泵110分别具有用于流体102的抽吸开口112和输出开口114并且分别构造成用于在微泵系统100的使用期间将穿流该微泵的流体102通过相应的微泵110的电控制的振动单元(在图6中描述)通过抽吸开口112抽吸并且通过输出开口114输出。在此，相应的微泵110的架构设计负责如下，即，预设带有相应的流动路径104的流动方向。在未示出的实施例中，在相应的微泵内的止回阀负责如下，即，预设穿流微泵的流体的流动方向。
在所示出的实施例中，多个微泵110包括正好四个微泵110，这些微泵全部都结构相同地构造。
一定数量的刚性的流动通道元件120具有分别两个联接部122，所述联接部如此构造，使得所述联接部弹性地密封地与相应的微泵110连接。在所示出的实施例中，相应的弹性地密封的联接部122的提供经由相应的O形环进行。在未示出的示例中，用于密封的材料被施覆到相应的联接部的边缘上。刚性的流动通道元件120与多个微泵110一起形成用于流体102的流动路径104。一定数量的流动通道元件120在所示出的实施例中由唯一的流动通道元件形成，该流动通道元件被插上到全部泵上，并且在相应的微泵110的区域中如此具有相应的阻挡元件124，使得流体被引导通过相应的微泵110。此外，在所示出的实施例中，四个微泵110中的三个相对彼此等距地取向并且仅一个在微泵系统100的系统输出端106区域中的微泵110构造成与其他微泵110间隔开。
控制单元130布置在电路板140的与微泵110相对而置的侧上并且构造成用于控制多个微泵110的运行。
电路板140布置且构造成用于将控制单元130与多个微泵110电连接。在所示出的实施例中，该电连接通过相应的钎焊部位142、尤其钎焊销和/或钎焊盘进行，微泵110中的每个分别经由所述钎焊部位刚性地固定在电路板140处。电路板140在所示出的实施例中是印刷电路板。
微泵110在带有相应地提供的流动路径104的电路板140上的所示出的结构引起在使用中穿流多个微泵110的流体102在微泵系统100的系统输出端106处的级联的压力构造。在流动路径104方面，四个微泵110相对彼此串联，从而在系统输出端106处提供总泵压力，该总泵压力相应于单个微泵110的四倍泵压力。
系统输出端106相对于系统输入端108布置在电路板140上的微泵系统100的相对而置的一侧上。
所示出的微泵系统100适合用于如下应用，在其中，需要相比通过单个微泵可提供的压力更高的泵压力。尤其，所示出的微泵系统100设置用于医学应用、优选地在呼吸仪器内的医学应用。
图2和3以侧视图(图2)以及以俯视图(图3)示出根据本发明的微泵系统200的第二实施例的示意图，其中，各个微泵110并联。
相比于图1中所示出的微泵系统100，不仅所示出的四个结构相同的微泵210的抽吸开口212稍微错开地布置，而且刚性的流动通道元件220构造成不同于流动通道元件120。
流动通道元件220具有供应管路226，该供应管路与微泵210的所有抽吸开口212刚性地连接。此外，流动通道元件220具有导出管路228，该导出管路与多个微泵210的所有输出开口214连接。供应管路226和导出管路228是唯一的共同的流动通道元件220的部分。
通过所示出的布置，系统输出端206构造在系统输入端208的区域中。
流动路径204通过所示出的布置被划分到相对彼此并行的路径中。在系统输入端208与系统输出端206之间，穿流流动路径204的流体被引导通过唯一的微泵。因此，在相应于单个微泵的那个泵压力的总泵压力的情况下，所示出的布置最终引起穿流的流体在系统输出端206处与单个微泵相比四倍的总流量。
如已经在微泵系统100中那样，在微泵系统200中，流动通道元件也如此形成，使得共同的连接平面通过这些流动通道元件预设。该连接平面平行于电路板140。
图4示出根据本发明的微泵系统400的第三实施例的示意图，在其中，各个串联的微泵110彼此并联。
如已经在前两种实施例中那样，一定数量的刚性的流动通道元件通过唯一的流动通道元件420形成。
微泵系统400具有两个系统输入端408,408′，用于两个彼此并行伸延的流动路径404,404′，这些流动路径分别由两个彼此串联的微泵110形成。这两个流动路径404,404′在共同的系统输出端406处结束。
由此，总泵压力存在于系统输出端406处，该总泵压力是单个微泵110的泵压力的两倍大。同时，所示出的微泵系统400通过经由两个流动路径404,404′的并行引导所引起的总流量是流体102的通过单个微泵110提供的流量的两倍大。
控制单元130与电路板140间隔开地布置并且与该电路板经由线缆432连接。控制单元130经由线缆432和电路板140操控微泵110。
图5示出根据本发明的微泵系统500的第四实施例的示意图，在其中，微泵110布置在两个电路板140,140′上。
两个平面的电路板140,140′平行于彼此取向。布置在第二电路板140′上的微泵110与布置在第一电路板140上的微泵110相对而置，从而经由刚性的流动通道元件520可提供连接。在所示出的实施例中，两个电路板基于线缆地与控制单元130连接。
微泵系统500包括三个微泵110，由其中两个微泵布置在第一电路板140上且一个微泵布置在第二电路板140′上。这三个微泵110彼此串联，从而在系统输出端506处提供单个微泵的三倍泵压力作为总泵压力。
这两个电路板优选地经由至少一个间距保持元件(未示出)相对于彼此保持在预定的位置中。
图6示出用于使用在根据本发明的微泵系统中的微泵110的示意图。
微泵110具有外部壳体111，该外部壳体形成唯一的抽吸开口112和唯一的输出开口114。在未示出的实施例中，微泵具有多个抽吸开口。
在所示出的实施例中，两个开口112,114布置在壳体的上侧处。在一种未示出的实施例中，一个开口或两个开口布置在壳体的与上侧不同的侧上。在壳体内存在流动引导部，该流动引导部将经抽吸的流体102引导到微泵110的中央区域中。压电元件116布置在膜片118中，以便能够实现膜片118经由压电元件116的弯曲所引起的振动的电操控。膜片118和压电元件116形成振动单元115。振动单元115布置在相应的悬置件119上。振动单元115的电操控通过压电元件116与电路板的电连接(未示出)实现。
通过所示出的架构设计，穿流的流体102被挤压通过输出开口。在此，尤其通过膜片118限界的腔室117的引导开口113导致流体102由于膜片118的运动从抽吸开口112至输出开口114的经指向的引导。
微泵的其他可行的架构设计对于本领域技术人员是已知的。尤其，根据本发明的微泵系统不局限于微泵的和/或振动单元的具体设计。在一种未示出的实施例中，流动路径的方向通过在微泵系统和/或微泵内的止回阀预设。
图7示出根据本发明的微泵系统700的第五实施例的示意图，其中，在系统输出端706的区域中布置有止回阀760。
止回阀750确保，通过微泵系统700提供最小压力作为总泵压力。在一种未示出的实施例中，这样的最小压力通过在微泵系统内的、尤其在系统输出端的区域中的压力传感器确保。
与在前述实施例中不同，这两个微泵110在所示出的微泵系统700中经由插接连接部760固定在电路板140处。在一种未示出的实施例中，微泵通过钎焊盘固定在电路板处。
此外，一定数量的流动通道元件720在所示出的实施例中由三个不同的流动通道元件720组成，这些流动通道元件分别实现与联接在其上的微泵的刚性连接。
在所示出的实施例中，在电路板140与微泵110之间的相应的电连接经由单独的电供给线缆770实现。在一种未示出的实施例中，该电连接经由在微泵与电路板之间的插接连接部进行。
控制单元130可构造在电路板上的不同位置处或构造成与电路板间隔开。
在全部的所示出的实施例中，来自多个微泵的微泵110中的每个利用相应的刚性的固定器件如此固定在平面的电路板140处，使得所有微泵在共同的固定平面中布置在电路板上。仅在图5中所示出的带有两个电路板的实施例中，存在两个这种固定平面。固定平面在此优选地平行于通过电路板140形成的平面。
带有唯一的电路板的实施例是特别优选的实施例，因为通过唯一的电路板可实现微泵系统的特别简单的且紧凑的结构。
在一种未示出的实施例中，微泵在微泵系统内布置在至少两个不同的固定平面中，这些固定平面优选地两者都平行于用于控制这些微泵的共同的电路板布置。
图8示出根据本发明的另一方面的方法800的流程图。
在此，根据本发明的用于引导可压缩流体的方法800具有在下面描述的步骤。
第一步骤810包括提供多个微泵，所述微泵分别具有用于流体的抽吸开口和输出开口并且所述微泵分别构造成用于在相应地形成的微泵系统的使用期间将穿流微泵的流体通过相应的微泵的电控制的振动单元通过抽吸开口抽吸并且通过输出开口输出。
另一个步骤820包括通过将一定数量的刚性的流动通道元件与相应的微泵经由相应的弹性地密封的联接部连接来形成用于流体的流动路径。
跟随于此的步骤830包括将一个或两个电路板与多个微泵电连接，并且将来自多个微泵的每个微泵经由相应的固定器件刚性地固定在所述一个或两个电路板处。在此，在微泵系统的系统输出端处提供在使用中穿流多个微泵的流体的通过多个微泵级联的压力构造。
该方法的这三个步骤810,820,830全部在制造微泵系统时一次性地实施。微泵系统的运行包括相应的微泵的运行，其交替的抽吸和输出已经是已知的。
通过方法800能够实现的级联的压力构造通过多个微泵不仅允许经由一定数量的串联微泵调整所输出的总泵压力，而且允许经由一定数量的并联微泵调整流体的所输出的总流量。
优选地，方法还包括在电路板上形成共同的固定平面，全部的微泵经由刚性的固定器件固定在该电路板中。该固定平面有利地平行于平面的电路板布置。
附图标记列表
100,200,400,500,700 微泵系统
102 流体
104 流动路径
106,206,406,506,706 系统输出端
108,208,408,408′ 系统输入端
110 微泵
111 壳体
112,212 抽吸开口
113 引导开口
114,214 输出开口
115 振动单元
116 压电元件
117 腔室
118 膜片
119 悬置件
120,220,420,520,720 流动通道元件
122 联接部
124 阻挡元件
130 控制单元
140,140′ 电路板
142 钎焊部位
226 供应管路
228 导出管路
432 线缆
750 止回阀
760 插接连接部
770 供给线缆
800 方法
810,820,830 方法步骤。

Claims (13)

1.一种用于引导可压缩流体(102)的微泵系统(100)，带有：
- 多个微泵(110)，所述多个微泵分别具有用于所述流体(102)的抽吸开口(112)和输出开口(114)并且所述多个微泵分别构造成用于在所述微泵系统(100)的使用期间将穿流所述多个微泵的流体(102)通过相应的微泵(110)的电控制的振动单元(115)通过所述抽吸开口(112)抽吸并且通过所述输出开口(114)输出，
- 一定数量的刚性的流动通道元件(120)，其经由相应的弹性地密封的联接部(122)与相应的微泵(110)的抽吸开口(112)或输出开口(114)连接并且与所述多个微泵(110)一起形成用于所述流体(102)的流动路径(104)，
- 控制单元(130)，所述控制单元构造成用于控制所述多个微泵(110)的运行；
- 一个或两个电路板(140)，其布置和构造成用于将所述控制单元(130)与所述多个微泵(110)电连接，
其中，来自所述多个微泵(110)的每个微泵(110)经由相应的固定器件刚性地固定在所述一个或两个电路板(140)处，并且其中，在所述微泵系统(100)的系统输出端(106)处提供在使用中穿流所述多个微泵(110)的流体(102)的通过所述多个微泵(110)级联的压力构造。
2.根据权利要求1所述的微泵系统(100)，其中，至少一个刚性的流动通道元件(120)将相对于穿流的流体(102)的流动方向位于上游的微泵(110)的相应的输出开口(114)与相对于该流动方向位于下游的微泵(110)的相应的抽吸开口(112)相互刚性地连接。
3.根据权利要求2所述的微泵系统(100)，其中，来自所述多个微泵(110)的所有微泵(110)相互通过所述刚性的流动通道元件(120)通过相应的位于上游的微泵(110)的输出开口(114)与相应的位于下游的微泵(110)的抽吸开口(112)的相应连接来连接。
4.根据权利要求1所述的微泵系统(100)，其中，所述一定数量的流动通道元件(220)如此构造和布置，使得所述流动通道元件形成供应管路(226)和导出管路(228)，所述供应管路与所述多个微泵(110)的所有抽吸开口(212)刚性地连接，所述导出管路与所述多个微泵(110)的所有输出开口(214)刚性地连接。
5.根据前述权利要求中至少一项所述的微泵系统(100)，其中，相应的弹性地密封的联接部经由O形环弹性地密封。
6.根据前述权利要求中至少一项所述的微泵系统(100)，其中，用于将相应的微泵(110)刚性地固定到电路板(140)处的固定器件通过钎焊盘、钎焊销或插接连接部(760)形成。
7.根据前述权利要求中至少一项所述的微泵系统(100)，其中，在所述微泵系统(700)的系统输出端(706)处布置有用于确保通过所述微泵系统(700)提供的最小压力的止回阀(750)。
8.根据前述权利要求中至少一项所述的微泵系统(100)，所述微泵系统具有电路板(140)，所述电路板是平面的电路板并且所述多个微泵(110)利用相应的刚性的固定器件如此固定在所述电路板上，使得所有微泵(110)在共同的固定平面中布置在所述电路板(140)上，并且其中，所述固定平面平行于通过所述电路板(140)形成的平面。
9.根据前述权利要求中至少一项所述的微泵系统(100)，其中，所述一定数量的流动通道元件(120)如此与所述微泵(110)连接，使得所述流动通道元件形成共同的连接平面。
10.根据权利要求8和9所述的微泵系统(100)，其中，所述连接平面此外平行于通过所述电路板(140)形成的平面。
11.根据前述权利要求中至少一项所述的微泵系统(100)，其中，在电路板(140)与微泵(110)之间的相应的电连接通过钎焊部位(142)、电线缆(770)和/或插接连接部(760)形成。
12. 根据前述权利要求中至少一项所述的微泵系统(500)，其中，所述微泵系统(500)包括两个电路板(140,140′)，所述两个电路板平行于彼此取向，并且其中，来自所述多个微泵(110)的微泵(110)分别在所述两个电路板(140,140′)之间固定在两个相对而置的侧中的一个侧处。
13.一种用于引导可压缩流体(102)的方法(800)，具有以下步骤
- 提供多个微泵(110)，所述多个微泵分别具有用于所述流体(102)的抽吸开口(112)和输出开口(114)并且所述多个微泵分别构造成用于在相应地形成的微泵系统(100)的使用期间将穿流所述多个微泵的流体(102)通过相应的微泵(110)的电控制的振动单元(115)通过所述抽吸开口(112)抽吸并且通过所述输出开口(114)输出，
- 通过经由相应的弹性地密封的联接部(122)将一定数量的刚性的流动通道元件(120)与相应的微泵(110)连接来形成用于所述流体(102)的流动路径(104)，
- 将一个或两个电路板(140)与所述多个微泵(110)电连接，并且将来自所述多个微泵(110)的每个微泵(110)经由相应的固定器件刚性地固定在所述一个或两个电路板(140)处，
其中，在所述微泵系统(100)的系统输出端(106)处提供在使用中穿流所述多个微泵(110)的流体(102)的通过所述多个微泵(110)级联的压力构造。
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